JP6818428B2 - 振動波モータ及びこれを用いた装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動波モータ及びこれを用いた装置に関する。

圧電素子の圧電効果による変形を駆動源とする摩擦駆動型の超音波モータ（振動波モータ）は、電磁モータに比べて発生力が大きく、減速機構を設けることなく被駆動部を駆動させることが可能である。また、摩擦を利用して被駆動部を駆動させるため、保持力が大きく、静音性に優れた駆動を行うことが可能である。特許文献１では、２つの圧接部が形成された弾性体と圧電素子を備える振動子、および加圧バネにより加圧された圧接部に接触する被接触部材を有するリニア振動型モータが開示されている。また、特許文献２では、特許文献１とは異なる構成を有する振動波モータ機構が開示されている。

特開２０１５−１３６２０５号公報 特開２０１１−７２１３０号公報

摩擦駆動型の振動波モータは、圧接部の加圧力を所定の値に保つことで所望の性能を発揮させることができる。加圧力が大きいと発生力は増加するが、振動体の駆動振動が抑制されるために同一の速度を出すための消費電力が増加し電気機械変換効率は低下してしまう。逆に、加圧力が小さいと発生力は減少する。特に、２つの圧接部が設けられている場合、両者に対する加圧力のバランスは重要である。両者に対する加圧力がアンバランスになると本来駆動方向に対して対称であるべき圧接部の変形が非対称となり、効率が低下するとともに種々特性の駆動方向による差も大きくなってしまう。

特許文献１では、２つの圧接部を被接触部材に対して加圧する加圧バネは、振動子の真上に配置されているので２つの圧接部には安定した加圧が実現されている。しかしながら、加圧バネを振動子の真上に配置するため、モータの厚みが厚くなってしまう。

特許文献２では、積層型圧電素子の周囲に配置された複数の引張コイルバネは、摺動部材および摩擦部材を加圧接触させている。しかしながら、引張コイルバネは、摺動部材とケース部材を牽引しているために、移動量が小さく制限され、２つの摩擦部材への加圧状態を安定的に保つことは困難である。また、複数の引張コイルバネの特性の違いについて考慮されていない。

このような課題に鑑みて、本発明は、薄型で安定した性能を有する振動波モータを提供することを目的とする。

本発明の一側面としての振動波モータは、第１の振動子と、前記第１の振動子と接触する摩擦部材と、付勢力を発生させる複数の加圧手段と、前記付勢力により前記摩擦部材に対し前記第１の振動子を加圧する第１の加圧部材と、を有する振動波モータであって、前記第１の振動子と前記摩擦部材は、前記第１の振動子に発生する振動によって相対的に移動するように配置され、前記第１の振動子は、相対的に移動する前記移動方向と前記移動方向に直交し前記複数の加圧手段による加圧方向とに直交する方向を第１の方向とするとき、前記第１の方向に沿った第１の軸の回りに傾斜可能に配置され、前記第１の加圧部材は、前記第１の方向に沿った第２の軸の回りに傾斜可能に配置されていることを特徴とする。

本発明によれば、薄型で安定した性能を有する振動波モータを提供することができる。

本発明の実施形態に係る振動波モータユニットを備える撮像装置の断面図である。 実施例１の振動子の平面図および側面図である。 実施例１の振動波モータユニットの斜視図である。 実施例１の振動波モータユニットの分解斜視図である。 実施例１の振動波モータユニットの平面図および断面図である。 実施例１の振動子の動きの自由度の説明図である。 実施例１の加圧板と可動部材の関係を説明する図である。 実施例１の直進案内部の斜視図である。 実施例１の直進案内部の説明図である。 実施例１の直進案内部の組立の説明図である。 実施例１のレンズ駆動ユニットの斜視図である。 実施例２の振動波モータユニットの斜視図である。 実施例２の振動波モータユニットの分解斜視図である。 実施例２の振動波モータユニットの平面図および断面図である。 実施例２の振動子の動きの自由度の説明図である。 実施例２の加圧板と可動部材の関係を説明する図である。 実施例２の直進案内部の斜視図である。 実施例２の振動波モータユニットとレンズユニットの連結部の説明図である。 実施例３の振動波モータユニットの斜視図である。 実施例３の振動波モータユニットの分解斜視図である。 実施例３の振動波モータユニットの平面図および断面図である。 実施例３の振動子の動きの自由度の説明図である。 実施例３の第１加圧板と第２加圧板の関係を説明する図である。 実施例３のレンズ駆動ユニットの斜視図である。

以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の実施形態に係る振動波モータユニット（振動波モータあるいは超音波モータユニット。以下、モータユニットという）１０００を備える撮像装置（光学機器）の断面図である。本実施形態の撮像装置は、撮像レンズ部２０００およびカメラボディ３０００を備える。撮像レンズ部２０００の内部には、モータユニット１０００と、モータユニット１０００に取り付けられた合焦レンズ４０００が配置されている。カメラボディ３０００の内部には、撮像素子５０００が配置されている。合焦レンズ４０００は、撮影時にモータユニット１０００により光軸Ｏに沿って移動する。被写体像は撮像素子５０００の位置で結像し、撮像素子５０００は合焦した像を生成する。なお、本実施形態ではモータユニット１０００は撮像装置に搭載されているが、本発明はこれに限定されない。モータユニット１０００は、例えば、レンズユニット等の他の光学機器に搭載されてもよいし、光学機器とは異なる装置に搭載されてもよい。また、本実施形態では撮像レンズ部２０００およびカメラボディ３０００は一体的に構成されているが、本発明はこれに限定されない。撮像レンズ部２０００は、カメラボディ３０００に着脱可能に取り付けられてもよい。つまり、本発明でいうところの装置とは、後述の各実施例で説明する振動波モータと、この振動波モータからの駆動力によって駆動する部材とを有する装置のことをいう。

図２を参照して、本実施例のモータユニット１０００Ａが備える振動子２について説明する。図２は、振動子２の平面図および側面図である。図２（Ａ）は振動子２の平面図、図２（Ｂ）は側面図である。振動子２は、駆動突起２ａ、２ｂおよび固定腕部２ｃ、２ｄを備える。振動子２には、振動板（弾性板）３および圧電素子４が接着剤等により固着されている。圧電素子４に２相の高周波電圧が印加されると、超音波振動を励振し、駆動突起２ａ、２ｂの先端には図２（Ｂ）に示されるｘｙ平面上の楕円運動が励起される。この状態で駆動突起２ａ、２ｂに摩擦材が摩擦接触することで、振動子２および摩擦材は相対的に移動する。本実施例では、摩擦部材７に対向し、駆動突起２ａ、２ｂを含む矩形領域Ａ×Ｂを駆動力発生領域（対向領域）とする。また、矩形領域Ａ×Ｂおよびｘ軸に直交し、矩形領域Ａ×Ｂを対称に分割する面Ｃを前後対称面（第１面）、矩形領域Ａ×Ｂおよびｚ軸に直交し、矩形領域Ａ×Ｂを対称に分割する面Ｄを左右対称面（第２面）とする。前後対称面Ｃは、後述するよう移動部の移動方向および加圧手段の加圧方向に直交する方向、並びに加圧手段の加圧方向を含む面である。また、左右対称面Ｄは、移動部の移動方向および加圧手段の加圧方向を含む面である。

以下、図３から図５を参照して、モータユニット１０００Ａの構成について説明する。図３は、モータユニット１０００Ａの斜視図である。図３（Ａ）は平面側斜視図、図３（Ｂ）は底面側斜視図である。図４は、モータユニット１０００Ａの分解斜視図である。図５は、モータユニット１０００Ａの平面図および断面図である。図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）はそれぞれ、図５（Ａ）のｘ−ｘ断面図およびｚ−ｚ断面図である。

ベース部材５は、ビスにより固定部（不図示）に固定されるとともに、ビスを用いて摩擦部材７を固定する。摩擦部材７は、引張コイルバネ１０による加圧力により振動子２の駆動突起２ａ、２ｂと摩擦接触する。フレキシブル基板６は、異方性導電ペースト等で機械的および電気的に圧電素子４に接続され、圧電素子４に２相の高周波電圧を印加する。振動子保持枠８は、振動子２の固定腕部２ｃ、２ｄを接着等により固定することで、振動子２と一体化されている。加圧仲介部材９は、振動子２に接触するフェルト９ａ、および引張コイルバネ１０による加圧力を受ける金属等の高剛性板９ｂを備える。フェルト９ａは、振動子２に励起される振動を阻害せずに、振動子２に引張コイルバネ１０による加圧力を伝える。引張コイルバネ（付勢手段）１０は、振動子２の周囲に４つ配置され、本実施例では加圧手段としてｙ軸の負方向（加圧方向）へ加圧力を発生させる。加圧板（第１の加圧部材）１１は、引張コイルバネ１０により付勢される。また、加圧板１１は、振動子２の前後対称面Ｃと左右対称面Ｄの交線上で加圧仲介部材９と当接する球状突起（加圧部）１１ａを備える。結合板金１２は、ビスで振動子保持枠８に固定される。ガイド部材１３は、固定板金１６を介して、摩擦部材７の駆動突起２ａ、２ｂとの接触面と平行になるようにビスでベース部材５に固定される。可動部材（第２の加圧部材）１４は、引張コイルバネ１０により付勢される。転動ボール（転動部材）１９ｘ、１９ｙ、１９ｚはそれぞれ、ガイド部材１３と可動部材１４の間に挟持され、引張コイルバネ１０による加圧力を受ける。一体化バネ１５は、引張コイルバネであり、結合板金１２を介して振動子保持枠８および可動部材１４がｘ軸方向において一体化するように付勢する。本実施例では、振動子２、振動子保持枠８、加圧仲介部材９、引張コイルバネ１０、加圧板１１、結合板金１２、および可動部材１４で構成される移動部は、ｘ軸に沿って摩擦部材７に対して相対的に移動する。

次に、図６を参照して、本実施例の振動子２の動きの自由度について説明する。図６は、振動子２の動きの自由度の説明図である。図６では、説明に不要なモータユニット１０００Ａの構成部品は省略している。図６（Ａ）は、一体化バネ１５による付勢力で結合板金１２を介して一体化された振動子保持枠８および可動部材１４を示している。一体化バネ１５は、振動子保持枠８に設けられたフック部８ａと可動部材１４に設けられたフック部１４ｂの間に掛けられている。基準ボール１７は、結合板金１２に形成された円錐穴部１２ａと可動部材１４に形成された円錐穴部１４ａの間に挟持されている。転動ボール１８は、振動子保持枠８に形成されたＶ字溝８ｂと可動部材１４に形成された平面部１４ｃの間に挟持されている。Ｖ字溝８ｂと平面部１４ｃにより転動ボール１８を挟持することで、振動子保持枠８および可動部材１４の基準ボール１７を中心とするｙ軸回りの回転方向（ｙａｗ方向）への回転は規制される。

図６（Ｂ）は、一体化バネ１５、基準ボール１７、および転動ボール１８の設定中心の平面で切断した場合のモータユニット１０００Ａの断面図である。矢印Ａ、Ｂ、Ｃはそれぞれ、振動子保持枠８に働く力を表している。矢印Ａにより表される力は、基準ボール１７を中心に振動子保持枠８が回転するように、一体化バネ１５が振動子保持枠８を付勢する力である。矢印Ｂにより表される力は、平面部１４ｃにより転動ボール１８がＶ字溝８ｂに対して作用する力である。Ｖ字溝８ｂと平面部１４ｃにより転動ボール１８を挟持することで、振動子保持枠８および可動部材１４の基準ボール１７を中心とする回転は規制されているため、振動子保持枠８のｙａｗ方向への回転は規制される。このとき、力Ａと力Ｂの基準ボール１７を中心とするモーメントは釣り合っている。

力Ｃは、結合板金１２を介して振動子保持枠８に作用する力であるが、図６（Ｃ）に示されるように、力Ａと力Ｂの合力と釣り合っている。そのため、振動子保持枠８のｘ軸方向（ｘ軸並進方向）およびｚ軸方向（ｚ軸並進方向）への動きの自由度は規制される。また、基準ボール１７は円錐穴部１２ａと円錐穴部１４ａの間に挟持されているので、振動子保持枠８のｙ軸方向（ｙ軸並進方向）への動きの自由度も規制される。

以上より、本実施例では、振動子２と一体化された振動子保持枠８の可動部材１４に対する動きは、ｘ軸回りの回転方向（ｒｏｌｌ方向）およびｚ軸回りの回転方向（ｐｉｔｃｈ方向）の２自由度となる。本実施例では、振動子２がｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有することで、振動子２の駆動突起２ａ、２ｂを摩擦部材７に確実に当接させることが可能である。また、振動子２の動きの自由度を規制する力Ａ−Ｃは、１つの平面内で釣り合っているため、駆動突起２ａ、２ｂに対して不要な力のアンバランスを起こさない。

図６（Ｄ）および図６（Ｅ）はそれぞれ、基準ボール１７を中心に振動子保持枠８がｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向へ回転している状態を示す図である。図６（Ｄ）および図６（Ｅ）に示されているように、ｒｏｌｌ方向への回転で駆動突起２ａ、２ｂがｙ軸方向へ上下し、ｐｉｔｃｈ方向への回転で駆動突起２ａ、２ｂのｙ軸方向における位置の差に対応することが可能である。

図７は、加圧板１１と可動部材１４の関係を説明する図である。４本の引張コイルバネ１０は、加圧板１１と可動部材１４の各バネ掛け部に係合している。加圧板１１と可動部材１４のｙ軸方向の間隔は不図示のモータユニット１０００Ａの構成部品により決定するため、４本の引張コイルバネ１０は加圧板１１および可動部材１４を付勢する。４本の引張コイルバネ１０は、球状突起１１ａから等間隔の位置にそれぞれ対称に配置された同一仕様のバネである。しかしながら、各引張コイルバネの所定長さでの付勢力は製造ばらつきにより必ずしも同一とはならず、加圧板１１および可動部材１４の各バネ掛け部の位置も単部品内での製造精度や間に介在する部品の製造誤差により誤差が生じる。本実施例では、加圧板１１は、球状突起１１ａで加圧仲介部材９に当接し、球状突起１１ａを支点としてｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の動き（傾き）の自由度を持つ。

すなわち、加圧板１１は、左右対称面Ｄ内で前後対称面Ｃに直交する軸および前後対称面Ｃ内で左右対称面Ｄに直交する軸を中心として傾斜可能である。なお、厳密に各軸を中心として傾斜可能である必要はなく、各軸から数ｍｍ程度ずれていても各軸を中心として傾斜可能であるとみなされる。例えば、性能や用途に応じて異なるが、±０．２ｍｍ程度ずれていてもよい。そのため、球状突起１１ａから加圧仲介部材９を介して駆動突起２ａ、２ｂに作用する４本の引張コイルバネ１０による加圧力はそれぞれ、上記の製造ばらつきに対して最適に調整される。

なお、加圧板１１が傾斜する際の中心となる軸は次のように定義してもよい。つまり、第１の加圧部材は、第１の振動子の移動方向および複数の加圧手段による加圧方向に直交する方向を第１の方向（ｚ軸方向）とするとき、この第１の方向を中心に傾斜可能であるとしてもよい。このような定義は後述の各実施例においても同様である。

また、加圧板１１は加圧仲介部材９を含む振動子保持枠８に対して相対的にｒｏｌｌ方向とｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有するため、振動子保持枠８の傾きおよび傾きの変化に関わらず、可動部材１４に対する加圧板１１の姿勢は最適な状態に調整される。そのため、球状突起１１ａから加圧仲介部材９を介して駆動突起２ａ、２ｂに作用する４本の引張コイルバネ１０による加圧力はそれぞれ、ばらつくことなく安定する。また、加圧板１１と可動部材１４のｙ軸方向の距離が変化することがあるが、引張コイルバネ１０は板バネ等に比べるとバネ定数を小さくすることが可能であるため加圧力の安定化に有利である。

また、加圧板１１に設けられた突起１１ｂは図６（Ｂ）に示される振動子保持枠８に形成された溝部８ｃと係合するため、振動子保持枠８を介して加圧板１１および可動部材１４はｘ軸方向において一体化されている。したがって、移動部がｘ軸に沿って移動する間、引張コイルバネ１０、加圧板１１、および可動部材１４の位置関係は変化せず、引張コイルバネ１０による加圧力は安定する。

図８は、ガイド部材１３、可動部材１４、および両部材の間に挟持される転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚにより構成される直進案内部の斜視図である。図９は、直進案内部の説明図である。可動部材１４には、それぞれ転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚと係合する直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙ、１４ｚがｘ軸方向（移動部の移動方向）に平行に形成されている。直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙは、ｘ軸に沿って直列、すなわちｘ軸に平行な同一直線上に離間して形成されている。また、直進ガイド溝１４ｚは、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙに対してｚ軸方向へ離間し、ｘ軸に沿って形成されている。可動部材１４は、転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚが転動することで引張コイルバネ１０による加圧力を受けながらガイド部材１３に対してｘ軸に沿って滑らかに移動する。

図９（Ａ）は、ガイド部材１３および可動部材１４が転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚに当接する状態を表している。また、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）の状態における転動ボール１９ｙ、１９ｚを通る位置での断面図である。直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙ、１４ｚの一部には、各転動ボールに係合可能となるように６０度の開角を有する面が形成されている。ガイド部材１３には、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙに対向し、転動ボール１９ｘ、１９ｙに係合するｘ軸に沿って一続きに形成された案内壁１３ｘ−ｙが形成されている。案内壁１３ｘ−ｙには、各転動ボールに係合可能となるように１２０度の開角が形成されている。また、ガイド部材１３には、直進ガイド溝１４ｚに対向し、転動ボール１９ｚに係合するｘｚ面に平行にｘ軸に沿って形成された案内平面部１３ｚが形成されている。なお、本実施例では各直進ガイド溝の一部に６０度の開角を有する面が形成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、各直進ガイド溝の一部にｘｚ面に対して所定の角度を有する面がｘ軸に沿って形成されていればよく、直進ガイド溝全体が所定の角度を有するＶ字形状溝として形成されてもよい。また、本実施例では案内壁１３ｘ−ｙに１２０度の開角が形成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、案内壁１３ｘ−ｙは、各転動ボールに係合できればｘ軸に沿ってｘｚ面に対して所定の角度を有するように形成されてもよい。

ガイド部材１３には、平面部１３ｖ、１３ｗが形成されている。可動部材１４は、前述したように、引張コイルバネ１０とそれぞれ係合する４つのバネ掛け部（係合部）を備える。図９（Ａ）の状態で４つのバネ掛け部のうち２つのバネ掛け部は、その一部である規制部１４ｖが平面部１３ｖとｙ軸方向において間隔ａを形成するように設けられている。また、可動部材１４には、図９（Ａ）の状態で平面部１３ｗとｙ軸方向において間隔ａを形成するように、２つのストッパ部１４ｗが設けられている。

図９（Ｃ）は、ガイド部材１３と可動部材１４がｙ軸方向において当接した状態、すなわち平面部１３ｖと２つの規制部１４ｖ、および平面部１３ｗと２つのストッパ部１４ｗが当接している状態を表している。また、図９（Ｄ）は、図９（Ｃ）の状態における転動ボール１９ｚの位置での断面図である。図９（Ｃ）では、転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚは、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙ、１４ｚに係合しているが、ガイド部材１３とは接触していない。また、図９（Ｄ）では、転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚは、ガイド部材１３に接触しているが、可動部材１４とは接触していない。図９（Ｄ）に示されるように、転動ボール１９ｚは、ガイド部材１３に接触した位置でも直進ガイド溝１４ｚに対して間隔ｂだけ可動部材１４に掛っているので、直進ガイド溝１４ｚから脱落することはない。また、転動ボール１９ｘ、１９ｙはそれぞれ、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙに間隔ｂだけ可動部材１４に掛かっているので、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙから脱落することはない。

以上説明したように、本実施例では、平面部１３ｖ、１３ｗと当接する複数の規制部１４ｖおよびストッパ部１４ｗを設けることで転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚの脱落を防止することが可能である。具体的には、規制部１４ｖおよびストッパ部１４ｗは、間隔ａが可動部材１４の設計面１４ｅから各転動部材が対応する直進ガイド溝と係合する位置までの間隔ｃより短くなるように設けられていればよい。本実施例では、規制部１４ｖおよびストッパ部１４ｗは、ガイド部材１３がｙ軸方向に移動した際に各転動ボールが間隔ｂだけ可動部材１４に掛かるように、すなわち、各転動ボールの一部が各直進ガイド溝の内部に位置するように設けられている。なお、本実施例のモータユニット１０００Ａは、３つの転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚを備えているが、本発明はこれに限定されない。例えば、３つ以上の転動ボールを備え、それに応じてガイド部材１３のガイド部および可動部材１４の直進ガイド溝を形成すればよい。ただし、３つ以上の転動ボールを備える場合、転動ボールや直進ガイド溝の製造誤差によりガイド部や直進ガイド溝に係合しない転動ボールが存在するため、可動部材１１４が高精度に移動しにくくなる。そのため、可動部材１１４を高精度に移動させるために、転動ボールの数を３つにすることが好ましい。

また、本実施例では、図８（Ｂ）に示されるように、可動部材１４のバネ掛け部はガイド部材１３のｙ軸方向の投影面内に配置されている。具体的には、バネ掛け部は、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙ、１４ｚと案内壁１３ｘ−ｙおよび案内平面部１３ｚを挟み込むように配置されている。このように配置することで、ガイド部材１３のｙ軸の正側の空間（案内壁１３ｘ−ｙおよび案内平面部１３ｚが形成されている面とは反対側の面側の空間）を有効に活用することが可能である。また、基準ボール１７と係合する円錐穴部１４ａ、一体化バネ１５と係合するフック部１４ｂ、および後述する連動部１４ｄもガイド部材１３のｙ軸方向の投影面内に配置されている。具体的には、各部材は、直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙ、１４ｚと案内壁１３ｘ−ｙおよび案内平面部１３ｚを挟み込むように配置されている。ガイド部材１３のｙ軸の正側の空間を活用することで、モータユニット１０００Ａを小型化することが可能となる。

本実施例では、上記構成により、ガイド部材１３、可動部材１４および転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚをｙ軸方向で組み込むことは不可能である。そのため、本実施例では、図１０に示されるように、転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚをそれぞれ可動部材１４の直進ガイド溝１４ｘ、１４ｙ、１４ｚに乗せて矢印Ｓ方向へスライドさせてガイド部材１３に差し込むことで図８（Ａ）に示される組み込み状態となる。

図１１（Ａ）は、モータユニット１０００Ａが取り付けられた状態のレンズ駆動ユニットの斜視図である。図１１（Ｂ）は、モータユニット１０００Ａが取り付けられていない状態のレンズ駆動ユニットの斜視図である。図１１（Ｃ）は、モータユニット１０００Ａとレンズユニット３００の連結部を示す図である。図１１（Ｄ）は、連結部の断面図である。レンズユニット３００は、バー・スリーブ構成にて光軸（ｘ軸）に沿って移動可能に支持されている。ガイドバー３０１、３０２は、ｘ軸に平行に形成され、不図示の部材により支持される。連動部材３０３は、連動付勢バネ３０４を介してレンズユニット３００と光軸方向において一体化されるとともに、矢印Ｒ方向へ回転力を加えられている。可動部材１４に設けられた連動部１４ｄには、図１１（Ｄ）に示されるように６０度の開角を有する溝形状が形成されている。図１１（Ｂ）の矢印Ｒ方向への回転力により、連動部材３０３に設けられた球状連動部３０３ａは連動部１４ｄに形成された溝形状に係合し、モータユニット１０００Ａの駆動力は連動部材３０３を介してレンズユニット３００に伝達される。また、連動部材３０３の矢印方向Ｒへの回転力は、転動ボール１９ｘ、１９ｙ、１９ｚを介してガイド部材１３に受けられる。また、モータユニット１０００Ａとレンズユニット３００のｙ軸方向の位置誤差は連動部材３０３の矢印Ｒ方向の回転で吸収され、ｚ軸方向の位置誤差は連動部１４ｄに形成された溝形状と球状連動部３０３ａの係合位置がｚ軸方向へ移動することで吸収される。したがって、製造上の誤差がある場合でも、モータユニット１０００Ａは、レンズユニット３００を光軸に沿って滑らかに、かつ、確実に駆動することができる。

図１２から図１４を参照して、本実施例の振動波モータユニット（超音波モータユニット。以下、モータユニットという）１０００Ｂの構成について説明する。図１２は、モータユニット１０００Ｂの斜視図である。図１２（Ａ）は平面側斜視図、図１２（Ｂ）は底面側斜視図である。図１３は、モータユニット１０００Ｂの分解斜視図である。図１４は、モータユニット１０００Ｂの平面図および断面図である。図１４（Ａ）は平面図、図１４（Ｂ）および図１４（Ｃ）はそれぞれ、図１４（Ａ）のｘ−ｘ断面図およびｚ−ｚ断面図である。

本実施例のモータユニット１０００Ｂが備える振動子２は、実施例１の振動子２と同一である。ベース部材１０５は、ビスにより固定部（不図示）に固定されるとともに、ビスを用いて摩擦部材１０７を固定する。摩擦部材１０７は、引張コイルバネ１１０による加圧力により駆動突起２ａ、２ｂと摩擦接触する。フレキシブル基板１０６は、実施例１と同様に、異方性導電ペースト等で機械的および電気的に振動子２の圧電素子４に接続され、圧電素子４に２相の高周波電圧を印加する。振動子保持枠１０８は、振動子２の固定腕部２ｃ、２ｄを接着等により固定することで、振動子２と一体化されている。加圧仲介部材１０９は、振動子２に接触するフェルト１０９ａ、および引張コイルバネ１１０による加圧力を受ける金属等の高剛性板１０９ｂを備える。フェルト１０９ａは、振動子２に励起される振動を阻害せずに、振動子２に引張コイルバネ１１０による加圧力を伝える。引張コイルバネ（付勢手段）１１０は、振動子２の周囲に４つ配置され、本実施例では加圧手段として前述したように加圧力を発生させる。加圧板（第１の加圧部材）１１１は、引張コイルバネ１１０により付勢される。また、加圧板１１１は、加圧仲介部材１０９と当接するｙ軸方向の位置が等しい２つの球状突起（加圧部）１１１ａを備える。２つの球状突起１１１ａは、振動子２の前後対称面Ｃ内で左右対称面Ｄに対して対称となるように設けられている。可動部外枠１１２は、ビスにより可動部材（第２の加圧部材）１１４と一体化されている。ガイド部材１１３は、固定板金１１６を介して、摩擦部材１０７の駆動突起２ａ、２ｂとの接触面と平行になるようにビスでベース部材１０５に固定される。可動部材１１４は、引張コイルバネ１１０により付勢される。転動ボール（転動部材）１１９ｘ、１１９ｙ、１１９ｚはそれぞれ、ガイド部材１１３と可動部材１１４の間に挟持され、引張コイルバネ１１０による加圧力を受ける。本実施例では、振動子２、振動子保持枠１０８、加圧仲介部材１０９、引張コイルバネ１１０、加圧板１１１、可動部外枠１１２、および可動部材１１４で構成される移動部は、ｘ軸に沿って摩擦部材１０７に対して相対的に移動する。

次に、図１５を参照して、本実施例の振動子２の動きの自由度について説明する。図１５は、振動子２の動きの自由度の説明図である。図１５では、説明に不要なモータユニット１０００Ｂの構成部品は省略している。図１５（Ａ）は、振動子保持枠１０８と一体化されている可動部外枠１１２および可動部材１１４を示している。図１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）に示される構成を基準バー１１７および被付勢バー１１８を通る平面で切断した断面図である。図１５（Ｃ）は、図１５（Ａ）に示される構成を振動子２の左右対称面Ｄで切断した断面図である。

一体化バネ１１５は、板バネであり、可動部外枠１１２に設けられたバネ取り付け部１１２ｂに固定され、被付勢バー１１８を介して振動子保持枠１０８に形成された平面部１０８ｂを矢印Ｄ方向へ付勢する。また、振動子保持枠１０８に形成された平面部１０８ａは、平面部１０８ａと可動部外枠１１２に形成された平面部１１２ａの間に挟持された基準バー１１７を介して、矢印Ｄ方向の付勢力と釣り合う矢印Ｅ方向の反力を受ける。したがって、振動子保持枠１０８および可動部外枠１１２は、一体化バネ１１５の付勢力により基準バー１１７および被付勢バー１１８を介してｘ軸方向において一体化されている。また、基準バー１１７を平面部１１２ａおよび平面部１０８ａの間に挟持することで、振動子保持枠１０８のｙａｗ方向への回転も規制される。また、振動子保持枠１０８がｚ軸方向において可動部外枠１１２に嵌合することで、振動子保持枠１０８のｚ軸方向（ｚ軸並進方向）およびｒｏｌｌ方向への回転も規制される。

以上より、本実施例では、振動子２と一体化された振動子保持枠１０８の可動部材１１４に対する動きは、ｙ軸方向（ｙ軸並進方向）およびｐｉｔｃｈ回転方向の２自由度となる。本実施例では、振動子２がｙ軸方向およびｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有することで、振動子２の駆動突起２ａ、２ｂを摩擦部材１０７に確実に当接させることが可能である。また、駆動突起２ａ、２ｂと摩擦部材１０７は、基準バー１１７および被付勢バー１１８が転動することで移動するため、動きの抵抗を小さくすることが可能である。また、矢印Ｄ方向の付勢力と矢印Ｅ方向の反力は、一つの平面内で釣り合っているため、駆動突起２ａ、２ｂに対して不要な力のアンバランスを起こさない。

図１６は、加圧板１１１と可動部材１１４の関係を説明する図である。４本の引張コイルバネ１１０は、加圧板１１１と可動部材１１４の各バネ掛け部に係合している。加圧板１１１と可動部材１１４のｙ軸方向の間隔は不図示のモータユニット１０００Ｂの構成部品により決定するため、４本の引張コイルバネ１１０は加圧板１１１および可動部材１１４を付勢する。本実施例では、加圧板１１１は、ｙ軸方向の位置が等しい２つの球状突起１１１ａで加圧仲介部材１０９に当接し、２つの球状突起１１１ａを支点としてｐｉｔｃｈ方向の動き（傾き）の自由度を持つ。すなわち、加圧板１１１は、前後対称面Ｃ内で左右対称面Ｄに直交する軸を中心として傾斜可能である。なお、厳密に上記軸を中心として傾斜可能である必要はなく、上記軸から数ｍｍ程度ずれていても各軸を中心として傾斜可能であるとみなされる。例えば、性能や用途に応じて異なるが、±０．２ｍｍ程度ずれていてもよい。そのため、２つの球状突起１１１ａから加圧仲介部材１０９を介して駆動突起２ａ、２ｂに作用する４本の引張コイルバネ１１０による加圧力はそれぞれ、最適に調整される。

また、加圧板１１１は加圧仲介部材１０９を含む振動子保持枠１０８に対して相対的にｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有するため、振動子保持枠１０８の傾きおよび傾きの変化に関わらず、可動部材１１４に対する加圧板１１１の姿勢は最適な状態に調整される。また、加圧板１１１と可動部材１１４のｙ軸方向の距離が変化する場合があるが、引張コイルバネ１１０は板バネ等に比べるとバネ定数を小さくすることが可能であるため加圧力の安定化に有利である。

また、加圧板１１１に設けられた突起１１１ｂは、図１５（Ｂ）に示される振動子保持枠１０８に形成された溝部１０８ｃと係合するため、振動子保持枠１０８を介して加圧板１１１と可動部材１１４はｘ軸方向において一体化されている。したがって、モータユニット１０００Ｂがｘ軸に沿って移動する間、引張コイルバネ１１０、加圧板１１１、および可動部材１１４の位置関係は変化せず、引張コイルバネ１１０による加圧力は安定する。

図１７は、ガイド部材１１３、可動部材１１４、および両部材に挟持される転動ボール１１９ｘ、１１９ｙ、１１９ｚにより構成される直進案内部の斜視図である。ガイド部材１１３、可動部材１１４に形成された直進ガイド溝１１４ｘ、１１４ｙ、１１４ｚ、および転動ボール１１９ｘ、１１９ｙ、１１９ｚの関係は、実施例１と同様なので説明は省略する。ガイド部材１１３には、平面部１１３ｖ、１１３ｗが形成されている。可動部材１１４は、前述したように、引張コイルバネ１１０と係合する４つのバネ掛け部を備える。実施例１と同様に、ガイド部材１１３および可動部材１１４が各転動ボールに当接する状態で４つのバネ掛け部のうち２つのバネ掛け部は、その一部である規制部１１４ｖが平面部１１３ｖとｙ軸方向において間隔ａを形成するように設けられている。また、可動部材１１４には、ガイド部材１１３および可動部材１１４が各転動ボールに当接する状態で平面部１１３ｗとｙ軸方向において間隔ａを形成するように、２つのストッパ部１１４ｗが設けられている。上記構成により、転動ボール１１９ｘ、１１９ｙ、１１９ｚの脱落を防止する。また、本実施例では、実施例１と同様に、可動部材１１４のバネ掛け部はガイド部材１１３のｙ軸方向の投影面内に配置している。このように配置することで、ガイド部材１１３のｙ軸の正側の空間を有効に活用でき、モータユニット１０００Ｂを小型化することが可能となる。

本実施例のモータユニット１０００Ｂは、レンズユニットを光軸に沿って駆動させるために、レンズ駆動ユニットの一部として機能する。図１８は、モータユニット１０００Ｂとレンズユニットの連結部の説明図である。実施例１と同様に、図１１（Ｂ）の矢印Ｒ方向への回転力により、可動部外枠１１２に設けられた球状連動部１１２ｃはレンズユニットに設けられた連動部材４０１に形成された６０度の開角を有する連動溝４０１ａと係合する。そのため、モータユニット１０００Ｂからの駆動力は、可動部外枠１１２を介して連動部材４０１に伝達される。また、実施例１の図１１（Ｂ）で示したものと同様な矢印Ｒ方向への回転力は可動部外枠１１２と一体化された可動部材１１４および転動ボール１１９ｘ、１１９ｙ、１１９ｚを介してガイド部材１１３で受けられるため、振動子保持枠１０８には不要な力は伝わらない。

図１９から図２１を参照して、本実施例の振動波モータユニット（超音波モータユニット。以下、モータユニットという）１０００Ｃの構成について説明する。図１９は、モータユニット１０００Ｃの斜視図である。図１９（Ａ）は平面側斜視図、図１９（Ｂ）は底面側斜視図である。図２０は、モータユニット１０００Ｃの分解斜視図である。図２１は、モータユニット１０００Ｃの平面図および断面図である。図２１（Ａ）は平面図、図２１（Ｂ）および図２１（Ｃ）はそれぞれ、図２１（Ａ）のｘ−ｘ断面図およびｚ−ｚ断面図である。

本実施例のモータユニット１０００Ｃは、第１振動子（第１の振動子）２＿１および第２振動子（第２の振動子）２＿２を備える。第１振動子２＿１および第２振動子２＿２は、実施例１および実施例２の振動子２と同一である。第１振動子２＿１および第２振動子２＿２は、摩擦部材２０７を挟持する。第１振動子２＿１の駆動突起２ａ＿１、２ｂ＿１は、摩擦部材２０７の第１振動子２＿１側の第１当接面２０７＿１に当接する。また、第２振動子２＿２の駆動突起２ａ＿２、２ｂ＿２は、摩擦部材２０７の第２振動子２＿２側の第２当接面２０７＿２に当接する。

ベース部材２０５は、ビスにより固定部（不図示）に固定される。フレキシブル基板２０６＿１、２０６＿２はそれぞれ、第１振動子２＿１および第２振動子２＿２を振動させるために、機械的および電気的に第１振動子２＿１および第２振動子２＿２に接続される。第１振動子保持枠２０８＿１および第２振動子保持枠２０８＿２はそれぞれ、第１振動子２＿１の固定腕部および第２振動子２＿２の固定腕部を接着等により固定することで、第１振動子２＿１および第２振動子２＿２と一体化されている。加圧仲介部材２０９は、第１振動子２＿１に接触するフェルト２０９ａ、および引張コイルバネ２１０による加圧力を受ける金属等の高剛性板２０９ｂを備える。フェルト２０９ａは、第１振動子２＿１に励起される振動を阻害せずに、第１振動子２＿１に引張コイルバネ２１０による加圧力を伝える。引張コイルバネ（付勢手段）２１０は、第１振動子２＿１および第２振動子２＿２の周囲に２つ配置され、本実施例では加圧手段として前述したように加圧力を発生させる。第１加圧板（第１の加圧部材）２１１は、引張コイルバネ２１０により付勢される。また、第１加圧板２１１は、第１振動子２＿１の前後対称面Ｃと左右対称面Ｄの交線上で加圧仲介部材２０９と当接する球状突起（加圧部）２１１ａを備える。第１結合板金２１２＿１および第２結合板金２１２＿２はそれぞれ、ビスで第１振動子保持枠２０８＿１および第２振動子保持枠２０８＿２に固定される。第２加圧板（第２の加圧部材）２１３は、引張コイルバネ２１０により付勢される。フェルト２１４は、第２振動子２＿２に励起される振動を阻害せずに、第２振動子２＿２に引張コイルバネ２１０による加圧力を伝える。一体化バネ２１５は、引張コイルバネであり、第１結合板金２１２＿１に設けられたフック部２１２ｂ＿１と第２結合板金２１２＿２に設けられたフック部２１２ｂ＿２の間に掛けられている。一体化バネ２１５は、第１結合板金２１２＿１および第２結合板金２１２＿２を介して、第１振動子保持枠２０８＿１および第２振動子保持枠２０８＿２を付勢する。一体化バネ２１５により付勢される第１振動子保持枠２０８＿１および第２振動子保持枠２０８＿２は、ベース部材２０５にｘ軸方向において一体化される。

本実施例では、各振動子、各振動子保持枠、加圧仲介部材２０９、引張コイルバネ２１０、各加圧板、各結合板金、フェルト２１４で構成される移動部は、ｘ軸に沿って摩擦部材２０７に対して相対的に移動する。なお、第１振動子２＿１と第２振動子２＿２、第１振動子保持枠２０８＿１と第２振動子保持枠２０８＿２、および第１結合板金２１２＿１と第２結合板金２１２＿２は、共通部品である。

次に、本実施例の第１振動子２＿１および第２振動子２＿２の動きの自由度について説明する。図２２は、第２振動子２＿２の動きの自由度の説明図である。図２２では、説明に不要なモータユニット１０００Ｃの構成部品は省略している。

図２２（Ａ）は、一体化バネ２１５により第２結合板金２１２＿２を介して一体化されている第２振動子保持枠２０８＿２およびベース部材２０５を示している。基準ボール２１７＿２は、第２結合板金２１２＿２に形成された円錐穴部２１２ａ＿２とベース部材２０５に形成された円錐穴部２０５ａ＿２の間に挟持されている。ボール２１８＿２は、第２振動子保持枠２０８＿２の平面部２０８ａ＿２とベース部材２０５に形成された円錐穴部２０５ｂ＿２の間に挟持されている。ボール２１８＿２を平面部２０８ｂ＿２と円錐穴部２０５ｃ＿２の間に挟持することで、第２振動子保持枠２０８＿２のベース部材２０５に対する基準ボール２１７＿２を中心とする回転は規制される。

図２２（Ｂ）は、一体化バネ２１５、基準ボール２１７＿２、およびボール２１８＿２の設定中心の平面で切断した場合のモータユニット１０００Ｃの断面図である。矢印Ａ、Ｂ、Ｃは、第２振動子保持枠２０８＿２に働く力を表している。矢印Ａにより表される力は、基準ボール２１７＿２を中心に第２振動子保持枠２０８＿２がｙ軸回りの回転方向（ｙａｗ方向）へ回転するように、一体化バネ２１５が第２振動子保持枠２０８＿２を付勢する力である。矢印Ｂにより表される力は、ボール２１８＿２が第２振動子保持枠２０８＿２に対して作用する力である。前述したように、ボール２１８＿２を平面部２０８ｂ＿２と円錐穴部２０５ｃ＿２の間に挟持することで、第２振動子保持枠２０８＿２のベース部材２０５に対する基準ボール２１７＿２を中心とする回転は規制されている。そのため、第２振動子保持枠２０８＿２のｙａｗ方向への回転は規制される。このとき、力Ａと力Ｂの基準ボール２１７＿２を中心とするモーメントは釣り合っている。

力Ｃは、第２結合板金２１２＿２を介して第２振動子保持枠２０８＿２に作用する力であるが、図２２（Ｃ）に示されるように、力Ａと力Ｂの合力と釣り合っている。そのため、第２振動子保持枠２０８＿２のｘ軸方向（ｘ軸並進方向）およびｚ軸方向（ｚ軸並進方向）への動きの自由度は規制される。また、基準ボール２１７＿２は円錐穴部２１２ａ＿２と円錐穴部２０５ａ＿２の間に挟持されているので、第２振動子保持枠２０８＿２のｙ軸方向（ｙ軸並進方向）への動きの自由度も規制される。

以上より、本実施例では、第２振動子２＿２と一体化された第２振動子保持枠２０８＿２のベース部材２０５に対する動きは、ｘ軸回りの回転方向（ｒｏｌｌ方向）およびｚ軸回りの回転方向（ｐｉｔｃｈ方向）の２自由度となる。本実施例では、第２振動子２＿２がｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有することで、第２振動子２＿２の駆動突起２ａ＿２、２ｂ＿２を摩擦部材２０７の第２当接面２０７＿２に確実に当接させることが可能である。また、振動子２の動きの自由度を規制する力Ａ−Ｃは、１つの平面内で釣り合っているため、駆動突起２ａ＿２、２ｂ＿２に対して不要な力のアンバランスを起こさない。第２振動子保持枠２０８＿２のベース部材２０５に対する基準ボール２１７＿２を中心とする回転の動きは、実施例１の図６（Ｄ）および図６（Ｅ）で示した振動子保持枠８の基準ボール１７を中心とするｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ回転の動きと同様である。

図２２には図示されていないが、第１振動子２＿１、第１振動子保持枠２０８＿１、および第１結合板金２１２＿１は、第２振動子２＿２、第２振動子保持枠２０８＿２、および第２結合板金２１２＿２を、ｚ軸を中心に１８０度回転させた位置に配置される。基準ボール２１７＿１は、第１結合板金２１２＿１に形成された円錐穴部とベース部材２０５に形成された円錐穴部２０５ａ＿１の間に挟持される。また、ボール２１８＿１は、第１振動子保持枠２０８＿１の平面部２０８ａ＿１とベース部材２０５に形成された円錐穴部２０５ｂ＿１の間に挟持される。さらに、基準ボール２１７＿１、２１７＿２は、図２２（Ｂ）で示される同一の断面上に配置されている。そのため、本実施例では、第１振動子２＿１と一体化された第１振動子保持枠２０８＿１のベース部材２０５に対する動きの自由度は、ｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の２自由度となる。本実施例では、第１振動子２＿１がｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有することで、第１振動子２＿１の駆動突起２ａ＿１、２ｂ＿２を摩擦部材２０７の第１当接面２０７＿１に確実に当接させることが可能である。

本実施例では、摩擦部材２０７を挟持する第１振動子２＿１および第２振動子２＿２を同時に駆動することで、１つの振動子で駆動する場合に対してより大きな推力を発生させることが可能である。発生する推力に応じて一体化バネ２１５の付勢力を大きくすることが必要であるが、一体化バネ２１５を引張コイルバネとすることで省スペース化できるとともに、付勢力設定の自由度を板バネ等より大きくすることができる。また、各振動子と摩擦部材２０７を当接させる引張コイルバネ２１０による加圧力は摩擦部材２０７を挟んで釣り合っているので、本実施例では実施例１および実施例２で説明した加圧力を受けながら滑らかに動きを案内する直進案内部は不要である。

図２３は、第１加圧板２１１と第２加圧板２１３の関係を説明する図である。２本の引張コイルバネ２１０は、第１および第２加圧板２１１、２１３の各バネ掛け部に係合している。第１および第２加圧板２１１、２１３のｙ軸方向の間隔は不図示のモータユニット１０００Ｃの構成部品により決定するため、２本の引張コイルバネ２１０は第１および第２加圧板２１１、２１３を付勢する。２本の引張コイルバネ２１０は、球状突起２１１ａに対して対角の位置に配置された同一仕様のバネである。しかしながら、各引張コイルバネの所定長さでの付勢力は製造ばらつきにより必ずしも同一とはならず、第１および第２加圧板２１１、２１３の各バネ掛け部の位置も単部品内での製造精度や間に介在する部品の製造誤差により誤差が生じる。本実施例では、第１加圧板２１１は、球状突起２１１ａで加圧仲介部材２０９に当接し、球状突起２１１ａを支点としてｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の動き（傾き）の自由度を持つ。すなわち、第１加圧板２１１は、左右対称面Ｄ内で前後対称面Ｃに直交する軸および前後対称面Ｃ内で左右対称面Ｄに直交する軸を中心として傾斜可能である。なお、厳密に各軸を中心として傾斜可能である必要はなく、各軸から数ｍｍ程度ずれていても各軸を中心として傾斜可能であるとみなされる。例えば、性能や用途に応じて異なるが、±０．２ｍｍ程度ずれていてもよい。そのため、球状突起２１１ａから加圧仲介部材２０９を介して駆動突起２ａ＿１、２ｂ＿１に作用する２本の引張コイルバネ２１０による加圧力はそれぞれ、上記の製造ばらつきに対して最適に調整される。また、第２振動子２＿２はその反力を第２加圧板２１３から受けるので、駆動突起２ａ＿２、２ｂ＿２には最適に調整された加圧力が作用する。

また、第１加圧板２１１は第１および第２振動子保持枠２０８＿１、２０８＿２に対して相対的にｒｏｌｌ方向およびｐｉｔｃｈ方向の動きの自由度を有する。そのため、第１および第２振動子保持枠２０８＿１、２０８＿２の傾きおよび傾きの変化に関わらず、第１加圧板２１１の姿勢は最適な状態に調整され、２本の引張コイルバネ２１０による加圧力はそれぞれ、ばらつくことなく安定する。

第１加圧板２１１に設けられた突起２１１ｂは、図１９（Ａ）に示される第１振動子保持枠２０８＿１に形成された溝部２０８ｃ＿１と係合する。また、第２加圧板２１３に設けられた突起２１３ｂは、図１９（Ｂ）に示される第２振動子保持枠２０８＿２に形成された溝部２０８ｃ＿２と係合する。そのため、第１および第２加圧板２１１、２１３は、第１および第２振動子保持枠２０８＿１、２０８＿２を介して、ｘ軸方向において一体化される。したがって、移動部がｘ軸に沿って移動する間、引張コイルバネ２１０、第１加圧板２１１、および第２加圧板２１３の位置関係は変化せず、引張コイルバネ２１０による加圧力は安定する。

図２４は、レンズ駆動ユニットの斜視図である。図２４（Ａ）は、モータユニット１０００Ｃが取り付けられた状態のレンズ駆動ユニットの斜視図である。図２４（Ｂ）は、モータユニット１０００Ｃが取り付けられていない状態のレンズ駆動ユニットの斜視図である。レンズユニット５００は、バー・スリーブ構成にて光軸（ｘ軸）に沿って移動可能に支持されている。ガイドバー５０１、５０２は、ｘ軸に平行に形成され、不図示の部材により支持される。モータユニット１０００Ｃに設けられた摩擦部材２０７は、レンズユニット５００にビスおよび接着等で一体化され、レンズユニット５００に光軸方向へ移動させる推力を作用させる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの辞し形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。

なお、引張コイルバネ１１０は、実施例１および実施例２では４本、実施例３では２本設けられているが、他の本数であっても良い。また、実施例３において、第１加圧板２１１および第２加圧板２１３の係合関係を高さ方向に入れ替え、加圧手段として引張コイルバネの代わりに圧縮コイルバネを使用してもよい。

また、前述の各実施例における各部材がある面内に存在するとは、その部材の少なくとも一部がその面と交差していると解釈してもよい。

１０００Ａ、１０００Ｂ、１０００Ｃ 振動波モータユニット（振動波モータ）
２ 振動子（第１の振動子）
２＿１ 第１振動子（第１の振動子）
２＿２ 第２振動子（第２の振動子）
７、１０７、２０７ 摩擦部材
１０、１１０、２１０ 引張コイルバネ（加圧手段）
１１、１１１ 加圧板（第１の加圧部材）
１１ａ、１１１ａ、２１１ａ 球状突起（加圧部）
２１１ 第１加圧板（第１の加圧部材）
１４、１１４ 可動部材（第２の加圧部材）
２１４ 第２加圧板（第２の加圧部材）

Claims (11)

1. 第１の振動子と、
   前記第１の振動子と接触する摩擦部材と、
   付勢力を発生させる複数の加圧手段と、
   前記付勢力により前記摩擦部材に対し前記第１の振動子を加圧する第１の加圧部材と、を有する振動波モータであって、
   前記第１の振動子と前記摩擦部材は、前記第１の振動子に発生する振動によって相対的に移動するように配置され、
   前記第１の振動子は、相対的に移動する前記移動方向と前記移動方向に直交し前記複数の加圧手段による加圧方向とに直交する方向を第１の方向とするとき、前記第１の方向に沿った第１の軸の回りに傾斜可能に配置され、
   前記第１の加圧部材は、前記第１の振動子に対して前記第１の方向に沿った第２の軸の回りに傾斜可能に配置されていることを特徴とする振動波モータ。
2. 前記第１の加圧部材は、第１の振動子を加圧する加圧部を備え、
   前記加圧部は、前記第１の方向並びに前記加圧方向と平行で、前記摩擦部材と対向する前記第１の振動子の対向領域を対称に分割する第１面の面内に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記第１の加圧部材は、前記加圧部を支点として前記第２の軸の回りに傾斜可能であることを特徴とする請求項２に記載の振動波モータ。
4. 前記加圧部は、前記移動方向および前記加圧方向と平行で、前記対向領域を対称に分割する第２面の面内に配置され、
   前記第１の加圧部材は、前記加圧部を支点として、前記第１面に直交する直線を中心に傾斜可能であることを特徴とする請求項３に記載の振動波モータ。
5. 前記摩擦部材は、前記第１の振動子と接触する面とは反対側に面を有する平板であって、
   該反対側の面で前記摩擦部材と接触する第２の振動子と、
   前記付勢力により前記摩擦部材に対し前記第２の振動子を加圧する第２の加圧部材と、を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
6. 前記複数の加圧手段はそれぞれ、コイルバネであることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
7. 前記複数の加圧手段はそれぞれ、引張りコイルバネであることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
8. 前記第１の振動子は、前記摩擦部材に当接する２つの駆動突起を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
9. 前記第１の振動子は、電圧を印加されることで振動を励振する圧電素子を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の振動波モータ。
10. 請求項１から９のいずれか１項に記載の振動波モータと、前記振動波モータからの駆動力によって駆動する部材とを有することを特徴とする装置。
11. 前記装置は、レンズを備える光学機器であること特徴とする請求項１０に記載の装置。