JP2009017735A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009017735A JP2009017735A JP2007178982A JP2007178982A JP2009017735A JP 2009017735 A JP2009017735 A JP 2009017735A JP 2007178982 A JP2007178982 A JP 2007178982A JP 2007178982 A JP2007178982 A JP 2007178982A JP 2009017735 A JP2009017735 A JP 2009017735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressing member
- ultrasonic
- pressing
- ultrasonic motor
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 114
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N dipotassium dioxido(oxo)titanium Chemical compound [K+].[K+].[O-][Ti]([O-])=O NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
- H02N2/004—Rectangular vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
- H02N2/006—Elastic elements, e.g. springs
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電積層体2aに縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材5を駆動する超音波モータ1において、圧電積層体2aを有する超音波振動子2と、前記超音波振動子2における定在波の節近傍に固着され、前記超音波振動子2を押圧する押圧部材3と、前記超音波振動子2との間の摩擦力により駆動される被駆動部材5と、前記押圧部材3が固定される筐体8と、を具備し、前記押圧部材3は穴部3d,3eを有し、且つ前記筐体8は前記押圧部材の有する前記穴部3d,3eと係合する案内ピン8c,8dを有し、前記押圧部材3は、押圧方向に撓んだ状態で前記筐体8に固定される。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る超音波モータの構成を示す断面概略図である。同図に示すように、本第1実施形態に係る超音波モータ1は、超音波振動子2と、超音波振動子2に接触させられ且つ超音波振動子2に対して相対的に駆動される被駆動部材5と、被駆動部材5と筐体7との間に配置される転動部材6と、当該超音波モータ1の筐体7,8と、超音波振動子2を被駆動部材5に押し付ける押圧機構4とを具備する。なお、詳細は後述するが、前記押圧機構4は、押圧部材3と、固定ビス9,10とを有する。
次に本発明の第2実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、上述した第1実施形態に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本第2実施形態に係る超音波モータと前記第1実施形態に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
次に本発明の第3実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、上述した第1実施形態に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本第3実施形態に係る超音波モータと前記第1実施形態に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
次に本発明の第4実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、上述した第1実施形態に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本第4実施形態に係る超音波モータと前記第1実施形態に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
Claims (4)
- 圧電素子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材を駆動する超音波モータにおいて、
圧電素子を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子における定在波の節近傍に固着され、前記超音波振動子を押圧する押圧部材と、
前記超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、
前記押圧部材が固定される筐体と、
を具備し、
前記押圧部材は穴部を有し、且つ前記筐体は前記押圧部材の有する前記穴部と係合する突起部を有し、
前記押圧部材は、押圧方向に撓んだ状態で前記筐体に固定されることを特徴とする超音波モータ。 - 前記押圧部材は、2つの前記穴部を有し、一方の穴部は長穴形状であることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記押圧部材は、押圧方向に関して屈曲形状を呈する屈曲構造を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波モータ。
- 前記押圧部材は、前記超音波振動子における定在波の節近傍を包含又は保持するように、前記超音波振動子と一体成型されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波モータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007178982A JP2009017735A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 超音波モータ |
US12/167,319 US7633207B2 (en) | 2007-07-06 | 2008-07-03 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007178982A JP2009017735A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009017735A true JP2009017735A (ja) | 2009-01-22 |
Family
ID=40220869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007178982A Pending JP2009017735A (ja) | 2007-07-06 | 2007-07-06 | 超音波モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7633207B2 (ja) |
JP (1) | JP2009017735A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011133801A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Tdk Corp | レンズ駆動装置 |
JP2012124986A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Tamron Co Ltd | 振動モータ及びレンズ駆動機構 |
JP2012124983A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
JP2016046912A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-04-04 | キヤノン株式会社 | 振動子ユニット、振動型アクチュエータ及び撮像装置 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5246919B2 (ja) * | 2008-04-24 | 2013-07-24 | オリンパス株式会社 | リニア駆動型超音波モータ |
WO2010007735A1 (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
JP2011166919A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Olympus Corp | 超音波モータ機構 |
CN101850946A (zh) * | 2010-04-20 | 2010-10-06 | 赵宏伟 | 纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台 |
US8912707B2 (en) * | 2011-07-13 | 2014-12-16 | Academia Sinica | Friction-driven actuator |
US8796906B2 (en) | 2011-12-06 | 2014-08-05 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric motor, driving device, electronic component conveying device, electronic component inspection device, printing device, robot hand, and robot |
JP5929139B2 (ja) | 2011-12-06 | 2016-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびプリンター |
JP2013121193A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Seiko Epson Corp | 圧電モーター、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット |
JP6008077B2 (ja) | 2011-12-06 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ―、ロボット、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
KR101514527B1 (ko) * | 2013-07-02 | 2015-04-22 | 삼성전기주식회사 | 진동발생장치 |
JP6818428B2 (ja) | 2016-04-28 | 2021-01-20 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ及びこれを用いた装置 |
TWI678879B (zh) | 2018-11-27 | 2019-12-01 | 財團法人工業技術研究院 | 超音波線性致動裝置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07107758A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波アクチュエータ |
JPH09224384A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-26 | Canon Inc | 振動装置 |
JP2000245179A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-09-08 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ、携帯機器および時計 |
JP2001147458A (ja) * | 1999-11-22 | 2001-05-29 | Minolta Co Ltd | 像振れ補正装置 |
JP2006158053A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Olympus Imaging Corp | 超音波モータ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3184117B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2001-07-09 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 |
US7019437B2 (en) * | 2003-09-04 | 2006-03-28 | Swe-Kai Chen | High-efficiency piezoelectric single-phase uni-polar ultrasonic actuators with a notched PZT back disc |
JP2005287167A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Konica Minolta Opto Inc | 駆動装置 |
JP2008178250A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Olympus Corp | 超音波振動子の押圧機構および超音波モータ |
JP2008306907A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Olympus Corp | 超音波モータ |
-
2007
- 2007-07-06 JP JP2007178982A patent/JP2009017735A/ja active Pending
-
2008
- 2008-07-03 US US12/167,319 patent/US7633207B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07107758A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波アクチュエータ |
JPH09224384A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-26 | Canon Inc | 振動装置 |
JP2000245179A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-09-08 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ、携帯機器および時計 |
JP2001147458A (ja) * | 1999-11-22 | 2001-05-29 | Minolta Co Ltd | 像振れ補正装置 |
JP2006158053A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Olympus Imaging Corp | 超音波モータ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011133801A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Tdk Corp | レンズ駆動装置 |
JP2012124986A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Tamron Co Ltd | 振動モータ及びレンズ駆動機構 |
JP2012124983A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
US8786163B2 (en) | 2010-12-06 | 2014-07-22 | Nikon Corporation | Vibrational wave motor, lens barrel and camera |
JP2016046912A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-04-04 | キヤノン株式会社 | 振動子ユニット、振動型アクチュエータ及び撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090009029A1 (en) | 2009-01-08 |
US7633207B2 (en) | 2009-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009017735A (ja) | 超音波モータ | |
US7696670B2 (en) | Ultrasonic motor | |
JP4802313B2 (ja) | 圧電振動子の保持装置 | |
JP5765993B2 (ja) | 振動型駆動装置 | |
JP5184811B2 (ja) | 振動型アクチュエータ | |
JP2014018027A (ja) | 振動型アクチュエータ、撮像装置、及びステージ | |
JP5979817B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
US8633632B2 (en) | Vibration actuator and method for manufacturing the same | |
JP6463951B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5810303B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP6218501B2 (ja) | 振動波モータ | |
JP2008187756A (ja) | アクチュエータケースおよび超音波モータ | |
JP6049277B2 (ja) | 振動型駆動装置 | |
JP6576214B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 | |
KR20130129258A (ko) | 변위 부재, 구동 부재, 액츄에이터 및 구동 장치 | |
JP2019126220A (ja) | 振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
JP6415195B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP2009027834A (ja) | 超音波モータ | |
US20130222678A1 (en) | Vibration-type driving apparatus and image pickup apparatus | |
JP6393383B2 (ja) | 振動波モータ | |
JP2008178209A (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JP2011045208A (ja) | 超音波モータ | |
JP2009065797A (ja) | 超音波モータ | |
JP2016036233A (ja) | 振動型アクチュエータ、光学機器、及び撮像装置 | |
JPH09285153A (ja) | 振動アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120529 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120925 |