WO2023152908A1 - 上下振動装置、上下振動方法、部品供給装置、部品供給方法、及び、スクリーン印刷装置 - Google Patents

上下振動装置、上下振動方法、部品供給装置、部品供給方法、及び、スクリーン印刷装置 Download PDF

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vibration
vibrator
vertical vibration
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充志 丸山
昌人 古畑
茂 原田
順一 小倉
実 小川
啓人 佐藤
祥世 渡邊
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マイクロ・テック株式会社
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    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/02—Feeding of components

Definitions

  • the present invention relates to a vertical vibration device, a vertical vibration method, a component supply device, a component supply method, and a screen printing device.
  • the embodiment of the present invention provides a vertical vibration device with stable vertical vibration.
  • the vertical vibration device of the present invention is a base; a plate; a vibration absorber attached between the base and the plate for absorbing vibration; a plurality of vibrators that vibrate a plurality of locations on the outer circumference of the plate from positions outside the plate; A plurality of distributors for transmitting the vibrations of the plurality of vibrators to the plate, with the vibration directions of the plurality of vibrators oriented up and down with respect to the plate, the plurality of vibrators being fixed outside the side of the plate, and transmitting the vibrations of the plurality of vibrators to the plate.
  • the vertical vibration of the plate becomes uniform.
  • FIG. 1 is a perspective view of a vertical vibration device 100 according to Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a front view of the vertical vibration device 100 of Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a side view of the vertical vibration device 100 of Embodiment 1.
  • FIG. It is an explanatory view of standing wave vibration.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of standing wave vibration and deflection in Embodiment 1;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of vertical vibration and bending in Embodiment 1;
  • 4 is an explanatory diagram of vertical vibration in Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 4 is a diagram showing a workpiece 900 according to Embodiment 1;
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing a vertical vibration method and a component supply method according to the first embodiment;
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing a vertical vibration method and a component supply method according to the first embodiment
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing a vertical vibration method and a component supply method according to the first embodiment
  • FIG. 9 is a diagram showing a workpiece 900 and a part 901 of Embodiment 1
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing an example of the plate 20 of the first embodiment
  • FIG. 10 is a diagram showing a modification of the frame 90 of Embodiment 1
  • 4A and 4B are diagrams showing a modification of the plate 20 of the first embodiment
  • FIG. 5 is a diagram showing a modification of the arrangement of the vibration absorbing portion 11 of Embodiment 1; 4 is a diagram showing the bottom plate 92 of Embodiment 1.
  • FIG. 4 is a diagram showing a frame 90 and a bottom plate 92 of Embodiment 1.
  • FIG. 9A and 9B are diagrams showing modifications of the frame 90 and the bottom plate 92 of Embodiment 1.
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing a modification of the plate 20 of the first embodiment;
  • FIG. 9A and 9B are diagrams showing modifications of the frame 90 and the bottom plate 92 of Embodiment 1.
  • FIG. 9A and 9B are diagrams showing modifications of the frame 90 and the bottom plate 92 of Embodiment 1.
  • FIG. 4 is a diagram showing a modification of the distributor 47 of the first embodiment;
  • FIG. FIG. 4 is a diagram showing a modification of the distributor 47 of the first embodiment;
  • FIG. 5 is a diagram showing a modification of the vertical vibration device 100 of Embodiment 1;
  • FIG. 5 is a diagram showing a modification of the vertical vibration device 100 of Embodiment 1;
  • 4A and 4B are diagrams showing a modification of the plate 20 of the first embodiment;
  • FIG. FIG. 11 is a perspective view of a work holding device 910 according to Embodiment 2;
  • FIG. 11 is a front view of a work holding device 910 according to Embodiment 2;
  • FIG. 11 is a side view of the work holding device 910 of Embodiment 2;
  • FIG. 10 is a diagram showing an attraction surface 19 of a plate 20 according to Embodiment 2; It is a front view of the screen printing apparatus 700 of Embodiment 3.
  • FIG. FIG. 11 is a perspective view of a table unit 710 of a screen printing apparatus 700 according to Embodiment 3;
  • FIG. 11 is a perspective view of a screen plate unit 720 of a screen printing apparatus 700 according to Embodiment 3;
  • FIG. 11 is a perspective view of a squeegee unit 730 of a screen printing apparatus 700 according to Embodiment 3;
  • Embodiment 1 a vertical vibration device 100 will be described. Furthermore, in Embodiment 1, a component supply device 200 will be described.
  • FIG. 1 is a perspective view of a vertical vibration device 100 and a component supply device 200 according to Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 2 is a front view of the vertical vibration device 100 and the component supply device 200 according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a side view of the vertical vibration device 100 and the component supply device 200 of Embodiment 1.
  • X indicates the left-right direction.
  • Y indicates the front-rear direction.
  • Z indicates the vertical direction.
  • the vertical vibration device 100 has a base 10 , a plate 20 , a frame 90 , a vibration unit 40 and a controller 80 .
  • the vertical vibration device 100 vertically vibrates the plate 20 on the YZ plane, and vertically vibrates the plate 20 on the XZ plane by standing waves.
  • the component supply device 200 has a vertical vibration device 100 and a work holding device 910 that holds a work 900 .
  • the component supply device 200 is a device that jumps the component 901 and supplies the component 901 to the workpiece 900 .
  • the base 10 has a rectangular plate shape.
  • the base 10 is a metal flat plate having a horizontal surface.
  • the base 10 is the base of the vertical vibration device 100 .
  • the base 10 is part of the housing of the vertical vibration device 100 and does not vibrate.
  • the plate 20 has a rectangular plate shape.
  • the plate 20 is desirably made of a material that easily transmits sound waves, and metal is preferable.
  • the material of the plate 20 is desirably aluminum, titanium, or stainless steel.
  • the material of the plate 20 is preferably aluminum or titanium, with aluminum being the best.
  • Plate 20 is desirably rectangular, preferably square.
  • the plate 20 has a surface 21 on the top, a back surface 22 on the bottom and four sides 23 on the sides.
  • the front surface 21 and the back surface 22 are parallel rectangular planes of the same shape.
  • Side 23 is the surface between front surface 21 and rear surface 22 of plate 20 .
  • Side 23 is a plane perpendicular to front surface 21 and back surface 22 of plate 20 .
  • Plate 20 has a plurality of screw holes for securing screws 25 around surface 21 .
  • a total of four screw holes are provided in the center of the left and right sides of the plate 20 .
  • the positions of the screw holes are hereinafter referred to
  • the vertical vibration device 100 has four vibration absorbing portions 11 . At four corners of the upper surface of the base 10, the lower portions of four vibration absorbing portions 11 are fixed. Upper parts of four vibration absorbing parts 11 are fixed to four corners of the back surface 22 of the plate 20 .
  • the base 10 has four fixed shafts 12 on its upper surface at four corners.
  • the plate 20 has four fixed shafts 13 on its back surface 22 at four corners.
  • the vibration absorbing portion 11 fixes the fixed shaft 12 and the fixed shaft 13 .
  • a specific example of the vibration absorber 11 is a coupling member or joint member that connects the plate 20 and the base 10 .
  • the vibration absorbing portion 11 absorbs the vibration of the plate 20 and prevents the vibration of the plate 20 from being transmitted to the base 10 .
  • the vibration absorbing portion 11 ensures free vibration of the plate 20 with respect to the base 10 .
  • the vibration absorbing portion 11 is configured to place the plate 20 on the base 10 so as to be able to vibrate.
  • An ideal vibration absorber 11 does not generate any resistance to the vibration of the plate 20 .
  • the position in the left-right direction of the vertical axis passing through the center of the vibration absorbing portion 11, the fixed shaft 12, and the fixed shaft 13 is the same as the position of the screw 25 (fixed portion 24).
  • a suitable example of the vibration absorbing portion 11 is a coupling (shaft joint) manufactured by Miki Pulley Co., Ltd.
  • the vertical vibration device 100 does not use the transmission function of a coupling (shaft joint).
  • the vertical vibration device 100 uses a mounting error tolerance function and a vibration absorption function of a coupling (shaft joint).
  • a coupling shaft coupling
  • It is desirable to Couplings (shaft couplings) include an ultra-high-rigidity rigid coupling that absorbs only the end play (axial displacement) without absorbing the misalignment between the fixed shafts 12 and 13, and the fixed shaft 12 and the fixed shaft.
  • the vibration absorbing section 11 has the following functions. 1. Absorption of Vertical Vibration (1) When all vertical vibrations of the plate 20 are absorbed, free vibration is provided. "vertical absorption width of vibration absorbing portion 11>maximum vibration width of plate 20 ⁇ free vibration" (2) When the vertical vibration of the plate 20 is not completely absorbed, the vibration width at four points of the plate 20 is restricted to the vertical absorption width of the vibration absorbing portion 11 . Therefore, there is no variation in the vibration width at the four locations, and the vibration width becomes uniform. “vertical absorption width of vibration absorbing portion 11 ⁇ maximum vibration width of plate 20 ⁇ regulated vibration" 2. It absorbs the difference in axial center between the fixed shaft 12 and the fixed shaft 13 (absorbs dimensional errors and assembly errors). 3. When the plate 20 vibrates without deformation, the plate 20 vibrates up and down at least by the absorption width of the vibration absorbing portion 11 .
  • Frame 90 is a fence or enclosure wall secured to surface 21 of plate 20 .
  • the frame 90 is square or rectangular in plan view.
  • the frame 90 is fixed to the surface 21 of the plate 20 over the entire length of all four sides.
  • the frame 90 has no bottom plate.
  • Frame 90 exposes surface 21 of plate 20 on bottom surface 95 .
  • the frame 90 is formed of a rod-shaped or plate-shaped wall panel consisting of four hexahedrons.
  • the wall plates of the frame 90 are provided inside the plate 20 at a length W away from the side 23 on the outer periphery of the plate 20 in the front-to-rear and left-to-right directions.
  • the wall plate of the frame 90 is located inside the positions of the screws 25 (fixed points 24) in the left-right direction.
  • a parts reservoir 91 is formed by the inner surface of the frame 90 and the surface 21 of the plate 20 .
  • the parts reservoir 91 is a hexahedral space with an open upper surface.
  • a parts reservoir 91 is a place where a plurality of parts 901 are accumulated.
  • the parts pool 91 is a place where the parts 901 are jumped.
  • component 901>>> A large number of parts 901 are randomly stored in the parts reservoir 91 .
  • the component 901 jumps in the component reservoir 91 only in the vertical direction by vibrating the plate 20 only in the vertical direction.
  • Part 901 may be spherical, granular, or powdery.
  • a suitable example of component 901 is a solder ball or metal ball.
  • the vibration unit 40 is fixed facing the center of the left and right sides of the plate 20 .
  • Vibration unit 40 has vibrator 41 and distributor 47 .
  • the vibration unit 40 vibrates the opposing sides of the plate 20 up and down.
  • the vibration unit 40 vertically vibrates the fixed part 24 with the screw 25 .
  • the plurality of vibrators vibrate the plate 20 at a plurality of locations on the outer periphery thereof, thereby vibrating the plate 20 up and down with respect to the surface 21 (horizontal plane).
  • the vibrators vibrate the sides 23 of the plate 20 at the same frequency.
  • the plurality of vibrators simultaneously generate traveling waves 60 having the same frequency, wavelength, and amplitude at a plurality of locations on the outer periphery of the plate 20, thereby vibrating the plate 20 with standing waves and vibrating vertically.
  • Vertical vibration device 100 has two vibrators, vibrator 41 and vibrator 42 .
  • the two vibrators, vibrator 41 and vibrator 42 have the same specifications.
  • Two vibrators, vibrator 41 and vibrator 42 are vibrators driven by air pressure.
  • the two vibrators, vibrator 41 and vibrator 42 are a pair of vibrators fixed at opposing positions on the plate 20. As shown in FIG.
  • the vibrators of (1), (2) and (3) are less noisy and can operate at high speed.
  • a turbine vibrator with stable operation is most suitable.
  • the piston vibrator has the problem that it makes a lot of noise and operates slowly.
  • the vibration unit 40 has a distributor 47 .
  • the distributor 47 is a vibration propagation plate that transmits the vibration of the vibrator to the plate 20 .
  • a distributor 47 fixes each vibrator of the plurality of vibrators to the plate 20 .
  • the distributor 47 transmits the vibration of the vibrator to the plate 20 from the outside of the plate 20.
  • - ⁇ Distributor 47 is fixed to base 10 by screws 25 inserted into screw holes in plate 20 .
  • the distributor 47 is fixed to the plate 20 at fixing points 24 provided around the periphery of the plate 20 .
  • Distributor 47 transmits the vibration of vibrator 41 and vibrator 42 to side 23 of plate 20 .
  • Distributor 47 secures vibrator 41 and vibrator 42 to side 23 of plate 20 .
  • the distributor 47 is an L-shaped metal fitting.
  • Distributor 47 has a horizontal portion 48 and a vertical portion 49 .
  • the horizontal portion 48 and the vertical portion 49 have the same width in the front-rear direction.
  • Horizontal portion 48 is a plate mounted parallel to surface 21 .
  • Horizontal portion 48 is fixed to plate 20 .
  • Horizontal portion 48 transmits the vibration of vertical portion 49 to plate 20 .
  • the horizontal portion 48 is fixed to the fixing portion 24 (screw hole) of the plate 20 with screws 25 .
  • the horizontal portion 48 projects outside the plate 20 a length Q away from the side 23 at the outer periphery of the plate 20 .
  • the plate 20 has fixing points 24 (screw holes) to which the distributor 47 is fixed.
  • the vertical portion 49 is a plate perpendicular to the surface 21 (horizontal plane).
  • the vertical portion 49 fixes the vibrator vertically.
  • the vertical portion 49 is located on the outside of the plate 20 away from it.
  • the vertical portion 49 fixes the bottom surface of the vibrator 41 or 42 .
  • the vertical portion 49 fixes the vibrator 41 and the vibrator 42 so that the rotation of the vibrator 41 and the vibrator 42 are reversed to each other. In FIG. 2, vibrator 41 rotates clockwise and vibrator 42 rotates counterclockwise.
  • the width of the horizontal portion 48 and the vertical portion 49 in the front-rear direction may not be the same.
  • the width of the horizontal portion 48 in the front-rear direction is preferably more than two times and less than ten times the width of the vertical portion 49 in the front-rear direction, preferably five times.
  • the width of the horizontal portion 48 in the front-rear direction is less than 1/2 and greater than 1/8 the width of the plate 20 in the front-rear direction, preferably 1/5.
  • a plurality of left and right side distributors 47 locate the plurality of vibrators 41 , 42 at outer positions away from the opposite left and right sides 23 of the plate 20 .
  • a plurality of distributors 47 on both left and right sides fix the plurality of vibrators 41 and 42 so that the vibrating directions of the plurality of vibrators 41 and 42 are perpendicular to the surface 21 of the plate 20 .
  • the vibrator is fixed perpendicular to the horizontal at the vertical portion 49 .
  • the vibrator has a vibrating surface having a rotation center axis J, and vibrates in 360-degree directions on the vibrating surface.
  • the vibrating plane of the vibrator is a plane orthogonal to the rotation center axis J and a plane in the vertical direction.
  • the vibrating surfaces of vibrator 41 and vibrator 42 are attached to distributor 47 so as to be perpendicular to surface 21 (back surface 22). Vibration of the vibrator 42 occurs only in the vertical direction (Z direction) perpendicular to the horizontal direction.
  • Controller 80 controls the vibration of vibrators 41 and 42 .
  • the controller 80 vibrates the vibrator at a frequency of 10 Hz or more and 800 Hz or less.
  • the controller 80 simultaneously vibrates a plurality of vibrators with the same frequency, same wavelength and same amplitude.
  • the controller 80 has an air compressor 81 , an air pipe 82 , a regulator 83 and a processor 84 .
  • the air compressor 81 generates compressed air.
  • the air pipe 82 is connected to the air compressor 81 and flows compressed air.
  • the air pipe 82 is branched in a Y shape and connected to the vibrator 41 and the vibrator 42 .
  • the regulator 83 is a control device that controls the pressure of compressed air. Regulator 83 determines the vibration frequency of vibrator 41 and vibrator 42 by controlling the pressure of the compressed air.
  • Processor 84 has a central processing unit and a program. Processor 84 may be implemented with an integrated circuit, circuit board, or the like. A processor 84 controls the operation of the vertical vibration device 100 via a signal line 88 . A processor 84 is connected to the air compressor 81 and controls the on/off operation and operating time of the air compressor 81 .
  • ⁇ Initial setting step> The operator turns on the power switch of the vertical vibration device 100 .
  • the operator has a correspondence table between the pressure of the compressed air and the vibration frequencies of the vibrators 41 and 42 .
  • the operator refers to the correspondence table and uses the regulator 83 to set the pressure of the compressed air corresponding to the vibration frequencies of the vibrators 41 and 42 .
  • the worker sets the pressure corresponding to any audible frequency between 10 Hz and 800 Hz.
  • the vibration frequencies of the vibrators 41 and 42 are preferably audible frequencies.
  • the vibrator 41 and the vibrator 42 are fixed to the left and right sides 23 of the plate 20 and give the left and right sides 23 of the plate 20 a sinusoidal traveling wave 60 . Vibrators 41 and 42 simultaneously generate traveling waves 60 with the same amplitude, the same wavelength, and the same frequency.
  • ⁇ Vibration step> When the traveling waves 60 are simultaneously generated with the same amplitude, the same wavelength, and the same frequency in opposite directions, the traveling waves 60 from the left and right are superimposed on the plate 20 to generate a standing wave.
  • a standing wave is a wave whose position does not change over time.
  • the plate 20 vibrates up and down with the same vibration frequency as the vibrators 41 and 42 due to standing waves.
  • the plate 20 vibrates up and down with the same vibration frequency as the vibrators 41 and 42 due to standing waves.
  • FIG. 4 is a schematic diagram of vertical vibration when the plate 20 is viewed from the front.
  • FIG. 4 in order to explain the standing wave vibration in an easy-to-understand manner, it is assumed that the vertical position of the fulcrum 26 is fixed and the fulcrum 26 does not vibrate vertically.
  • the plate 20 vibrates with a fixing point 24 (screw hole) as a fulcrum 26 .
  • the fulcrum 26 is the center of the plate 20 in the vertical direction and the center of the fixing point 24 .
  • ⁇ Flapping phenomenon> By repeating the operations of (a) to (f) with (a) to (f) as one cycle, the plate 20 vibrates up and down at the same frequency as the vibration frequencies of the vibrators 41 and 42 . Since the plate 20 vibrates between the fulcrums 26 as if it is flapping its wings, this phenomenon is hereinafter referred to as the flapping phenomenon. This vibration is called standing wave vibration.
  • the flapping phenomenon is a phenomenon in which the plate 20 vibrates up and down around the fulcrum 26 by supplying air to vibrators fixed to the left and right sides of the plate 20 .
  • the center of the fixed positions of the vibrator 41 and the vibrator 42 (the center of the rotation center axis J) and the positions of the two fixed points 24 are on a straight line.
  • the center of the fixing positions of the plurality of vibrators (the center of the rotation center axis J) be on the extension of the line connecting the fixing points 24 on the opposite sides of the plate 20 .
  • the thickness of the plate 20 should be small, since an increase in the thickness of the plate 20 may interfere with the flapping phenomenon.
  • the thickness of the plate 20 is preferably greater than the diameter of the screw holes in the fixation points 24 and less than twice the diameter of the screw holes in the fixation points 24 .
  • Point E is the highest point of fulcrum 26 .
  • Point C is the lowest point of fulcrum 26 .
  • Points F and D are intermediate points between the highest point E and the lowest point C.
  • FIG. 5 is a diagram of the flapping vibration of the front-rear center of the plate 20 .
  • FIG. 5 is a vibration diagram seen from LL in FIG.
  • the plate 20 is in a flat state and is at the position H when no vertical force is applied to the vibrator 41 and the vibrator 42 .
  • the fulcrum 26 vibrates vertically by the length Uz.
  • the plate 20 vibrates vertically in its entirety on the XZ plane, and makes a standing wave vibration in which the center of the left and right curves vertically on the XZ plane.
  • the vibrators 41 and 42 vertically vibrate the plate 20 so that the vertical vibration distance Mz of the center of the plate 20 (the center of the plate 20) in the center of the plate 20 takes a positive value.
  • the vibrators 41 and 42 vertically vibrate the plate 20 so that the vertical vibration distance Mz of the center of the plate 20 takes a positive value.
  • FIG. 6 is a diagram of the vibration seen from the left side of the plate 20.
  • FIG. FIG. 6 is a vibration diagram seen from KK in FIG.
  • the plate 20 is in a flat state and is at the position H when no vertical force is applied to the vibrator 41 and the vibrator 42 .
  • the fulcrum 26 Since the position of the fulcrum 26 is not fixed and the plate 20 vibrates freely, the fulcrum 26 vibrates vertically by the length Uz.
  • the plate 20 as a whole vibrates up and down in the YZ plane, and both front and rear ends bend up and down in the YZ plane, causing a bending phenomenon in which the plate 20 bends.
  • the vertical vibration distance Mz of the front, rear, left, and right center of the plate 20 (the center of the plate 20) ⁇ Vertical vibration distance Uz of the left and right ends (fulcrum 26) of the front-rear center of the plate 20 ⁇ Vertical vibration distance Nz of the left-right ends of the front-rear ends of the plate 20 (corners of the plate 20)"
  • the plurality of vibrators 41 and 42 vibrate the front, rear, left, and right ends of the plate 20 more violently than the central portion of the plate 20 by flapping vibration and bending vibration.
  • the width J of the parts reservoir 91 inside the frame 90 is shorter than the distance S between the fulcrums 26 .
  • the width J of the component reservoir 91 inside the frame 90 is shorter than the lateral width T between the left side 23 and the right side 23 of the plate 20 .
  • the width J of the component reservoir 91 is preferably 50% to 90% of the lateral width T of the plate 20, and preferably 80% to 90% from the viewpoint of effective use of the plate 20.
  • a vertical vibration distance Uz of the fulcrum 26 is absorbed by the vibration absorbing portion 11 .
  • the fulcrum 26 vibrates up and down within a range that the vibration absorbing portion 11 can absorb.
  • the vertical vibration distance Uz is the smaller of the amplitude value during free vibration of the plate 20 due to the flapping phenomenon and the permissible end play (axial displacement) of the vibration absorbing portion 11 .
  • the deflection of the plate 20 is large in the vicinity of the fulcrum 26, that is, the side 23 of the plate 20.
  • the central portion of the plate 20 has less deflection of the plate 20 than near the fulcrum 26 and sides 23 of the plate 20 .
  • the center portion of the plate 20 is a portion where the vibration width in the vertical direction is substantially uniform, and the deflection of the plate 20 is smaller than that of the left and right ends of the plate 20 .
  • the vertical vibration device 100 arranges the component reservoir 91 in the central portion of the plate 20 .
  • the size of the component reservoir 91 is made smaller than the size of the plate 20. - ⁇ It is desirable that the ratio between the width J of the parts reservoir 91 and the lateral width T of the plate 20 is small for uniform jumping.
  • the vertical vibration device 100 causes the component 901 to jump at the central portion of the plate 20 .
  • the deflection of the plate 20 is small, and the vibration width of the plate 20 in the vertical direction is substantially uniform. Since the component reservoir 91 is mounted in a range where the vibration width in the vertical direction of the plate 20 is substantially uniform, the components 901 in the component reservoir 91 jump evenly.
  • the frame 90 since the frame 90 is fixed to the central portion of the plate 20, the plate 20 inside the frame 90 does not bend or hardly bends. . Only the peripheral portion of the plate 20 bends due to the flapping vibration and bending vibration, and the bottom surface 95 of the frame 90 (the central portion of the plate 20) does not bend and vibrates vertically as it is flat.
  • a specific example of the standing wave vibration will be described below.
  • a square aluminum plate with a side of about 0.5 m is used as the plate 20 .
  • Let the sound velocity V of aluminum be 6320 [m/s]. However, assuming that the temperature of aluminum is constant, the change in sound velocity due to temperature is not considered.
  • As the vibrator 41 and the vibrator 42 an air vibrator manufactured by Exen Co., Ltd. having the following specifications is used.
  • An air vibrator having a vibration frequency f of 119 Hz to 414 Hz when the air pressure is 0.2 to 0.6 MPa is desirable.
  • an air vibrator having a vibration frequency f of 110 Hz or more and 290 Hz or less when the air pressure is 0.3 or more and 0.6 MPa or less is desirable.
  • Wavelength ⁇ [m] Velocity of sound V [m/s]/Vibration frequency f [Hz] Calculation of the wavelength of the traveling wave 60 is as follows.
  • a traveling wave 60 generated by the vibrators 41 and 42 can be expressed by the following equation.
  • R (x, t) Ax sin2 ⁇ ((t/T)-(x/ ⁇ ))
  • L(x, t) Ax sin2 ⁇ ((t/T)+(x/ ⁇ )) x [m]: location of the plate in the X direction t [s]: time
  • a standing wave 70 generated by superimposing the traveling wave 60 generated from the vibrator 41 and the vibrator 42 can be expressed by the following equation representing a sinusoidal standing wave.
  • Ax Amplitude [m] of traveling wave 60 T: period [s] of traveling wave 60 ⁇ : wavelength of traveling wave 60 [m]
  • cos(2 ⁇ (x/ ⁇ )) indicates the amplitude of the standing wave 70 .
  • a location x where the amplitude of the standing wave 70 is 0, that is, a location x where cos(2 ⁇ (x/ ⁇ )) is 0 is called a “node”.
  • the place where the amplitude of the standing wave 70 is maximum, that is, the place x where the absolute value of cos(2 ⁇ (x/ ⁇ )) is 1 is called the “antinode”.
  • a standing wave node In order to vibrate the plate 20 up and down, a standing wave node should not be generated at any location x in the horizontal direction between the fulcrums 26 . Since a node of the standing wave occurs every half wavelength, if the distance between the fulcrums 26 is set to less than half the wavelength of the standing wave, no node of the standing wave should exist at any position x in the left-right direction of the plate 20. can be done. If the position of the "node" of the standing wave 70 is set as the fixed point 24 and the fixed point 24 is held (screwed), the "node" becomes the fulcrum of flapping.
  • the distance of the fixing point 24 in the left-right direction of the plate 20 must be less than the following length.
  • Half wavelength when air pressure is 0.5 MPa: wavelength ⁇ [m] / 2 14.56 m
  • Half wavelength when air pressure is 0.4 MPa: wavelength ⁇ [m] / 2 15.29 m
  • Half wavelength when air pressure is 0.3 MPa: wavelength ⁇ [m] / 2 17.82 m
  • the air pressure of the vibrator 41 and the vibrator 42 determines the frequency and wavelength of the standing wave, and determines the maximum length of the plate 20 .
  • the plurality of vibrators 41 and 42 generate traveling waves whose half length of the wavelength is longer than the left and right sizes of the plate, and vibrate the plate 20 with standing waves that do not generate "nodes".
  • the vertical vibration device 100 of the present embodiment simultaneously generates traveling waves 60 from the left and right sides of the plate 20 with the same amplitude, the same wavelength, and the same frequency by the vibrators 41 and 42, which are audible frequency vibration sources.
  • a standing wave is generated by superimposing the traveling waves in opposite directions.
  • traveling waves 60 are simultaneously generated in the plate 20 from the left and right from the audible frequency vibration source to the plate 20 at the same frequency.
  • the plate 20 vibrates due to the standing wave, and vibrates vertically due to the vibrating action of the standing wave.
  • the traveling wave 60 is generated from the vibration of the vertical component of the vibration, and an audible frequency vibration source that vibrates up and down to generate the traveling wave 60 is unnecessary.
  • the traveling wave 60 is also generated from the vibration of the front-back component of the vibration, but since the front-back length of the plate 20 is large, the plate 20 does not generate front-back standing wave vibration.
  • the vertical vibration device 100 can change the audible range frequency by the controller 80 during excitation.
  • the audible frequency range is from 10 Hz to 20000 Hz, and the audible frequency range used in this embodiment is set to the range from 10 Hz to 800 Hz.
  • the vibration unit 40 may have a voice coil motor vibration source, an electromagnetic vibration source, or a piezoelectric vibration source as a vibration source.
  • the vibration unit 40 can use a vibration source such as the vibrator 41 or the vibrator 42 as appropriate, or another sound wave vibration source such as a voice coil motor type vibration source, an electromagnetic type vibration source, or a piezoelectric type vibration source. It can be replaced with a vibration source or the like.
  • Controller 80 may have an arbitrary waveform generator or a bipolar power supply as a control component. Since the controller 80 vibrates the vibration source at an arbitrary frequency, the control component corresponding to the sound wave vibration source can be replaced with an arbitrary waveform generator, a bipolar power supply, or the like.
  • the vibration unit 40 vertically vibrates the plate 20 with a pair of vibrators attached to the outside of the center of the two sides of the plate 20 facing each other.
  • the vibration unit 40 simultaneously generates traveling waves with the same amplitude, the same wavelength, and the same frequency by a pair of vibrators attached to the outside of the center of two opposing sides of the plate 20, thereby vibrating the plate 20 with standing waves.
  • vibrator 41 and vibrator 42 are fixed outside plate 20 with a length Q therebetween.
  • the vibrator 41 and the vibrator 42 may not overlap the plate 20 in plan view.
  • the vertical vibration device 100 of the present embodiment does not uniformly vibrate the entire plate 20 vertically.
  • the front, rear, left, and right sides of the plate 20 are set as free ends where vibration can be freely performed.
  • the amplitude is the smallest at the left-right central portion of the plate 20, and the amplitude increases from the left-right central portion of the plate 20 toward the periphery in the left-right direction.
  • the reason why the amplitude increases toward the periphery in the left-right direction is that the left and right ends of the plate 20 are not fixed, and that the plate 20 is caused to generate a standing wave.
  • the amplitude is the smallest at the front-rear central portion of the plate 20, and the amplitude increases from the front-rear central portion of the plate 20 toward the periphery in the front-rear direction.
  • the reason why the amplitude increases toward the periphery in the front-rear direction is that the front and rear ends of the plate 20 are not fixed.
  • the vibrator 41, the vibrator 42, and the two fixing points 24 are arranged on a straight line.
  • the fixing positions of the vibrator 41 and the vibrator 42 are outside the two fixing points 24 .
  • the fixing positions of the vibrator 41 and the vibrator 42 are not inside the two fixing points 24 .
  • the plate 20 vibrates vertically and horizontally due to the flapping phenomenon centered between the two fixing points 24 (fulcrums 26).
  • the plate 20 vibrates up and down in the front and rear due to the bending phenomenon centered on the two fixing points 24 (fulcrums 26).
  • the workpiece 900 is a rectangular plate.
  • a workpiece 900 is a flat circuit board on which an electric circuit is formed.
  • a plurality of electrodes 903 are arranged and formed on the surface of the workpiece 900 .
  • the surface of the workpiece 900 is a flat plane without unevenness.
  • a conductive adhesive 902 is printed on the electrode 903 of the workpiece 900 by a screen printer.
  • the workpiece 900 is a metal plate such as a copper plate, an iron plate, an aluminum plate, a ceramic plate, a substrate, a resin plate, a glass plate, or the like.
  • a suitable example of the workpiece 900 is a printed wiring board or a semiconductor wafer on which electric circuits are already formed.
  • Work 900 may be an arrangement plate for arranging parts 901 .
  • Suitable examples of the conductive adhesive 902 are soldering flux, solder paste, or conductive adhesive.
  • a work holding device 910 is a device that holds a work 900 .
  • a work holding device 910 is a device that acquires a component 901 on a work 900 .
  • the work holding device 910 holds the work 900 with the side of the work 900 having the adhesive 902 facing downward.
  • the work holding device 910 holds the work 900 by sucking it from above.
  • the work holding device 910 has a cylinder for moving the work 900 up and down. The cylinder moves the rod up and down to move the plate 20 up and down.
  • the component supply device 200 vibrates a plurality of vibrators 41 and 42 by means of a plurality of distributors 47 fixed at positions outside the side 23 of the plate 20 with the vibrating directions up and down with respect to the surface 21 of the plate 20.
  • the vibrations of 41 and 42 are transmitted to the plate 20 to vibrate the plate 20.
  • the workpiece holding device 910 holds the workpiece 900 with the surface coated with the adhesive 902 facing downward.
  • the work holding device 910 lowers the work 900 toward the parts reservoir 91 .
  • the vertical vibrating device 100 uses a plurality of vibrators 41 and 42 which are fixed with their vibrating directions up and down with respect to the surface 21 of the plate 20 to vibrate at a plurality of locations on the outer periphery of the plate 20 at the same time with the same frequency and wavelength.
  • a traveling wave 60 of amplitude is generated to vibrate the plate 20 up and down.
  • a work holding device 910 holds a work 900 having an adhesive 902 applied to its lower surface above the plate 20 for a certain period of time.
  • the vertical vibration device 100 causes the part 901 to jump on the plate 20 to adhere the part 901 to the adhesive 902 and adhere the part 901 to the lower surface of the workpiece 900 .
  • the part 901 adheres only by the adhesive strength of the adhesive 902 .
  • the component supply device 200 does not attract the component 901 to the workpiece 900 by magnetic force.
  • the work 900 has no suction hole for sucking the component 901, and the component 901 is not attracted to the work 900 by a suction force.
  • the component supply device 200 never acquires the component 901 through the mask.
  • the workpiece holding device 910 raises the workpiece 900 from the parts reservoir 91 after a certain period of time has elapsed.
  • the workpiece 900 holds the part 901 on the lower surface of the workpiece 900 only by the adhesive force of the adhesive 902 .
  • Excess parts 901, such as parts 901x in FIG. 12, are removed by a repair device (not shown).
  • the parts 901 are supplied by a repair device (not shown) to the adhesive 902 to which the parts 901 have not adhered like the adhesive 902x in FIG.
  • the component supply device 200 has a vertical vibration device 100 and a workpiece holding device 910 .
  • the vertical vibration device 100 causes the part 901 to jump.
  • the vertical vibration device 100 includes a base 10 , a plate 20 , a vibration absorber 11 , multiple vibrators 41 and 42 , and multiple distributors 47 .
  • the vertical vibration device 100 has a frame 90 fixed on the plate 20 .
  • the frame 90 forms a parts reservoir 91 in which parts 901 are accumulated.
  • the size of the component reservoir 91 in plan view is smaller than the size of the plate 20 . Concavities and convexities are formed on the bottom surface 95 of the component reservoir 91 .
  • the vibration absorber 11 is attached between the base 10 and the plate 20 to absorb vibration.
  • a plurality of vibrators 41 and 42 vibrate a plurality of locations on the outer circumference of the plate 20 from positions outside the plate 20 .
  • a plurality of vibrators 41 and 42 simultaneously generate traveling waves 60 having the same frequency, same wavelength and same amplitude at a plurality of locations on the outer periphery of the plate 20, and the vibrations are absorbed by the vibration absorbing portion attached to the plate. while vibrating the plate 20 up and down.
  • the plurality of distributors 47 set the vibrating directions of the plurality of vibrators 41 and 42 up and down with respect to the plate 20, fix the plurality of vibrators 41 and 42 at positions outside the side 23 of the plate 20, and The vibrations of 41 and 42 are transmitted to the plate 20.
  • a work holding device 910 holds a work 900 having an adhesive 902 applied to its lower surface.
  • Work holding device 910 positions work 900 at a height less than the jump height of part 901 .
  • the vertical vibration device 100 causes the part 901 to jump and hit the adhesive 902 to adhere the part 901 to the lower surface of the workpiece 900 .
  • the distance between the fixing points 24 in the horizontal direction of the plate 20 must be less than 0.158 m or less than 0.063 m. If the length is 0.158 m or more or 0.063 m or more, a node occurs in the plate 20, and the plate 20 cannot be uniformly vibrated up and down.
  • the size of the plate 20 cannot be increased.
  • the plate 20 becomes small.
  • the size of the plate 20 can only be about 10 x 10 cm.
  • Knot control is not possible.
  • a node occurs in the plate 20, and the entire plate 20 does not vibrate in the same manner.
  • the parts 901 on the plate 20 do not vibrate evenly. Vibration of the component 901 is blocked at the node.
  • price becomes expensive.
  • the standing wave vibrating plate 20 by the vibration unit 40 solves the above items 1, 2, 3 and 4.
  • the pair of vibrators 42 are spaced apart from the plate 20 and obliquely installed outside the plate 20 so as to face each other, so that the plate 20 can be vibrated vertically.
  • the traveling waves 60 are simultaneously generated at the same frequency, thereby generating standing waves and vibrating the plate 20 in the vertical direction.
  • a bending phenomenon occurs around the fixing point 24, and the end portion of the plate 20 flexures and vibrates in the vertical direction. Since it vibrates vertically while remaining flat, the parts 901 in the parts reservoir 91 jump evenly.
  • FIG. 13 is an example of vibration measurement by an embodiment of the vertical vibration device 100.
  • FIG. (a) shows the configuration and measurement locations according to an embodiment of the vertical vibration device 100.
  • FIG. (b) shows sizes and specifications of members according to an embodiment of the vertical vibration device 100.
  • the measurement points are as follows.
  • the vertical vibration width of the insides 1 to 15 of the component reservoir 91 is 132 to 210 ⁇ m.
  • the maximum value of the horizontal vibration width on the left side and the front side of the plate 20 is 4 to 6 ⁇ m.
  • the vibration width in the vertical direction is 30 times or more the vibration width in the horizontal direction.
  • (d) is a comparative example, showing a measurement result when only the vibrator 41 of the vertical vibration device 100 is vibrated and the vibrator 42 is not vibrated.
  • the vertical vibration width of the inner sides 1 to 15 of the component reservoir 91 is 54 to 200 ⁇ m.
  • the maximum value of the horizontal vibration width on the left side and the front side of the plate 20 is 9.6 to 33 ⁇ m.
  • (e) shows the measurement results of the inner 1st, 2nd, and 3rd rows.
  • the vertical vibration widths of the 1st, 2nd and 3rd rows inside the component reservoir 91 are all approximately 130 to 170 ⁇ m, and the vertical vibration widths of the rows are approximately the same. be.
  • the vertical vibration widths of the 1st, 2nd and 3rd rows inside the component reservoir 91 are all approximately 150 to 190 ⁇ m, and the vertical vibration widths of the rows are approximately the same. be.
  • the vertical vibration widths of the 1st, 2nd, and 3rd rows inside the component reservoir 91 are all approximately 150 to 210 ⁇ m, and the vertical vibration widths of the rows are approximately the same. be.
  • FIG. 15 is obtained by changing the shape of the plate 20 of the vertical vibration device 100 of FIG. 1 from a square to a rectangle.
  • the length of the short side of the plate 20 is the same as the length of the frame 90 in the front-rear direction. Therefore, bending vibration is reduced.
  • the length of the long side of the plate 20 is longer than the length of the frame 90 in the horizontal direction. If the length of the plate 20 in the left-right direction is longer than the length of the frame 90 in the left-right direction, flapping vibration occurs.
  • ⁇ Position of vibration absorbing portion 11> 16 is obtained by changing the position of the vibration absorbing portion 11 of the vertical vibration device 100 of FIG. 15 from the corner of the plate 20 to below the corner of the frame 90.
  • the position of the vibration absorbing portion 11 of the vertical vibration device 100 of FIG. 1 may be changed from the corner of the plate 20 to below the corner of the frame 90. Vibration at the end of the plate 20 is completely freed, and flapping vibration that is not restrained by the vibration absorbing portion 11 and vibration that is not generated.
  • a bottom plate 92 having an uneven surface may be fixed to the plate 20 at the bottom of the component reservoir 91 .
  • the bottom plate 92 is a rectangular metal plate or resin plate.
  • the bottom plate 92 is entirely fixed to the surface 21 of the plate 20 .
  • the unevenness of the bottom plate 92 is formed by sandblasting or etching.
  • the unevenness of the bottom plate 92 prevents the component 901 from slipping on the bottom surface and prevents the component 901 from jumping in an oblique direction.
  • the unevenness of the bottom plate 92 promotes jumping of the part 901 only in the vertical direction.
  • unevenness may be formed on the entire surface 21 of the plate 20 without using the bottom plate 92 .
  • unevenness may be formed only on the portion of the plate 20 that will be the bottom surface 95 of the component reservoir 91 .
  • the parts reservoir 91 may be formed by a frame 90 having a bottom plate 92 .
  • the bottom plate 92 and the frame 90 are integrally molded.
  • the bottom plate 92 and the frame 90 form a box shape without a lid.
  • the bottom plate 92 is entirely fixed to the surface 21 of the plate 20 . Since the bottom plate 92 prevents the bending of the center of the plate 20, the bottom plate 92 vibrates up and down while maintaining a horizontal plane.
  • the parts reservoir 91 may be formed by a frame 90 with a raised bottom plate 92 floating above the surface 21 of the plate 20 .
  • the bottom plate 92 and the frame 90 are integrally molded.
  • a hole 97 may be formed in the center of the plate 20 as shown in FIG.
  • Hole 97 is a rectangular hole through plate 20 .
  • the hole 97 is the same size as the component reservoir 91 or smaller than the component reservoir 91 in plan view.
  • the bottom surface of the frame 90 overlaps the edge of the hole 97 .
  • the parts reservoir 91 is a frame 90 with a bottom plate 92 .
  • the bottom plate 92 and the frame 90 are integrally molded. Since there is no central portion of the plate 20, the bottom plate 92 does not bend. Even if the plate 20 flaps and vibrates, the bottom plate 92 vibrates vertically while maintaining a horizontal plane without being deformed.
  • a slope 94 may be formed around the parts reservoir 91 as shown in FIG.
  • the ramp 94 has the function of centering the parts 901 . More parts 901 jump in the central portion than in the periphery of the parts reservoir 91 .
  • the place where the slope 94 is formed may be changed in accordance with the component suction area of the workpiece 900 .
  • depressions 96 may be formed at a plurality of locations in the component reservoir 91 .
  • the recess 96 has the function of collecting the parts 901 within the recess 96 .
  • a large number of parts 901 jump in a portion of the parts reservoir 91 where the recesses 96 are located.
  • the position where the recess 96 is formed may be changed according to the position of the component suction area of the workpiece 900 .
  • a distributor 47 in FIG. 23( a ) has a vertical portion 49 , a horizontal portion 48 and a fixed portion 46 .
  • the vertical portion 49, the horizontal portion 48, and the fixed portion 46 are each flat plates.
  • Vertical portion 49 is perpendicular to the surface of plate 20 .
  • a vertical portion 49 is located outside the plate 20 away from the plate 20 to secure the vibrator against the surface 21 of the plate 20 .
  • Horizontal portion 48 is parallel to the surface of plate 20 .
  • the horizontal portion 48 is perpendicular to the vertical portion 49 and transmits the vibration of the vertical portion 49 to the plate 20 .
  • a fixed portion 46 is perpendicular to the horizontal portion 48 and is fixed to the side 23 of the plate 20 .
  • the fixed part 46 has a fixed point 24 fixed to the plate 20 . Since the fixed portion 46 is fixed to the side 23 of the plate 20, the traveling wave 60 can enter from the left and right end surfaces of the plate 20, and the entire plate 20 vibrates in a standing wave.
  • the vertical vibration device 100 has a vibrator 41 and a vibrator 42 fixed to the side 23 of the plate 20 .
  • Vibrator 41 and vibrator 42 are not fixed to front surface 21 and back surface 22 of plate 20 . Therefore, the traveling wave 60 is generated from both ends of the plate 20 in the left-right direction, and the entire area of the plate 20 in the left-right direction vibrates up and down.
  • FIG. 23(b) shows a case where a plurality of vibrators are attached to one distributor 47 on the right side 23.
  • FIG. 23(b) By attaching a plurality of vibrators to the distributor 47 on the left side 23 as well, a plurality of pairs of vibrators are obtained.
  • the controller operates the plurality of pairs of vibrators simultaneously or switches between the plurality of pairs of vibrators.
  • the distributor 47 in (b) of FIG. 23 fixes the vibrator 42 and the vibrator 44 on both sides of the vertical portion 49 .
  • the controller 80 when the controller 80 operates the vibrator 42 and the vibrator 44 simultaneously, the combined vibration of the vibrator 42 and the vibrator 44 is transmitted to the plate 20 .
  • the controller 80 may cause the vibrator 42 and the vibrator 44 to rotate in the same direction or in the opposite direction.
  • the controller 80 may switch between the vibrator 42 and the vibrator 44 and operate only one of them.
  • a vertical vibration device 100 shown in FIG. 24 is obtained by changing the attachment of the vibration unit 40 from the configuration of FIG. (a) shows the vibrator 41 and the vibrator 42 attached to the outside of the distributor 47 . (b) shows the vibration unit 40 of (a) mounted upside down. (c) is obtained by changing the shape of the distributor 47 and attaching the vibration unit 40 .
  • the distributor 47 is a hollow pipe with a rectangular cross section. One surface of the distributor 47 is fixed to the side 23 and the other surface fixes the vibrator 41 or the vibrator 42 .
  • the up-and-down vibration device 100 may have an even number of vibrators greater than two.
  • Vibrators 41, 42, 43 and 44 may be attached to the plate 20 as shown in FIG.
  • vibrator 41 and vibrator 42 face each other, and vibrator 43 and vibrator 44 face each other.
  • Vibrator 41 and vibrator 43 are fixed to the same side 23 and vibrator 42 and vibrator 44 are fixed to another side 23 .
  • Standing waves are generated in parallel. The bending phenomenon is less likely to occur.
  • vibrator 41 and vibrator 42 face each other, and vibrator 43 and vibrator 44 face each other.
  • Vibrator 41 , vibrator 42 , vibrator 43 , and vibrator 44 are fixed to respective sides 23 . If the controller 80 operates four vibrators simultaneously, standing waves are generated in quadrature. The controller 80 may switch and operate two vibrators facing each other. In (c), vibrator 41 and vibrator 42 face each other, and vibrator 43 and vibrator 44 face each other. The plate 20 also forms a cylindrical frame 90 in the center. A vibrator 41, a vibrator 42, a vibrator 43, and a vibrator 44 are fixed to each corner of the plate 20, respectively. If the controller 80 operates four vibrators simultaneously, standing waves are generated in quadrature. The bending phenomenon is less likely to occur. The controller 80 may switch and operate two vibrators facing each other.
  • (d) forms a cylindrical frame 90 in the center of the circular plate 20 .
  • the shape of the frame 90 in plan view may be a pentagon, hexagon, octagon, or other polygonal hole, or may be an ellipse, chevron, trapezoid, parallelogram, or other shape.
  • the presence of the frame 90 eliminates the curvature of the central portion of the plate 20 and reduces the vertical curvature of the central portion of the plate 20 .
  • the vibration state of the plate 20 can be adjusted by the size of the frame 90 . The smaller the size of the frame 90, the easier it is for the above-described standing wave vibration and vertical vibration to occur. Conversely, as the size of the frame 90 increases, the above-described standing wave vibration and vertical vibration decrease.
  • planar shape of plate 20 is not limited to a quadrangle.
  • the shape of the plate 20 may be a regular polygon, a circle, an ellipse, or any other shape in plan view.
  • FIG. 26 is a diagram showing a planar shape of the plate 20.
  • FIG. (a) shows a case where the planar shape of the plate 20 is a cross.
  • (b) shows a case where the planar shape of the plate 20 is circular.
  • c) shows a case where the planar shape of the plate 20 is an elongated rectangle with rounded corners.
  • (d) shows a case where the planar shape of the plate 20 is elliptical.
  • the planar shape of the plate 20 may be trapezoidal, cloud-shaped, chevron-shaped, irregular, or any other shape.
  • FIG. 27 is a diagram showing a cross-sectional shape of the plate 20 in the Z direction.
  • the cross-sectional shape of the plate 20 is not limited to a rectangle.
  • (a), (c) and (e) show the case where the central lower portion of the plate 20 is recessed upward.
  • (a) shows the case of being depressed in a concave shape.
  • (b) shows a case where it is recessed into a V shape.
  • (c) shows a case where the recess is arcuate.
  • (b), (d) and (f) show the case where the central upper portion of the plate 20 swells downward.
  • (b) shows the case of swelling into a convex shape.
  • (d) shows the case of swelling in a V shape.
  • (f) shows the case of arcuate bulging.
  • (g) shows the case where the central portion of the plate 20 is recessed upward and downward. When the central portion of the plate 20 is recessed downward, the parts 901 gather at the center and jump near the center.
  • (h) shows the case where the central portion of the plate 20 has a convex shape bulging upward and downward. When the central portion of the plate 20 has a convex shape that bulges upward, the parts 901 gather around the periphery and jump around the periphery.
  • the cross-sectional shape of the plate 20 may be uneven, corrugated, or any other shape.
  • the plate 20 does not have to be plate-like. Although not shown, plate 20 may be box-shaped, dish-shaped, dome-shaped, frame-shaped, or otherwise shaped.
  • Embodiment 2 In the second embodiment, points different from the first embodiment will be described. In Embodiment 2, a configuration in which the vibration unit 40 is mounted on the workpiece holding device 910 will be described.
  • FIG. 28 is a perspective view of the work holding device 910 of Embodiment 2.
  • FIG. 29 is a front view of the work holding device 910 of Embodiment 2.
  • FIG. 30 is a side view of the work holding device 910 of Embodiment 2.
  • X indicates the left-right direction.
  • Y indicates the front-rear direction.
  • Z indicates the vertical direction.
  • a work holding device 910 is a device that acquires a component 901 on a work 900 .
  • the work holding device 910 has a base 10 , a plate 20 , a vibration absorbing section 11 , a vibration unit 40 , a distributor 47 and a controller 80 .
  • the work holding device 910 vertically vibrates the plate 20 in a standing wave in the XZ plane.
  • Work 900 is the same as in the first embodiment.
  • the base 10 has a rectangular plate shape.
  • Two rods 31 are fixed to the upper surface of the base 10 .
  • the base 10 and the members below the base 10 move up and down as the two rods 31 move up and down.
  • the cylinder 30 is fixed to a housing of a work transfer device (not shown).
  • the cylinder 30 places the base 10 on the plate 20 and moves the base 10 vertically.
  • the cylinder 30 moves the rod 31 up and down to move the base 10 up and down.
  • the cylinder 30 arranges the plate 20 of the work holding device 910 under the base 10 and moves the plate 20 in the vertical direction.
  • the work conveying device moves the cylinder 30 to convey the work 900 .
  • the plate 20 has a surface 21 on the top, a back surface 22 on the bottom and four sides 23 on the sides.
  • the back surface 22 is a suction surface 19 that suctions the workpiece 900 .
  • the controller 80 has an aspirator 85 .
  • the suction device 85 sucks the air in the suction grooves formed on the suction surface 19 through the air pipe 86 .
  • FIG. 31 is a diagram of the suction surface 19 on the back surface 22 of the plate 20.
  • FIG. The adsorption surface 19 has a rectangular shape.
  • the adsorption surface 19 has the same size as the workpiece 900 .
  • the adsorption surface 19 adsorbs the entire upper surface of the workpiece 900 .
  • the suction surface 19 has suction grooves 28 .
  • the suction grooves 28 are formed on the entire surface of the suction surface 19 .
  • the outer peripheral groove of the suction groove 28 is formed parallel to the four sides of the suction surface 19 along the four sides.
  • the outer peripheral groove of the attraction surface 19 is formed continuously with the outer edge of the attraction surface 19 .
  • the suction groove 28 is connected to a suction port 29 formed in the side 23 . Air in the suction groove 28 is sucked from the suction port 29 through the air pipe 86 . The adsorption surface 19 continues to adsorb the entire surface of the workpiece 900 even when the plate 20 vibrates.
  • the suction surface 19 has a plurality of types of independent suction grooves 28 matching the shape of the workpiece and a plurality of suction ports 29 corresponding to the suction grooves 28 .
  • the suction surface 19 has the following three types of individual suction grooves 28 which are used corresponding to three types of sizes of the work 900 .
  • Outer groove outer rectangular frame-shaped suction groove 28
  • Inner groove Inner rectangular frame-shaped suction groove 28
  • Middle groove Suction groove 28 in the shape of a grid in the center
  • the plate 20 and the work 900 are of the same size, they are sucked by the outer, inner and middle grooves. If the size of the workpiece 900 is smaller than the outer circumference of the outer groove, the suction is performed by the inner groove and the middle groove. If the size of the workpiece 900 is smaller than the outer circumference of the inner groove, it is sucked only by the middle groove.
  • the controller 80 sucks the entire surface of the work 900 by using all the suction grooves 28 inside the work 900 regardless of the size of the work 900 .
  • the work holding device 910 has a plate 20 and a plurality of vibrators 41 and 42 that vibrate a plurality of locations on the outer circumference of the plate 20 from positions outside the plate 20 .
  • the work holding device 910 sets the vibrating directions of the plurality of vibrators 41 and 42 up and down with respect to the plate 20, fixes the plurality of vibrators 41 and 42 at positions outside the side 23 of the plate 20, It has a plurality of distributors 47 that transmit the vibrations of 41 and 42 to the plate 20 .
  • Work holding device 910 causes part 901 to jump.
  • a work holding device 910 holds a work 900 having an adhesive 902 applied to its lower surface.
  • the plate 20 of the work holding device 910 has a suction surface 19 for sucking the work 900 on its lower surface.
  • the plate 20 of the workpiece holding device 910 causes the workpiece 900 adsorbed on the adsorption surface 19 to vibrate in a standing wave and vibrate up and down.
  • the controller 80 of the workpiece holding device 910 vibrates the workpiece 900 after attaching the part 901 to the adhesive 902 .
  • Embodiment 3 In Embodiment 3, points different from Embodiments 1 and 2 will be described.
  • FIG. 32 is a diagram showing a screen printing apparatus 700 according to Embodiment 3.
  • the screen printing apparatus 700 has a table unit 710 , a screen plate unit 720 and a squeegee unit 730 .
  • the table unit 710 , the screen plate unit 720 and the squeegee unit 730 have the vibration unit 40 .
  • the base 10 is the housing of the screen printing device 700 .
  • FIG. 33 is a perspective view of the table unit 710 of the screen printer 700.
  • the table unit 710 is obtained by removing the frame 90 from the vertical vibration device 100 described in the first embodiment.
  • the table unit 710 has a print table 711 on which the work 900 is mounted.
  • the print table 711 corresponds to the plate 20 of the vertical vibration device 100 .
  • the printing table 711 has a suction surface 19 shown in FIG. As the print table 711 vibrates up and down, the workpiece 900 vibrates only up and down.
  • FIG. 34 is a perspective view of the screen printing unit 720 of the screen printing apparatus 700.
  • the screen plate unit 720 has a plate frame 721 and a screen 722 .
  • the screen frame 721 corresponds to the plate 20 of the vertical vibration device 100 .
  • Vibration units 40 are fixed on the left and right sides of the frame 721 . As the screen frame 721 vibrates up and down, the screen 722 vibrates only up and down.
  • the vibration absorbing portions 11 are fixed to four corners of the upper surface of the frame 721 .
  • the two bases 10 are fixed portions of the screen plate, and the upper portions of the four vibration absorbing portions 11 are fixed at four points on the bottom surface.
  • the printing frame 721 has four fixed shafts 13 on the upper surface at four corners.
  • Four fixed shafts 12 are provided at four locations on the bottom surface of two bases 10 .
  • the vibration absorbing portion 11 is a coupling member or joint member that connects the frame 721 and the base 10 .
  • the vibration absorbing portion 11 absorbs the vibration of the screen plate and prevents the vibration of the screen frame 721 from being transmitted to the base 10 .
  • the vibration absorbing portion 11 ensures free vibration of the frame 721 with respect to the base 10 .
  • FIG. 35 is a perspective view of the squeegee unit 730 of the screen printing apparatus 700.
  • the squeegee unit 730 has a squeegee 731 and a holder 732 .
  • a holder 732 corresponds to the plate 20 .
  • Vibration units 40 are fixed to the left and right upper surfaces of the holder 732 . As the holder 732 vibrates vertically, the squeegee 731 vibrates only vertically.
  • the vibration absorbing portion 11 is a coupling member or joint member that connects the rod 31 and the holder 732 .
  • the vibration absorbing portion 11 absorbs the vibration of the holder 732 and prevents the vibration of the holder 732 from being transmitted to the base 10 and the cylinder 30 .
  • the vibration absorbing portion 11 ensures free vibration of the holder 732 with respect to the base 10 and the cylinder 30 .
  • the screen printing apparatus 700 may have at least one of the table unit 710, the screen plate unit 720, and the squeegee unit 730 described above.
  • Screen printing apparatus 700 is characterized in that vertical vibration apparatus 100 of Embodiment 1 is used for at least one of table unit 710, screen unit 720, and squeegee unit 730.
  • FIG. 1 illustrates that vertical vibration apparatus 100 of Embodiment 1 is used for at least one of table unit 710, screen unit 720, and squeegee unit 730.

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Abstract

上下振動装置（１００）は、ベース（１０）と、プレート（２０）と、前記ベース（１０）と前記プレート（２０）の間に取り付けられ、振動を吸収する振動吸収部（１１）と、前記プレート（２０）の外周の複数個所を前記プレート（２０）の外側の位置から振動させる複数のバイブレータ（４１、４２）と、前記複数のバイブレータ（４１、４２）の振動方向を前記プレート（２０）に対して上下にして、前記複数のバイブレータ（４１、４２）を前記プレート（２０）のサイド（２３）から離れた外側の位置に固定し、前記複数のバイブレータ（４１、４２）の振動を前記プレート（２０）に伝える複数のディストリビュータ（４７）とを備え、部品（９０１）をジャンプさせる。

Description

上下振動装置、上下振動方法、部品供給装置、部品供給方法、及び、スクリーン印刷装置
　本発明は、上下振動装置、上下振動方法、部品供給装置、部品供給方法、及び、スクリーン印刷装置に関するものである。
　従来から、部品をジャンプさせて部品を供給する部品供給装置が存在する。
特開平０７－１５３７６５号公報 特開平０９－２７５１０９号公報 国際公開第２０１９／１３０９５１号パンフレット
　従来の部品供給装置は、上下振動が不安定であり、部品のジャンプが均一でないため部品を安定して供給することができない。
　本発明の実施の形態は、上下振動が安定した上下振動装置を提供する。
　本発明の上下振動装置は、
　ベースと、
　プレートと、
　前記ベースと前記プレートの間に取り付けられ、振動を吸収する振動吸収部と、
　前記プレートの外周の複数個所を前記プレートの外側の位置から振動させる複数のバイブレータと、
　前記複数のバイブレータの振動方向を前記プレートに対して上下にして、前記複数のバイブレータを前記プレートのサイドから離れた外側の位置に固定し、前記複数のバイブレータの振動を前記プレートに伝える複数のディストリビュータと
を備えた。
　本発明によれば、プレートの上下振動が均一になる。
実施の形態１の上下振動装置１００の斜視図である。 実施の形態１の上下振動装置１００の正面図である。 実施の形態１の上下振動装置１００の側面図である。 定常波振動の説明図である。 実施の形態１の定常波振動とたわみの説明図である。 実施の形態１の上下振動としなりの説明図である。 実施の形態１の上下振動の説明図である。 実施の形態１のワーク９００を示す図である。 実施の形態１の上下振動方法と部品供給方法を示す図である。 実施の形態１の上下振動方法と部品供給方法を示す図である。 実施の形態１の上下振動方法と部品供給方法を示す図である。 実施の形態１のワーク９００と部品９０１を示す図である。 実施の形態１のプレート２０の実施例を示す図である。 実施の形態１の枠９０の変形例を示す図である。 実施の形態１のプレート２０の変形例を示す図である。 実施の形態１の振動吸収部１１の配置の変形例を示す図である。 実施の形態１の底板９２を示す図である。 実施の形態１の枠９０と底板９２を示す図である。 実施の形態１の枠９０と底板９２の変形例を示す図である。 実施の形態１のプレート２０の変形例を示す図である。 実施の形態１の枠９０と底板９２の変形例を示す図である。 実施の形態１の枠９０と底板９２の変形例を示す図である。 実施の形態１のディストリビュータ４７の変形例を示す図である。 実施の形態１のディストリビュータ４７の変形例を示す図である。 実施の形態１の上下振動装置１００の変形例を示す図である。 実施の形態１の上下振動装置１００の変形例を示す図である。 実施の形態１のプレート２０の変形例を示す図である。 実施の形態２のワーク保持装置９１０の斜視図である。 実施の形態２のワーク保持装置９１０の正面図である。 実施の形態２のワーク保持装置９１０の側面図である。 実施の形態２のプレート２０の吸着面１９を示す図である。 実施の形態３のスクリーン印刷装置７００の正面図である。 実施の形態３のスクリーン印刷装置７００のテーブルユニット７１０の斜視図である。 実施の形態３のスクリーン印刷装置７００のスクリーン版ユニット７２０の斜視図である。 実施の形態３のスクリーン印刷装置７００のスキージユニット７３０の斜視図である。
　実施の形態１では、上下振動装置１００を説明する。
　さらに、実施の形態１では、部品供給装置２００を説明する。
　実施の形態１．
　図１は、実施の形態１の上下振動装置１００と部品供給装置２００の斜視図である。
　図２は、実施の形態１の上下振動装置１００と部品供給装置２００の正面図である。
　図３は、実施の形態１の上下振動装置１００と部品供給装置２００の側面図である。
　図において、Ｘは左右方向を示している。
　図において、Ｙは前後方向を示している。
　図において、Ｚは上下方向を示している。
＜＜＜上下振動装置１００の構成＞＞＞
　上下振動装置１００は、ベース１０とプレート２０と枠９０とバイブレーションユニット４０とコントローラ８０とを有する。
　上下振動装置１００は、ＹＺ平面においてプレート２０を上下振動させ、ＸＺ平面においてプレート２０を上下に定常波振動させる。
＜＜＜部品供給装置２００の構成＞＞＞
　部品供給装置２００は、上下振動装置１００と、ワーク９００を保持するワーク保持装置９１０とを有する。
　部品供給装置２００は、部品９０１をジャンプさせて、ワーク９００に対して部品９０１を供給する装置である。
＜＜＜ベース１０の説明＞＞＞
　ベース１０は、矩形の板形状をしている。
　ベース１０は、水平面を有する金属製の平板である。
　ベース１０は、上下振動装置１００の基台である。
　ベース１０は、上下振動装置１００の筐体の一部であり振動しない。
＜＜＜プレート２０の説明＞＞＞
　プレート２０は、矩形の板形状をしている。
　プレート２０は、音波を通しやすい素材であることが望ましく、金属が好適である。
　プレート２０の材質は、アルミニウム、チタン、又は、ステンレス鋼であることが望ましい。
　プレート２０の材質は、アルミニウム、チタンが好適であり、アルミニウムが最良である。
　プレート２０は、矩形であることが望ましく、正方形が好適である。
　プレート２０は、上面にある表面２１と、底面にある裏面２２と、側面にある４個のサイド２３（側面）とを有する。
　表面２１と裏面２２とは、同一形状の平行な矩形平面である。
　サイド２３は、プレート２０の表面２１と裏面２２との間にある面である。
　サイド２３は、プレート２０の表面２１と裏面２２とに対して直交する平面である。
　プレート２０は、表面２１の周囲にネジ２５を固定する複数のネジ穴を有する。
　ネジ穴は、プレート２０の左右辺の中央に、計４個設けられている。
　以下、ネジ穴の位置を固定箇所２４という。
＜＜＜振動吸収部１１の説明＞＞＞
　図２と図３に示すように、上下振動装置１００は、４個の振動吸収部１１を有する。
　ベース１０の上面のコーナー４か所には、４個の振動吸収部１１の下部が固定されている。
　プレート２０の裏面２２のコーナー４か所には、４個の振動吸収部１１の上部が固定されている。
　ベース１０は、コーナー４か所の上面に４本の固定軸１２を有する。
　プレート２０は、コーナー４か所の裏面２２に４本の固定軸１３を有する。
　振動吸収部１１は、固定軸１２と固定軸１３とを固定する。
　振動吸収部１１の具体例は、プレート２０とベース１０とつなぐカップリング部材又はジョイント部材である。
　振動吸収部１１は、プレート２０の振動を吸収するものであり、プレート２０の振動をベース１０に伝えないようにするものである。
　振動吸収部１１は、ベース１０に対してプレート２０の自由振動を保証するものである。
　振動吸収部１１は、ベース１０に対して、プレート２０を振動可能に載せているものである。
　理想的な振動吸収部１１は、プレート２０の振動に対して何ら抗力を発生しない。
　振動吸収部１１と固定軸１２と固定軸１３との中心を通る垂直軸の左右方向の位置は、ネジ２５（固定箇所２４）の位置と同じである。
　振動吸収部１１の好適な例は、三木プーリー株式会社製のカップリング（軸継手）である。
　上下振動装置１００は、カップリング（軸継手）が有する伝達機能を使用しない。
　上下振動装置１００は、カップリング（軸継手）が有する取付誤差許容機能と振動吸収機能とを使用する。
　上下振動を吸収するためには、取付誤差許容機能の中で、偏心（平行変位）、偏角（角度変位）よりもエンドプレイ（軸方向変位）を大きく許容するカップリング（軸継手）を使用することが望ましい。
　カップリング（軸継手）には、固定軸１２と固定軸１３の軸心違いを吸収せずエンドプレイ（軸方向変位）のみを吸収する超高剛性のリジッドカップリングと、固定軸１２と固定軸１３の軸心違いとエンドプレイ（軸方向変位）とを吸収するフレキシブルカップリングとがある。
　フレキシブルカップリングよりも、リジッドカップリングを用いることにより、前後左右への振動を抑制することができ、プレート２０を上下方向のみに振動させることができる。
　振動吸収部１１は、以下の機能を有する。
１．上下振動の吸収
（１）プレート２０の上下振動をすべて吸収する場合、自由振動を提供する。
「振動吸収部１１の上下吸収幅＞プレート２０の最大振動幅→自由な振動」
（２）プレート２０の上下振動をすべて吸収しない場合、プレート２０の４か所における振動幅を振動吸収部１１の上下吸収幅に規制する。よって４か所における振動幅にばらつきがなくなり振動幅が均一になる。
「振動吸収部１１の上下吸収幅＜プレート２０の最大振動幅→規制された振動」
２．固定軸１２と固定軸１３の軸心違いを吸収する（寸法誤差と組立誤差の吸収）。
３．プレート２０が変形せずに振動する場合、プレート２０は少なくとも振動吸収部１１の吸収幅だけは上下に振動する。
＜＜＜枠９０の説明＞＞＞
　枠９０は、プレート２０の表面２１に固定された囲い柵又は囲い壁である。
　枠９０は、平面視で正方形又は矩形をしている。
　枠９０は、４辺すべて全長に渡り、プレート２０の表面２１に固定されている。
　枠９０は、底板がない。
　枠９０は、底面９５にプレート２０の表面２１を露出させている。
　枠９０は、４個の６面体からなる棒状又は板状の壁板で形成されている。
　図２に示すように、枠９０の壁板は、前後方向と左右方向において、プレート２０の外周にあるサイド２３から長さＷだけ離れてプレート２０の内側に設けられている。
　図２に示すように、枠９０の壁板は、左右方向において、ネジ２５（固定箇所２４）の位置よりも内側にある。
＜＜＜部品溜め９１の説明＞＞＞
　部品溜め９１は、枠９０の内面とプレート２０の表面２１とで形成される。
　部品溜め９１は、上面が解放された六面体の空間である。
　部品溜め９１は、部品９０１を複数溜める場所である。
　部品溜め９１は、部品９０１をジャンプさせる場所である。
＜＜＜部品９０１の説明＞＞＞
　部品９０１は、部品溜め９１に多数ランダムに溜められる。
　部品９０１は、プレート２０が上下のみに振動することにより、部品溜め９１で上下方向のみに跳躍する。
　部品９０１は、球状、粒状、又は、粉上をしている。
　部品９０１の好適な例は、半田ボール又は金属球である。
＜＜＜バイブレーションユニット４０の説明＞＞＞
　バイブレーションユニット４０は、プレート２０の左右辺の中央に対向して固定されている。
　バイブレーションユニット４０は、バイブレータ４１とディストリビュータ４７とを有する。
　バイブレーションユニット４０は、プレート２０の対向するサイドを上下に振動させる。
　バイブレーションユニット４０は、ネジ２５ある固定箇所２４を上下に振動させる。
　複数のバイブレータは、プレート２０の外周の複数個所を振動させ、プレート２０を表面２１（水平面）に対して上下に振動させる。
　複数のバイブレータは、プレート２０の複数のサイド２３を同一周波数にて振動させる。
　複数のバイブレータは、プレート２０の外周の複数個所に、同時に、同じ周波数、同じ波長、かつ、同じ振幅の進行波６０を発生させ、プレート２０を定常波で振動させ、かつ上下振動させる。
＜＜＜バイブレータ４１，４２の説明＞＞＞
　上下振動装置１００は、バイブレータ４１とバイブレータ４２との２個のバイブレータを有する。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２との２個のバイブレータは、仕様が同じバイブレータである。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２との２個のバイブレータは、エアプレッシャーにより駆動するバイブレータである。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２との２個のバイブレータは、プレート２０の対向する位置に固定された１対のバイブレータである。
　エアプレッシャーにより駆動するバイブレータとして、以下のバイブレータを用いることができる。
　（１）タービンバイブレータ
　（２）ローラバイブレータ
　（３）ボールバイブレータ
　（４）ピストンバイブレータ
　前記（１）、（２）、（３）のバイブレータは、騒音が少なく、高速で動作できる。
特に、動作が安定しているタービンバイブレータが最適である。
　ピストンバイブレータは、騒音が大きく、動作が遅いという課題がある。
＜＜＜ディストリビュータ４７の説明＞＞＞
　バイブレーションユニット４０は、ディストリビュータ４７を有する。
　ディストリビュータ４７は、バイブレータの振動をプレート２０に伝える振動伝播板である。
　ディストリビュータ４７は、複数のバイブレータの各バイブレータをプレート２０に固定する。
　ディストリビュータ４７は、プレート２０の外側からプレート２０にバイブレータの振動を伝える。
　ディストリビュータ４７は、プレート２０のネジ穴に挿入されたネジ２５によりベース１０に固定される。
　ディストリビュータ４７は、プレート２０の周囲に設けられた固定箇所２４においてプレート２０に固定されている。
　ディストリビュータ４７は、バイブレータ４１とバイブレータ４２との振動をプレート２０のサイド２３に伝達する。
　ディストリビュータ４７は、バイブレータ４１とバイブレータ４２とをプレート２０のサイド２３に固定する。
　ディストリビュータ４７は、Ｌ字型に折り曲げられた金具である。
　ディストリビュータ４７は、水平部４８と垂直部４９とを有する。
　水平部４８と垂直部４９との前後方向の幅は同じである。
　水平部４８は、表面２１と平行に取り付けられた板である。
　水平部４８は、プレート２０に固定されている。
　水平部４８は、垂直部４９の振動をプレート２０に伝達する。
　水平部４８は、ネジ２５によりプレート２０の固定箇所２４（ネジ穴）に固定される。
　図２に示すように、水平部４８は、プレート２０の外周にあるサイド２３から長さＱだけ離れてプレート２０の外側に突出している。
　プレート２０は、ディストリビュータ４７を固定した固定箇所２４（ネジ穴）を有する。
　垂直部４９は、表面２１（水平面）と直交する板である。
　垂直部４９は、バイブレータを上下に固定する。
　垂直部４９は、プレート２０から離れてプレート２０の外側に配置されている。
　垂直部４９は、バイブレータ４１又はバイブレータ４２の底面を固定している。
　垂直部４９は、バイブレータ４１とバイブレータ４２の回転が互いに逆転するようにバイブレータ４１とバイブレータ４２を固定している。
　図２では、バイブレータ４１は時計回りに回転し、バイブレータ４２は反時計回りに回転する。
　水平部４８と垂直部４９との前後方向の幅は同じでなくてもよい。
　水平部４８の前後方向の幅は、垂直部４９の前後方向の幅の２倍超１０倍未満がよく、５倍が望ましい。
　水平部４８の前後方向の幅は、プレート２０の前後方向の幅の２分の１より小さく８分の１より大きな前後幅を有し、５分の１が望ましい。
　水平部４８の幅を大きくすることにより、バイブレータ４１並びにバイブレータ４２の振動をプレート２０のサイド２３の広い範囲に伝達する。
　左右両サイドの複数のディストリビュータ４７は、複数のバイブレータ４１，４２をプレート２０の対向する左右のサイド２３から離れた外側の位置に配置する。
　左右両サイドの複数のディストリビュータ４７は、複数のバイブレータ４１，４２の振動方向をプレート２０の表面２１に対して垂直にして、複数のバイブレータ４１，４２を固定する。
＜＜＜左右方向の振動の説明＞＞＞
　バイブレータは、振動面において３６０度方向に振動する。
　図２に示すように、バイブレータ４１とバイブレータ４２との左右方向の振動パワーは同時に、同じ大きさで、かつ、反対向きに発生するので、互いに打ち消しあう。その結果、プレート２０の左右方向への振動は発生しない。
　バイブレータ４１の左方向への力（－Ｐｘ）＝バイブレータ４２の右方向への力（＋Ｐｘ）
　バイブレータ４１の右方向への力（＋Ｐｘ）＝バイブレータ４２の左方向への力（－Ｐｘ）
＜＜＜上下方向の振動の説明＞＞＞
　図３に示すように、バイブレータは、垂直部４９において、水平に対して直交して固定される。
　バイブレータは、回転中心軸Ｊを有する振動面を有し、バイブレータは、振動面において３６０度方向に振動する。
　図３において、バイブレータの振動面は、回転中心軸Ｊと直交した面であり、鉛直方向の面である。
　図３に示すように、バイブレータ４１とバイブレータ４２との振動面は、表面２１（裏面２２）に対して直交してディストリビュータ４７に取り付けられている。
　バイブレータ４２の振動は、水平方向に対して直交する上下方向（Ｚ方向）のみに発生する。
＜＜＜コントローラ８０の説明＞＞＞
　コントローラ８０は、バイブレータ４１、４２の振動を制御する。
　コントローラ８０は、バイブレータを１０Ｈｚ以上８００Ｈｚ以下の周波数で振動させる。
　コントローラ８０は、複数のバイブレータを、同時に、同じ周波数、同じ波長、かつ、同じ振幅で振動させる。
　コントローラ８０は、エアコンプレッサ８１とエアパイプ８２とレギュレータ８３とプロセッサ８４とを有する。
　エアコンプレッサ８１は、圧縮エアを生成する。
　エアパイプ８２は、エアコンプレッサ８１に接続されており、圧縮エアを流す。
　エアパイプ８２は、途中でＹ字状に分岐してバイブレータ４１とバイブレータ４２とに接続されている。
　レギュレータ８３は、圧縮エアの圧力を制御する制御デバイスである。
　レギュレータ８３は、圧縮エアの圧力を制御することにより、バイブレータ４１とバイブレータ４２との振動周波数を決定する。
　プロセッサ８４は、中央処理装置とプログラムとを有する。
　プロセッサ８４は、インテグレーテッドサーキット、サーキットボード等で実現することができる。
　プロセッサ８４は、信号線８８を介して上下振動装置１００の動作を制御する。
　プロセッサ８４は、エアコンプレッサ８１に接続され、エアコンプレッサ８１のオンオフ動作及び動作時間を制御する。
＜＜＜振動の説明＞＞＞
　上下振動装置１００における上下振動方法を説明する。
＜初期設定ステップ＞
　作業員は、上下振動装置１００の電源スイッチを入れる。
　作業員は、圧縮エアの圧力と、バイブレータ４１並びにバイブレータ４２の振動周波数との対応表を有している。
　作業員は、対応表を参照して、レギュレータ８３により、バイブレータ４１並びにバイブレータ４２の振動周波数に対応した圧縮エアの圧力を設定する。
　作業員は、１０Ｈｚ以上８００Ｈｚ以下のいずれかの可聴域周波数に対応した圧力を設定する。
＜進行波発生ステップ＞
　エアパイプ８２は、Ｙ字状に分岐してバイブレータ４１とバイブレータ４２とに接続されているから、バイブレータ４１とバイブレータ４２とに同一圧のエアが供給される。その結果、バイブレータ４１とバイブレータ４２とは、同一周波数で振動する。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２の振動周波数は、可聴域周波数が好適である。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２は、プレート２０の左右のサイド２３に固定されており、プレート２０の左右のサイド２３に正弦波の進行波６０を与える。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２は、進行波６０を同時に同じ振幅、同じ波長、かつ、同じ周波数にて発生させる。
＜同期化ステップ＞
　仮に、バイブレータ４１とバイブレータ４２との位相がずれた非同期状態で振動が開始されても、同期現象によりバイブレータ４１とバイブレータ４２との位相は短時間で一致し、バイブレータ４１とバイブレータ４２との振動は同期状態となる。
＜振動ステップ＞
　進行波６０を同時に同じ振幅、同じ波長、かつ、同じ周波数にて、逆向きに発生させると、プレート２０では左右からの進行波６０が重なり合って定常波が発生する。
　定常波とは、時間が経っても位置が移動しない波のことである。
　プレート２０は定常波によりバイブレータ４１とバイブレータ４２と同じ振動周波数で上下に振動する。
　プレート２０は定常波によりバイブレータ４１とバイブレータ４２と同じ振動周波数で上下に振動する。
＜＜＜定常波振動の説明＞＞＞
　以下、図４を用いて、定常波振動による上下振動を説明する。
　前述したとおり、定常波によりＺ方向のみの振動が発生する。
　Ｚ方向の振動は、上下方向の振動であり、Ｚ方向の振動により、プレート２０が上下に振動する。
　図４は、プレート２０を前方向から見た上下振動の模式図である。
　図４では、定常波振動をわかりやすく説明するため、支点２６の上下位置は固定されており、支点２６は上下に振動しないものとする。
　プレート２０は、固定箇所２４（ネジ穴）を支点２６として振動する。
　図４において、支点２６は、プレート２０の上下方向の中心でありかつ固定箇所２４の中心である点をいう。
（ａ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドに下向きの力がかかると、支点２６を介して、プレート２０の中央に上向きの力が発生する。
（ｂ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドにさらに大きな下向きの力がかかると、プレート２０の中央が上昇する。
（ｃ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによるプレート２０の左右両方のサイドの下向きの力が弱くなると、プレート２０の中央が下降する。
（ｄ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドに上向きの力がかかると、支点２６を介して、プレート２０の中央が下向きの力が発生する。
（ｅ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドにさらに大きな上向きの力がかかると、プレート２０の中央が下降する。
（ｆ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによるプレート２０の左右両方のサイドの上向きの力が弱くなると、プレート２０の中央が上昇する。
＜羽ばたき現象＞
　（ａ）から（ｆ）を１サイクルとして、（ａ）から（ｆ）の動作が繰り返されることで、プレート２０は、バイブレータ４１とバイブレータ４２の振動周波数と同じ周波数で上下に振動する。
　プレート２０は、支点２６間の左右で羽ばたいているように振動するので、この現象を以下、羽ばたき現象という。また、この振動を定常波振動という。
　羽ばたき現象とは、プレート２０の左右のサイドに固定したバイブレータにエアを供給することによりプレート２０が支点２６間を中心にして上下に振動する現象である。
　羽ばたき現象を起こしやすくするためには、バイブレータ４１及びバイブレータ４２の固定位置中央（回転中心軸Ｊの中央）と２個の固定箇所２４の位置とが直線上にあることが望ましい。すなわち、複数のバイブレータの固定位置中央（回転中心軸Ｊの中央）はプレート２０のそれぞれ対向する辺の対向する固定箇所２４を結んだ線の延長線に存在することが望ましい。
　バイブレータ４１及びバイブレータ４２の固定位置と２個の固定箇所２４の位置とが直線上になくずれた位置にあっても、プレート２０がベース１０に確実に固定されていれば、羽ばたき現象は発生する。
　プレート２０の厚みが増すと羽ばたき現象を妨げる可能性があるので、プレート２０の厚さは薄い方がよい。プレート２０の厚みは、固定箇所２４のネジ穴の直径よりは大きくかつ固定箇所２４のネジ穴の直径の２倍未満が望ましい。
＜＜＜上下振動と羽ばたき振動の説明＞＞＞
　図５を用いて、上下振動装置１００の上下振動としなり振動を説明する。
　図４では、定常波振動を説明するため、支点２６の上下位置は固定されており、支点２６は上下に振動しないものとしたが、図５のプレート２０は、支点２６の位置は固定されておらず、支点２６は上下に振動する。
　点Ｅは、支点２６の最上点である。
　点Ｃは、支点２６の最下点である。
　点Ｆと点Ｄは、最上点Ｅと最下点Ｃとの中間点である。
　図５を用いて、上下振動装置１００の上下振動を説明する。
　図５は、プレート２０の前後中央の羽ばたき振動の図である。
　図５は、図６のＬ－Ｌから見た振動図である。
（ａ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とに上下の力がかかっていない状態では、プレート２０は平面状態であり、位置Ｈにある。
（ｂ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドに下向きの力がかかると、プレート２０の中央が上昇するとともに、支点２６が下がりプレート２０全体が位置Ｈから下降する。
（ｃ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とに上下の力がかかっていない状態では、上記（ａ）と同じ状態になる。
（ｄ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドに上向きの力がかかると、プレート２０の中央が下降するとともに、支点２６が上がりプレート２０全体が位置Ｈから上昇する。
　支点２６の位置は固定されておらず、プレート２０が上下に自由振動するので、支点２６は上下に長さＵｚだけ振動する。
　プレート２０は、ＸＺ平面において、全体が上下に振動するとともに、ＸＺ平面において、左右中央が上下に湾曲する定常波振動をする。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２とは、プレート２０の前後中央の左右中央（プレート２０の中心）の上下振動距離Ｍｚが正の値をとるようにプレート２０を上下方向に振動させる。
　「プレート２０の前後中央の左右中央（プレート２０の中心）の上下振動距離Ｍｚ
＜プレート２０の前後中央の左右両端（支点２６）の上下振動距離Ｕｚ」
　バイブレータ４１とバイブレータ４２とは、プレート２０の中心の上下振動距離Ｍｚが正の値をとるようにプレート２０を上下方向に振動させる。
　図６を用いて、上下振動装置１００のしなり現象を説明する。
　図６は、プレート２０の左サイドから見た振動の図である。
　図６は、図５のＫ－Ｋから見た振動図である。
（ａ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とに上下の力がかかっていない状態では、プレート２０は平面状態であり、位置Ｈにある。
（ｂ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドに下向きの力がかかると、プレート２０全体が位置Ｈから下降するとともに、前後両端が下にしなることにより両端がさらに下がる。
（ｃ）プレート２０が上昇し始めると、しなりが戻り始める。
（ｄ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とに上下の力がかかっていない状態では、上記（ａ）と同じ状態になる。すなわち、しなりがなくなり、プレート２０は、位置Ｈにあり、平面状態に戻る。
（ｅ）バイブレータ４１とバイブレータ４２とによりプレート２０の左右両方のサイドに上向きの力がかかると、プレート２０全体が位置Ｈから上昇するとともに、前後両端が上にしなることにより両端がさらに上がる。
（ｆ）プレート２０が下降し始めると、しなりが戻り始める。
　支点２６の位置は固定されておらず、プレート２０が自由振動するので、支点２６は上下に長さＵｚだけ振動する。
　プレート２０は、ＹＺ平面において、全体が上下に振動するとともに、ＹＺ平面において、前後両端が上下にたわみプレート２０が湾曲するしなり現象を発生する。
　「プレート２０の前後左右中央（プレート２０の中心）の上下振動距離Ｍｚ
＜プレート２０の前後中央の左右両端（支点２６）の上下振動距離Ｕｚ＜プレート２０の前後両端の左右両端（プレート２０の角）の上下振動距離Ｎｚ」
　複数のバイブレータ４１，４２は、羽ばたき振動としなり振動とにより、プレート２０の中央部分よりもプレート２０の前後左右の端部を激しく振動させる。
＜部品溜め９１の上下振動＞
　以下、図７を用いて、上下振動装置１００による上下振動方法を説明する。
　枠９０の内側にある部品溜め９１の幅Ｊは、支点２６と支点２６との距離Ｓよりも短い。
　枠９０の内側にある部品溜め９１の幅Ｊは、プレート２０の左のサイド２３と右のサイド２３との左右幅Ｔよりも短い。
　部品溜め９１の幅Ｊはプレート２０の左右幅Ｔの５０％から９０％が好ましく、プレート２０の有効利用の点からは８０％から９０％が好適である。
　図７に示すように、支点２６は上下振動距離Ｕｚだけ上下振動をする。
　プレート２０の上下方向へのたわみをＥとする。
　支点２６の上下振動距離Ｕｚは、振動吸収部１１により吸収される。
　支点２６は、振動吸収部１１の吸収が許容できる範囲で上下に振動する。
　上下振動距離Ｕｚは、羽ばたき現象によるプレート２０の自由振動時の振幅値と、振動吸収部１１のエンドプレイ（軸方向変位）の許容値との小さい方の値である。
　図７に示すように、支点２６は固定箇所なので、プレート２０の支点２６すなわちサイド２３の近傍はプレート２０のたわみは大きい。
　逆に、プレート２０の中央部分は、プレート２０の支点２６及びサイド２３の近傍と比べてプレート２０のたわみが小さい。
　プレート２０の中央部分は、上下方向の振動幅がほぼ均等になる部分であり、プレート２０の左右端部よりもプレート２０のたわみは小さい。
　上下振動装置１００は、部品溜め９１をプレート２０の中央部分に配置している。
　上下振動装置１００は、部品溜め９１のサイズをプレート２０のサイズよりも小さくしている。
　部品溜め９１の幅Ｊとプレート２０の左右幅Ｔとの比は、均一ジャンプのためには小さいほうが望ましい。
　上下振動装置１００は、部品９０１をプレート２０の中央部分でジャンプさせる。
　プレート２０の中央部分は、プレート２０のたわみが小さく、プレート２０の上下方向の振動幅がほぼ均等になる。
　部品溜め９１がプレート２０の上下方向の振動幅がほぼ均等になる範囲に搭載されているので、部品溜め９１にある部品９０１が均等にジャンプする。
　図４と図５と図６に示すように、プレート２０の中央部分に枠９０が固定されているため、枠９０の内側にあるプレート２０は、湾曲しないか、あるいは、湾曲することがほとんどない。
　羽ばたき振動としなり振動とにより湾曲するのは、プレート２０の周辺部分だけであり、枠９０の底面９５（プレート２０の中央部分）は湾曲せず平面のまま上下に振動する。
　枠９０は、部品溜め９１において底面９５（プレート２０の中央部分）を湾曲させない機能を有する。
　仮にプレート２０が全くたわまない場合（たわみＥ＝０）でも、プレート２０は上下方向に少なくとも上下振動距離Ｕｚだけは振動するので、部品９０１はジャンプする。
＜＜＜定常波振動の具体例＞＞＞
　以下、定常波振動の具体例について説明する。
　プレート２０として、１辺が約０．５ｍの正方形のアルミニウム板を使用する。
アルミニウムの音速Ｖを６３２０［ｍ／ｓ］とする。ただし、アルミニウムの温度は一定として温度による音速の変化は考えない。
　バイブレータ４１並びにバイブレータ４２として、以下の仕様のエクセン株式会社製のエアバイブレータを使用する。
　エア圧力が０．２以上０．６ＭＰａ以下のとき振動周波数ｆが１１９Ｈｚ以上４１４Ｈｚ以下のエアバイブレータが望ましい。あるいは、エア圧力が０．３以上０．６ＭＰａ以下のとき振動周波数ｆが１１０Ｈｚ以上２９０Ｈｚ以下のエアバイブレータが望ましい。
　ここでは、エア圧力が以下のとき振動周波数ｆが以下の値のエアバイブレータを使用するものとする。
　エア圧力が０．５ＭＰａのときの振動周波数ｆ：２１６．５Ｈｚ
　エア圧力が０．４ＭＰａのときの振動周波数ｆ：２０６．６Ｈｚ
　エア圧力が０．３ＭＰａのときの振動周波数ｆ：１７７．３Ｈｚ
　エア圧力が０．２ＭＰａのときの振動周波数ｆ：１３３．０Ｈｚ
　波長は以下の式で計算することができる。
　波長λ［ｍ］＝音速Ｖ［ｍ／ｓ］／振動周波数ｆ［Ｈｚ］
　進行波６０の波長を計算すると以下のとおりである。
　エア圧力が０．５ＭＰａのとき：
　波長λ［ｍ］＝６３２０［ｍ／ｓ］／２１６．５［Ｈｚ］＝２９．１９ｍ
　エア圧力が０．４ＭＰａのとき：
　波長λ［ｍ］＝６３２０［ｍ／ｓ］／２０６．６［Ｈｚ］＝３０．５９ｍ
　エア圧力が０．３ＭＰａのとき：
　波長λ［ｍ］＝６３２０［ｍ／ｓ］／１７７．３［Ｈｚ］＝３５．６５ｍ
　エア圧力が０．２ＭＰａのとき：
　波長λ［ｍ］＝６３２０［ｍ／ｓ］／１３３．０［Ｈｚ］＝４７．５２ｍ
　バイブレータ４１とバイブレータ４２より発生する進行波６０は、以下の式で表すことができる。
　Ｒ（ｘ，ｔ）＝Ａｘ・ｓｉｎ２π（（ｔ／Ｔ）－（ｘ／λ））
　Ｌ（ｘ，ｔ）＝Ａｘ・ｓｉｎ２π（（ｔ／Ｔ）＋（ｘ／λ））
　ｘ［ｍ］：プレートのＸ方向の場所
　ｔ［ｓ］：時刻
　Ｒ（ｘ，ｔ）：場所ｘ［ｍ］、時刻ｔ［ｓ］におけるＺ方向の進行波６０の変位［ｍ］
　Ｌ（ｘ，ｔ）：場所ｘ［ｍ］、時刻ｔ［ｓ］におけるＺ方向の進行波６０の変位［ｍ］
　Ａｘ：進行波６０の振幅［ｍ］
　Ｔ：進行波６０の周期［ｓ］
　λ：進行波６０の波長［ｍ］
　バイブレータ４１とバイブレータ４２から発生する進行波６０の重畳により生成される定常波７０は、以下の正弦定常波を表す式で表すことができる。
　ｚ（ｘ，ｔ）
　＝Ｒ（ｘ，ｔ）＋Ｌ（ｘ，ｔ）
　＝２Ａｘ・ｓｉｎ（２π（ｔ／Ｔ））・ｃｏｓ（２π（ｘ／λ））
　ｘ［ｍ］：プレートのＸ方向の場所
　ｔ［ｓ］：時刻
　ｚ（ｘ，ｔ）：場所ｘ［ｍ］、時刻ｔ［ｓ］における定常波７０のＺ方向の変位［ｍ］
　Ａｘ：進行波６０の振幅［ｍ］
　Ｔ：進行波６０の周期［ｓ］
　λ：進行波６０の波長［ｍ］
　ｃｏｓ（２π（ｘ／λ））は、定常波７０の振幅を示している。
　定常波７０の振幅が０の場所、すなわち、ｃｏｓ（２π（ｘ／λ））が０の場所ｘを「節」という。
　定常波７０の振幅が最大の場所、すなわち、ｃｏｓ（２π（ｘ／λ））の絶対値が１の場所ｘを「腹」という。
　プレート２０を上下に振動させるためには、支点２６の間で左右方向のいずれの場所ｘにおいても定常波の節を発生させないようにすればよい。
　定常波の節は半波長ごとに発生するから、支点２６間の距離を定常波の半波長未満とすれば、プレート２０の左右方向のいずれの場所ｘにおいても、定常波の節が存在しないようにすることができる。
　定常波７０の「節」の位置を固定箇所２４にして、その固定箇所２４を保持（ねじ止め）すれば、「節」が羽ばたきの支点となる。
　もし、支点２６間の距離が定常波の半波長より大きければ、プレート２０に節が発生してしまう。
　したがって、プレート２０の左右方向の固定箇所２４の距離は以下の長さ未満でなければならない。
　エア圧力が０．５ＭＰａのときの半波長：波長λ［ｍ］／２＝１４．５６ｍ
　エア圧力が０．４ＭＰａのときの半波長：波長λ［ｍ］／２＝１５．２９ｍ
　エア圧力が０．３ＭＰａのときの半波長：波長λ［ｍ］／２＝１７．８２ｍ
　エア圧力が０．２ＭＰａのときの半波長：波長λ［ｍ］／２＝２３．７６６ｍ
　以上のように、バイブレータ４１とバイブレータ４２とのエア圧力により、定常波の周波数と波長が決まり、プレート２０の最大長さが決定する。
　複数のバイブレータ４１、４２は、波長の半分の長さがプレートの左右のサイズより大きい進行波を発生させ、プレート２０に「節」が発生しない定常波で定常波振動させる。
＜＜＜まとめ＞＞＞
　本実施の形態の上下振動装置１００は、可聴域周波数振動源であるバイブレータ４１及びバイブレータ４２によりプレート２０の左右から進行波６０を同時に同じ振幅、同じ波長かつ同じ周波数にて発生させる。その結果、プレート２０では、逆向きの進行波の重畳により定常波が生成される。
　本実施の形態の上下振動装置１００の上下方向の振動生成過程は、可聴域周波数振動源からプレート２０に左右から進行波６０を同時に同じ周波数にてプレート２０に発生させる。プレート２０は定常波により振動するが、定常波の振動作用により、上下方向に振動する。進行波６０は、振動の上下成分の振動から発生するものであり、進行波６０を発生させるために上下振動する可聴域周波数振動源は、不要である。
　進行波６０は、振動の前後成分の振動からも発生するが、プレート２０の前後の長さが大きいため、プレート２０には前後方向の定常波振動は発生しない。
　上下振動装置１００は、コントローラ８０により、加振時に可聴域周波数を変更することができる。可聴域周波数とは１０Ｈｚ以上２００００Ｈｚ以下の範囲であるが、本実施の形態で使用する可聴域周波数は１０Ｈｚ以上８００Ｈｚ以下の範囲に設定している。
　バイブレーションユニット４０は、振動源として、ボイスコイルモータ式振動源、電磁式振動源、又は、圧電式振動源を有していてもよい。
　バイブレーションユニット４０は、必要とする周波数の範囲により、バイブレータ４１並びにバイブレータ４２等の振動源を、適宣、他の音波振動源であるボイスコイルモータ式振動源、電磁式振動源、又は、圧電式振動源等に交換することができる。
　コントローラ８０は、制御部品として、任意波形発生器、又は、バイポーラ電源を有していてもよい。コントローラ８０は、任意の周波数にて振動源を振動させるため、音波振動源に対応する制御部品として、任意波形発生器、又は、バイポーラ電源等に交換することができる。
　バイブレーションユニット４０は、プレート２０の対面する２辺の中央外側に取り付けたバイブレータをペアとしてプレート２０を上下に振動させる。
　バイブレーションユニット４０は、プレート２０の対面する２辺の中央外側に取り付けたペアのバイブレータにより進行波を同時に同じ振幅、同じ波長、かつ、同じ周波数にて発生させ、プレート２０を定常波で振動させる。
　本実施の形態の上下振動装置１００は、バイブレータ４１とバイブレータ４２とをプレート２０の外側に長さＱだけ離して固定している。
　平面視でバイブレータ４１とバイブレータ４２はプレート２０と重ならないようにしてもよい。
　本実施の形態の上下振動装置１００は、プレート２０の全体を均一に上下に振動させているものではない。
　本実施の形態の上下振動装置１００は、プレート２０の前後左右を振動が自由にできるフリー端にしている。
　プレート２０の左右中央部分が最も振幅が小さく、プレート２０の左右中央部分から左右方向の周辺に向かって振幅が増大する。
　左右方向の周辺に向かって振幅が増大する理由は、プレート２０の左右両端を固定していないこと、及び、プレート２０に定常波を発生させることによるものである。
　また、プレート２０の前後中央部分が最も振幅が小さく、プレート２０の前後中央部分から前後方向の周辺に向かって振幅が増大する。
　前後方向の周辺に向かって振幅が増大する理由は、プレート２０の前後両端を固定していないことによるものである。
　本実施の形態の上下振動装置１００は、バイブレータ４１とバイブレータ４２及び２個の固定箇所２４を直線上に配置している。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２の固定位置とは、２個の固定箇所２４の外側にある。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２の固定位置とは、２個の固定箇所２４の内側にはない。
　プレート２０は、２個の固定箇所２４（支点２６）の間を中心とする羽ばたき現象により、左右が上下に振動する。
　プレート２０は、２個の固定箇所２４（支点２６）を中心とするしなり現象により、前後が上下に振動する。
＜＜＜ワーク９００の説明＞＞＞
　図８のように、ワーク９００は、矩形の板である。
　ワーク９００は、電気回路が形成された平板の回路基板である。
　ワーク９００の表面には、複数の電極９０３が配列されて形成されている。
　ワーク９００の表面は、凹凸がない平面である。
　ワーク９００の電極９０３には、スクリーン印刷装置で導電性の粘着剤９０２が印刷されている。
　ワーク９００は、銅板、鉄板、アルミニウム板等の金属板、セラミック板、基板、樹脂板、又は、ガラス板等である。
　ワーク９００の好適な例は、プリント配線基板又は電気回路が形成済みの半導体ウェハである。ワーク９００は、部品９０１を配列するための配列板でもよい。
　導電性の粘着剤９０２の好適な例は、半田付け用のフラックス、半田ペースト、又は、導電性の接着剤である。
＜＜＜ワーク保持装置９１０の構成＞＞＞
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００を保持する装置である。
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００に部品９０１を取得する装置である。
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００の粘着剤９０２がある面を下にしてワーク９００を保持する。
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００を上から吸引して保持する。
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００を上下させるシリンダを有する。
シリンダは、ロッドを上下させ、プレート２０を上下方向に移動させる。
＜＜＜部品供給装置２００の部品供給方法の動作＞＞＞
　部品供給装置２００は、振動方向をプレート２０の表面２１に対して上下にして複数のバイブレータ４１，４２をプレート２０のサイド２３から離れた外側の位置に固定した複数のディストリビュータ４７により、複数のバイブレータ４１，４２の振動をプレート２０に伝え、プレート２０を振動させる。
＜ワーク搬送ステップ＞
　図９のように、ワーク保持装置９１０は、粘着剤９０２塗布された面を下にしてワーク９００を保持する。
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００を部品溜め９１に向けて下降させる。
　上下振動装置１００は、振動方向をプレート２０の表面２１に対して上下にして固定した複数のバイブレータ４１，４２により、プレート２０の外周の複数個所に、同時に、同じ周波数、同じ波長、かつ、同じ振幅の進行波６０を発生させ、プレート２０を上下振動させる。
＜部品供給ステップ＞
　図１０のように、ワーク保持装置９１０は、粘着剤９０２が下面に塗布されたワーク９００をプレート２０の上空に一定時間保持する。
　上下振動装置１００は、プレート２０の上で部品９０１をジャンプさせて部品９０１を粘着剤９０２に付着させ、部品９０１をワーク９００の下面に付着させる。
　部品９０１は、粘着剤９０２の粘着力にのみにより、付着する。
　部品供給装置２００は、部品９０１を磁力によりワーク９００に吸着させることがない。
　部品供給装置２００は、ワーク９００には部品９０１を吸引する吸引孔が無く、部品９０１を吸引力によりワーク９００に吸着させることがない。
　部品供給装置２００は、マスクを介して部品９０１を取得することがない。
＜ワーク搬出ステップ＞
　図１１のように、ワーク保持装置９１０は、一定時間経過後、ワーク９００を部品溜め９１から上昇させる。
　図１２のように、ワーク９００は、粘着剤９０２の粘着力のみで、部品９０１をワーク９００の下面に保持する。
　図１２の部品９０１ｘのように余分に付着した部品９０１は、図示していないリペア装置により取り除かれる。
　図１２の粘着剤９０２ｘのように部品９０１が付着しなかった粘着剤９０２には、図示していないリペア装置により部品９０１が供給される。
＜＜＜部品供給装置２００の特徴＞＞＞
　部品供給装置２００は、上下振動装置１００とワーク保持装置９１０とを有する。
　上下振動装置１００は、部品９０１をジャンプさせる。
　上下振動装置１００は、ベース１０と、プレート２０と、振動吸収部１１と、複数のバイブレータ４１，４２と、複数のディストリビュータ４７とを備える。
　上下振動装置１００は、プレート２０の上に固定された枠９０を有する。
　枠９０は、部品９０１を溜める部品溜め９１を形成する。
　平面視における部品溜め９１のサイズは、プレート２０のサイズよりも小さい。
　部品溜め９１の底面９５には凹凸が形成されている。
　振動吸収部１１は、ベース１０とプレート２０の間に取り付けられ、振動を吸収する。
　複数のバイブレータ４１，４２は、プレート２０の外周の複数個所をプレート２０の外側の位置から振動させる。
　複数のバイブレータ４１，４２は、プレート２０の外周の複数個所に、同時に、同じ周波数、同じ波長、かつ、同じ振幅の進行波６０を発生させ、プレートに取り付けられた振動吸収部により振動を吸収しながら、プレート２０を上下振動させる。
　複数のディストリビュータ４７は、複数のバイブレータ４１，４２の振動方向をプレート２０に対して上下にして、複数のバイブレータ４１，４２をプレート２０のサイド２３から離れた外側の位置に固定し、複数のバイブレータ４１，４２の振動をプレート２０に伝える。
　ワーク保持装置９１０は、粘着剤９０２が下面に塗布されたワーク９００を保持する。
　ワーク保持装置９１０は、部品９０１のジャンプの高さ未満の高さにワーク９００を位置決めする。
　上下振動装置１００は、部品９０１をジャンプさせて部品９０１を粘着剤９０２に当て、部品９０１をワーク９００の下面に付着させる。
＜＜＜比較＞＞＞
●比較例１
＜振動面を左右のサイド２３と平行に配置＞
　図１の構成において、バイブレータ４１、４２の振動面を左右のサイド２３の面と平行に配置した場合（垂直部４９と振動面とが平行である場合）は、プレート２０は、３６０度方向に振動し、上下振動のみの振動にならない。
●比較例２
＜裏面２２に直接取り付け、表面２１に直接取り付け＞
　プレート２０の裏面２２の直下にバイブレータを直接取り付ける場合、又は、プレート２０の表面２１の直上にバイブレータを直接取り付ける場合、プレート２０からバイブレータを離した場合に比べて、定常波振動が生じにくい。又は、定常波振動が生じない。
●比較例３
＜サイド２３に直接取り付け＞
　プレート２０のサイド２３にバイブレータをディストリビュータ４７なしで直接取り付ける場合、ディストリビュータ４７で振動を伝播する場合に比べて、羽ばたき現象が生じにくい。ディストリビュータ４７が、支点２６の外側で長さＱだけ離してバイブレータを取り付けているため、羽ばたき現象が確実に発生する。理論的には、長さＱが大きいほど、同じ振動パワーで大きな羽ばたき現象が発生する。
●比較例４
＜超音波振動子＞
　プレート２０を複数の超音波振動子で振動させた場合は、プレート２０に節のある上下振動が発生してしまいプレート２０を均一に上下振動させることができない。
　本実施の形態によれば、プレート２０が定常波により節のない上下振動をするので、プレート２０を均一に上下振動させることができる。
　振動周波数ｆが１１０Ｈｚ以上２９０Ｈｚ以下のエアバイブレータの場合、プレート２０の左右方向の固定箇所２４の距離は、１０ｍ～２５ｍ以内であればよく、十分大きなプレート２０を用いることができる。
　一方、振動周波数ｆが２００００Ｈｚ又は５００００Ｈｚの超音波で振動させる場合、プレート２０の左右方向の固定箇所２４の距離は、０．１５８ｍ未満又は０．０６３ｍ未満にしなければならない。０．１５８ｍ以上又は０．０６３ｍ以上ではプレート２０に節が生じプレート２０を均一に上下振動させることができない。
　半波長［ｍ］＝波長λ［ｍ］÷２＝音速Ｖ［ｍ／ｓ］／振動周波数ｆ［Ｈｚ］÷２
　半波長［ｍ］＝６３２０［ｍ／ｓ］／２００００［Ｈｚ］÷２＝０．１５８ｍ
　半波長［ｍ］＝６３２０［ｍ／ｓ］／５００００［Ｈｚ］÷２＝０．０６３２ｍ
　超音波振動子で振動させた場合、以下のような課題がある。
１．プレート２０の大型化ができない。
　プレート２０が小型になってしまう。
　プレート２０のサイズが１０ｘ１０ｃｍ程度しかできない。
２．節の制御ができない。プレート２０に節が発生し、プレート２０全体が同一振動しない。
３．プレート２０上の部品９０１が均等に振動しない。部品９０１の振動が節の部分で阻まれる。
４．価格が高価になる。
　バイブレーションユニット４０による定常波振動するプレート２０は、上記１，２，３，４の項目を解決する。
＜＜＜実施の形態１の効果＞＞＞
　本実施の形態によれば、１対のバイブレータ４２をプレート２０から離してプレート２０の外側の対向する位置に斜めに設置することにより、プレート２０に対して上下振動を発生させることができる。
　本実施の形態によれば、進行波６０を同時に同じ周波数にて発生させることで、定常波が生成され、プレート２０が上下方向に振動する。
　本実施の形態によれば、固定箇所２４を中心としてしなり現象が発生し、プレート２０の端部が上下方向にたわみ振動するが、枠９０の底面９５（プレート２０の中央部分）は湾曲せず平面のまま上下に振動するので、部品溜め９１にある部品９０１が均等にジャンプする。
＜＜＜振動測定例＞＞＞
　図１３は、上下振動装置１００の実施例による振動測定例である。
　（ａ）は、上下振動装置１００の実施例による構成と測定箇所を示している。
　（ｂ）は、上下振動装置１００の実施例による部材のサイズ・仕様を示している。実施例では、振動吸収部１１としてフレキシブルカップリングを用いている。
　測定箇所は以下のとおりである。
　部品溜め９１の内側１行目（中央行）５か所＝１，２，３，４，５
　部品溜め９１の内側２行目５か所（中央行と前行との中間）＝６，７，８，９，１０
　部品溜め９１の内側３行目５か所（前行）＝１１，１２，１３，１４，１５
　プレート２０の左側４か所＝１，２，３，４
　プレート２０の前側５か所＝５，６，７，８，９
　内側１５か所は、上下方向の振動を測定した。
　左側４か所は、左右方向の振動を測定した。
　前側５か所は、前後方向の振動を測定した。
　（ｃ）は、上下振動装置１００の実施例による測定箇所の測定結果を示している。
　バイブレータ４１，４２の両方を０．３ＭＰａ、０．４ＭＰａ、又は、０．５ＭＰａで振動させた場合、部品溜め９１の内側１～１５の上下方向の振動幅は、１３２～２１０μｍである。一方、プレート２０の左側と前側の水平方向の振動幅の最大値は、４～６μｍである。
　上下方向の振動幅は、水平方向の振動幅の３０倍以上ある。
　（ｄ）は、比較例であり、上下振動装置１００のバイブレータ４１のみを振動させ、バイブレータ４２を振動させない場合の測定結果を示している。
　バイブレータ４１のみ、０．４ＭＰａ、０．５ＭＰａで振動させた場合、部品溜め９１の内側１～１５の上下方向の振動幅は、５４～２００μｍである。一方、プレート２０の左側と前側の水平方向の振動幅の最大値は、９．６～３３μｍである。
　（ｅ）は、内側の１，２，３行目の測定箇所の測定結果を示している。
　０．３ＭＰａで振動させた場合、部品溜め９１の内側の１，２，３行目の上下方向の振動幅は、いずれもほぼ１３０～１７０μｍであり、各行の上下方向の振動幅はほぼ同じである。
　０．４ＭＰａで振動させた場合、部品溜め９１の内側の１，２，３行目の上下方向の振動幅は、いずれもほぼ１５０～１９０μｍであり、各行の上下方向の振動幅はほぼ同じである。
　０．５ＭＰａで振動させた場合、部品溜め９１の内側の１，２，３行目の上下方向の振動幅は、いずれもほぼ１５０～２１０μｍであり、各行の上下方向の振動幅はほぼ同じである。
＜＜＜変更例＞＞＞
●変更例１．
＜枠９０とプレート２０のサイズが同一＞
　図１４は、平面視で図１の枠９０のサイズをプレート２０のサイズと同一にしたものである。
　プレート２０と枠９０とは、一体成型されている。
　プレート２０と枠９０とにより、蓋のない箱型を呈している。
　枠９０のサイズをプレート２０のサイズと同一にした場合でも、枠９０がプレート２０のたわみを防ぐことにより羽ばたき振動が抑制され、底面９５が水平面を保ちながら上下振動をする。
●変更例２．
＜プレート２０が長方形＞
　図１５は、図１の上下振動装置１００のプレート２０の形状を正方形から長方形に変えたものである。
　プレート２０の短辺の長さは、枠９０の前後方向の長さと同じである。
　したがって、しなり振動は減少する。
　プレート２０の長辺の長さは、枠９０の左右方向の長さより長い。
　プレート２０の左右方向の長さが枠９０の左右方向の長さより長ければ、羽ばたき振動が発生する。
●変更例３．
＜振動吸収部１１の位置＞
　図１６は、図１５の上下振動装置１００の振動吸収部１１の位置をプレート２０のコーナーから枠９０のコーナーの下に変えたものである。
　振動吸収部１１の位置をプレート２０のコーナーから枠９０のコーナーの下に変えたので、プレート２０の端部の振動が完全に自由になり、振動吸収部１１に拘束されない羽ばたき振動が発生する。
　図１の上下振動装置１００の振動吸収部１１の位置をプレート２０のコーナーから枠９０のコーナーの下に変えてもよい。プレート２０の端部の振動が完全に自由になり、振動吸収部１１に拘束されない羽ばたき振動としない振動が発生する。
●変更例４．
＜部品溜め９１の底面９５に凹凸＞
　図１７のように、部品溜め９１の底に、表面の凹凸を有する底板９２をプレート２０に固定してもよい。
　底板９２は、矩形の金属板又は樹脂板である。
　底板９２は、プレート２０の表面２１に全面が固定されている。
　底板９２の凹凸は、サンドブラスト、又は、エッチングにより形成する。
　底板９２の凹凸は、部品９０１が底面で滑ることを防ぎ、部品９０１の斜め方向への跳躍を防止する。
　底板９２の凹凸は、部品９０１の上下方向のみへの跳躍を促進する。
　部品９０１の種類とサイズに適する凹凸を形成した底板９２を複数種類用意しておき、部品９０１に最適な底板９２を、交換して使用することが好ましい。
　なお、底板９２を用いないで、プレート２０の表面２１全体に凹凸を形成してもよい。
　あるいは、プレート２０の部品溜め９１の底面９５となる部分のみに凹凸を形成してもよい。
●変更例５．
＜底板９２付きの部品溜め９１＞
　図１８のように、部品溜め９１を底板９２のある枠９０で形成してもよい。
　底板９２と枠９０とは、一体成型されている。
　底板９２と枠９０とにより、蓋のない箱型を呈している。
　底板９２は、プレート２０の表面２１に全面が固定されている。
　底板９２がプレート２０の中央のたわみを防ぐことにより、底板９２が水平面を保ちながら上下振動をする。
●変更例６．
＜隙間９３付きの部品溜め９１＞
　図１９のように、部品溜め９１を、プレート２０の表面２１から浮いている上げ底の底板９２のある枠９０で形成してもよい。
　底板９２と枠９０とは、一体成型されている。
　底板９２とプレート２０の間に隙間９３がある。
　プレート２０の中央がたわんでも、隙間９３があるので、底板９２がたわむことがない。
　プレート２０の中央がたわんでも、底板９２が変形することなく水平面を保ちながら上下振動をする。
●変更例７．
＜孔９７を形成したプレート２０＞
　図２０のように、プレート２０の中央に孔９７を形成してもよい。
　孔９７は、プレート２０を貫通している矩形の穴である。
　孔９７は、平面視で、部品溜め９１のサイズと同じか、又は、部品溜め９１のサイズよりも小さい。
　枠９０の底面が孔９７の縁と重なっている。
　部品溜め９１は、底板９２のある枠９０である。
　底板９２と枠９０とは、一体成型されている。
　プレート２０の中央部分がないので、底板９２がたわむことがない。
　プレート２０が羽ばたき振動しても、底板９２が変形することなく水平面を保ちながら上下振動をする。
●変更例８．
＜傾斜９４付きの部品溜め９１＞
　図２１のように、部品溜め９１の周囲に傾斜９４を形成してもよい。
　傾斜９４は、部品９０１を中央に集める機能を有する。
　部品９０１は、部品溜め９１の周囲よりも中央部分で数多く跳躍する。
　傾斜９４を形成する場所は、ワーク９００の部品吸着領域に合わせて変更すればよい。
●変更例９．
＜窪み９６付きの部品溜め９１＞
　図２２のように、部品溜め９１の複数個所に窪み９６を形成してもよい。
　窪み９６は、部品９０１を窪み９６内に集める機能を有する。
　部品９０１は、部品溜め９１の窪み９６のある部分で数多く跳躍する。
　窪み９６を形成する位置は、ワーク９００の部品吸着領域の位置に合わせて変更すればよい。
●変更例１０．
＜ディストリビュータ４７＞
　図２３の（ａ）のディストリビュータ４７は、垂直部４９と、水平部４８と、固定部４６とを有する。
　垂直部４９と、水平部４８と、固定部４６は、それぞれ平板である。
　垂直部４９は、プレート２０の表面と直交している。
　垂直部４９は、プレート２０から離れてプレート２０の外側に配置され、バイブレータをプレート２０の表面２１に対して固定する。
　水平部４８は、プレート２０の表面と平行である。
　水平部４８は、垂直部４９と直交し、垂直部４９の振動をプレート２０に伝達する。
　固定部４６は、水平部４８と直交し、プレート２０のサイド２３に固定される。
　固定部４６は、プレート２０に固定される固定箇所２４を有する。
　固定部４６がプレート２０のサイド２３に固定されるので、進行波６０がプレート２０の左右端面から侵入することができ、プレート２０全体が定常波振動する。
　上下振動装置１００は、バイブレータ４１とバイブレータ４２とをプレート２０のサイド２３に固定している。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２は、プレート２０の表面２１並びに裏面２２には、固定されていない。
　したがって、進行波６０はプレート２０の左右方向の両端から発生し、プレート２０の左右方向の全域が上下に振動する。
　図２３の（ｂ）により、複数対のバイブレータを有する場合について説明する。
　図２３の（ｂ）は、右のサイド２３の１個のディストリビュータ４７に複数のバイブレータを取り付ける場合を示している。左のサイド２３のディストリビュータ４７にも複数のバイブレータを取り付けることにより、複数対のバイブレータとなる。
　前記コントローラは、前記複数対のバイブレータを同時に、又は、複数対のバイブレータを切り替えて動作させる。
　図２３の（ｂ）のディストリビュータ４７は、垂直部４９の両面にバイブレータ４２とバイブレータ４４を固定する。
　図２３の（ｂ）の場合、コントローラ８０がバイブレータ４２とバイブレータ４４を同時に動作させると、プレート２０には、バイブレータ４２とバイブレータ４４との加算された振動が伝わる。
　コントローラ８０は、バイブレータ４２とバイブレータ４４の回転方向を同じにしてもよいし逆転させてもよい。
　コントローラ８０は、バイブレータ４２とバイブレータ４４を切り替えて片方のみ動作させてもよい。
●変更例１１．
＜バイブレーションユニット４０の取り付け＞
　図２４に示す上下振動装置１００は、図１の構成から、バイブレーションユニット４０の取り付けを変えたものである。
　（ａ）は、ディストリビュータ４７の外側にバイブレータ４１とバイブレータ４２とを取り付けたものである。
　（ｂ）は、（ａ）のバイブレーションユニット４０の上下を逆にして取り付けたものである。
　（ｃ）は、ディストリビュータ４７の形状を変えてバイブレーションユニット４０を取り付けたものである。
　ディストリビュータ４７は断面が矩形の中空パイプである。
　ディストリビュータ４７の一方の面がサイド２３に固定され、他方の面がバイブレータ４１又はバイブレータ４２を固定している。
●変更例１２．
＜バイブレーションユニット４０の位置と個数、枠９０の形状＞
　上下振動装置１００は、２個より多い偶数個のバイブレータを有していてもよい。
　図２５に示すように、プレート２０に、バイブレータ４１、バイブレータ４２、バイブレータ４３並びにバイブレータ４４を取り付けてもよい。
　（ａ）は、バイブレータ４１とバイブレータ４２とが対向しており、バイブレータ４３とバイブレータ４４とが対向している。
　バイブレータ４１とバイブレータ４３は同一のサイド２３に固定されており、バイブレータ４２とバイブレータ４４は、別のサイド２３に固定されている。
　定常波は平行に生成される。しなり現象は起きにくくなる。
　（ｂ）は、バイブレータ４１とバイブレータ４２とが対向しており、バイブレータ４３とバイブレータ４４とが対向している。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２とバイブレータ４３とバイブレータ４４とはそれぞれ個別のサイド２３に固定されている。
　コントローラ８０が４個のバイブレータを同時に動作させれば、定常波は直交して生成される。
　コントローラ８０は、対向する２個のバイブレータを切り替えて動作させてもよい。
　（ｃ）は、バイブレータ４１とバイブレータ４２とが対向しており、バイブレータ４３とバイブレータ４４とが対向している。また、プレート２０は、中央に円筒の枠９０を形成している。
　バイブレータ４１とバイブレータ４２とバイブレータ４３とバイブレータ４４はそれぞれプレート２０の各コーナーに固定されている。
　コントローラ８０が４個のバイブレータを同時に動作させれば、定常波は直交して生成される。しなり現象は起きにくくなる。
　コントローラ８０は、対向する２個のバイブレータを切り替えて動作させてもよい。
　（ｄ）は、円形のプレート２０の中央に円筒の枠９０を形成している。
　枠９０の形状は、平面視で、五角形、六角形、八角形その他の多角形穴でもよいし、楕円、山形、台形、平行四辺形、その他の形状でもよい。
　枠９０が存在することによりプレート２０の中央部分の湾曲がなくなり、プレート２０の中央部分の上下方向への湾曲が減少する。
　枠９０の大きさにより、プレート２０の振動状態を調整することができる。
　枠９０の大きさが小さいほど、前述した定常波振動と上下振動としなり振動が起きやすくなる。
　逆に、枠９０の大きさが大きいほど、前述した定常波振動と上下振動としなり振動が減少する。
●変更例１３．
＜プレート２０の平面形状＞
　プレート２０の平面形状は、四角形に限らない。
　プレート２０の形状は、平面視で、正多角形、円形、楕円形、その他の形状でもよい。
　図２６は、プレート２０の平面形状を示す図である。
　（ａ）は、プレート２０の平面形状が、十字形の場合を示している。
　（ｂ）は、プレート２０の平面形状が、円形の場合を示している。
　（ｃ）は、プレート２０の平面形状が、角が丸い長尺四角形の場合を示している。
　（ｄ）は、プレート２０の平面形状が、楕円形の場合を示している。
　図示しないが、プレート２０の平面形状は、台形、雲形、山形、不規則形状、又は、その他の形状でもよい。
●変更例１４．
＜プレート２０の断面形状＞
　プレート２０の上面又は下面は、平面に限らない。
　プレート２０の上面又は下面は、曲面、複数平面の組み合わせ、曲面と平面の組み合わせでもよい。
　図２７は、プレート２０のＺ方向による断面形状を示す図である。
　プレート２０の断面形状は矩形に限らない。
　（ａ）、（ｃ）及び（ｅ）は、プレート２０の中央下部が上側に窪んだ場合を示している。
　（ａ）は、凹形状に窪んだ場合を示している。
　（ｂ）は、Ｖ形状に窪んだ場合を示している。
　（ｃ）は、弧状に窪んだ場合を示している。
　（ｂ）、（ｄ）及び（ｆ）は、プレート２０の中央上部が下側に膨らんだ場合を示している。
　（ｂ）は、凸形状に膨らんだ場合を示している。
　（ｄ）は、Ｖ形状に膨らんだ場合を示している。
　（ｆ）は、弧状に膨らんだ場合を示している。
　（ｇ）は、プレート２０の中央部が上側と下側に窪んだ凹形状の場合を示している。プレート２０の中央部が下側に窪んだ凹形状の場合、部品９０１は中央に集まり、中央付近において跳躍する。
　（ｈ）は、プレート２０の中央部が上側と下側に膨らんだ凸形状の場合を示している。プレート２０の中央部が上側に膨らんだ凸形状の場合、部品９０１は周辺に集まり、周辺付近において跳躍する。
　図示しないが、プレート２０の断面形状は、凹凸形状、波形状、又は、その他の形状でもよい。
　プレート２０は板状でなくてもよい。
　図示しないが、プレート２０は、箱型、皿型、ドーム型、枠型、その他の形状でもよい。
　実施の形態２．
　実施の形態２では、実施の形態１と異なる点について説明する。
　実施の形態２では、ワーク保持装置９１０に、バイブレーションユニット４０を搭載する構成について説明する。
　図２８は、実施の形態２のワーク保持装置９１０の斜視図である。
　図２９は、実施の形態２のワーク保持装置９１０の正面図である。
　図３０は、実施の形態２のワーク保持装置９１０の側面図である。
　図において、Ｘは左右方向を示している。
　図において、Ｙは前後方向を示している。
　図において、Ｚは上下方向を示している。
＜＜＜ワーク保持装置９１０の構成＞＞＞
　ワーク保持装置９１０は、ワーク９００に部品９０１を取得する装置である。
　ワーク保持装置９１０は、ベース１０とプレート２０と振動吸収部１１とバイブレーションユニット４０とディストリビュータ４７とコントローラ８０とを有する。
　ワーク保持装置９１０は、ＸＺ平面においてプレート２０を上下に定常波振動させる。
＜＜＜ワーク９００の説明＞＞＞
　ワーク９００は、実施の形態１と同じものである。
＜＜＜ベース１０の説明＞＞＞
　ベース１０は、矩形の板形状をしている。
　ベース１０の上面には、２本のロッド３１が固定されている。
　ベース１０とベース１０よりも下にある部材とは、２本のロッド３１の上下の移動に伴って上下に移動する。
＜＜＜シリンダ３０の説明＞＞＞
　シリンダ３０は、図示していないワーク搬送装置の筐体に固定されている。
　シリンダ３０は、ベース１０をプレート２０の上に配置して、ベース１０を上下方向に移動させる。
　シリンダ３０は、ロッド３１を上下させ、ベース１０を上下させる。
　シリンダ３０は、ワーク保持装置９１０のプレート２０をベース１０の下に配置して、プレート２０を上下方向に移動させる。
　ワーク搬送装置は、シリンダ３０を移動させ、ワーク９００を搬送する。
＜＜＜プレート２０の説明＞＞＞
　プレート２０は、上面にある表面２１と、底面にある裏面２２と、側面にある４個のサイド２３（側面）とを有する。
　裏面２２は、ワーク９００を吸着する吸着面１９である。
＜＜＜コントローラ８０の説明＞＞＞
　コントローラ８０は、吸引器８５を有する。
　吸引器８５は、吸着面１９に形成された吸引溝の空気を、エアパイプ８６を介して吸引する。
＜＜＜吸着面１９の説明（全面吸着タイプ）＞＞＞
　図３１は、プレート２０の裏面２２にある吸着面１９の図である。
　吸着面１９は、矩形形状である。
　吸着面１９は、ワーク９００と同じサイズである。
　吸着面１９は、ワーク９００の上面の全面を吸着する。
　吸着面１９は、吸引溝２８を有する。
　吸引溝２８は、吸着面１９の全面に形成されている。
　吸引溝２８の外周溝は、吸着面１９の４辺に沿って４辺と平行に形成されている。
　吸着面１９の外周溝は、吸着面１９の外縁に連続して形成されている。
　吸引溝２８は、サイド２３に形成された吸引口２９につながっている。
　吸引溝２８の空気は、吸引口２９からエアパイプ８６を介して吸引される。
　吸着面１９は、プレート２０が振動しても、ワーク９００の全面を吸着し続ける。
　吸着面１９は、ワークの形状に合わせた複数種類の独立した吸引溝２８と吸引溝２８に対応した複数の吸引口２９を有する。
　吸着面１９には、以下の３種の個別の吸引溝２８があり、ワーク９００の３種の大きさに対応して使用する。
　外溝：外側の矩形枠形状の吸引溝２８
　内溝：内側の矩形枠形状の吸引溝２８
　中溝：中央の井桁形状の吸引溝２８
　プレート２０とワーク９００とが同じサイズの場合、外溝と内溝と中溝とで吸引する。
　外溝外周よりワーク９００が小さいサイズの場合、内溝と中溝とで吸引する。
　内溝外周よりワーク９００が小さいサイズの場合、中溝のみで吸引する。
　コントローラ８０は、ワーク９００がいずれのサイズの場合でも、ワーク９００の内側にある吸引溝２８を全て使用することにより、ワーク９００の全面を吸着する。
＜＜＜ワーク保持装置９１０の特徴＞＞＞
　ワーク保持装置９１０は、プレート２０と、プレート２０の外周の複数個所をプレート２０の外側の位置から振動させる複数のバイブレータ４１，４２を有する。
　ワーク保持装置９１０は、複数のバイブレータ４１，４２の振動方向をプレート２０に対して上下にして、複数のバイブレータ４１，４２をプレート２０のサイド２３から離れた外側の位置に固定し、複数のバイブレータ４１，４２の振動をプレート２０に伝える複数のディストリビュータ４７を有する。
　ワーク保持装置９１０は、部品９０１をジャンプさせる。
　ワーク保持装置９１０は、粘着剤９０２が下面に塗布されたワーク９００を保持する。
　ワーク保持装置９１０のプレート２０は、下面にワーク９００を吸着する吸着面１９を有する。
　ワーク保持装置９１０のプレート２０は、吸着面１９に吸着したワーク９００を、定常波振動させかつ上下振動させる。
　ワーク保持装置９１０のコントローラ８０は、部品９０１を粘着剤９０２に付着させた後に、ワーク９００に振動を加える。
＜＜＜ワーク保持装置９１０の効果＞＞＞
　ワーク保持装置９１０がワーク９００を上下に振動させるので、粘着剤９０２に付着していない部品９０１を落下させることができる。
　ワーク保持装置９１０がワーク９００を上下に振動させるので、粘着剤９０２に確実に付着している部品９０１のみを取得することができる。
　実施の形態３．
　実施の形態３では、実施の形態１、２と異なる点について説明する。
＜＜＜スクリーン印刷装置７００の構成＞＞＞
　図３２は、実施の形態３のスクリーン印刷装置７００を示す図である。
　スクリーン印刷装置７００は、テーブルユニット７１０とスクリーン版ユニット７２０とスキージユニット７３０を有する。
　テーブルユニット７１０とスクリーン版ユニット７２０とスキージユニット７３０は、バイブレーションユニット４０を有する。
　ベース１０は、スクリーン印刷装置７００の筐体である。
＜＜＜テーブルユニット７１０の構成＞＞＞
　図３３は、スクリーン印刷装置７００のテーブルユニット７１０の斜視図である。
　テーブルユニット７１０は、実施の形態１で説明した上下振動装置１００から枠９０を除いたものである。
　テーブルユニット７１０は、ワーク９００を搭載する印刷テーブル７１１を有する。
　印刷テーブル７１１は、上下振動装置１００のプレート２０に相当する。
　印刷テーブル７１１は、表面２１に図３１に示す吸着面１９を有し、ワーク９００を吸着して固定する。
　印刷テーブル７１１が上下に振動することにより、ワーク９００が上下のみに振動する。
＜＜＜スクリーン版ユニット７２０の構成＞＞＞
　図３４は、スクリーン印刷装置７００のスクリーン版ユニット７２０の斜視図である。
　スクリーン版ユニット７２０は、版枠７２１とスクリーン７２２を有する。
　版枠７２１は、上下振動装置１００のプレート２０に相当する。
　版枠７２１の左右にバイブレーションユニット４０が固定されている。
　版枠７２１が上下に振動することにより、スクリーン７２２が上下のみに振動する。
　版枠７２１の上面のコーナー４か所には、４個の振動吸収部１１の下部が固定されている。
　２本のベース１０は、スクリーン版の固定部であり、下面の４か所には、４個の振動吸収部１１の上部が固定されている。
　版枠７２１は、コーナー４か所の上面に４本の固定軸１３を有する。
　２本のベース１０の下面の４か所に４本の固定軸１２を有する。
　振動吸収部１１は、版枠７２１とベース１０とつなぐカップリング部材又はジョイント部材である。
　振動吸収部１１は、スクリーン版の振動を吸収するものであり、版枠７２１の振動をベース１０に伝えないようにするものである。
　振動吸収部１１は、ベース１０に対して版枠７２１の自由振動を保証するものである。
＜＜＜スキージユニット７３０の構成＞＞＞
　図３５は、スクリーン印刷装置７００のスキージユニット７３０の斜視図である。
　スキージユニット７３０は、スキージ７３１とホルダ７３２を有する。
　ホルダ７３２がプレート２０に相当する。
　ホルダ７３２の左右上面にバイブレーションユニット４０が固定されている。
　ホルダ７３２が上下に振動することにより、スキージ７３１が上下のみに振動する。
　ホルダ７３２の上面の両端２か所には、２個の振動吸収部１１の下部が固定されている。
　ベース１０には、シリンダ３０が固定されている。
　シリンダ３０は、２本のロッド３１を上下に動かす。
　ロッド３１の下部が固定軸１２となる。
　２本のロッド３１の下部に、２個の振動吸収部１１の上部が固定されている。
　ホルダ７３２の上面の両端２か所に２本の固定軸１３を有する。
　振動吸収部１１は、ロッド３１とホルダ７３２とつなぐカップリング部材又はジョイント部材である。
　振動吸収部１１は、ホルダ７３２の振動を吸収するものであり、ホルダ７３２の振動をベース１０とシリンダ３０に伝えないようにするものである。
　振動吸収部１１は、ベース１０とシリンダ３０に対してホルダ７３２の自由振動を保証するものである。
　スクリーン印刷装置７００は、前述したテーブルユニット７１０とスクリーン版ユニット７２０とスキージユニット７３０の少なくともいずれかひとつを有していればよい。
　スクリーン印刷装置７００は、テーブルユニット７１０とスクリーン版ユニット７２０とスキージユニット７３０の少なくともいずれかに、実施の形態１の上下振動装置１００を用いたことを特徴とする。
＊＊＊実施の形態の補足説明＊＊＊
　前述した実施の形態は、望ましい形態の例示であり、本発明の技術的範囲を制限することを意図するものではない。
　実施の形態は、部分的に実施してもよいし、他の形態と組み合わせて実施してもよい。また、前述した実施の形態を組み合わせてもよい。
　１０　ベース、１１　振動吸収部、１２　固定軸、１３　固定軸、１９　吸着面、２０　プレート、２１　表面、２２　裏面、２３　サイド、２４　固定箇所、２５　ネジ、２６　支点、２８　吸引溝、２９　吸引口、３０　シリンダ、３１　ロッド、４０　バイブレーションユニット、４１，４２，４３，４４　バイブレータ、４６　固定部、４７　ディストリビュータ、４８　水平部、４９　垂直部、６０　進行波、７０　定常波、８０　コントローラ、８１　エアコンプレッサ、８２　エアパイプ、８３　レギュレータ、８４　プロセッサ、８５　吸引器、８６　エアパイプ、８８　信号線、９０　枠、９１　部品溜め、９２　底板、９３　隙間、９４　傾斜、９５　底面、９６　窪み、９７　孔、１００　上下振動装置、２００　部品供給装置、７００　スクリーン印刷装置、７１０　テーブルユニット、７１１　印刷テーブル、７２０　スクリーン版ユニット、７２１　版枠、７２２　スクリーン、７３０　スキージユニット、７３１　スキージ、７３２　ホルダ、９００　ワーク、９０１　部品、９０２　粘着剤、９０３　電極、９１０　ワーク保持装置。

Claims (15)

  1. 　ベースと、
    　プレートと、
    　前記ベースと前記プレートの間に取り付けられ、振動を吸収する振動吸収部と、
    　前記プレートの外周の複数個所を前記プレートの外側の位置から振動させる複数のバイブレータと、
    　前記複数のバイブレータの振動方向を前記プレートに対して上下にして、前記複数のバイブレータを前記プレートのサイドから離れた外側の位置に固定し、前記複数のバイブレータの振動を前記プレートに伝える複数のディストリビュータと
    を備えた上下振動装置。
  2. 　前記振動吸収部は、
    　前記ベースの固定軸と、
    　前記プレートの固定軸と、
    　前記ベースの固定軸と前記プレートの固定軸とを固定したカップリング部材とを有し、
    前記カップリング部材は、軸方向の振動を吸収する振動吸収機能を有する請求項１に記載の上下振動装置。
  3. 　部品溜めを形成する枠を有し、
    　平面視における前記枠のサイズは、前記プレートのサイズよりも小さい請求項１又は２に記載の上下振動装置。
  4. 　前記枠の底面に凹凸が形成されている請求項３に記載の上下振動装置。
  5. 　前記枠は、前記プレートの表面に固定された底板を有する請求項３又は４に記載の上下振動装置。
  6. 　前記枠は、前記プレートの表面から浮いている上げ底の底板を有する請求項３から５のいずれか１項に記載の上下振動装置。
  7. 　前記複数のバイブレータは、前記プレートの外周の複数個所に、同時に、同じ周波数、同じ波長、かつ、同じ振幅の進行波を発生させ、前記プレートを上下振動させる請求項１から６のいずれか１項に記載の上下振動装置。
  8. 　前記プレートは、前記ディストリビュータを固定した固定箇所を有し、前記固定箇所を支点として定常波振動する請求項１から７のいずれか１項に記載の上下振動装置。
  9. 　請求項１から８のいずれか１項に記載の上下振動装置と、
    　ワークを保持するワーク保持装置と
    　有し、
    　前記上下振動装置は、前記ワークに供給する部品をジャンプさせ、前記ワークがジャンプした部品を取得する部品供給装置。
  10. 　前記ワークの下面には、凹凸がない平面に粘着剤が配置されており、
    　前記ワークは、前記粘着剤の粘着力のみで、前記部品を前記ワークの下面に保持する請求項９に記載の部品供給装置。
  11. 　前記上下振動装置は、前記部品を磁力により前記ワークに吸着させることがなく、かつ、前記部品を吸引力により前記ワークに吸着させることがなく、かつ、マスクを介して前記部品を供給することがない請求項９又は１０に記載の部品供給装置。
  12. 　前記ワーク保持装置は、前記ワークとして回路基板を保持する請求項９から１１のいずれか１項に記載の部品供給装置。
  13. 　請求項１から８のいずれか１項に記載の上下振動装置を有し、
    　前記上下振動装置を、テーブルユニットとスクリーン版ユニットとスキージユニットの少なくともいずれかに用いたスクリーン印刷装置。
  14. 　複数のディストリビュータにより、複数のバイブレータの振動方向をプレートの表面に対して上下にして、前記複数のバイブレータを前記プレートのサイドから離れた外側の位置に固定し、
    　前記複数のバイブレータにより、前記プレートの外周の複数個所に、同時に、同じ周波数、同じ波長、かつ、同じ振幅の進行波を発生させ、前記プレートに取り付けられた振動吸収部により、振動を吸収しながら、前記プレートを上下振動させる上下振動方法。
  15. 　粘着剤が下面に塗布されたワークを保持し、
    　請求項１４に記載の上下振動方法により、前記プレートの上で、前記ワークに供給する部品をジャンプさせて前記部品を前記粘着剤に付着させて、前記部品を前記ワークの下面に付着させる部品供給方法。
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