CN103151958A - 压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置。在压电马达中，利用缓冲部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持包含压电材料的振动体的两侧，并经由弹性部利用压盖将缓冲部按压于振动体，在该状态下将其收纳于振动体壳体。此外，在缓冲部与弹性部之间设置压板，从而限制压板的沿振动体的振动方向的移动。

Description

压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置

技术领域

本发明涉及压电马达、驱动装置、电子部件输送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机械手以及机器人。

背景技术

公知有使由压电材料形成的部件（振动体）振动来驱动对象物的压电马达。该压电马达具有如下特征：与利用电磁力来使转子旋转的方式的电磁马达相比，该压电马达的体型小、且能够得到大的驱动力，进而，能够以高分辨率定位对象物。因此，例如作为照相机的驱动机构等各种装置的致动器而被使用。

压电马达以如下的原理进行动作。首先，将振动体（压电材料）形成为近似长方体形状，并在长边方向的端面设置凸部。进而，对振动体施加规定频率的电压，从而同时产生振动体伸缩的方式的振动和振动体弯曲的方式的振动。这样，振动体的端面开始进行朝一个方向旋转的椭圆运动。因此，通过将设置于端面的凸部按压于对象物，能够利用在凸部与对象物之间作用的摩擦力使对象物朝一定方向移动。

根据这样的动作原理，压电马达需要在将设置于振动体的端面的凸部按压于对象物的状态下使用。并且，需要保持振动体，以免在驱动对象物时振动体因凸部从对象物受到的反作用力而脱离。然而，必须允许振动体以凸部进行椭圆运动的方式振动。因此，提出了如下技术：将振动体以使凸部突出的状态收纳于保持壳体，在该保持壳体内，使用弹性部件从弯曲方向支承振动体的两侧，并且对振动体连同保持壳体朝对象物施力。

专利文献1：日本特开平11－346486号公报

但是，近年来，对搭载有压电马达的装置的小型化以及性能提高的要求日益增高，伴随与此，也要求压电马达实现进一步的小型化以及驱动精度的提高。

并且，存在难以高效地将振动体所产生的能量利用于对象物的驱动的问题。这是由于如下原因：由于从弯曲方向支承振动体的两侧，因此，振动体的振动易于经由保持壳体传递到外部，传递到外部的振动无法利用于驱动对象物。

发明内容

本发明是为了解决现有技术所具有的上述课题中的至少一部分而完成的，其目的在于提供能够使压电马达小型化并提高驱动精度的技术，或者提供能够高效地驱动对象物的技术。

为了解决上述课题的至少一部分，本发明的压电马达采用了如下结构。即，该压电马达的特征在于，通过使包含压电材料的振动体振动，并使突出设置于振动体的端面的凸部与对象物接触，来使对象物移动，其中，该压电马达具备：振动体壳体，该振动体壳体收纳振动体；基台，在该基台设置有滑动部，且振动体壳体安装于基台，振动体壳体在滑动部滑动；加压弹性体，该加压弹性体对从振动体壳体突出的凸部朝对象物的方向施力；以及侧压弹性体，该侧压弹性体从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向对振动体壳体朝基台的滑动部施力，侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。

在这种结构的压电马达中，通过在使振动体的凸部连同振动体壳体一起与对象物接触的状态下使振动体振动，能够使对象物移动。并且，由于利用侧压弹性体将振动体壳体按压于基台的滑动部，因此，在驱动对象物时，振动体不会因凸部从对象物受到的反作用力而脱离。这里，振动体壳体能够在相对于对象物接近或远离的方向上滑动。不仅如此，从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向将振动体壳体按压于滑动部的侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。

这样，侧压弹性体的端面不会相对于振动体壳体相对移动。因此，无需在侧压弹性体的端面与振动体壳体之间设置具有耐磨损性的部件、滚子等，因此能够使压电马达小型化。当然，由于振动体壳体相对于对象物滑动，因此，在侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合的构造中，侧压弹性体不仅将振动体壳体按压于基台的滑动部，还产生沿着阻碍振动体壳体的滑动的方向的力。该力在使将振动体的凸部按压于对象物的力变动的方向发挥作用，因此会使在凸部与对象物之间产生的摩擦力变动，结果成为使压电马达的驱动力变动的主要因素。但是，实际上，因侧压弹性体的端面在其与振动体壳体之间滑动而产生的摩擦力的变动、因设置于侧压弹性体与振动体壳体之间的滚子滚动时的摩擦力的变动所引起的影响更大，因而，通过形成为侧压弹性体的端面在其与振动体壳体之间不滑动的构造，反而能够减少将振动体的凸部按压于对象物的力的变动。并且，通过侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合，侧压弹性体对推压凸部的推压力赋予的变动是比因加压弹性体的制造偏差而引起的推压力的偏差小的值。根据以上的理由，通过采用侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合的构造，能够抑制将振动体的凸部按压于对象物的力的变动。结果，能够使压电马达的驱动力稳定，并且能够在每次通过振动体的振动使凸部进行椭圆运动时使对象物移动相同的距离。因此，根据本发明所涉及的压电马达，能够使压电马达小型化、且能够提高驱动精度。

另外，加压弹性体或侧压弹性体只要能够对振动体壳体施力即可，能够使用螺旋弹簧、板簧等各种方式的弹簧。并且，例如在使用板簧作为侧压弹性体的情况下，侧压弹性体的表面中的、与振动体壳体接触而施力的部分成为侧压弹性体的端面。另一方面，通过使螺旋弹簧大幅变形而进行使用，从而能够以即便振动体壳体滑动、作用力也几乎不变的状态进行使用，因此能够作为加压弹性体或侧压弹性体而适当地进行使用。并且，侧压弹性体的端面只要以使得当振动体壳体滑动时该端面与该振动体壳体之间不滑动的方式嵌合即可。因而，作为侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合的方式，例如可以在振动体壳体设置凹部并使侧压弹性体的端面与该凹部嵌合，也可以从振动体壳体设置突起并使侧压弹性体的端面与该突起嵌合。此外，也可以从侧压弹性体的端面设置突起，并使该突起与设置于振动体壳体的凹部嵌合。

并且，在上述本发明的压电马达的基础上，还可以利用侧压弹性体保持部支承侧压弹性体的不与振动体壳体接触的一侧的端面，并使侧压弹性体的与侧压弹性体保持部接触的一侧的端面与侧压弹性体保持部嵌合。

这样，侧压弹性体的不与振动体壳体接触的一侧的端面也不会滑动。因此，能够避免因滑动导致摩擦力变动、将振动体的凸部按压于对象物的力变动的情况。结果，能够进一步提高压电马达的驱动精度。

并且，在上述本发明的压电马达基础上，还可以不将加压弹性体设置于振动体壳体的后侧（与面向对象物的一侧相反的一侧），而相对于振动体壳体将其设置于设置有滑动部的一侧、或设置于设置有侧压弹性体的一侧。

这样，与在振动体壳体的后侧设置加压弹性体的情况相比，能够缩短压电马达的长度。结果，能够使压电马达进一步小型化。

并且，可以使用上述本发明的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机械手、以及机器人等。

根据上述的压电马达，该压电马达的体型小、且能够实现高驱动精度。因而，若上述本发明的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机械手以及机器人等，则能够获得小型且高性能的驱动装置、印刷装置、机械手以及机器人等。

并且，也可以使用上述的压电马达构成如下的电子部件检查装置。即、该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查所述电子部件的电气特性，其中，使用上述任一种压电马达进行电子部件相对于检查插座的对位。

此外，也可以使用上述的压电马达构成如下的电子部件输送装置。即，该电子部件输送装置输送所把持的电子部件，其中，使用上述任一种压电马达进行电子部件的对位。

上述的压电马达的体型小、且能够实现高驱动精度，因此能够实现能够高精度地对电子部件进行对位且小型的电子部件输送装置。

并且，电子部件输送装置还能够以下述方式实施，即、该电子部件输送装置的特征在于，该电子部件输送装置具备：把持装置，该把持装置把持电子部件；移动装置，该移动装置使把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与第一轴和第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；以及控制装置，该控制装置控制移动装置的动作，其中，把持装置具有：第一压电马达，该第一压电马达使电子部件沿第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达使电子部件沿第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达使电子部件绕第三轴旋转，第一压电马达至第三压电马达为上述的压电马达。

并且，电子部件检查装置能够以如下方式实现。即、该电子部件检查装置的特征在于，具备：检查插座，电子部件安装于该检查插座，且该检查插座检查电子部件的电气特性；把持装置，该把持装置把持电子部件；移动装置，该移动装置使把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与第一轴和第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；拍摄装置，从检查插座观察，拍摄装置设置在第一轴上或者第二轴上，并检查安装于检查插座的电子部件的姿势；上游侧工作台，该上游侧工作台将电子部件从检查插座输送至与拍摄装置连结的第一轴或者第二轴上的规定位置；下游侧工作台，该下游侧工作台从与从检查插座观察设置有拍摄装置的一侧相反侧的规定位置输送电子部件；以及控制装置，该控制装置控制移动装置的动作，其中，控制装置具备：第一控制部，该第一控制部使把持着上游侧工作台输送来的电子部件的把持装置移动至拍摄装置的上方；第二控制部，该第二控制部通过使把持装置移动而将由拍摄装置确认姿势后的电子部件安装于检查插座；以及第三控制部，该第三控制部通过使把持装置移动而将在检查插座对电气特性进行检查后的电子部件从检查插座载置于下游侧工作台，把持装置内置有：第一压电马达，该第一压电马达根据由拍摄装置检测到的电子部件的姿势而使电子部件沿第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达根据由拍摄装置检测到的电子部件的姿势而使电子部件沿第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达根据由拍摄装置检测到的电子部件的姿势而使电子部件绕第三轴旋转，第一压电马达至第三压电马达为上述的压电马达。

具有这样的结构的电子部件检查装置能够在使用设置于把持装置的第一至第三压电马达调整电子部件的姿势后将电子部件安装于检查插座。这里，上述的压电马达的体积小、且能够高精度地驱动对象物，因此特别适合作为设置于把持装置的第一至第三压电马达。

本发明所涉及的电子部件检查装置也可以采用如下结构。即、该电子部件检查装置的特征在于，该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查电子部件的电气特性，其中，电子部件检查装置具备压电马达，该压电马达进行电子部件相对于检查插座的对位，压电马达具备：振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；振动体壳体，该振动体壳体收纳振动体；基台，在该基台设置有滑动部，且振动体壳体安装于基台，振动体壳体在滑动部滑动；加压弹性体，该加压弹性体对从振动体壳体突出的凸部朝对象物的方向施力；以及侧压弹性体，该侧压弹性体从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向对振动体壳体朝基台的滑动部施力，侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。

本发明所涉及的电子部件输送装置也可以采用如下的结构。该电子部件输送装置用于输送所把持的电子部件，其中，该电子部件输送装置具备进行电子部件的对位的压电马达，压电马达具备：振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；振动体壳体，该振动体壳体收纳振动体；基台，在该基台设置有滑动部，且振动体壳体安装于基台，振动体壳体在滑动部滑动；加压弹性体，该加压弹性体对从振动体壳体突出的凸部朝对象物的方向施力；以及侧压弹性体，该侧压弹性体从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向对振动体壳体朝基台的滑动部施力，侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。

为了解决上述课题的至少一部分，本发明的压电马达采用如下的结构。即，压电马达的特征在于，该压电马达具有：振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；振动体壳体，该振动体壳体收纳振动体；以及加压弹性体，该加压弹性体朝使振动体的凸部与对象物接触的方向对振动体壳体施力，压电马达通过使振动体产生伸缩振动和弯曲振动来使对象物移动，其中，压电马达具备：缓冲部，该缓冲部在振动体壳体内从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧，且包含具有动态粘弹性的材料而形成；压盖，该压盖安装于振动体壳体；以及碟形弹簧，该碟形弹簧设置于压盖与缓冲部之间，并被压盖压缩，在缓冲部与碟形弹簧之间设置有压板，该压板的沿振动体的伸缩方向以及弯曲方向的移动被限制。

在具有这种结构的本发明的压电马达中，由于被收纳于振动体壳体的振动体的两侧由缓冲部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持，因此振动体的振动很难传递至振动体壳体，因而能够高效地驱动对象物。并且，由于缓冲部包含具有动态粘弹性的材料而形成，因此振动体的振动在缓冲部变形时衰减，因此，根据该情况振动体的振动也很难传递至振动体壳体。另外，动态粘弹性（tanδ）是如下的指标。当在拉伸材料的模式下施加正弦波应变ε时，在材料上产生正弦波的应力σ，但应力σ的相位会相对于输入的应变产生相位为δ的延迟。使用该相位δ对材料的动态粘性进行定量化而得的指标就是动态粘弹性（tanδ）。即，所谓动态粘弹性较大、即相位δ较大，表示所施加的应变在材料内部产生传递延迟。换言之，能够使振动的传递更加缓慢，从而能够抑制振动向振动体壳体传递。并且，缓冲部被由压盖压缩后的碟形弹簧按压于振动体。因此，即便振动体、缓冲部的尺寸在振动体的夹持方向（与振动体的弯曲方向交叉的方向）产生偏差，也能够利用碟形弹簧的弹性变形吸收该偏差。此外，在缓冲部与碟形弹簧之间设置有压板，该压板的沿振动体的振动方向（振动体的伸缩方向以及弯曲方向）的移动被限制。另外，“移动被限制”是指无法超过某个移动量而移动的状态。因此，即便在振动体的凸部从对象物受到反作用力的情况下，由于压板的移动被限制，因此碟形弹簧不会在剪切方向大幅变形。这样，根据本发明，通过碟形弹簧弹性变形来吸收振动体、缓冲部的沿夹持方向的尺寸偏差，并且，碟形弹簧在振动体的振动方向、从对象物受到反作用力的方向几乎不变形。结果，能够容易地制造压电马达，而不需要进行实际测量振动体、缓冲部的厚度并针对振动体选择并组装缓冲部等繁琐的作业。

并且，在上述的压电马达的基础上，也可以通过使压板与压盖嵌合来限制压板的移动。例如，在压盖的一部分形成凹部，压板的一部分（压板的端面，或者从压板突出设置的凸部等）与压盖的凹部嵌合，结果，能够避免压板在振动体的振动方向（伸缩方向以及弯曲方向）移动。当然，也可以压板的整体与压盖的凹部嵌合。此外，也可以在压板形成凹部，并使从压盖突出设置的凸部与压板的凹部嵌合。

这样，能够简单地实现利用碟形弹簧将缓冲部按压于振动体、并限制压板的移动的构造。

并且，在上述的压电马达的基础上，也可以在压板的与缓冲部接触的部分的表面（接触面）形成凹凸。或者也可以相反地在缓冲部的与压板接触的部分的表面（接触面）形成凹凸。

这样，利用将碟形弹簧按压压板的力使形成于压板的凹凸卡入缓冲部、或者使形成于缓冲部的凹凸卡入压板，因此，缓冲部很难在其与压板的接触面上滑动。因此，难以发生因在驱动对象物的过程中凸部受到的反作用力而导致振动体随同缓冲部一起移动的情况。另外，形成于压板或者缓冲部的凹凸能够是各种方式的凹凸。例如，可以是凸部的前端尖锐的锯齿状的凹凸，也可以是表面粗糙的程度的微小的凹凸。或者，也可以在压板以及缓冲部双方形成凹凸，并使形成于一方的凹凸与形成于另一方的凹凸嵌合。

本发明所涉及的压电马达也可以采用如下结构。即，该压电马达的特征在于，该压电马达具有：振动体，该振动体包含压电材料而形成，且在端面突出设置有凸部；振动体壳体，该振动体壳体收纳振动体；以及加压弹性体，该加压弹性体朝使振动体的凸部与对象物接触的方向对振动体壳体施力，压电马达通过使振动体产生伸缩振动和弯曲振动来使对象物移动，压电马达具备：缓冲部，该缓冲部在振动体壳体内从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧，且包含具有动态粘弹性的材料而形成；压盖，该压盖安装于振动体壳体；碟形弹簧，该碟形弹簧被压盖压缩；以及压板，该压板设置于碟形弹簧与所述缓冲部之间。

在具有这种结构的本发明的压电马达中，由于被收纳于振动体壳体的振动体的两侧由缓冲部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持，因此振动体的振动很难传递至振动体壳体，因而能够高效地驱动对象物。并且，由于缓冲部包含具有动态粘弹性的材料而形成，因此振动体的振动在缓冲部变形时衰减，因此，根据该情况振动体的振动也很难传递至振动体壳体。另外，动态粘弹性（tanδ）是如下的指标。当在拉伸材料的模式下施加正弦波应变ε时，在材料上产生正弦波的应力σ，但应力σ的相位会相对于输入的应变产生相位为δ的延迟。使用该相位δ对材料的动态粘性进行定量化而得的指标就是动态粘弹性（tanδ）。即，所谓动态粘弹性较大、即相位δ较大，表示所施加的应变在材料内部产生传递延迟。换言之，能够使振动的传递更加缓慢，从而能够抑制振动向振动体壳体传递。并且，缓冲部被由压盖压缩后的碟形弹簧按压于振动体。因此，即便振动体、缓冲部的尺寸在振动体的夹持方向（与振动体的弯曲方向交叉的方向）产生偏差，也能够利用碟形弹簧的弹性变形吸收该偏差。并且，碟形弹簧形成为很难在振动体的振动方向（伸缩方向以及弯曲方向）变形的形状。除此之外，碟形弹簧的角部通过被压盖按压而卡入压板以及压盖，因此碟形弹簧不会在压板、压盖之间滑动。因而，在振动体的振动方向（振动体的伸缩方向以及弯曲方向）以及从对象物受到反作用力的方向上，从压板到压盖的部分大致能够作为刚体使用。因此，根据本发明，通过碟形弹簧变形来吸收振动体、缓冲部的夹持方向的尺寸偏差，并且，在振动体的振动方向、从对象物受到反作用力的方向上，并不会产生任何因设置碟形弹簧而导致的影响。结果，能够容易地制造压电马达，而无需进行实际测量振动体、缓冲部的厚度并针对振动体选择并组装缓冲部等繁琐的作业。并且，该情况也不会对压电马达的性能方面产生任何负面影响。

并且，在上述的压电马达的基础上，也可以在压板的与碟形弹簧的角部抵接的部分预先形成供角部嵌入的槽（第一槽），在压盖的与碟形弹簧的角部抵接的部分预先形成供角部嵌入的槽（第二槽）。

这样，能够使用比碟形弹簧硬的材料（或者在表面实施热处理后的材料）等作为压板、压盖的材料。并且，通过将第一槽、第二槽形成得较深，能够在压板、压盖之间可靠地保持碟形弹簧，因此能够可靠地防止碟形弹簧在压板、压盖之间滑动。

并且，在上述的压电马达的基础上，也可以在压板或者压盖中的一方形成供碟形弹簧的外周部分嵌入的凹部。

这样，在重叠地组装压板和碟形弹簧时，能够将碟形弹簧嵌入凹部，因此组装作业变得容易。另外，从使组装作业变得容易的观点出发，碟形弹簧的外周部分松弛地嵌入凹部就足以使碟形弹簧不会大幅移动。但是，若以碟形弹簧不移动的状态将碟形弹簧的外周部分嵌入凹部，则不仅能够使组装作业变得容易，还能够更加可靠地防止在压电马达的动作中碟形弹簧在其与压板或者压盖之间移动。并且，作为凹部的从上面观察的形状（从被压盖按压的方向观察的形状），只要是碟形弹簧的外周部分能够嵌入的形状即可，因而，可以是与碟形弹簧相同的圆形，也可以是例如多边形形状等。

并且，在上述的压电马达的基础上，也可以在压板或者压盖中的一方形成供碟形弹簧的内周部分嵌入的凸部。

这样，在将压板、碟形弹簧以及压盖重叠地组装时，能够将碟形弹簧嵌入凸部，因此组装作业变得容易。另外，从使组装作业变得容易的观点出发，碟形弹簧的内周部分松弛地嵌入凸部就足以使碟形弹簧不会大幅移动。但是，若以碟形弹簧不运动的状态将碟形弹簧的内周部分嵌入凸部，则不仅能够使组装作业变得容易，还能够更加可靠地防止在压电马达的动作中碟形弹簧在其与压板或者压盖之间运动。并且，作为凸部的从上面观察的形状（从被压盖按压的方向观察的形状），只要是碟形弹簧的内周部分能够嵌入的形状即可，因而，可以是与碟形弹簧相同的圆形，也可以是例如多边形形状等。

附图说明

图1是示出实施方式1的压电马达的大体结构的说明图。

图2是示出主体部的构造的分解组装图。

图3是示出压电马达的动作原理的说明图。

图4是示出实施方式2中的振动体的夹持方法的剖视图。

图5是关于振动体的夹持方法的说明图。

图6是示出变形例中的振动体的夹持方法的剖视图。

图7是示出变形例中的振动体的夹持方法的剖视图。

图8是关于实施方式3中的振动体的夹持方法的说明图。

图9是示出能够吸收振动体以及缓冲部的厚度方向的尺寸偏差并适当地夹持振动体的理由的说明图。

图10是示出振动体的夹持方法的其它方式的说明图。

图11是示出变形例中的振动体的夹持方法的说明图。

图12是示出变形例中的振动体的夹持方法的说明图。

图13是例示出组装压电马达而构成的电子部件检查装置的立体图。

图14是内置于把持装置的微调机构的说明图。

图15是例示出组装有压电马达的印刷装置的立体图。

图16是例示出组装有压电马达的机械手的说明图。

图17是例示出具备机械手的机器人的说明图。

具体实施方式

（实施方式1）

以下，为了明确上述的本申请发明的内容，对实施方式1所涉及的压电马达的结构进行说明。

（装置结构）

图1是示出本实施方式的压电马达10的大体结构的说明图。图1的（a）中示出本实施方式的压电马达10的整体图，图1的（b）中示出分解组装图。如图1的（a）所示，本实施方式的压电马达10大体上由主体部100和基台部200构成。主体部100安装在基台部200内，并能够在该状态下沿一个方向滑动。另外，在本说明书中，将主体部100的滑动方向称为X方向。并且，如图中所示，将与X方向正交的方向分别称为Y方向、Z方向。

主体部100以及基台部200分别组合多个部件而构成。例如，基台部200通过利用固定螺钉240将第一侧壁体210以及第二侧壁体220紧固在呈近似矩形形状基板230的上表面的两侧而构成（参照图1的（b））。在组装压电马达10时，使用固定螺钉240从主体部100的上方将第一侧壁体210以及第二侧壁体220安装于基板230。

并且，在第一侧壁体210形成有前方壳体212、中央壳体214、以及后方壳体216三个凹部。进而，当将第一侧壁体210安装于基板230时，以在前方壳体212收纳有前方侧压弹簧212s、在后方壳体216收纳有后方侧压弹簧216s的状态进行安装。结果，主体部100成为被前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s按压于第二侧壁体220的状态。并且，在主体部100的侧面的、面向第二侧壁体220的一侧安装有前侧滚子102r以及后侧滚子106r。此外，在主体部100的侧面设置有加压弹簧222s。该加压弹簧222s在前侧滚子102r的后侧的部位沿X方向推压主体部100。另外，在本实施方式中，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s与本发明的“侧压弹性体”对应，加压弹簧222s与本发明的“加压弹性体”对应。此外，基台部200与本发明的“基台”对应，构成基台部200的第一侧壁体210以及第二侧壁体220分别与本发明的“侧压弹性体保持部”以及“滑动部”对应。

并且，在主体部100的与设置有前侧滚子102r以及后侧滚子106r的一侧相反侧的侧面，朝Z方向（在图中为上方）设置有推压滚子104r。在安装第一侧壁体210后的状态下，该推压滚子104r被收纳于第一侧壁体210的中央壳体214。并且，在主体部100的设置有推压滚子104r的部分的背面侧与基板230之间设置有推压弹簧232s。因此，推压滚子104r成为相对于中央壳体214的内表面被朝Z方向（在图中为上方）推压的状态。

图2是示出主体部100的构造的分解组装图。主体部100大体上形成为在振动体壳体120内收纳有振动部110的构造。振动部110包括：利用压电材料形成为长方体形状的振动体112、安装在振动体112的长度方向（X方向）的端面的陶瓷制的驱动凸部114、以及将振动体112的一个侧面分割成四份而设置成的四个表面电极116等。另外，虽然在图2中未示出，但是在与设置有四个表面电极116的一侧相反侧的侧面，设置有覆盖侧面的几乎整面的背面电极，该背面电极接地。另外，在本实施例中，驱动凸部114与本发明的“凸部”对应。

振动部110以由树脂制的缓冲部件130从设置有表面电极116以及背面电极的两个侧面（在图2中为Z方向的两个侧面）夹持的状态被收纳于振动体壳体120。此外，从表面电极116侧的缓冲部件130的上方载置压板140、碟形弹簧142、以及压盖144，并利用固定螺钉146将压盖144紧固于振动体壳体120。另外，缓冲部130由具有动态粘弹性的材料（聚酰亚胺树脂、橡胶、弹性体等）形成。因此，虽然振动部110被碟形弹簧142的弹力推压，但通过缓冲部130剪切变形，该振动部110以振动体112能够振动的状态被收纳在振动体壳体120内。

（压电马达的动作原理）

图3是示出压电马达10的动作原理的说明图。对于压电马达10，当以一定周期对振动部110的表面电极116施加电压时，振动部110的驱动凸部114以进行椭圆运动的方式动作。振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动的理由如下。

首先，众所周知，振动体112具有当施加正电压时伸长的性质。因而，如图3的（a）所示，当反复进行在对四个表面电极116全部施加正电压后解除施加电压的操作时，振动体112反复进行在长度方向（X方向）伸缩的动作。将像这样振动体112在长度方向（X方向）反复伸缩的动作称为“伸缩振动”。并且，当改变施加正电压的频率时，当达到某个确定的频率时，伸缩量突然变大，产生一种共振现象。在伸缩振动中产生共振的频率（共振频率）由振动体112的物性、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。

并且，如图3的（b）所示，以相互位于对角线的位置的两个表面电极116为一组（表面电极116a以及表面电极116d的组、或表面电极116b以及表面电极116c的组），交替地施加正电压。于是，振动体112的长度方向（X方向）的前端部（安装有驱动凸部114的部分）反复进行在图中朝右方向或左方向摆头的动作。例如，如图3的（b）所示，当以一定周期对表面电极116a以及表面电极116d的组施加正电压时，振动体112反复进行使前端部（驱动凸部114）在图中朝右方向摆动的动作。并且，如图3的（c）所示，当以一定周期对表面电极116b以及表面电极116c的组施加正电压时，振动体112反复进行使前端部在图中朝左方向摆动的动作。将这样的振动体112的动作称为“弯曲振动”。对于这样的弯曲振动，也存在由振动体112的物性、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定的共振频率。因而，当以该共振频率对相互位于对角线的位置的两个表面电极116施加正电压时，振动体112朝右方向或左方向大幅度摆头而进行振动。

这里，图3的（a）所示的伸缩振动的共振频率与图3的（b）或图3的（c）所示的弯曲振动的共振频率均由振动体112的物性、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。因而，若适当地选择振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T），则能够使两个共振频率一致。进而，当以共振频率对上述的振动体112施加如图3的（b）或图3的（c）所示的弯曲振动的方式的电压时，在产生图3的（b）或图3的（c）所示的弯曲振动的同时，也会由于共振而诱发图3的（a）的伸缩振动。结果，在以图3的（b）所示的方式施加了电压的情况下，振动体112的前端部分（安装有驱动凸部114的部分）沿图中顺时针方向开始进行椭圆运动。并且，在以图3的（c）所示的方式施加了电压的情况下，振动体112的前端部分沿图中的逆时针方向开始进行椭圆运动。图3的（d）是示出使施加电压（驱动方法）以上述方式变化时的椭圆运动的旋转方向的变化方式的状态转变图。

压电马达10利用这样的椭圆运动驱动对象物。即、在将振动体112的驱动凸部114按压于对象物的状态下产生椭圆运动。于是，驱动凸部114反复进行如下动作：在振动体112伸长时，在被按压于对象物的状态下从左向右（或从右向左）移动，然后，在振动体112收缩时，在从对象物离开的状态下返回至原来的位置。结果，对象物借助从驱动凸部114受到的摩擦力而朝一个方向被驱动。并且，对象物所受到的驱动力与在该对象物和驱动凸部114之间产生的摩擦力相等，因此，驱动力的大小由驱动凸部114与对象物之间的摩擦系数和将驱动凸部114按压于对象物的力决定。

根据以上说明的压电马达10的动作原理可知，压电马达10需要在将驱动凸部114按压于对象物的状态下使用。因此，在压电马达10中形成为：具备驱动凸部114的主体部100能够相对于基台部200滑动，并利用设置在主体部100与基台部200之间的加压弹簧222s将从主体部100突出的驱动凸部114按压于对象物（参照图1）。

并且，当驱动对象物时，驱动凸部114从对象物受到反作用力。进而，该反作用力被传递至主体部100。如上所述，必须形成为主体部100能够相对于基台部200滑动，但是，当主体部100因在驱动时受到的反作用力而沿与滑动方向正交的方向脱离时，不能向对象物传递足够的驱动力。并且，当主体部100脱离时，驱动凸部114的移动量减少，因此对象物的驱动量变少。此外，主体部100的脱离量未必总是稳定，所以导致对象物的驱动量不稳定。因此，如图1所示，在压电马达10中，从与主体部100的滑动方向正交的方向，利用前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s将主体部100按压于第二侧壁体220。这里，在压电马达10中，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s以下述方式安装。

并且，由于压电马达10通过在将驱动凸部114按压于对象物的状态下使振动体112沿伸缩方向（X方向）以及弯曲方向（Y方向）振动而进行使用，所以需要将振动体112以允许在伸缩方向以及弯曲方向振动的状态收纳在振动体壳体120内。

此外，在使振动体112振动而使对象物移动时，来自对象物的反作用力作用于驱动凸部114。当振动体112因该反作用力而在振动体壳体120内移动时，则无法将足够的驱动力传递到对象物，驱动凸部114的移动量减少，因此对象物的驱动量减小。主体部100的脱离量并非总是稳定的，因此导致对象物的驱动量不稳定。因此，在压电马达10中，如图2所示，采用通过利用缓冲部130从与振动体112的弯曲方向交叉的方向（Z方向）夹持振动体112的两个侧面而将振动体112保持在振动体壳体120内的构造。在该保持构造中，通过缓冲部130在剪切方向变形来允许振动体112的振动，并且能够利用缓冲部130在剪切方向变形时的刚性来保持振动体112，以免其因来自对象物的反作用力而移动。

但是，该保持构造形成为利用缓冲部130从两侧夹持振动体112的构造，其中，该振动体112由压电材料形成，因而容易产生制造偏差，该缓冲部130由聚酰亚胺树脂等形成，因而容易产生制造偏差。因此，由于振动体112以及缓冲部130的制造偏差累积，因此厚度方向（Z方向）的尺寸容易产生较大的偏差。进而，缓冲部130需要具有即便受到来自对象物的反作用力也不会使受振动体112移动的程度的刚性，因此，很难利用缓冲部130吸收该尺寸的偏差。因此，在压电马达10中，采用不是简单地利用缓冲部130夹持振动体112，而是利用压板140、碟形弹簧142、压盖144将缓冲部130按压于振动体112来夹持振动体112的构造。

（实施方式2）

图4的（a）是通过取得本实施方式的主体部的侧面方向的剖面来示出夹持振动体的构造的说明图。并且，图4的（b）是示意性地示出夹持振动体的构造的说明图。另外，所谓侧面方向的剖面是指与含有Y轴和Z轴的平面平行的面中的侧剖视图。

在本实施方式中，对压电马达10的厚度方向（Z轴向）的构造详细地进行说明。另外，由于压电马达10的装置结构、动作原理、平面构造等与实施方式1中的说明相同，所以省略共通的结构部位、动作说明等重复的说明。

（振动体的夹持构造）

如图4的（a）所示，振动体112以由缓冲部130从Z轴方向的两侧夹持的状态被收纳在振动体壳体120内。另外，缓冲部130借助粘接剂粘贴于振动体112。进而，从收纳于振动体壳体120的振动体112以及缓冲部130的上方载置压板140、碟形弹簧142以及压盖144，并利用固定螺钉146将压盖144安装于振动体壳体120。

并且，在压盖144的内表面侧（面向振动体112的一侧）形成有凹部144c，当利用固定螺钉146将压盖144安装于振动体壳体120时，碟形弹簧142被压缩，从而压板140的上表面侧嵌入凹部144c。此处，当利用固定螺钉146将压盖144安装于振动体壳体120时，在碟形弹簧142沿Z方向被压缩的同时，缓冲部130也沿Z方向被压缩。但是，与缓冲部130的在Z方向上的刚性相比，碟形弹簧142的在Z方向上的刚性被设定为十分小的值。

图4的（b）中示意性地示出振动体112被夹持在振动体壳体120内的状况。在图4的（b）中，用较大的弹簧表示具有较大的刚性的缓冲部130，用较小的弹簧表示具有较小的刚性的碟形弹簧142。并且，省略固定螺钉146的图示。如图所示，在压电马达10中形成为利用具有较大的刚性的缓冲部130夹持振动体112的两侧，并利用具有比缓冲部130的刚性小的刚性的碟形弹簧142经由压板140将整体（振动体112以及两侧的缓冲部130）按压于振动体壳体120而进行保持的构造。并且，至少在组装主体部100后的状态下，压板140的上表面侧嵌入凹部144c内，因此，压板140成为在振动体112的振动方向（X方向以及Y方向）的移动被限制的状态。这样，即便在振动体112、缓冲部130的厚度方向（Z方向）的尺寸产生较大的偏差的情况下，也能够在利用缓冲部130适当地保持振动体112的状态下收纳在振动体壳体120内。以下，对该点详细地进行说明。

图5是示出将振动体112以及缓冲部130收纳在振动体壳体120内的状况的说明图。图5的（a）中示出将压盖144安装于振动体壳体120前的状态，图5的（b）中示出利用未图示的固定螺钉146将压盖144安装于振动体壳体120后的状态。在将压盖144安装于振动体壳体120前的状态下，在碟形弹簧142以及缓冲部130均未施加有压缩力。从该状态起，当使用未图示的固定螺钉146将压盖144按压于振动体壳体120时，在碟形弹簧142以及缓冲部130作用有压缩力。

但是，如上述所，碟形弹簧142的刚性设定为比缓冲部130的刚性小。因此，即便在碟形弹簧142以及缓冲部130作用有相同大小的力，缓冲部130也几乎不会变形，而只有碟形弹簧142变形。结果，如图5的（b）所示，在将压盖144安装于振动体壳体120后的状态下，形成为缓冲部130几乎不收缩、而只有碟形弹簧142收缩的状态。此时，将缓冲部130按压于振动体112力与作用于碟形弹簧142的压缩力（使碟形弹簧142收缩的力）相当。

此处，当振动体112以及缓冲部130的尺寸存在偏差时，碟形弹簧142的压缩量变化，因此，碟形弹簧142的压缩力、也就是将缓冲部130按压于振动体112的力变化。但是，如图5所示，由于碟形弹簧142以大幅压缩的方式使用，因此，即便因振动体112以及缓冲部130的尺寸偏差而导致碟形弹簧142的压缩量发生变化，该压缩量的变化相对于整体的压缩量的比例也很微小。因此，即便在振动体112以及缓冲部130产生尺寸偏差，也能够避免将缓冲部130按压于振动体112的力不均衡。

并且，能够像如下那样考虑上述情况。即，考虑在振动体112以及缓冲部130产生某种大小的尺寸偏差，而利用缓冲部130或者碟形弹簧142的变形吸收该尺寸偏差的情况。由于缓冲部130具有较大的刚性，所以若要通过缓冲部130的变形吸收尺寸偏差，则压缩力大幅变化。与此相对，如果是比缓冲部130刚性小的碟形弹簧142，则即便吸收相同大小的尺寸偏差，压缩力也只是略微改变。因此，通过设置具有比缓冲部130的刚性小的刚性的碟形弹簧142，总是能够利用适当的力将缓冲部130按压于振动体112，而不受振动体112、缓冲部130的尺寸偏差的影响。

但是，在仅设置有比缓冲部130的刚性小的部位（本实施方式中为碟形弹簧142）的情况下，当因驱动对象物时的反作用力而对缓冲部130施加剪切方向的力时，刚性小的部位变形，从而导致在驱动对象物时振动体112因反作用力而移动。但是，在本实施方式中，如使用图4在前面所述那样，压板140嵌入凹部144c。因此，如图5的（b）所示，即便碟形弹簧142因来自对象物的反作用力而欲沿剪切方向变形，压板140与压盖144干涉。结果，碟形弹簧142不会剪切变形，而能够利用缓冲部130的在剪切方向上的刚性稳固地保持振动体112。

如以上详细地说明那样，在本实施方式的压电马达10中，即便在振动体112与缓冲部130产生较大的尺寸偏差的情况下，也能够通过设置于压板140与压盖144之间的碟形弹簧142的变形吸收该尺寸偏差。因此，即便不进行实际测量振动体112、缓冲部130的在厚度方向（Z方向）的尺寸，并针对振动体112选择并组装缓冲部130等繁琐的作业，也能够以利用适当的力将缓冲部130按压于振动体112的状态收纳于振动体壳体120。结果，能够容易地制造压电马达10。并且，不仅能够使用刚性较小的碟形弹簧142将缓冲部130按压于振动体112，并且，相对于驱动对象物时的反作用力，能够利用缓冲部130的刚性稳固地保持振动体112。

此外，振动体112在被收纳于振动体壳体120的状态下，该振动体112的两侧由缓冲部130从与振动体112自身的弯曲方向交叉的方向夹持，因此，振动体112的振动很难传递至振动体壳体120，驱动力的损失减少，能够高效地驱动对象物。

（变形例）

上述实施方式2的压电马达10存在多种变形例。以下，对这些变形例简单地进行说明。另外，在以下的变形例中，以与上述的压电马达10不同的部分为主进行说明，对与压电马达10相同的结构标注相同的标号并省略说明。

（第一变形例）

在实施方式2中，对通过使压板140嵌入压盖144的凹部144c来限制压板140的沿X方向或者Y方向的移动的方式进行了说明。但是，只要能够限制压板140的沿X方向或者Y方向的移动即可，并非必须是压板140嵌入凹部144c的方式。例如，如图6所示，也可以是压板140与振动体壳体120的内壁面干涉，从而限制压板140的沿X方向或者Y方向的移动的方式。或者，也可以是从压盖144突出设置的凸部与设置于压板140的凹部嵌合的方式。

（第二变形例）

在上述的实施方式2中，对压板140仅被朝缓冲部130推压的方式进行了说明。但是，如图7所示，也可以在压板140与缓冲部130接触的部分的、靠压板140侧（或者缓冲部130侧）的表面设置凹凸。例如，也可以是通过被碟形弹簧142推压而使设置于压板140表面的凹凸卡入聚酰亚胺树脂制的缓冲部130的表面，或者也可以在压板140以及缓冲部130的表面设置凹凸并使相互的凹凸啮合的方式。

这样，在长时间地使用压电马达10的期间，能够可靠地避免缓冲部130在压板140与缓冲部130（或者缓冲部130与振动体壳体120）之间滑动。当然，也可以不仅在压板140与缓冲部130的接触面设置凹凸，还在缓冲部130与振动体壳体120的接触面的靠振动体壳体120侧设置凹凸。这样，能够防止缓冲部130在缓冲部130与振动体壳体120的接触面滑动。

（实施方式3）

图8是通过取得本实施方式的主体部的侧剖面来示出夹持振动体的构造的说明图。

在本实施方式中，对与实施方式2不同的压电马达10的厚度方向（Z轴方向）的构造进行说明。另外，由于压电马达10的装置结构、动作原理、平面构造（侧压弹簧的安装构造）等与在实施方式1中的说明相同，所以对共通的结构部位、动作说明等省略重复说明。

（振动体的夹持构造）

如图8所示，振动体112以其Z方向的两侧被缓冲部130夹持的状态被收纳在振动体壳体120内。进而，从被收纳于振动体壳体120的振动体112以及缓冲部130的上方载置压板140、碟形弹簧142、压盖144，并利用固定螺钉146将压盖144安装于振动体壳体120。另外，缓冲部130通过粘接剂粘贴于振动体112。这样，能够容易地将易产生制造偏差的振动体112以及缓冲部130以重叠的状态收纳在振动体壳体120内。以下，对该理由进行说明。

图9是示出能够容易地将易产生制造偏差的振动体112以及缓冲部130以重叠的状态收纳在振动体壳体120内的理由的说明图。振动体112、缓冲部130、压板140、以及碟形弹簧142通过压盖144被收纳在振动体壳体120内，上述部件中的振动体112、压板140几乎不在Z方向变形。因而，必须利用其余的部分（缓冲部130以及碟形弹簧142）的压缩变形吸收因振动体112、缓冲部130的制造偏差而导致的厚度方向（Z方向）的尺寸偏差。并且，振动体112、压板140几乎不在振动体112振动的方向（Y方向以及X方向）变形，因此，需要利用其余的部分（缓冲部130或者碟形弹簧142）的剪切变形吸收振动体112振动的移动。并且，缓冲部130或者碟形弹簧142必须承受在驱动对象物时振动体112受到的反作用力。

图9的（a）通过放大地示出压盖144、碟形弹簧142以及压板140重叠的部分来示出吸收因振动体112、缓冲部130的制造偏差而导致的厚度方向（Z方向）的尺寸偏差的状况的说明图。碟形弹簧142相对于厚度方向（Z方向）的压缩而作为弹簧发挥功能，因此其刚性比缓冲部130的刚性小。因此，即便振动体112以及缓冲部130的尺寸在厚度方向（Z方向）产生偏差，也能够通过碟形弹簧142在Z方向弯曲来吸收厚度方向的尺寸偏差。

另外，当碟形弹簧142在压板140与压盖144之间被压缩时，碟形弹簧142的角部的部分被按压于压板140以及压盖144。因此，在压板140的表面，供碟形弹簧142的角部按压的部分凹下而形成第一槽140d。同样，在压盖144的表面，供碟形弹簧142的角部按压的部分凹下而形成第二槽144d。虽然上述第一槽140d以及第二槽144d与碟形弹簧142吸收厚度方向的尺寸偏差的作用无关，但在吸收振动体112的振动、阻止来自对象物的反作用力时有效地发挥功能。

图9的（b）中示出缓冲部130以及碟形弹簧142吸收振动体112的振动并承受来自对象物的反作用力的状况。虽然碟形弹簧142相对于厚度方向（Z方向）的压缩具有较小的刚性，但相对于剪切方向（Y方向或者X方向）的剪切变形具有较大的刚性。并且，碟形弹簧142的上表面侧以及下表面侧的角部分别嵌入压盖144的第二槽144d以及压板140的第一槽140d，因此，碟形弹簧142不会在压板140、压盖144之间滑动。因而，相对于振动体112的沿Y方向（或者X方向）的移动，可以认为从压板140到压盖144的部分几乎是刚体。因此，振动体112的振动完全通过缓冲部130剪切变形而被吸收。并且，从对象物受到的反作用力也完全通过缓冲部130剪切变形来承受。

另外，压板140的第一槽140d、压盖144的第二槽144d具有避免碟形弹簧142滑动的功能。因而，只要形成为在碟形弹簧142欲滑动时的“卡止件”即可，无需如图9例示地那样形成明显的凹陷。例如，即便是表面轻轻地划伤而形成的较浅的凹陷，也能够作为碟形弹簧142欲滑动时的“卡止件”发挥作用，因此，也与本实施方式的第一槽140d、第二槽144d相当。

根据以上的说明可知，设置于压板140与压盖144之间的碟形弹簧142在将缓冲部130按压于振动体112的方向（Z方向）作为比缓冲部130刚性小的弹簧发挥功能。因此，即便因振动体112以及振动体壳体120的制造偏差而在厚度方向（Z方向）产生较大的尺寸偏差，也能够利用碟形弹簧142吸收该偏差。结果，无需进行根据厚度方向（Z方向）的尺寸选择并组装振动体112以及缓冲部130等繁琐的作业，能够简单地将它们收纳在振动体壳体120内。并且，在振动体112振动的方向（Y方向以及X方向）或者从对象物受到反作用力的方向（主要是Y方向），从压板140到压盖144的部分几乎都作为刚体发挥作用，因此设置有碟形弹簧142的情况不会造成任何影响。因此，不会对缓冲部130吸收振动体112的振动并且承受来自对象物的反作用力的功能造成任何负面影响。结果，根据本实施方式的振动体112的夹持构造，能够容易地制造压电马达10，而不会在性能方面造成任何负面影响。

此外，振动体112在被收纳于振动体壳体120的状态下其两侧由缓冲部130从与振动体112自身的弯曲方向交叉的方向夹持，因此，振动体112的振动很难传递至振动体壳体120，驱动力的损失减少，从而能够高效地驱动对象物。

另外，根据以上的说明可知，只要将碟形弹簧142设置于压板140与压盖144之间即可。因而，也可以如图10所示使碟形弹簧142的朝向上下相反地设置。

（变形例）

上述实施方式3的压电马达10存在多种变形例。以下，对这些变形例简单地进行说明。另外，在以下的变形例中，以与上述的压电马达10不同的部分为主进行说明，对与压电马达10相同的结构标注相同的标号并省略说明。

（第三变形例）

在上述的实施方式3中，对在组装前的压板140、压盖144未形成第一槽140d、第二槽144d，在组装时被碟形弹簧142推压而碟形弹簧142的角部卡入，从而形成压板140的第一槽140d、压盖144的第二槽144d的方式进行了说明。

但是，也可以在压板140、压盖144的表面预先形成第一槽140d、第二槽144d。这样，能够使用比碟形弹簧142硬、具有更强的耐磨损性的材料（例如，实施了表面热处理后的材料）等作为压板140、压盖144的材料。并且，通过将第一槽140d、第二槽144d形成得较深，能够在压板140、压盖144之间更加稳固地保持碟形弹簧142，因此能够可靠地防止碟形弹簧142滑动。

（第四变形例）

在上述的实施方式3以及变形例中，对仅将碟形弹簧142夹在压板140与压盖144之间的方式进行了说明。但是，也可以在压板140或者压盖144中的至少一方形成凹部，并使碟形弹簧142的外周部分嵌入该凹部。

图11是示出第四变形例的夹持构造的剖视图。在图11的（a）所示的例子中，在压盖144形成有凹部144c，碟形弹簧142松弛地嵌入该凹部144c。并且，在图11的（b）所示的例子中，在压板140形成有凹部140c，碟形弹簧142松弛地嵌入该凹部140c。这样，在将压板140、碟形弹簧142以及压盖144重叠而组装于振动体壳体120时，碟形弹簧142不会大幅移动，因此可容易地进行组装作业。

另外，形成于压板140的凹部140c、形成于压盖144的凹部144c只要是碟形弹簧142的外周部分能够嵌入的形状即可。因而，虽然从压缩方向（Z方向）观察碟形弹簧142时其外周形状为圆形，但从压缩方向（Z方向）观察时的凹部140c、凹部144c的形状并不限于圆形，也可以是正方形等多边形形状。

并且，在以上的说明中，对碟形弹簧142松弛地嵌入凹部140c或者凹部144c的方式进行了说明。因而，碟形弹簧142在被组装于压板140与压盖144之间而受到压缩力之前，形成为能够在凹部140c或者凹部144c中稍微移动的状态。但是，也可以使碟形弹簧142的外周部分以使得碟形弹簧142不在凹部140c或者凹部144c中运动的方式嵌入凹部140c或者凹部144c。这样，能够容易地组装碟形弹簧142，同时还能够可靠地防止在压电马达10的动作中碟形弹簧142因振动体112的振动、从对象物受到的反作用力而与压板140或者压盖144之间滑动。

（第五变形例）

并且，在上述第四变形例中，对碟形弹簧142的外周部分嵌入压板140的凹部140c或者压盖144的凹部144c的方式进行了说明。与此相对，也可以形成为碟形弹簧142的内周部分嵌入从压板140或者压盖144突出设置的凸部。

图12是示出第五变形例的夹持构造的剖视图。在图12的（a）所示的例子中，从压板140突出设置有凸部140b，碟形弹簧142的内周部分松弛地嵌入该凸部140b。并且，在图12的（b）所示的例子中，从压盖144突出设置有凸部144b，碟形弹簧142的内周部分松弛地嵌入该凸部144b。这样，在将压板140、碟形弹簧142以及压盖144重叠地组装于振动体壳体120时，碟形弹簧142不会大幅移动，从而可容易地进行组装作业。

另外，压板140的凸部140b、压盖144的凸部144b只要是碟形弹簧142的内周部分能够嵌入的形状即可。因而，虽然从压缩方向（Z方向）观察碟形弹簧142时碟形弹簧142的内周形状为圆形，但从压缩方向（Z方向）观察时的凸部140b、凸部144b的形状并不限于圆形，也可以是正方形等多边形形状。

并且，在本变形例中，对碟形弹簧142松弛地嵌入凸部140b或者凸部144b的方式进行了说明。因而，仅将碟形弹簧142嵌入凸部140b或者凸部144b的话，碟形弹簧142能够稍微移动。但是，也可以使碟形弹簧142的内周部分以无法移动的方式嵌入凸部140b或者凸部144b。这样，也能够容易地组装碟形弹簧142，同时还能够可靠地防止在压电马达10的动作中碟形弹簧142与压板140或者压盖144之间滑动。

（应用例）

上述的各实施方式的压电马达10的体型小、能够高精度地驱动对象物、并且能够容易地进行制造，因此能够作为以下的装置的驱动装置而适当地组装。

图13例示出组装本应用例的压电马达10而构成的电子部件检查装置600的立体图。图示的电子部件检查装置600大体上具备基台610、和立起设置于基台610的侧面的支承台630。在基台610的上表面设置有用于载置并输送作为检查对象的电子部件1的上游侧工作台612u、和用于载置并输送检查完毕的电子部件1的下游侧工作台612d。并且，在上游侧工作台612u与下游侧工作台612d之间设置有用于确认电子部件1的姿势的拍摄装置614、和为了检查电气特性而放置电子部件1的检查台616。另外，作为电子部件1的代表性的例子，例举“半导体”、“CLD、OLED等显示器件”、“水晶器件”、“各种传感器”、“喷墨头”、以及“各种MEMS器件”等。并且，本实施例的检查台616与本发明的“检查插座”对应。

并且，在支承台630以能够沿与基台610的上游侧工作台612u以及下游侧工作台612d平行的方向（Y方向）移动的方式设置有Y工作台632，从Y工作台632沿朝向基台610的方向（X方向）延伸设置有臂部634。此外，在臂部634的侧面以能够沿X方向移动的方式设置有X工作台636。进而，在X工作台636设置有摄像机638、和内置有能够沿上下方向（Z方向）移动的Z工作台的把持装置650。并且，在把持装置650的前端设置有把持电子部件1的把持部652。此外，在基台610的前面侧还设置有对电子部件检查装置600整体的动作进行控制的控制装置618。另外，在本实施例中，X工作台636、Y工作台632、以及内置于把持装置650的Z工作台与本发明的“移动装置”对应。

具有以上那样的结构的电子部件检查装置600以如下方式进行电子部件1的检查。首先，将作为检查对象的电子部件1载置于上游侧工作台612u，并移动至检查台616附近。其次，移动Y工作台632以及X工作台636而使把持装置650移动至载置于上游侧工作台612u的电子部件1的正上方的位置。此时，能够使用摄像机638确认电子部件1的位置。进而，当使用内置于把持装置650内的Z工作台使把持装置650下降而利用把持部652把持电子部件1后，使把持装置650保持原样地移动至拍摄装置614的上方，使用拍摄装置614确认电子部件1的姿势。接着，使用内置于把持装置650的微调机构调整电子部件1的姿势。进而，在使把持装置650移动至检查台616的上方后，移动内置于把持装置650的Z工作台来将电子部件1放置在检查台616上。使用把持装置650内的微调机构调整电子部件1的姿势，因此能够将电子部件1放置在检查台616上的正确位置。进而，在使用检查台616进行的对电子部件1的电气特性的检查结束后，再次、此次为从检查台616拿起电子部件1后，移动Y工作台632以及X工作台636来使把持装置650移动至下游侧工作台612d的上方，并将电子部件1放置于下游侧工作台612d。然后，移动下游侧工作台612d来将结束了检查的电子部件1输送至规定位置。

图14是内置于把持装置650的微调机构的说明图。如图所示，在把持装置650内设置有与把持部652连接的旋转轴654、和微调板656，旋转轴654以能够旋转的方式安装于该微调板656。并且，微调板656由未图示的引导机构引导、且能够沿X方向以及Y方向移动。

此处，如在图14标注斜线而示出的那样，朝向旋转轴654的端面而安装有旋转方向用的压电马达10θ，压电马达10θ的驱动凸部（省略图示）被按压于旋转轴654的端面。因此，通过使压电马达10θ动作，能够使旋转轴654（以及把持部652）在θ方向高精度地旋转任意的角度。并且，朝向微调板656设置有X方向用的压电马达10x和Y方向用的压电马达10y，且各自的驱动凸部（省略图示）被按压于微调板656的表面。因此，通过使压电马达10x动作，能够使微调板656（以及把持部652）在X方向高精度地移动任意的距离，同样，通过使压电马达10y动作，能够使微调板656（以及把持部652）在Y方向高精度地移动任意的距离。因而，图13的电子部件检查装置600能够通过使压电马达10θ、压电马达10x、压电马达10y动作而对由把持部652把持的电子部件1的姿势进行微调。另外，在本实施例中，压电马达10x、压电马达10y分别与本发明的“第一压电马达”、“第二压电马达”对应，压电马达10θ与本发明的“第三压电马达”对应。并且，由旋转轴654、微调板656、压电马达10θ、压电马达10x、以及压电马达10y构成的微调机构与本发明的“驱动装置”对应。

图15是例示出安装有本应用例的压电马达10的印刷装置700的立体图。图示的印刷装置700是在印刷介质2的表面喷射墨水来印刷图像的所谓喷墨印刷机。印刷装置700呈大致箱形的外观形状，并在前表面的大致中央设置有排纸托盘701、排出口702、以及多个操作按钮705。并且，在背面侧设置有供给托盘703。当将印刷介质2放置于供给托盘703并对操作按钮705进行操作时，印刷介质2被从供给托盘703吸入，并在印刷装置700的内部将图像印刷在印刷介质2的表面，然后从排出口702将该印刷介质2排出。

在印刷装置700的内部设置有在印刷介质2上沿主扫描方向往复移动的滑架720、和对滑架720的沿主扫描方向的移动进行引导的导轨710。并且，图示的滑架720由朝印刷介质2上喷射墨水的喷头722、和用于沿主扫描方向驱动滑架720的驱动部724等构成。在喷头722的底面侧（朝向印刷介质2的一侧）设置有多个喷嘴，从而能够从喷嘴朝印刷介质2喷射墨水。并且，在驱动部724搭载有压电马达10m、10s。压电马达10m的驱动凸部（省略图示）被按压于导轨710。因此，通过使压电马达10m动作，能够使滑架720沿主扫描方向移动。并且，压电马达10s的驱动凸部114被按压于喷头722。因此，通过使压电马达10s动作，能够使喷头722的底面侧接近印刷介质2或远离印刷介质2。并且，在使用所谓的卷筒纸作为印刷介质2的印刷装置700中，需要将印刷有图像后的卷筒纸切断的机构。在这样的情况下，若在滑架720安装刀具并使其沿主扫描方向移动，则能够切断卷筒纸。

图16是例示了组装有本应用例的压电马达10的机械手800的说明图。图示的机械手800从基台802立起设置有多根指部803，并经由腕部804而与臂810连接。这里，指部803的指根的部分能够在基台802内移动，并以将驱动凸部114按压于该指部803的指根的部分的状态安装有压电马达10f。因此，通过使压电马达10f动作，能够使指部803移动来把持对象物。并且，在腕部804的部分同样以将驱动凸部114按压于腕部804的端面的状态安装有压电马达10r。因此，通过使压电马达10r动作，能够使基台802整体旋转。

图17是例示出具备机械手800的机器人850的说明图。如图所示，机器人850具备多条臂810、和将这些臂810之间以能够弯曲的状态连接起来的关节部820。并且，机械手800连接在臂810的前端。进而，在关节部820内置有作为用于使关节部820弯曲的作为致动器的压电马达10j。因此，通过使压电马达10j动作，能够使各个关节部820弯曲任意的角度。

以上，对本发明的压电马达、安装有压电马达的各种装置进行了说明，但是本发明不限于上述的实施例、变形例、应用例，能够在不脱离其宗旨的范围内以各种方式实施。

标号说明：

1…电子部件；2…印刷介质；10…压电马达；10f、10j、10m、10r、10s、10x、10y…压电马达；100…主体部；110…振动部；112…振动体；114…驱动凸部；116…表面电极；120…振动体壳体；130…缓冲部；140…压板；140b…凸部；140c…凹部；140d…第一槽；142…碟形弹簧；144…压盖；144b…凸部；144c…凹部；144d…第二槽；146…固定螺钉；200…基台部；210…第一侧壁体；212…前方壳体；212s…前方侧压弹簧；214…中央壳体；216…后方壳体；216s…后方侧压弹簧；220…第二侧壁体；222s…加压弹簧；230…基板；232s…推压弹簧；240…固定螺钉；600…电子部件检查装置；610…基台；612d…下游侧工作台；612u…上游侧工作台；614…拍摄装置；616…检查台；618…控制部；630…支承台；632…Y工作台；634…臂部；636…X工作台；638…照相机；650…把持装置；652…把持部；654…旋转轴；656…微调板；700…印刷装置；710…导轨；720…滑架；722…喷射头；724…驱动部；800…机械手；802…基台；803…指部；804…腕部；810…臂；820…关节部；850…机器人。

Claims (16)

1.一种压电马达，其特征在于，

该压电马达具有：

振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；

振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；以及

加压弹性体，该加压弹性体朝使所述振动体的所述凸部与对象物接触的方向对所述振动体壳体施力，

所述压电马达通过使所述振动体产生伸缩振动和弯曲振动来使所述对象物移动，

其中，

所述压电马达具备：

缓冲部，该缓冲部在所述振动体壳体内从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的两侧，且包含具有动态粘弹性的材料而形成；

压盖，该压盖安装于所述振动体壳体；以及

碟形弹簧，该碟形弹簧设置于所述压盖与所述缓冲部之间，并被所述压盖压缩，

在所述缓冲部与所述碟形弹簧之间设置有压板，该压板的沿所述振动体的伸缩方向以及弯曲方向的移动被限制。

2.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，

所述压板与所述压盖嵌合。

3.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，

在所述压板的与所述缓冲部接触的接触面形成有凹凸。

4.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，

在所述缓冲部的与所述压板接触的接触面形成有凹凸。

5.一种压电马达，其特征在于，

该压电马达具有：

振动体，该振动体包含压电材料而形成，且在端面突出设置有凸部；

振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；以及

加压弹性体，该加压弹性体朝使所述振动体的所述凸部与对象物接触的方向对所述振动体壳体施力，

所述压电马达通过使所述振动体产生伸缩振动和弯曲振动来使所述对象物移动，

所述压电马达具备：

缓冲部，该缓冲部在所述振动体壳体内从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的两侧，且包含具有动态粘弹性的材料而形成；

压盖，该压盖安装于所述振动体壳体；

碟形弹簧，该碟形弹簧被所述压盖压缩；以及

压板，该压板设置于所述碟形弹簧与所述缓冲部之间。

6.根据权利要求5所述的压电马达，其特征在于，

在所述压板形成有供与所述压板抵接的所述碟形弹簧的角部嵌入的第一槽，

在所述压盖形成有供与所述压盖抵接的所述碟形弹簧的角部嵌入的第二槽。

7.根据权利要求5所述的压电马达，其特征在于，

在所述压板或者所述压盖中的一方形成有供所述碟形弹簧的外周部分嵌入的凹部。

8.根据权利要求5所述的压电马达，其特征在于，

在所述压板或者所述压盖中的一方形成有供所述碟形弹簧的内周部分嵌入的凸部。

9.一种驱动装置，其特征在于，

该驱动装置具备权利要求1至5中任一项所述的压电马达。

10.一种印刷装置，其特征在于，

该印刷装置具备权利要求1至5中任一项所述的压电马达。

11.一种机械手，其特征在于，

该机械手具备权利要求1至5中任一项所述的压电马达。

12.一种机器人，其特征在于，

该机器人具备权利要求11所述的机械手。

13.一种电子部件检查装置，其特征在于，

该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查所述电子部件的电气特性，

其中，

使用权利要求1至5中任一项所述的压电马达来进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位。

14.一种电子部件输送装置，其特征在于，

该电子部件输送装置用于输送所把持的电子部件，其中，

使用权利要求1至5中任一项所述的压电马达来进行所述电子部件的对位。

15.一种电子部件输送装置，其特征在于，

该电子部件输送装置具备：

把持装置，该把持装置把持电子部件；

移动装置，该移动装置使所述把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；以及

控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，

其中，

所述把持装置内置有：第一压电马达，该第一压电马达使所述电子部件沿所述第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达使所述电子部件沿所述第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达使所述电子部件绕所述第三轴旋转，

所述第一压电马达至第三压电马达为权利要求1至5中任一项所述的压电马达。

16.一种电子部件检查装置，其特征在于，

该电子部件检查装置具备：

检查插座，电子部件安装于该检查插座，且该检查插座检查所述电子部件的电气特性；

把持装置，该把持装置把持所述电子部件；

移动装置，该移动装置使所述把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；

拍摄装置，从所述检查插座观察，所述拍摄装置设置在所述第一轴上或者所述第二轴上，且所述拍摄装置检测安装于所述检查插座的所述电子部件的姿势；

上游侧工作台，该上游侧工作台将所述电子部件从所述检查插座输送至与所述拍摄装置连结的所述第一轴或者所述第二轴上的规定位置；

下游侧工作台，该下游侧工作台从与自所述检查插座观察设置有所述拍摄装置的一侧相反侧的规定位置输送所述电子部件；以及

控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，

其中，

所述控制装置具备：

第一控制部，该第一控制部使把持着所述上游侧工作台输送来的所述电子部件的所述把持装置移动至所述拍摄装置的上方；

第二控制部，该第二控制部通过使所述把持装置移动而将由所述拍摄装置确认姿势后的所述电子部件安装于所述检查插座；以及

第三控制部，该第三控制部通过使所述把持装置移动而将在所述检查插座对所述电气特性进行检查后的所述电子部件从所述检查插座载置于所述下游侧工作台，

所述把持装置内置有：第一压电马达，该第一压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件沿所述第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件沿所述第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件绕所述第三轴旋转，

所述第一压电马达至第三压电马达为权利要求1至5中任一项所述的压电马达。

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