JP2016140127A - リニア振動波モータ及びそれを有する撮像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加圧方向の寸法の厚い部分が振動子の移動方向と加圧方向に対して直交する方向に広くならず、レンズ鏡筒内にコンパクトにレイアウト可能なリニア振動波モータを提供すること。【解決手段】リニア振動波モータは、圧電素子を有する振動子と、圧電素子を加圧する加圧部と、振動子の表面に設けられた電極部と、振動子への電極部からの電圧印加により発生する振動を駆動力に変換する接触部と、電極部に接続されるフレキシブル基板とを備え、振動子は、接触部の前記駆動力により駆動され、フレキシブル基板は、電極部と接合される固定部と固定部から振動子の移動方向に沿って伸延する配線部と配線部から連続して設けられ、配線部を加圧部が加圧する加圧方向及び移動方向に対し直交方向へ固定部から離間し、折り返すための屈曲部とを備え、屈曲部は、振動子の駆動に伴い振動子に対しての移動方向における相対位置が変化する。【選択図】 図１

Description

本発明は振動波モータ、特にリニア駆動型の振動波モータ（以下、「リニア振動波モータ」と称する）に関する。

従来からリニア振動波モータにおいては、フレキシブル基板を介して電気基板より高周波電圧を圧電素子に印加することで、圧電素子が固定された振動子を振動させている。振動子の振動は、振動子が加圧する摺動部材を駆動する。ところで、振動子が駆動する際は圧電素子に固定されたフレキシブル基板を駆動の妨げにならないように筐体内に収容する必要がある。

例えば、特許文献１に開示されたリニア振動波モータでは、電極接続端部から電源部まで引き出されるフレキシブル基板を二方向に枝分かれさせることでフレキシブル基板の幅を狭くし、加圧直交方向の引き出し部空間の小型化を行っている。

特許第４３３１５３１号

しかしながら上述の特許文献１に開示されたリニア振動波モータにおいては、フレキシブル基板を途中で屈曲させる際の屈曲方向は振動子が摺動部材を加圧する加圧方向と同一方向である。このため、リニア振動波モータの筐体内において、加圧方向の寸法が厚い部分が振動子の移動方向と加圧方向に対して直交する方向に広くなる。この結果、振動波モータが搭載されるレンズ鏡筒が大型化するという問題がある。

従って、本発明の目的は、上述の問題を解決するためになされたものであり、加圧方向の寸法の厚い部分が振動子の移動方向と加圧方向に対して直交する方向に広くならず、レンズ鏡筒内にコンパクトにレイアウト可能なリニア振動波モータを提供することである。

上記課題を解決するために、本発明のリニア振動波モータは以下のような構成としている。
圧電素子を有する振動子と、
前記圧電素子を加圧する加圧部と、
前記振動子の表面に設けられた電極部と、
前記振動子への前記電極部からの電圧印加により発生する振動を駆動力に変換する接触部と、
前記電極部に接続されるフレキシブル基板とを備え、
前記振動子は、前記接触部の前記駆動力により駆動され、
前記フレキシブル基板は、
前記電極部と接合される固定部と
前記固定部から前記振動子の移動方向に沿って伸延する配線部と
該配線部から連続して設けられ、前記配線部を前記加圧部が加圧する加圧方向及び前記移動方向に対し直交方向へ前記固定部から離間し、折り返すための屈曲部とを備え、
前記屈曲部は、前記振動子の駆動に伴い前記振動子に対しての移動方向における相対位置が変化することを特徴としている。

本発明によれば、フレキシブル基板の加圧方向の寸法の厚い部分が振動子の移動方向と加圧方向に対して直交する方向に広くならず、レンズ鏡筒内にコンパクトにレイアウト可能なリニア振動波モータを提供することができる。

本発明にかかる第１の実施例によるリニア振動波モータを示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図及び（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図を示している。 本発明にかかる第１の実施例によるリニア振動波モータの分解斜視図である。 本発明にかかる第１の実施例によるリニア振動波モータの斜視図であり、（ａ）は、図１に示すリニア振動波モータの上面側からの斜視図であり、（ｂ）は下面側からの斜視図である。 本発明による第一の実施例のリニア振動波モータユニットの正面図であり、（ａ）は中間位置にある移動部、（ｂ）は正側可動端にある移動部、（ｃ）は負側可動端にある移動部を示す。 本発明にかかる第２の実施例のリニア振動波モータユニットの斜視図である。（ａ）は、リニア振動波モータの上面側からの斜視図であり、（ｂ）は下面側からの斜視図である。 本発明にかかる第３の実施例のリニア振動波モータとレンズ保持枠との駆動力伝達部を示した斜視図である。 本発明にかかるリニア振動波モータを搭載したレンズ鏡筒の断面図である。

以下、本発明の好適な各実施例を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお以下の説明では、デジタルカメラのレンズ鏡筒などを駆動するアクチュエータとしてユニット化されたリニア振動波モータ（超音波モータ）を例に説明する。しかし本発明の使用用途はこれに限られるものではない。

また本明細書においては、リニア振動波モータの構造とその動きを明確にするため、図中の同一部材は同一符号で図示し、また後述する移動部の基礎部に対する可動方向をＸ軸として定義し、移動部に含まれる振動板の接触部の法線方向をＺ軸として定義する。また、Ｘ軸とＺ軸とに垂直な方向をＹ軸として定義する。そして各図における軸の方向は図に示された通りとなるが、これらに限られたものではない。

（第１の実施例）
図１は本発明にかかる第１の実施例によるリニア振動波モータを示し、図１（ａ）は、Ｚ軸方向から見た正面図である。また、図１（ｂ）は側面図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、Ｙ軸方向から見た図である。

また、図２は図１に示されるリニア振動波モータの分解斜視図である。第１の実施例におけるリニア振動波モータ１００は、図１及び２に示すように、Ｘ軸方向に長軸を有し、以下に述べる各部材により構成されている。

振動板１０１には圧電素子１０２が公知の接着剤により固定されている。フレキシブル基板１０７は圧電素子１０２に接着されている。圧電素子１０２は不図示の電気基板よりフレキシブル基板１０７を介して電圧を印加することにより振動（超音波振動）を発生させる。なお、振動板１０１と圧電素子１０２との接着は、その他の方法で接着することもできる。

同様に、圧電素子１０２とフレキシブル基板１０７の接着においても、圧電素子１０２の電極設置面１０２ａとフレキシブル基板１０７の電極部１０７ａ（固定部）が接着により固定及び導通されていれば良く、接着方法は任意に選択できる。振動板１０１はさらに接触部１０１ａを備え、接触部１０１ａは後述する摩擦部材１１１に加圧を伴う加圧接触状態で接触している。振動子１０３は振動板１０１と圧電素子１０２とにより形成されている。接触部１０１ａは、振動子１０３の表面に設けられた電極部からの電圧印加により発生する振動を駆動力に変換する。

振動板１０１と圧電素子１０２とが接着された状態において圧電素子１０２が振動を発生することで、振動子１０３に共振現象が起こる。その結果、振動板１０１の接触部１０１ａに楕円運動が発生する。圧電素子１０２に印加される電圧の周波数や位相を変えることで、楕円運動の回転方向や楕円比を適宜変化させて所望の動きを得ることができる。

振動子１０３を保持すると共に加圧機構を保持する保持部材１０４は、ＹＺ平面にバネ１０６を受け入れるための保持孔１０４ｆを備えている。バネ１０６のＸ軸方向の一端部は弾性部材１０５と接触している。また、バネ１０６のＸ軸方向の他端部は保持部材１０４と接触している。保持孔１０４ｆにおいて、バネ１０６は保持部材１０４と弾性部材１０５によって挟まれている。それにより、バネ１０６は伸縮が自在となり、Ｚ軸方向に加圧力を付与している。本実施例においては、保持部材１０４、弾性部材１０５、バネ１０６により加圧部が構成されており、各構成要素の重心はＺ軸に平行な直線で結ぶことができる。

弾性部材１０５が圧電素子１０２とバネ１０６との間に配置されている。加圧部の弾性部材１０５によって、加圧部と圧電素子１０２との直接接触が妨げられ、圧電素子１０２の損傷が防止されている。

図２に示すように、保持部材１０４は３つのＶ字形状の溝である移動案内部１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃを備えている。移動案内部１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃはＸ軸方向に所定の長さを有し、それぞれに転動部としての球状の転動部材１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃが嵌入されている。本実施例において、一対の移動案内部１０４ｂと１０４ｃのＹ軸方向における間隔内に加圧部及び他の移動案内部である１０４ａを配置している。

一方、固定部としてのカバープレート（カバー部）１０９も、Ｘ軸方向に所定の長さを有するＶ字形状の溝である固定案内部１０９ａと、平面溝である固定案内部１０９ｂ、１０９ｃとを備えている。固定案内部１０９ａ及び平面溝の固定案内部１０９ｂ、１０９ｃと移動案内部１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃとは、それぞれ対向した位置に設けられている。転動部材１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃが固定案内部１０９ａ及び平面溝の固定案内部１０９ｂ、１０９ｃにもそれぞれ挟持され、保持部材１０４に対して、カバープレート１０９に対しＸ軸方向に沿ってガタなく相対移動可能となっている。

リニア振動波モータ１００はさらに地板１１０を備える。地板１１０はＸＺ平面に凹部を有し、Ｘ軸の両側に固定部１１０ａを有する。固定部１１０ａはネジ穴を有し、カバープレート１０９のネジ穴とそれぞれ対向している。カバープレート１０９と地板１１０とはネジ１１２により互いに固定されるが、固定方法はネジに限定されない。

また、地板１１０の底面側には、摩擦部材１１１がＺ軸下方側より不図示のネジ等で固定されている。摩擦部材１１１は、振動板１０１の接触部１０１ａと接触しており、その間の摩擦により振動子１０３で生じる楕円運動を移動部１２０の駆動力としている。

移動部１２０は上記駆動力により移動方向であるＸ軸方向に進退可能となっている。なお、地板１１０と摩擦部材１１１は任意の方法で固定できる。本実施例においては、振動子１０３、保持部材１０４、弾性部材１０５、バネ１０６より移動部１２０が形成されている。また、カバープレート１０９、ネジ１１２、地板１１０、及び摩擦部材１１１により基礎部が形成されている。

次に加圧部において発生する加圧力について述べる。バネ１０６の加圧力は弾性部材１０５を介し、振動子１０３を摩擦部材１１１に加圧する付勢力となる。振動板１０１の接触部１０１ａは摩擦部材１１１に対し加圧された状態で接触する。一方、摩擦部材１１１からの加圧力の反力は、移動部１２０と転動部材１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃとを介し、カバープレート１０９で受けられている。この加圧接触状態において圧電素子１０２にフレキシブル基板１０７を介して電圧が印加されると、振動子１０３において発生したＸ軸方向とＹ軸方向のそれぞれの共振による楕円運動が効率的に摩擦部材１１１へ伝達する。その結果、移動部１２０は、Ｘ軸方向に進退することができる。

上述した各部材が組込まれ、リニア振動波モータ１００としてユニット化される。

次に、図１から図３を参照してフレキシブル基板１０７の配置について述べる。
図３（ａ）は、図１に示すリニア振動波モータ１００の上面側からの斜視図であり、図３（ｂ）は下面側からの斜視図である。

本実施例において、フレキシブル基板１０７は、振動子１０３の電極部と接合される電極部１０７ａ（固定部）と、電極部１０７ａから振動子１０３の移動方向に沿って伸延する配線部とを有する。フレキシブル基板１０７は電極部１０７ａ（固定部）が圧電素子１０２の電極設置面１０２ａと異方性導電フィルムや異方性導電接着剤で固定されている。フレキシブル基板１０７の配線部は、電極部１０７ａを図中Ｙ軸方向に引き出した後、保持部材１０４の側壁１０４ｄに沿うように加圧部による加圧方向（Ｚ軸方向）に折り曲げられる。

フレキシブル基板１０７は加圧部による加圧方向（Ｚ軸方向）に折り曲げられた後、移動部１２０の移動方向（Ｘ軸方向）に沿って圧電素子１０２とフレキシブル基板１０７の固定部から遠ざかる方向に延伸する形状を有する。ここで、保持部材１０４の側壁１０４ｄに対して、フレキシブル基板１０７の延伸根元部１０７ｂを両面テープや接着剤、ビスで固定してもよい。

フレキシブル基板１０７は保持部材１０４の側壁１０４ｄに沿って延伸する。そして、途中で加圧部の加圧方向（Ｚ軸方向）及び移動方向（Ｘ軸方向）から見て直交方向（Ｙ軸方向）に折り返すための屈曲部１０７ｃを有する。屈曲部１０７ｃは、配線部から連続して設けられている。屈曲部１０７ｃによって電極部１０７ａ（フレキシブル基板１０７と圧電素子１０２の固定部）からＹ軸方向に離間されたフレキシブル基板１０７は、地板１１０の固定腕部１１０ｂの内壁に沿って延伸する。地板側固定部１０７ｄを地板１１０の固定腕部１１０ｂに両面テープや接着剤、ビスで固定した後、リニア振動波モータ１００の内部から引き出し、接続部１０７ｅにおいて不図示の本体側コネクタ側へ接続される。

次に、図４を参照して基礎部に対する移動部１２０とフレキシブル基板１０７の相対移動の概要について述べる。図４は、図１で示すリニア振動波モータ１００の正面図であり、Ｚ軸方向から見た図である。なお、説明を容易にするためカバープレート１０９を不図示としている。図４（ａ）は中間位置にある移動部、図４（ｂ）は正側可動端にある移動部、図４（ｃ）は負側可動端にある移動部を示す。

保持部材１０４にはＸ軸と平行であり、保持部材１０４のＹ軸方向における中心位置に移動案内部１０４ａが設けられている。また、移動案内部１０４ａに対してＹ軸方向に離間した位置に移動案内部１０４ｂ、１０４ｃがＸ軸と平行に設けられている。本実施例においては、移動案内部１０４ｂ、１０４ｃは、移動案内部１０４ａよりＹ軸方向において等間隔に配置されている。

図４（ａ）では、移動部１２０が基礎部上における可動範囲の中間位置にある。この時、転動部材１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃは、それぞれの移動案内部１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃのＸ軸方向の中間位置にある。

図４（ｂ）では、中間位置に対し移動部１２０がＸ軸正側の可動範囲の正側可動端に置かれている。保持部材１０４はＸ軸正側に地板１１０の固定部１１０ａの内壁と最初に当接する停止突起部１０４ｅを有する。よって、移動部１２０を中間位置からＸ軸の正方向に駆動させた場合、可動端としての停止突起部１０４ｅと可動端規制部としての地板１１０の固定部１１０ａの内壁とが当接し、移動部１２０の可動端部を画定する。

この時、フレキシブル基板１０７の保持部材１０４の側壁１０４ｄに対して固定されている延伸根元部１０７ｂの位置は保持部材１０４と一体に移動するため、移動部１２０に対して相対位置の変化はない。これに対し、屈曲部１０７ｃは地板１１０に対して移動部１２０のＸ軸正側の稼働に伴いＸ軸正側に移動するが、移動部１２０に対してはＸ軸負側に相対的に移動する。

図４（ｃ）では、中間位置に対し移動部１２０がＸ軸負側の可動範囲の負側可動端に置かれている。保持部材１０４には、Ｘ軸負側に地板１１０の固定部１１０ａの内壁と最初に当接する停止突起部１０４ｆが設けられている。よって、移動部１２０を中間位置からＸ軸の負方向に移動させた場合、可動端としての停止突起部１０４ｆと可動端規制部としての地板１１０の固定部１１０ａの内壁が当接し、移動部１２０は可動端部を画定する。

この時、フレキシブル基板１０７の保持部材１０４の側壁１０４ｄに対して固定されている延伸根元部１０７ｂの位置は保持部材１０４と一体に移動するため、移動部１２０に対して相対位置の変化はない。これに対し、屈曲部１０７ｃは地板１１０に対して移動部１２０のＸ軸負側の稼働に伴いＸ軸負側に移動するが、移動部１２０に対してはＸ軸正側に相対的に移動する。

以上のように、第１の実施例によれば、フレキシブル基板１０７の屈曲部１０７ｃの折り返し方向を、加圧方向に対して直交方向としている。これにより、リニア振動波モータ１００の加圧方向において寸法の厚い部分が移動方向（Ｘ軸方向）と加圧方向（Ｚ軸方向）に対して直交する方向（Ｙ軸方向）に広くならない。そのため図１（ｂ）に示す空間１５０の空きスペースを確保することができる。これにより、リニア振動波モータ１００をレンズ鏡筒内にコンパクトにレイアウト可能となる。

（第２の実施例）
図５は本発明にかかる第２の実施例であるリニア振動波モータ２００の斜視図であり、図５（ａ）は上面側からの斜視図、図５（ｂ）は下面側からの斜視図である。

図５において第１の実施例と同様の機能を有する部材の符号は共通としている。また、第１の実施例と構成、機能が共通する内容については説明を省略する。

フレキシブル基板１０７の配線部は、電極部１０７ａを図５においてＹ方向に引き出した後、保持部材１０４の側壁１０４ｄに沿うように加圧部による加圧方向（Ｚ軸方向）に折り曲げられる。フレキシブル基板１０７は加圧部による加圧方向（Ｚ軸方向）に折り曲げられた後、移動部１２０の移動方向（Ｘ軸方向）に沿って圧電素子１０２とフレキシブル基板１０７の固定部から遠ざかる方向に延伸する形状を有する。

ここで、保持部材１０４の側壁１０４ｄに対して、フレキシブル基板１０７の延伸根元部１０７ｂを両面テープや接着剤、ビスで固定してもよい。フレキシブル基板１０７は保持部材１０４の側壁１０４ｄに沿って延伸する。途中で加圧部の加圧方向（Ｚ軸方向）及び移動方向（Ｘ軸方向）から見て直交方向（Ｙ軸方向）に折り返すための屈曲部１０７ｃを有する。屈曲部１０７ｃによって電極部１０７ａ（フレキシブル基板１０７と圧電素子１０２の固定部）からＹ軸方向に離間されたフレキシブル基板１０７は、カバープレート１０９の固定腕部１０９ｄの内壁に沿って延伸する。

地板側固定部１０７ｄをカバープレート１０９の固定腕部１０９ｄに両面テープや接着剤、ビスで固定した後、リニア振動波モータ２００の内部から引き出し、接続部１０７ｅにおいて不図示の本体側コネクタ側へ接続される。第２の実施例においてカバープレート１０９は金属材料（一例としてＳＵＳ）であり板金加工で成形される部品である。そのため、固定腕部１０９ｄを薄肉にて形成することができる。

（第３の実施例）
図６は本発明にかかる第３の実施例であるリニア振動波モータ３００の駆動力を被駆動体であるフォーカスレンズ保持枠１５へ伝達するための駆動力伝達部を示した斜視図である。なお、説明を容易にするため一部の部品を不図示としている。

図６において第１の実施例と同様の機能を有する部材の符号は共通としている。また、第１の実施例と構成、機能が共通する内容については説明を省略する。

第３の実施例における被駆動体であるフォーカスレンズ保持枠１５は、不図示の前鏡筒と後鏡筒に保持された公知のガイドバー１６によって軸方向（光軸方向）に直進移動可能に保持されている。リニア振動波モータ３００の移動部１２０が駆動された際、その駆動力は、駆動力伝達部１３０を介してフォーカスレンズ保持枠１５に伝達される。駆動力伝達部１３０は、フォーカスレンズ保持枠１５に枢軸可能に保持されると共に、圧縮トーションバネ１７の付勢力によって移動部１２０に当接する。フォーカスレンズ保持枠１５は前述のガイドバー１６によって直線移動する。

上記構成において、駆動力伝達部１３０はフレキシブル基板１０７の屈曲部１０７ｃの範囲内（Ｙ軸方向における）に配置される。ここでフレキシブル基板１０７の屈曲部１０７ｃのサイズ（折り返し部半径値）を小さくすると移動部１２０の往復運動によりフレキシブル基板１０７が屈曲部１０７ｃで疲労破壊を起こす恐れがある。そのため、屈曲部１０７ｃのサイズは疲労破壊を起こさないために一定サイズ以上を確保する必要がある。

第３の実施例においては上述の通り、フレキシブル基板１０７の折り返し部としてのみ機能していた空間に、駆動力伝達部１３０を配置することで、レンズ鏡筒内において機能部を効率的に配置することができる。さらに本実施例においてはフォーカスレンズ枠１５がガイドバー１６を保持するガイドバー保持部１５ａを図１（ｂ）に示した空間１５０の領域に配置することで、さらなる空間利用の効率化を実現している。なお、本実施例においては屈曲部１０７ｃの範囲内に駆動力伝達部１３０の全部分を配置しているが、その一部が配置される構成としてもよい。

（第４の実施例）
図７は、本発明にかかるリニア振動波モータ１００がユニットとして組み込まれているレンズ装置の一例として、撮像装置（光学装置）であるレンズ鏡筒４００の断面図を示している。なお、レンズ鏡筒４００は略回転対称形であるため、レンズ鏡筒の上側半分のみを図示している。

撮像装置としてのカメラ本体１にはレンズ鏡筒４００が着脱自在に取り付けられ、カメラ本体１内には撮像素子１ａが設けられている。

カメラ本体１のマウント１１は、レンズ鏡筒４００をカメラ本体１に取り付けるためのバヨネット部を有している。レンズ鏡筒４００は固定筒１２を有しており、マウント１１のフランジ部と当接している。固定筒１２とマウント１１とは不図示のビスによって固定されている。固定筒１２にはさらに、レンズＧ１を保持する前鏡筒１３とレンズＧ３を保持する後鏡筒１４とが固定される。

レンズ鏡筒４００はさらにフォーカスレンズ保持枠１５を備え、フォーカスレンズＧ２を保持している。フォーカスレンズ保持枠１５はさらに、前鏡筒１３と後鏡筒１４に保持された公知のガイドバー１６によって軸方向（光軸方向）に直進移動可能に保持されている。

振動波モータユニット（リニア振動波モータ）１００の地板１１０には、不図示のフランジ部が形成されており、後鏡筒１４にビス等で固定されている。

上記のような構成で、リニア振動波モータ１００の移動部１２０が駆動された際、その駆動力は、駆動力伝達部１３０を介してフォーカスレンズ保持枠１５に伝達される。フォーカスレンズ保持枠１５は前述のガイドバー１６によって直線移動する。

以上、本発明に関わるリニア振動波モータに関してその具体例を詳述したが、本発明は上記各実施例に限定されるものではなく、請求項記載の範囲に示したものであればどのような形態をとることも可能である。

本発明にかかるリニア振動波モータは、各種撮像装置（光学装置）に利用できる。

１０１ 振動板
１０２ 圧電素子
１０３ 振動子
１０４ 保持部材
１０７ フレキシブル基板
１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ 転動部材
１０９ カバープレート（固定部）
１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ 固定案内部
１００、２００、３００ リニア振動波モータ
１１０ 地板
１１１ 摩擦部材
４００ レンズ鏡筒

Claims (7)

1. 圧電素子を有する振動子と、
   前記圧電素子を加圧する加圧部と、
   前記振動子の表面に設けられた電極部と、
   前記振動子への前記電極部からの電圧印加により発生する振動を駆動力に変換する接触部と、
   前記電極部に接続されるフレキシブル基板とを備え、
   前記振動子は、前記接触部の前記駆動力により駆動され、
   前記フレキシブル基板は、
   前記電極部と接合される固定部と
   前記固定部から前記振動子の移動方向に沿って伸延する配線部と
   該配線部から連続して設けられ、前記配線部を前記加圧部が加圧する加圧方向及び前記移動方向に対し直交方向へ前記固定部から離間し、折り返すための屈曲部とを備え、
   前記屈曲部は、前記振動子の駆動に伴い前記振動子に対しての移動方向における相対位置が変化することを特徴とするリニア振動波モータ。
2. 前記振動子は、保持部材に保持され、前記フレキシブル基板は、前記振動子の表面に設けられた電極部に固定されるとともに、前記保持部材に設けられた前記加圧方向と平行であり、前記振動子の移動方向に沿った側壁に固定されることを特徴とした請求項１に記載のリニア振動波モータ。
3. 前記フレキシブル基板は、
   前記電極部と接合される固定部と、
   前記固定部から前記振動子の移動方向に沿って伸延する配線部と、
   該配線部から連続して設けられ、前記配線部を前記加圧部が加圧する加圧方向及び前記移動方向から見て直交方向に前記固定部から離間し折り返すための屈曲部と、を備え、
   前記屈曲部から連続して延伸する配線部は、前記振動子を保持する地板に形成された腕部に沿わされることを特徴とする請求項１または２に記載のリニア振動波モータ。
4. 前記振動子を保持する移動可能な保持部材と
   前記移動方向にのみ移動可能な被駆動体と、
   前記保持部材の駆動力を前記被駆動体に伝達する駆動力伝達部とを備え、
   前記駆動力伝達部は、前記フレキシブル基板の屈曲部の前記加圧部が加圧する加圧方向及び前記移動方向から見て直交方向の範囲内に全部、または一部が配置されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリニア振動波モータ。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のリニア振動波モータを有する撮像装置。
6. 前記リニア振動波モータは超音波モータであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のリニア振動波モータ。
7. 前記リニア振動波モータは超音波モータであることを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。

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