JP2018148683A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ Download PDF

Info

Publication number
JP2018148683A
JP2018148683A JP2017041195A JP2017041195A JP2018148683A JP 2018148683 A JP2018148683 A JP 2018148683A JP 2017041195 A JP2017041195 A JP 2017041195A JP 2017041195 A JP2017041195 A JP 2017041195A JP 2018148683 A JP2018148683 A JP 2018148683A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
wave motor
vibration wave
holding
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017041195A
Other languages
English (en)
Inventor
雅人 塩野
Masahito Shiono
雅人 塩野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2017041195A priority Critical patent/JP2018148683A/ja
Publication of JP2018148683A publication Critical patent/JP2018148683A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

【課題】駆動方向および厚さ方向へ小型化可能な振動波モータを提供すること。【解決手段】振動子と、振動子を保持する振動子保持部材と、振動子と接触する接触部材に対して振動子を加圧する加圧手段と、を有し、振動子に発生する振動により振動子と接触部材が相対移動する振動波モータであって、振動子は、振動子保持部材に連結される少なくとも2つの保持部を備え、保持部は、加圧手段の振動子に対する加圧方向から見て、振動子および接触部材の相対移動方向における振動子の端部の間に配置されるとともに、加圧方向および相対移動方向に直交する方向へ延出し、加圧手段は、振動子を加圧する少なくとも2つの加圧部材を備え、加圧部材は、加圧方向から見て、相対移動方向における振動子の端部の間に配置され、保持部および加圧部材は、振動子の中心に対して対称な位置に配置されている。【選択図】図5

Description

本発明は、光学機器などに適用される振動波モータに関する。
従来、高周波電圧を印加することで、周期的に振動する振動子を接触部材に圧接させることで、振動子および接触部材が相対的に移動する振動波モータ(超音波モータ)が知られている。特許文献1には、振動子、振動子を保持する振動子保持部材、摩擦部材、および振動子を摩擦部材に圧接するための加圧手段を有する超音波モータが開示されている。
特開2015−126692号公報
しかしながら、特許文献1の超音波モータでは、振動子と振動子保持部材とを連結する、振動子に設けられた保持部は振動子および摩擦部材の相対移動方向へ延出しているため、駆動方向へ大型化している。また、加圧手段は振動子の加圧方向へ積み重なるように構成されているため、厚さ方向へ大型化している。
このような課題に鑑みて、本発明は、駆動方向および厚さ方向へ小型化可能な振動波モータを提供することを目的とする。
本発明の一側面としての振動波モータは、振動子と、前記振動子を保持する振動子保持部材と、前記振動子と接触する接触部材に対して前記振動子を加圧する加圧手段と、を有し、前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記接触部材が相対移動する振動波モータであって、前記振動子は、前記振動子保持部材に連結される少なくとも2つの保持部を備え、前記保持部は、前記加圧手段の前記振動子に対する加圧方向から見て、前記振動子および前記接触部材の相対移動方向における前記振動子の端部の間に配置されるとともに、前記加圧方向および前記相対移動方向に直交する方向へ延出し、前記加圧手段は、前記振動子を加圧する少なくとも2つの加圧部材を備え、前記加圧部材は、前記加圧方向から見て、前記相対移動方向における前記振動子の端部の間に配置され、前記保持部および前記加圧部材は、前記振動子の中心に対して対称な位置に配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、駆動方向および厚さ方向へ小型化可能な振動波モータを提供することができる。
実施例1の振動波モータの斜視図である。 実施例1の振動波モータの分解斜視図である。 実施例1の振動波モータの側面断面図である。 実施例1の振動波モータの正面断面図である。 実施例1の振動波モータの要部斜視図である。 実施例1の振動波モータの要部下面図である。 実施例2の振動波モータの要部下面図である。 実施例3の振動波モータの要部下面図である。 本発明の実施形態に係る振動波モータが搭載された撮像装置の要部断面図である。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。各実施例では、X軸に平行な方向を、振動子および接触部材の相対移動方向、Z軸の負方向を、振動子を接触部材に対して加圧する方向(加圧方向)とする。なお、各実施例の座標系は説明の便宜上のものであって、本発明はこれに限定されない。
図1〜図4を参照して、本実施例の振動波モータ(超音波モータ)1の構成について説明する。図1〜図4はそれぞれ、振動波モータ1の斜視図、分解斜視図、側面断面図、および正面断面図である。
振動子100は、振動体101、および接着剤などにより、振動体101に固着された圧電素子103を備える。振動体101は、振動子保持部材102に連結される保持部100b、100cを備え、溶接や接着剤などにより振動子保持部材102に固定される。また、振動体101は、加圧された状態で摩擦部材(接触部材)104に接触している。圧電素子103は、高周波電圧を印加されることで超音波振動を励振する。振動体101と圧電素子103が接着された状態で圧電素子103に超音波振動を励振させることで、振動体101に共振現象が起こる。すなわち、振動子100は、高周波電圧が印加されることで超音波振動を起こす。その結果、振動体101に設けられた圧接部100aに略楕円振動が発生する。圧接部100aが摩擦部材104の摩擦接触面104aに圧接することで相対的に移動させる駆動力が発生し、振動子100が摩擦部材104に対してX軸に沿って移動することが可能となる。圧電素子103に印加する高周波電圧の周波数や位相を変えることで、回転方向や楕円比を適宜変化させて所望の振動を発生させることができる。
なお、本実施例では、振動体101は2つの保持部100b,100cを備えているが、それ以上の保持部を備えていてもよい。
保持筐体105は、加圧保持部材110を保持する。振動子保持部材102と保持筐体105との間には、ローラー(転動部材)106aおよび連結手段116が組み込まれている。連結手段116は、ローラー106bおよび所定の弾性を有する板バネ(付勢部材)107から構成されている。板バネ107は、保持筐体105に当接している。ローラー106bは、板バネ107と振動子保持部材102との間に挟持され、Z軸に沿って移動可能である。
板バネ107は、ローラー106bを介して、振動子保持部材102を図3のA方向へ付勢し、保持筐体105を図3のB方向へ付勢する。そのため、ローラー106aは、振動子保持部材102と保持筐体105との間で挟持される。
以上のように構成することで、振動子100および摩擦部材104の相対移動方向(X軸に平行な方向。以下、相対移動方向という。)では、ガタが発生しない。また、振動子100が加圧される方向(Z軸の負方向。以下、加圧方向という)では、ローラー106a、106bの作用により摺動抵抗がほとんど発生しない。
また、板バネ107の付勢力は、保持筐体105および被駆動部の駆動開始時および駆動停止時に発生する加減速による慣性力より大きくなるように設定されている。このように設定することで、振動子100、振動子保持部材102および保持筐体105には駆動時の慣性力による振動子100の移動方向に沿った相対変位が発生しないため、安定した駆動制御を実現することができる。
なお、本実施例では転動部材としてローラー106a、106bを使用しているが、Z軸に沿って移動可能であれば本発明はこれに限定されない。例えば、ローラーの代わりにボールなどを使用してもよい。また、本実施例では付勢部材として板バネ107を使用しているが、振動子保持部材102と保持筐体105との間のガタをなくすことができる付勢機能を有していれば本発明はこれに限定されない。
加圧手段114は、加圧保持部材110および加圧バネ(加圧部材)111a、111bを有する。移動部材112は、振動子保持部材102および保持筐体105を介して振動子100に連結され、振動子100と略一体的に移動する。
加圧保持部材110および移動部材112には、加圧バネ111a、111bを連結保持する保持部が設けられている。これにより、加圧保持部材110と移動部材112との間に引っ張りバネ力が生じ、加圧保持部材110および移動部材112はそれぞれ、Z軸の負方向およびZ軸の正方向へ引き込まれる。
加圧保持部材110には、略半球状の突起で形成され、弾性部材109と当接する加圧部110aが設けられている。加圧保持部材110は、弾性部材109を挟むように、圧電素子103を押圧保持している。弾性部材109を設けることで、加圧部110aと圧電素子103が直接接触して圧電素子103の損傷を防止することができる。加圧バネ111a、111bにより生じたバネ力は、これらの部材を介して、振動子100を加圧する。これにより、振動子100の圧接部100aと摩擦部材104の摩擦接触面104aとが摩擦接触する。
なお、本実施例では、加圧手段114は加圧保持部材110および加圧バネ111a、111bにより構成されているが、振動子100を摩擦部材104へ加圧することが可能であれば本発明はこれに限定されない。また、加圧手段114は、2つの加圧バネ111a、111bを備えているが、それ以上の加圧バネを備えていてもよい。
移動部材112は、保持筐体105に接着やねじ止めなどで固定されている。移動部材112には、保持筐体105を相対移動方向へガイドする突起部112a、112b、112cが形成されている。ガイド部材113は、摩擦部材104の摩擦接触面104aと反対側の面側に配置されている。摩擦部材104およびガイド部材113は、ねじ止めなどにより地板115に固定されている。ガイド部材113には、移動部材112のそれぞれの突起部に対向するようにV溝や平面が設けられている。移動部材112の突起部112a〜112cがガイド部材113に設けられたV溝や平面を摺動することで、移動部材112はガイド部材113に直進ガイドされる。これらの部材によって、保持筐体105は、振動子100および摩擦部材104の相対移動方向へ進退可能に支持される。
以下、図5および図6を参照して、振動体101に設けられた保持部100b、100c、および加圧保持部材110に設けられた、加圧バネ111a、111bのそれぞれの第1端が掛けられる保持部110b、110cの好ましい配置について説明する。
図5は、振動波モータ1の要部斜視図である。図6は、振動波モータ1の要部下面図である。図6に示される振動子100の中心100dは、相対移動方向における振動子100の中心線301と、相対移動方向および加圧方向に直交する方向(Y軸に平行な方向。以下、直交方向という。)における振動子100の中心線501との交点である。
保持部100b、100cが相対移動方向へ延出して設けられた場合、振動波モータ1が相対移動方向へ大型化してしまう。そこで、本実施例では、保持部100b、100cは、相対移動方向において、相対移動方向における振動子100の端部100eの間に配置されるとともに、直交方向へ延出している。保持部100b、100cをこのように設けることで、振動波モータ1を相対移動方向および加圧方向へ小型化することができる。
また、直交方向において、保持部100b、100cを直交方向における振動子100の端部100fの間に配置することで、振動波モータ1を直交方向へ小型化することができる。
また、保持部100b、100cは、振動子100の中心100dに対して対称な位置に配置される。特に、保持部100b、100cを中心100dに対して点対称な位置に配置することが好ましい。このように配置することで、振動子100を振動子保持部材102に対してバランス良く保持することができるため、振動波モータ1を安定して駆動させることができる。
さらに、保持部100b、100cを振動子100に励振される送り振動の節の位置から延出するように設けることで、振動子100の振動をなるべく阻害せず、効率的に動力を伝達することができる。
保持部110b、110cが相対移動方向へ延出して設けられた場合、振動波モータ1が相対移動方向へ大型化してしまう。そこで、本実施例では、保持部110b、110cは、相対移動方向において、端部100eの間に配置されるとともに、直交方向へ延出している。保持部110b、110cをこのように設けることで、振動波モータ1を相対移動方向および加圧方向へ小型化することができる。
また、直交方向において、保持部110b、110cを端部100fの間に配置することで、振動波モータ1を直交方向へ小型化することができる。
さらに、保持部110b、110cは、振動子100の中心100dに対して対称な位置に配置される。特に、保持部110b、110cを中心100dに対して点対称な位置に配置することが好ましい。このように配置することで、加圧バネ111a、111bを振動子100に対してバランス良く配置することができる。すなわち、加圧バネ111a、111bの加圧力によって振動子100をバランス良く加圧することができるため、振動波モータ1を安定して駆動させることができる。
以上説明したように、本実施例では、保持部100b、100cは、相対移動方向において、端部100eの間に配置されるとともに、直交方向において、端部100fの間に配置されている。さらに、保持部100b、100cは、中心100dに対して略点対称の位置に配置されている。同様に、保持部110b、110cは、相対移動方向において、端部100eの間に配置されるとともに、直交方向において、端部100fの間に配置されている。さらに、保持部110b、110cは、中心100dに対して略点対称の位置に配置されている。保持部100b、100c、および保持部110b、110cをこのように配置することで、小型で、安定して駆動可能な振動波モータ1を実現することができる。
なお、本実施形態では、保持部100b、100c、および保持部110b、110cを、中心100dに対して略点対称の位置に配置しているが、本発明はこれに限定されない。保持部100b、100c、および保持部110b、110cの一方を、中心100dに対して略点対称の位置に配置し、他方を、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称の位置に配置してもよい。
図7は、本実施例の振動波モータ1の要部下面図である。本実施例の振動波モータ1は、実施例1とは異なる、振動子保持部材702および加圧保持部材710を有する。その他の部材については実施例1と同様であるため、詳細な説明は省略する。
加圧保持部材710は、加圧バネ111a、111bのそれぞれの第1端が掛けられる保持部710b、710cを有する。保持部710b、710cは、相対移動方向における振動子100の中心線301上に、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称となるように設けられている。すなわち、加圧バネ111a、111bが、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称となるように配置されている。
また、振動子保持部材702の加圧バネ111a、111bを逃げる形状も相対移動方向における振動子100の中心線301上に、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称となるように形成されている。
以上説明したように、加圧バネ111a、111bを、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称となるように配置した場合であっても、小型で、安定して駆動可能な振動波モータ1を実現することができる。
図8は、本実施例の振動波モータ1の要部下面図である。本実施例の振動波モータ1は、実施例1および実施例2とは異なる、振動子800、振動子800に設けられた保持部800b、800c、および振動子保持部材802を有する。その他の部材については実施例1と同様であるため、詳細な説明は省略する。
保持部800b、800cは、相対移動方向における振動子100の中心線301上に、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称となるように設けられている。
以上説明したように、保持部800b、800cを、直交方向における振動子100の中心線501に対して略線対称となるように配置した場合であっても、小型で、安定して駆動可能な振動波モータ1を実現することができる。
図9は、実施例1から3で説明された本実施形態の振動波モータ1が搭載された撮像装置(光学機器)500の要部断面図である。撮像装置500は、撮像素子4を備えるカメラ本体2、およびカメラ本体2にマウント5を介して着脱可能に取り付けられるレンズ鏡筒3を有する。なお、レンズ鏡筒3は略回転対称形であるため、図9では上側半分のみを図示している。また、本実施例では、振動波モータ1が撮像装置500に搭載されているが、本発明はこれに限定されない。振動波モータ1は、例えば、レンズ装置等の他の光学機器に搭載されてもよいし、振動波モータ1からの駆動力によって駆動する部材(被駆動部)を有する、光学機器とは異なる装置に搭載されてもよい。
固定筒6には、レンズG1を保持する前鏡筒7およびレンズG3を保持する後鏡筒8が固定されている。レンズ保持枠9は、レンズG2を保持し、前鏡筒7および後鏡筒8に保持されたガイドバー10によって、光軸Oに沿って直進移動可能に保持されている。振動波モータ1の地板115に形成されたフランジ部は、後鏡筒8にビス等で固定されている。
上記構成において、振動波モータ1の振動子保持部材102を含む可動部が駆動すると、振動波モータ1の駆動力は、振動子保持部材102および移動部材112を介してレンズ保持枠9に伝達される。レンズ保持枠9は、ガイドバー10によって案内されて光軸Oに沿って直進移動する。
なお、本実施例では、振動波モータ1は、被駆動部であるレンズ保持枠9を光軸Oに沿って直進移動させるために使用されるが、例えば、振れ補正レンズを備えるレンズ保持枠を光軸Oに直交する方向へ移動させるために使用されてもよい。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
1 振動波モータ
100 振動子
100b、100c 保持部
100e 端部
102 振動子保持部材
104 摩擦部材(接触部材)
111a、111b 加圧バネ(加圧部材)
114 加圧手段

Claims (8)

  1. 振動子と、
    前記振動子を保持する振動子保持部材と、
    前記振動子と接触する接触部材に対して前記振動子を加圧する加圧手段と、を有し、
    前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記接触部材が相対移動する振動波モータであって、
    前記振動子は、前記振動子保持部材に連結される少なくとも2つの保持部を備え、
    前記保持部は、前記加圧手段の前記振動子に対する加圧方向から見て、前記振動子および前記接触部材の相対移動方向における前記振動子の端部の間に配置されるとともに、前記加圧方向および前記相対移動方向に直交する方向へ延出し、
    前記加圧手段は、前記振動子を加圧する少なくとも2つの加圧部材を備え、
    前記加圧部材は、前記加圧方向から見て、前記相対移動方向における前記振動子の端部の間に配置され、
    前記保持部および前記加圧部材はそれぞれ、前記振動子の中心に対して対称な位置に配置されていることを特徴とする振動波モータ。
  2. 前記保持部および前記加圧部材はそれぞれ、前記振動子の中心に対して点対称の位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
  3. 前記保持部および前記加圧部材の一方は前記振動子の中心に対して点対称の位置に配置され、他方は前記振動子の中心を通り、前記相対移動方向に平行な前記振動子の中心線に対して線対称の位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
  4. 前記加圧部材は、前記加圧方向から見て、前記直交する方向における前記振動子の端部の間に配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  5. 前記保持部は、前記振動子に励振される送り振動の節の位置から延出されることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  6. 前記振動子は、前記接触部材に接触する振動体と、電圧を印加されることで超音波振動を励振する圧電素子とを備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  7. 請求項1から6のいずれか1項に記載の振動波モータと、
    前記振動波モータからの駆動力によって駆動する部材と、を有することを特徴とする装置。
  8. 前記装置は、レンズを備える光学機器であることを特徴とする請求項7に記載の光学機器。
JP2017041195A 2017-03-06 2017-03-06 振動波モータ Pending JP2018148683A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017041195A JP2018148683A (ja) 2017-03-06 2017-03-06 振動波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017041195A JP2018148683A (ja) 2017-03-06 2017-03-06 振動波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2018148683A true JP2018148683A (ja) 2018-09-20

Family

ID=63591763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017041195A Pending JP2018148683A (ja) 2017-03-06 2017-03-06 振動波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2018148683A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6808345B2 (ja) 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器、レンズ鏡筒、撮像装置
KR101617675B1 (ko) 진동 액추에이터 및 그것을 갖는 렌즈 장치
KR101604991B1 (ko) 초음파 모터 및 이를 갖는 렌즈 장치
US10804820B2 (en) Motor and apparatus using the same
JP5683643B2 (ja) リニア超音波モータ及びそれを有する光学装置
JP2014183724A (ja) リニア超音波モータ及びこれを用いた光学装置
JP2017200366A (ja) 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器
JP2018098958A (ja) 振動波モータ
US9653675B2 (en) Driving apparatus, lens apparatus including the same, and imaging apparatus
JP6122452B2 (ja) アクチュエータ
JP6806472B2 (ja) 振動波モータ及び振動波モータを適用した光学機器
JP2016140127A (ja) リニア振動波モータ及びそれを有する撮像装置
JP2018148683A (ja) 振動波モータ
JP6708472B2 (ja) 振動波モータ及び振動波モータが搭載された光学機器
JP7094799B2 (ja) 振動型モータおよび駆動装置
JP6808344B2 (ja) 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器、レンズ鏡筒、撮像装置
JP2018174616A (ja) 振動波モータ及び振動波モータを有する撮像装置
JP2016082862A (ja) 駆動装置及びそれを有する光学装置
JP2018137859A (ja) 振動波モータ及び振動波モータを有する光学装置
JP2016101023A (ja) 振動波モータ及びそれを有する光学装置
JP2015159725A (ja) 振動型モータ及びそれを有するレンズ装置
JP2019083664A (ja) 振動波モータ、レンズ装置、および、撮像装置
JP2021048767A (ja) 振動波モータ及びこれを用いた装置
JP2019201465A (ja) 振動波モータ及び駆動装置
JP2017195712A (ja) 振動波モータ及び振動波モータが搭載された光学機器