JP2013121193A - 圧電モーター、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】対象物を効率よく駆動することが可能な圧電モーターを提供する。
【解決手段】電圧を印加すると屈曲振動する振動体を、電極が設けられた振動体の両面が振動体の屈曲方向と交差する方向から支持部で挟持された状態で収納ケース内に収納する。そして、振動体と収納ケースとの間に生じる支持部の厚み分の隙間に、電極と電線とを接合する接合部を設ける。また、接合部の電極からの高さ及び電線の外径を支持部の厚みよりも小さくする。こうすれば、振動体の振動が収納ケースに伝わることを抑制して、対象物を効率よく駆動することができる。また、支持部の厚み分の隙間に電極への配線（接合部、電線）を収めることができるので、振動体の屈曲方向に交差する方向から支持部で振動体の両側（電極が設けられた両面）を挟持する方式において、電極への配線を確保することができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、圧電モーター、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボットに関する。

圧電材料で形成された振動体を振動させて、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。この圧電モーターは、電磁力を利用してローターを回転させる方式の電磁モーターに比べて小型でありながら、大きな駆動力を得ることができ、更に、対象物を高分解能で位置決めすることができるという特徴を有している。このため、たとえばカメラの駆動機構など、種々の装置のアクチュエーターとして用いられている。

圧電モーターは、次のような原理で動作する。先ず、振動体（圧電材料）を略直方体形状に形成して、長手方向の端面に凸部を設けておく。そして、振動体に所定周波数の電圧を印加することによって、振動体が伸縮する態様の振動と、振動体が屈曲する態様の振動とを同時に生じさせる。すると、振動体の端面は一方向に回転する楕円運動を開始する。そこで、端面に設けた凸部を対象物に押しつけてやれば、凸部と対象物との間に働く摩擦力によって対象物を一定方向に移動させることができる。

このような動作原理から、圧電モーターは、振動体の端面に設けられた凸部を対象物に押しつけた状態で用いる必要がある。また、対象物を駆動する時に凸部が対象物から受ける反力で振動体が逃げないように、振動体を保持しておく必要がある。それでいながら、凸部が楕円運動するように振動体の振動は許容しなければならない。そこで、凸部を突出させた状態で振動体を収納ケースに収め、その収納ケース内で、振動体の両側を屈曲方向から弾性部材を介して保持するとともに、振動体ごと収納ケースを対象物に向けて付勢する技術が提案されている（特許文献１）。

特開平１１−３４６４８６号公報

しかし、提案されている技術では、振動体が発生する機械的エネルギーを、対象物の駆動のために効率よく利用することが困難であるという問題があった。これは、振動体の両側を屈曲方向から支持しているため、振動体の振動が収納ケースを介して外部に伝わり易く、外部に伝わった振動は、対象物を駆動するのに利用することができないためである。

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、対象物を効率よく駆動することが可能な圧電モーターの提供を目的とする。

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含む振動体に電圧を印加して屈曲振動を発生させ、前記振動体の端部に設けられた凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
前記振動体の屈曲振動で前記凸部が設けられた端部が移動する屈曲方向と交差する方向を向いた前記振動体の両面に形成され、前記電圧が印加される電極と、
非導電性材料で被覆され、前記電極に電圧を印加する電線と、
前記電極と前記電線とを電気的に接合する接合部と、
前記振動体を収納する収納ケースと、
前記振動体と前記収納ケースとの間に設けられ、前記振動体の屈曲方向と交差する方向から、前記電極が設けられた前記振動体の両面を挟持する支持部と、
を備え、
前記接合部は、前記振動体の前記電極と前記収納ケースとの間に生じる前記支持部の厚み分の隙間に設けられ、
前記接合部の前記電極からの高さ及び前記電線の外径は、前記支持部の厚みよりも小さいことを要旨とする。

このような本発明の圧電モーターでは、振動体の両面に形成された電極に電線を接合して電圧を印加すると、振動体が屈曲振動することから、振動体の端部に設けられた凸部を対象物に接触させることによって、対象物を駆動することができる。そして、この振動体は、振動体の両側（電極が設けられた両面）を振動体の屈曲方向と交差する方向から支持部で挟持した状態で収納ケースに収納されている。また、電極と電線とを接合する接合部は、振動体の電極と収納ケースとの間に生じる支持部の厚み分の隙間に設けられており、接合部の電極からの高さ及び電線の外径は、支持部の厚みよりも小さくなっている。

このように振動体の両側を、振動体の屈曲方向からではなく、屈曲方向と交差する方向から支持部で挟持するようにすれば、振動体が屈曲振動すると支持部が剪断方向に変形するので、屈曲方向から挟持する場合に比べて振動体の振動が収納ケースに伝わることを抑制できる。また、対象物を駆動したときに振動体の凸部が受ける反力を、支持部が剪断方向に変形する際の剛性で受け止め、振動体が反力で逃げないように振動体を支持することができる。その結果、対象物を効率よく駆動することができる。更に、振動体の電極が設けられた面と同じ面を支持部で挟持することにより、電極への配線が制約されるところ、本発明の圧電モーターでは、振動体の電極と収納ケースとの間に生じる支持部の厚み分の隙間を利用して、電極への配線を可能としている。すなわち、接合部の電極からの高さ及び電線の外径を支持部の厚みよりも小さくして、振動体の電極と収納ケースとの隙間に電極への配線（接合部、電線）を収めることにより、振動体の屈曲方向に交差する方向から支持部で振動体の両側（電極が設けられた両面）を挟持する方式において、電極への配線を確保することができる。

上述した本発明の圧電モーターでは、振動体の凸部が設けられた端部や複数の腹部よりも屈曲振動の振幅が小さい複数の節部のうち一部の節部にて、支持部が振動体を挟持することとして、支持部が挟持していない節部にて、接合部が電極と接合していてもよい。

このように振動体の節部を支持部で挟持するようにすれば、節部と異なる部分（凸部が設けられた端部や腹部）を挟持する場合に比べて、振動体が屈曲振動する際に支持部が剪断方向に変形する変形量を大きくすることなく、振動体の屈曲振動の振幅（凸部の移動量）を増大させることができるので、対象物を駆動する上で有利となる。

また、支持部で挟持されていない節部で電極に配線すれば（電線を接合部で接合すれば）、配線が振動体の屈曲振動の妨げになることを抑制できる。しかも、振動体の屈曲振動の影響で電極から配線が外れてしまうことを抑制できるので、振動体に安定して電圧を印加する配線を確保するのに好適である。

また、こうした本発明の圧電モーターでは、電極と向き合う収納ケースの内面を、非導線材料で被覆しておいてもよい。

こうすれば、仮に収納ケースに歪みなどが生じて、収納ケースの内面が電極や接合部に触れるようなことがあったとしても、漏電することはなく、振動体に安定して電圧を印加することができる。

また、こうした本発明の圧電モーターでは、電極が４つの領域を有する場合において、連結部で接続される第１領域と第２領域とを、連結部を含めて一体に形成しておくこととして、連結部に対して互い異なる側に配置される第３領域と第４領域とを、連結部と交差する電線によって接続してもよい。

第１領域と第２領域とを電線で接続する（連結部を電線で構成する）場合には、第３領域と第４領域とを接続する電線と立体交差させる必要がある。これ対して、第１領域と第２領域とを接続する連結部を電極と一体に形成しておけば、２つの電線を立体交差させる必要がないので、振動体の電極と収納ケースと間に生じる支持部の厚み分の隙間に電極への配線を収めることが容易となる。従って、振動体の屈曲方向に交差する方向から支持部で振動体の両側（電極が設けられた両面）を挟持する方式において、電極への配線を確保するのに好適である。

また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。

本発明の圧電モーターは、小型で且つ高い駆動精度を実現することができる。従って、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型で高性能な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを得ることができる。

また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。

上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することができるから、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ、小型な電子部品検査装置を実現することが可能となる。

あるいは、本発明の電子部品検査装置は、次のような態様で把握することもできる。すなわち、
把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、電圧が印加されると屈曲振動する振動体と、
前記振動体の端部に設けられた凸部と、
前記振動体の屈曲振動で前記凸部が設けられた端部が移動する屈曲方向と交差する方向を向いた前記振動体の両面に形成され、前記電圧が印加される電極と、
非導電性材料で被覆され、前記電極に電圧を印加する電線と、
前記電極と前記電線とを電気的に接合する接合部と、
前記振動体を収納する収納ケースと、
前記振動体と前記収納ケースとの間に設けられ、前記振動体の屈曲方向と交差する方向から、前記電極が設けられた前記振動体の両面を挟持する支持部と、
を備え、
前記接合部は、前記振動体の前記電極と前記収納ケースとの間に生じる前記支持部の厚み分の隙間に設けられ、
前記接合部の前記電極からの高さ及び前記電線の外径は、前記支持部の厚みよりも小さい
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。

更に、上述した本発明の電子部品検査装置は、次のような態様、すなわち、
電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
前記電子部品を把持する把持装置と、
前記把持装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記制御装置は、
前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
を備えており、
前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。

このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第１ないし第３の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは、小型で且つ対象物を精度良く駆動することができるので、把持装置に設ける第１ないし第３の圧電モーターとして特に優れている。

更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。

上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することができるから、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ、小型な電子部品搬送装置を実現することができる。

あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、次のような態様、すなわち、
把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、電圧が印加されると屈曲振動する振動体と、
前記振動体の端部に設けられた凸部と、
前記振動体の屈曲振動で前記凸部が設けられた端部が移動する屈曲方向と交差する方向を向いた前記振動体の両面に形成され、前記電圧が印加される電極と、
非導電性材料で被覆され、前記電極に電圧を印加する電線と、
前記電極と前記電線とを電気的に接合する接合部と、
前記振動体を収納する収納ケースと、
前記振動体と前記収納ケースとの間に設けられ、前記振動体の屈曲方向と交差する方向から、前記電極が設けられた前記振動体の両面を挟持する支持部と、
を備え、
前記接合部は、前記振動体の前記電極と前記収納ケースとの間に生じる前記支持部の厚み分の隙間に設けられ、
前記接合部の前記電極からの高さ及び前記電線の外径は、前記支持部の厚みよりも小さい
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。

更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
電子部品を把持する把持装置と、
互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把持装置を移動させる移動装置と、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。

本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。 本実施例の本体部の構造を示す分解組立図である。 表電極および裏電極が設けられた本実施例の振動体に電圧を印加するための配線を示した説明図である。 圧電モーターの動作原理を示す説明図である。 Ｘ−Ｚ平面で本体部の断面を取ることによって、本実施例の振動体の表電極および裏電極に配線されている様子を示した説明図である。 振動体の節部を示した説明図である。 変形例の振動体に設けられた表電極および表電極への配線を示した説明図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。 把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。 ロボットハンドを備えたロボットを例示した説明図である。 実施例とは異なる態様で振動体の節部を支持部材で挟持する例を示した説明図である。

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．装置構成：
Ｂ．圧電モーターの動作原理：
Ｃ．表電極および裏電極への配線の確保：
Ｄ．変形例：
Ｅ．適用例：

Ａ．装置構成 ：
図１は、本実施例の圧電モーター１０の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）には、本実施例の圧電モーター１０の全体図が示されており、図１（ｂ）には分解組立図が示されている。図１（ａ）に示されるように、本実施例の圧電モーター１０は、大まかには、本体部１００と、基台部２００とから構成されている。本体部１００は基台部２００内に取り付けられており、その状態で一方向に移動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部１００の移動方向をＸ方向と称する。また、図中に示すように、Ｘ方向と直交する方向を、それぞれＹ方向、Ｚ方向と称するものとする。

本体部１００および基台部２００は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部２００は、略矩形形状をした基板２３０の上面の両側に、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０が止めネジ２４０で締結されることによって構成されている（図１（ｂ）を参照のこと）。圧電モーター１０を組み立てる際には、本体部１００の上方から、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０を、止めネジ２４０を用いて基板２３０に取り付ける。

また、第１側壁ブロック２１０には、前方ハウジング２１２、中央ハウジング２１４、後方ハウジング２１６の３つの凹部が形成されている。そして、第１側壁ブロック２１０を基板２３０に取り付ける際には、前方ハウジング２１２に前方側圧バネ２１２ｓを収納し、後方ハウジング２１６に後方側圧バネ２１６ｓを収納した状態で取り付ける。その結果、本体部１００は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって第２側壁ブロック２２０に押しつけられた状態となる。また、本体部１００の側面の、第２側壁ブロック２２０に面する側には、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが取り付けられている。更に、本体部１００の側面には加圧バネ２２２ｓが設けられている。この加圧バネ２２２ｓは、前側コロ１０２ｒの後ろ側の箇所で本体部１００をＸ方向に押圧している。

また、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが設けられた側と反対側の本体部１００の側面には、Ｚ方向（図面上では上方）に向けて押さえコロ１０４ｒが設けられている。第１側壁ブロック２１０を取り付けた状態では、この押さえコロ１０４ｒは、第１側壁ブロック２１０の中央ハウジング２１４に収納される。また、本体部１００の押さえコロ１０４ｒが設けられた部分の裏面側と、基板２３０との間には、押さえバネ２３２ｓが設けられている。このため、押さえコロ１０４ｒは中央ハウジング２１４の内面に対してＺ方向（図面上では上方）に押しつけられた状態となっている。

図２は、本実施例の本体部１００の構造を示す分解組立図である。本体部１００は、大まかには、振動体ケース１２０内に振動部１１０が収納された構造となっている。振動部１１０は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体１１２と、振動体１１２の長手方向（Ｘ方向）の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部１１４と、振動体１１２のＺ方向を向いた一方の面を４分割して設けられた４枚の表電極１１６などから構成されている。また、図２では示されていないが、４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の面には、ほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。後述するように振動体１１２は、電圧を印加することによって振動する性質を有している。尚、本実施例の駆動凸部１１４は、本発明の「凸部」に相当しており、本実施例の表電極１１６及び裏電極は、本発明の「電極」に相当している。

振動体１１２は、表電極１１６および裏電極が設けられた両面（図２では、Ｚ方向を向いた両面）から樹脂製の支持部材１３０で挟まれた状態で、振動体ケース１２０に収納される。更に、表電極１１６側の支持部材１３０の上から、蓋板１４０、皿バネ１４２、および押さえ板１４４が積層されて、押さえ板１４４が止めネジ１４６で振動体ケース１２０に締結される。このため振動部１１０は、皿バネ１４２のバネ力によって蓋板１４０及び支持部材１３０を介して押さえ付けられながらも、樹脂製の支持部材１３０が剪断変形することによって、振動体ケース１２０内で振動体１１２が振動し得る状態で収納されている。尚、本実施例の振動体ケース１２０及び蓋板１４０は、本発明の「収納ケース」に相当し、本実施例の支持部材１３０は、本発明の「支持部」に相当している。

図３は、表電極１１６及び裏電極が設けられた振動体１１２に電圧を印加するための配線を示した説明図である。図示されているように、振動体１１２のＺ方向を向いた両面（支持部材１３０が接する両面）の一方の面には４枚の表電極１１６が設けられており、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａ及び表電極１１６ｄの組と、表電極１１６ｂ及び表電極１１６ｃの組）として、各組の表電極１１６同士が電極間電線３００ａ，３００ｂによって接続されている。上下方向（Ｚ方向）に立体交差する電極間電線３００ａ，３００ｂは、絶縁材料で被覆されており、表電極１１６に半田３０２で接合されている。また、表電極１１６の各組において駆動凸部１１４から遠い側の表電極１１６（表電極１１６ｃと表電極１１６ｄ）は、図示しない外部電源と外部電線３０４ａ，３０４ｂによって接続されている。この外部電線３０４ａ，３０４ｂも、電極間電線３００ａ，３００ｂと同様に、絶縁材料で被覆された電線を用いて、半田３０２で表電極１１６に接合されている。

また、前述したように、４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の振動体１１２の面には、ほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極には、グランドに接地するためのグランド電線３０６が半田３０２で接合されている。尚、本実施例の電極間電線３００、外部電線３０４、及びグランド電線３０６は、本発明の「電線」に相当しており、本実施例の半田３０２は、本発明の「接合部」に相当している。

Ｂ．圧電モーターの動作原理 ：
図４は、圧電モーター１０の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１０は、振動部１１０の表電極１１６に一定周期で電圧を印加したときに、振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動することによって動作する。振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動するのは次の理由による。

先ず、周知のように振動体１１２は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図４（ａ）に示すように、４つの表電極１１６の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体１１２は長手方向（Ｘ方向）に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体１１２が長手方向（Ｘ方向）に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。

また、図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組、あるいは表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると、振動体１１２は、長手方向（Ｘ方向）の先端部（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で左右方向（Ｙ方向）に首を振るような動作を繰り返す。例えば、図４（ｂ）に示したように、表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に正電圧を印加する度に、振動体１１２は、長手方向の先端部が右方向に移動する動作を繰り返す。また、図４（ｃ）に示したように、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組に正電圧を印加する度に、振動体１１２は、長手方向の先端部が左方向に移動する動作を繰り返す。このような振動体１１２の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１２は右方向あるいは左方向（Ｙ方向）に大きく首を振って振動する。

ここで、図４（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体１１２の物性や、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば、２つの共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１２に対して、図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図４（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図４（ｂ）に示す態様で表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が図面上で時計回りに楕円を描くような動作（楕円運動）を行う。また、図４（ｃ）に示す態様で表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組に電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部が図面上で反時計回りの楕円運動を行う。

圧電モーター１０は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１１２の駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部１１４は、振動体１１２が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動した後、振動体１１２が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部１１４から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部１１４との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部１１４と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部１１４が対象物に押しつけられる力とによって決定される。

以上に説明した圧電モーター１０の動作原理から明らかなように、圧電モーター１０は、駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で使用する必要がある。このため、本実施例の圧電モーター１０では、駆動凸部１１４を備える本体部１００が基台部２００に対して移動可能となっており、本体部１００と基台部２００との間に設けられた加圧バネ２２２ｓによって、本体部１００から突き出た駆動凸部１１４を対象物に押しつけるようになっている（図１参照）。

また、対象物を駆動すると、駆動凸部１１４は対象物から反力を受ける。そして、この反力は本体部１００に伝達される。上述したように本体部１００は基台部２００に対して移動可能としなければならないが、駆動時に受ける反力で本体部１００が移動方向とは直交する方向に逃げてしまうと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなる。また、本体部１００が逃げると駆動凸部１１４の移動量が減少するので対象物の駆動量が少なくなる。更に、本体部１００の逃げ量は、常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。そこで、図１に示すように、本実施例の圧電モーター１０では、本体部１００の移動方向と直交する方向から、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって本体部１００を第２側壁ブロック２２０に押しつけるようになっている。

更に、振動体１１２は、駆動凸部１１４が楕円運動するように振動体１１２の振動（伸縮振動および屈曲振動）が許容される状態で、振動体ケース１２０内に収納されていなければならない。そこで、図２に示すように、本実施例の圧電モーター１０では、振動体１１２の屈曲方向（Ｙ方向：駆動凸部１１４が設けられた端部が移動する方向）と交差する方向（Ｚ方向：振動部１１０の表電極１１６および裏電極が設けられた両面の向いた方向）から支持部材１３０で挟持した状態で、振動体１１２が振動体ケース１２０に収納されている。電圧の印加により振動体１１２が振動する際には、支持部材１３０が剪断方向に変形することによって振動体１１２の振動が許容されるので、上述した駆動凸部１１４の楕円運動を発生させることができる。また、振動体１１２を屈曲方向と交差する方向から支持部材１３０で挟持することにより、振動体１１２の屈曲方向から挟持する場合に比べて、屈曲振動が振動体ケース１２０に伝わることによるエネルギーの損失を抑制して、対象物を効率よく駆動することができる。

このような支持部材１３０は、ポリイミドなどの樹脂材料で形成されており、支持部材１３０の厚みが大きくなるほど、剪断方向への変形（剪断変形）が容易となって、許容される振動体１１２の振幅（振動の自由度）が大きくなる。すると、駆動凸部１１４の移動量が増加して、対象物の駆動量や駆動スピードが向上することから、対象物を駆動する上で有利な方向に作用する。但し、支持部材１３０は、剪断方向に変形するときの剛性で、駆動凸部１１４が対象物から受ける反力を支えるようになっており、支持部材１３０が厚くなると、剪断変形が容易となる反面、対象物からの反力を支える剛性が低下して、対象物の駆動が減少してしまうことになる。このように支持部材１３０は、剪断変形によって振動体１１２の振動を許容しつつ、駆動凸部１１４が対象物から受ける反力を支える適度な剛性を備えるように、適切な厚みに設定しておく必要がある。本実施例の圧電モーターでは、１．０ｍｍの厚さの支持部材１３０によって、振動体１１２（幅：７．５ｍｍ、長さ：３０．０ｍｍ、厚さ：３．０ｍｍ）を両側から挟持するようになっている。

ここで、前述したように、支持部材１３０によって挟持される振動体１１２の両面（振動体１１２の屈曲方向と交差する方向に向いた両面）には、表電極１１６や裏電極が設けられており、これらの電極に、振動体１１２に電圧を印加するための各種電線（電極間電線３００ａ，３００ｂや、外部電線３０４ａ，３０４ｂや、グランド電線３０６）が半田３０２で接合される。しかし、このように振動体１１２の表電極１１６および裏電極が設けられる面と同じ面が支持部材１３０で挟持される場合には、表電極１１６および裏電極への配線の確保が制約されることになる。そこで、本実施例の圧電モーター１０では、次のようにして振動体１１２の表電極１１６ａおよび裏電極への配線を確保している。

Ｃ．表電極および裏電極への配線の確保 ：
図５は、Ｘ−Ｚ平面で本体部１００の断面を取ることによって、振動体１１２の表電極１１６および裏電極１１５に配線されている様子を示した説明図である。図示されているように、振動体１１２の表電極１１６と蓋板１４０との間には、支持部材１３０の厚み分の空間（隙間）が生じる。前述したように支持部材１３０の厚みは、振動体１１２の振動を許容するための剪断変形のし易さと、駆動凸部１１４が対象物から受ける反力を支える適度な剛性とを考慮して設定されており、本実施例の圧電モーター１０では、１．０ｍｍの厚さの支持部材１３０が用いられている。そして、この支持部材１３０の厚み分の隙間を利用して、表電極１１６への配線が行われている。すなわち、図３に示したように、振動体１１２に設けられた４枚の表電極１１６は、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６（表電極１１６ａ及び表電極１１６ｄの組と、表電極１１６ｂ及び表電極１１６ｃの組）が電極間電線３００ａ，３００ｂによって接続されており、これら電極間電線３００ａ，３００ｂは、上下方向（Ｚ方向）に立体交差して、表電極１１６に半田３０２で接合されている。また、表電極１１６（表電極１１６ｃおよび表電極１１６ｄ）には、外部電線３０４ａ，３０４ｂが半田３０２で接合されている。これら電極間電線３００ａ，３００ｂおよび外部電線３０４ａ，３０４ｂには、外径が支持部材１３０の厚みよりも小さい電線（例えば、外径：０．２７ｍｍ）が用いられている。また、各種電線を表電極１１６に接合する半田３０２の厚み（表電極１１６からの高さ）は、支持部材１３０の厚みよりも小さく形成されている。このため、支持部材１３０の厚み分の隙間に、表電極１１６への配線（半田３０２、電極間電線３００ａ，３００ｂ、外部電線３０４ａ，３０４ｂ）を収めることができる。

また同様に、振動体ケース１２０の底面と振動体１１２の裏電極１１５との間にも、支持部材１３０の厚み分の隙間が生じる。前述したように、振動体１１２の４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の面には、ほぼ全面を覆う裏電極１１５が設けられており、裏電極１１５には、グランド電線３０６が半田３０２で接合されている。このグランド電線３０６には、外部電線３０４ａ，３０４ｂと同様に、外径が支持部材１３０の厚みよりも小さい電線が用いられている。また、グランド電線３０６を裏電極１１５に接合する半田３０２の厚み（裏電極１１５からの高さ）は、支持部材１３０の厚みよりも小さく形成されているので、支持部材１３０の厚み分の隙間に、裏電極１１５への配線（半田３０２、グランド電線３０６）を収めることができる。

以上のように本実施例の圧電モーター１０では、表電極１１６への配線（半田３０２、電極間電線３００ａ，３００ｂ、外部電線３０４ａ，３０４ｂ）および裏電極１１５への配線（半田３０２、グランド電線３０６）が、支持部材１３０の厚みで生じる隙間に収められていることから、振動体１１２の屈曲方向と交差する方向から支持部材１３０で振動体１１２の両側（表電極１１６および裏電極１１５が設けられた両面）を挟持する方式において、表電極１１６および裏電極１１５への配線を確保することができる。

また、図５に示すように、表電極１１６に向き合う蓋板１４０の内面、および裏電極１１５に向き合う振動体ケース１２０の内面には、絶縁材料で形成された絶縁シート１３２が貼付されている。このため、仮に蓋板１４０や振動体ケース１２０に歪みが生じて、蓋板１４０の内面が表電極１１６の半田３０２に触れたり、振動体ケース１２０の内面が裏電極１１５の半田３０２に触れたりするようなことがあっても、漏電することはなく、振動体１１２に安定して電圧を印加することができる。

さらに、本実施例の圧電モーター１０では、振動体１１２の駆動凸部１１４が設けられた端部よりも屈曲振動の振幅が小さい部分（節部）を支持部材１３０で挟持して、この支持部材１３０で挟持される節部とは異なる節部で各電極（表電極１１６および裏電極１１５）に配線を行うようになっている。こうすることで、より安定した配線を確保することができる。以下、この点について補足して説明する。

図６は、振動体１１２の節部を示した説明図である。図４を用いて前述したように、振動体１１２は、４つの表電極１１６の互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組と、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加すると、駆動凸部１１４が図面上で左右方向（Ｙ方向）に首を振るように振動体１１２が屈曲振動を繰り返す。図６では、振動体１１２に正電圧が印加されていない状態が破線で示されており、振動体１１２の表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に正電圧が印加されて駆動凸部１１４が右方向に移動した状態が実線で示されている。

このように屈曲振動する振動体１１２は、全体が一様に振動する（Ｙ方向に移動する）わけではなく、図６に示すように、駆動凸部１１４が設けられた先端部と同様の振幅で振動する部分である腹部１１７（１１７ａ，１１７ｂ）と、先端部や腹部１１７よりも屈曲振動の振幅が小さい部分である節部１１８とを有する。本実施例の振動体１１２は、振動体１１２の長手方向（Ｘ方向）の中央にある中央節部１１８ｂと、駆動凸部１１４に近い側にある前節部１１８ａと、駆動凸部１１４から遠い側にある後節部１１８ｃの３つの節部１１８を有している。

これら３つの節部１１８のうち、前節部１１８ａおよび後節部１１８ｃは、支持部材１３０が振動体１１２を挟持する部分となっている（図５参照）。このように振動体１１２の節部１１８を支持部材１３０で挟持するようにすれば、節部１１８と異なる部分（腹部１１７など）を挟持する場合に比べて、振動体１１２が屈曲振動する際に支持部材１３０が剪断方向に変形する変形量を大きくすることなく、振動体１１２の屈曲振動の振幅（駆動凸部１１４の移動量）を増大させることができるので、対象物を駆動する上で有利となる。

また、支持部材１３０で挟持されていない中央節部１１８ｂは、前述した支持部材１３０の厚み分の隙間に面することになる（図５参照）。そして、本実施例の圧電モーター１０では、この中央節部１１８ｂにおいて表電極１１６への配線（電極間電線３００ａ，３００ｂおよび外部電線３０４ａ，３０４ｂの半田３０２による接合）および裏電極１１５への配線（グランド電線３０６の半田３０２による接合）を行うようになっている。このように節部１１８で各電極への配線を行えば、配線が振動体１１２の屈曲振動の妨げとなることを抑制することができる。また、振動体１１２の屈曲振動の影響で配線が電極から外れてしまうことを抑制できるので、振動体１１２に安定して電圧を印加する配線を確保するのに好適である。

Ｄ．変形例 ：
以下では、上述した本実施例の圧電モーター１０の変形例について説明する。尚、変形例の説明にあたっては、上述の実施例と同様の構成部分については、先に説明した実施例と同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図７は、変形例の振動体１１２に設けられた表電極１１６および表電極１１６への配線を示した説明図である。先ず、図７（ａ）には、表電極１１６に電極間電線３００や外部電線３０４を半田３０２で接合する前の状態が示されている。変形例の振動体１１２においても、前述した実施例と同様に、表電極１１６が４つの領域から構成されている。このうち、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃは、表電極１１６を形成する際に一体に形成される連結部１１６ｅによって予め接続されている。

このような変形例の振動体１１２おいて、表電極１１６に配線する際には、図７（ｂ）に示すように、表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄを電極間電線３００ａで接続すればよく、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃは、連結部１１６ｅによって予め接続されているので、前述した実施例のように電極間電線３００ｂ（図３参照）によって接続する必要がない。このため、前述した実施例に比べて表電極１１６への配線作業を簡素化することができる。尚、変形例の表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃは、本発明の「第１領域」および「第２領域」に相当し、変形例の１１６ａおよび表電極１１６ｄは、本発明の「第３領域」および「第４領域」に相当している。

また、前述した実施例の振動体１１２では、２本の電極間電線３００ａ，３００ｂが上下方向（Ｚ方向）に立体交差していたのに対して（図５参照）、変形例の振動体１１２では、電極間電線３００ｂに代えて、連結部１１６ｅが表電極１１６の形成時に一体に形成されており、２本の電極間電線３００ａ，３００ｂを立体交差させる必要がないので、振動体１１２の表電極１１６と蓋板１４０との間に生じる支持部材１３０の厚み分の隙間に表電極の配線（半田３０２、電極間電線３００ａ、外部電線３０４ａ，３０４ｂ）を収めることが容易となる。従って、特に振動体１１２の屈曲方向と交差する方向から支持部材１３０で振動体１１２の両面（表電極１１６および裏電極１１５が設けられた両面）を挟持する方式において、表電極１１６への配線を確保するのに好適である。

Ｅ．適用例 ：
上述した本実施例の圧電モーター１０あるいは変形例の圧電モーター１０は、小型で対象物を精度良く駆動することができるから、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。

図８は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んで構成された電子部品検査装置６００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置６００は、大まかには基台６１０と、基台６１０の側面に立設された支持台６３０とを備えている。基台６１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ６１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ６１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ６１２ｕと下流側ステージ６１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置６１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台６１６とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。また、本実施例の検査台６１６は、本発明の「検査ソケット」に対応する。

また、支持台６３０には、基台６１０の上流側ステージ６１２ｕおよび下流側ステージ６１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ６３２が設けられており、Ｙステージ６３２からは、基台６１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部６３４が延設されている。また、腕部６３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ６３６が設けられている。そして、Ｘステージ６３６には、撮像カメラ６３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置６５０が設けられている。また、把持装置６５０の先端には、電子部品１を把持する把持部６５２が設けられている。更に、基台６１０の前面側には、電子部品検査装置６００の全体の動作を制御する制御装置６１８も設けられている。尚、本実施例では、支持台６３０に設けられたＹステージ６３２や、腕部６３４や、Ｘステージ６３６や、把持装置６５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。また、Ｘステージ６３６、Ｙステージ６３２、および把持装置６５０に内蔵されたＺステージが、本発明の「移動装置」に対応する。更に、本実施例の制御装置６１８は、本発明の「第１制御部」、「第２制御部」、「第３制御部」に対応する。

以上のような構成を有する電子部品検査装置６００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ６１２ｕに載せられて、検査台６１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、上流側ステージ６１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置６５０を移動させる。このとき、撮像カメラ６３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置６５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置６５０を降下させて、把持部６５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置６５０を撮像装置６１４の上に移動させて、撮像装置６１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置６５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置６５０を検査台６１６の上まで移動させた後、把持装置６５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台６１６の上にセットする。把持装置６５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台６１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台６１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台６１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、下流側ステージ６１２ｄの上まで把持装置６５０を移動させ、下流側ステージ６１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ６１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。

図９は、把持装置６５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置６５０内には、把持部６５２に接続された回転軸６５４や、回転軸６５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート６５６などが設けられている。また、微調整プレート６５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能となっている。

ここで、図９に斜線を付して示されるように、回転軸６５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１０θが搭載されており、圧電モーター１０θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸６５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０θを動作させることによって、回転軸６５４（および把持部６５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート６５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１０ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１０ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート６５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｘを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１０ｙを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図８の電子部品検査装置６００は、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙを動作させることにより、把持部６５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙがそれぞれ本発明の「第１の圧電モーター」、「第２の圧電モーター」に対応し、圧電モーター１０θが本発明の「第３の圧電モーター」に対応する。また、回転軸６５４や、微調整プレート６５６、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙによって構成される微調整機構が、本発明の「駆動装置」に対応する。

図１０は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ印刷装置７００を例示した斜視図である。図示した印刷装置７００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置７００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ７０１や、排出口７０２や、複数の操作ボタン７０５が設けられている。また、背面側には供給トレイ７０３が設けられている。供給トレイ７０３に印刷媒体２をセットして操作ボタン７０５を操作すると、供給トレイ７０３から印刷媒体２が吸い込まれて、印刷装置７００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷された後、排出口７０２から排出される。

印刷装置７００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動するキャリッジ７２０と、キャリッジ７２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール７１０が設けられている。また、図示したキャリッジ７２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する噴射ヘッド７２２や、キャリッジ７２０を主走査方向に駆動するための駆動部７２４などから構成されている。噴射ヘッド７２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部７２４には、圧電モーター１０ｍ，１０ｓが搭載されている。圧電モーター１０ｍの駆動凸部（図示は省略）はガイドレール７１０に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｍを動作させることで、キャリッジ７２０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１０ｓの駆動凸部１１４は、噴射ヘッド７２２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｓを動作させることで、噴射ヘッド７２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体２として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置７００では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ７２０にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。

図１１は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだロボットハンド８００を例示した説明図である。図示したロボットハンド８００は、基台８０２から複数本の指部８０３が立設されており、手首８０４を介してアーム８１０に接続されている。ここで、指部８０３の根元の部分は基台８０２内で移動可能となっており、この指部８０３の根元の部分に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｆが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｆを動作させることで、指部８０３を移動させて対象物を把持することができる。また、手首８０４の部分にも、手首８０４の端面に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｒが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｒを動作させることで、基台８０２全体を回転させることが可能である。

図１２は、ロボットハンド８００を備えたロボット８５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット８５０は、複数本のアーム８１０と、それらアーム８１０の間を屈曲可能な状態で接続する関節部８２０とを備えている。また、ロボットハンド８００はアーム８１０の先端に接続されている。そして、関節部８２０には、関節部８２０を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター１０ｊが内蔵されている。このため、圧電モーター１０ｊを動作させることにより、それぞれの関節部８２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。

以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。

例えば、前述した実施例では、振動体１１２の３つの節部１１８のうち、前節部１１８ａおよび後節部１１８ｃで振動体１１２が支持部材１３０によって挟持され、中央節部１１８ｂで表電極１１６への配線および裏電極１１５への配線が行われていた（図５および図６参照）。しかし、３つの節部１１８のうち一部の節部１１８で振動体１１２を支持部材１３０で挟持し、支持部材１３０で挟持されていない節部１１８の何れかで電極への配線を行えばよく、前述した実施例の態様に限られるわけではない。例えば、図１３に示すように、中央節部１１８ｂにて振動体１１２を支持部材１３０で挟持することとして、前節部１１８ａおよび後節部１１８ｃにて表電極１１６への配線（電極間電線３００ａ，３００ｂおよび外部電線３０４ａ，３０４ｂの半田３０２による接合）および裏電極１１５の配線（グランド電線３０６の半田３０２による接合）を行ってもよい。この場合でも、前述した実施例と同様に、支持部材１３０の変形量を大きくすることなく振動体１１２の駆動凸部１１４の移動量を増大させたり、振動体１１２の屈曲振動の影響で配線が電極から外れることを抑制したりする効果を得ることができる。また、前節部１１８ａまたは後節部１１８ｃの何れか一方で振動体１１２を挟持することとして、中央節部１１８ｂで表電極１１６への配線および裏電極１１５への配線を行ってもよい。

１０…圧電モーター、 １００…本体部、 １１０…振動部、
１１２…振動体、 １１４…駆動凸部、 １１５…裏電極、
１１６…表電極、 １２０…振動体ケース、 １３０…支持部材、
１３２…絶縁シート、 １４０…蓋板、 １４２…皿バネ、
１４４…押さえ板、 １４６…止めネジ、 ２００…基台部、
２１０…第１側壁ブロック、 ２２０…第２側壁ブロック、 ２３０…基板、
２４０…止めネジ、 ３００…電極間電線、 ３０２…半田、
３０４…外部電線、 ３０６…グランド電線、 ６００…電子部品検査装置、
６１０…基台、 ６１２ｄ…下流側ステージ、 ６１２ｕ…上流側ステージ、
６１４…撮像装置、 ６１６…検査台、 ６１８…制御部、
６３０…支持台、 ６３４…腕部、 ６３８…撮像カメラ、
６５０…把持装置、 ６５２…把持部、 ６５４…回転軸、
６５６…微調整プレート、 ７００…印刷装置、 ７０１…排紙トレイ、
７０２…排出口、 ７０３…供給トレイ、 ７０５…操作ボタン、
７１０…ガイドレール、 ７２０…キャリッジ、 ７２２…噴射ヘッド、
７２４…駆動部、 ８００…ロボットハンド、 ８０２…基台、
８０３…指部、 ８０４…手首、 ８１０…アーム、
８２０…関節部、 ８５０…ロボット

Claims (14)

1. 圧電材料を含む振動体に電圧を印加して屈曲振動を発生させ、前記振動体の端部に設けられた凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
   前記振動体の屈曲振動で前記凸部が設けられた端部が移動する屈曲方向と交差する方向を向いた前記振動体の両面に形成され、前記電圧が印加される電極と、
   非導電性材料で被覆され、前記電極に電圧を印加する電線と、
   前記電極と前記電線とを電気的に接合する接合部と、
   前記振動体を収納する収納ケースと、
   前記振動体と前記収納ケースとの間に設けられ、前記振動体の屈曲方向と交差する方向から、前記電極が設けられた前記振動体の両面を挟持する支持部と、
   を備え、
   前記接合部は、前記振動体の前記電極と前記収納ケースとの間に生じる前記支持部の厚み分の隙間に設けられ、
   前記接合部の前記電極からの高さ及び前記電線の外径は、前記支持部の厚みよりも小さい
   ことを特徴とする圧電モーター。
2. 請求項１に記載の圧電モーターであって、
   前記振動体は、
   前記凸部が設けられた端部と前記屈曲振動の振幅が同じである複数の腹部と、
   前記腹部よりも前記屈曲振動の振幅が小さい複数の節部と、
   を有し、
   前記支持部は、前記複数の節部のうち一部の節部で前記振動体に接しており、
   前記接合部は、前記支持部が接していない前記節部の何れかで前記電極と接合している
   ことを特徴とする圧電モーター。
3. 請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
   前記電極と向き合う前記収納ケースの内面は、非導電性材料で被覆されている
   ことを特徴とする圧電モーター。
4. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
   前記電極は、
   連結部を介して互いに接続され、前記連結部を含めて一体に形成された第１領域および第２領域と、
   前記第１領域および前記第２領域とは電気的に隔絶して形成され、前記連結部に対して互いに異なる側に配置された第３領域および第４領域と、
   を有し、
   前記第３領域と前記第４領域とは、前記連結部と交差する前記電線によって互いに接続されている
   ことを特徴とする圧電モーター。
5. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。
6. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。
7. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。
8. 請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項７に記載のロボットハンドを備えるロボット。
9. 把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
   請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う
   ことを特徴とする電子部品検査装置。
10. 把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
    前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
    前記圧電モーターは、
    圧電材料を含んで形成され、電圧が印加されると屈曲振動する振動体と、
    前記振動体の端部に設けられた凸部と、
    前記振動体の屈曲振動で前記凸部が設けられた端部が移動する屈曲方向と交差する方向を向いた前記振動体の両面に形成され、前記電圧が印加される電極と、
    非導電性材料で被覆され、前記電極に電圧を印加する電線と、
    前記電極と前記電線とを電気的に接合する接合部と、
    前記振動体を収納する収納ケースと、
    前記振動体と前記収納ケースとの間に設けられ、前記振動体の屈曲方向と交差する方向から、前記電極が設けられた前記振動体の両面を挟持する支持部と、
    を備え、
    前記接合部は、前記振動体の前記電極と前記収納ケースとの間に生じる前記支持部の厚み分の隙間に設けられ、
    前記接合部の前記電極からの高さ及び前記電線の外径は、前記支持部の厚みよりも小さい
    ことを特徴とする電子部品検査装置。
11. 電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
    前記電子部品を把持する把持装置と、
    前記把持装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
    前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
    前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
    前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
    前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
    を備える電子部品検査装置であって、
    前記制御装置は、
    前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
    前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
    前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
    を備えており、
    前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
    前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
    ことを特徴とする電子部品検査装置。
12. 把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
    請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行う
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。
13. 把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
    前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
    前記圧電モーターは、
    圧電材料を含んで形成され、電圧が印加されると屈曲振動する振動体と、
    前記振動体の端部に設けられた凸部と、
    前記振動体の屈曲振動で前記凸部が設けられた端部が移動する屈曲方向と交差する方向を向いた前記振動体の両面に形成され、前記電圧が印加される電極と、
    非導電性材料で被覆され、前記電極に電圧を印加する電線と、
    前記電極と前記電線とを電気的に接合する接合部と、
    前記振動体を収納する収納ケースと、
    前記振動体と前記収納ケースとの間に設けられ、前記振動体の屈曲方向と交差する方向から、前記電極が設けられた前記振動体の両面を挟持する支持部と、
    を備え、
    前記接合部は、前記振動体の前記電極と前記収納ケースとの間に生じる前記支持部の厚み分の隙間に設けられ、
    前記接合部の前記電極からの高さ及び前記電線の外径は、前記支持部の厚みよりも小さい
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。
14. 電子部品を把持する把持装置と、
    互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把持装置を移動させる移動装置と、
    前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
    を備える電子部品搬送装置であって、
    前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
    前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。

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