JPH09285153A - 振動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の振動アクチュエータの支持では、支持
部材と弾性体，固定部との間に隙間が発生し、駆動時
に、弾性体が移動方向と反対方向に位置ずれして、駆動
効率が低下する。 【解決手段】 弾性体２及び圧電体４ａ，４ｂを備える
振動子と，この振動子に加圧接触して振動子との間で相
対運動を行う相対運動部材２７と，固定部２３及び振動
子に固定され、振動子を相対運動の方向について位置規
制するとともに、振動子を振動子と相対運動部材２７と
の加圧方向と略平行な方向について変位自在に支持す
る、一体構成部材である平行バネ２１を有する支持部材
２０とを備える振動アクチュエータ１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の振動を発生
する振動子と、振動子に加圧接触して振動子との間で相
対運動を行う相対運動部材と、振動子に係合して振動子
を位置規制する支持部材とを備える振動アクチュエータ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、弾性体と弾性体に装着される
電気機械変換素子（圧電体）とにより構成される振動子
に駆動電圧を印加して縦振動及び屈曲振動を調和的に発
生させ、振動子の表面に楕円運動を発生させることによ
り、振動子に加圧接触する相対運動部材との間に相対運
動を発生させる振動アクチュエータが知られている。

【０００３】このような振動アクチュエータは、例え
ば、「光ピックアップ移動を目的とした圧電リニア・モ
ータ」（富川義朗氏他：第５回電磁力関連のダイナミッ
クシンポジウム講演論文集第３９３頁〜第３９８頁）に
おいて、その構成及び負荷特性に関する解析結果が詳細
に説明されている。

【０００４】また、新版超音波モータ（上羽貞行氏，富
川義朗氏共著，トリケップス刊，第１４５頁〜第１４６
頁）には、この振動アクチュエータを用いた自走式装置
が開示されている。

【０００５】図７は、このような振動アクチュエータ１
００に用いる弾性体１０１の一例の斜視図であり、図８
は、この振動アクチュエータ１００の弾性体１０１の上
面図である。

【０００６】矩形平板状の弾性体１０１の一方の平面に
は、ＰＺＴからなる薄板状の圧電体１０２ａ，１０２ｂ
が接着により接着される。圧電体１０２ａ，１０２ｂ
は、それぞれ駆動電圧を印加されることにより、弾性体
１０１に長手方向へ伸縮する１次の縦振動と長手方向へ
の４次の屈曲振動とを発生する。弾性体１０１の他方の
平面であって、発生する４次の屈曲振動における２か所
の腹位置には、突起状に駆動力取出部１０１ａ，１０１
ｂが形成される。駆動力取出部１０１ａ，１０１ｂの端
面には、縦振動及び屈曲振動の合成振動である楕円運動
が発生する。

【０００７】これらの駆動力取出部１０１ａ，１０１ｂ
の端面には、図示しない相対運動部材である移動子が加
圧接触する。これにより、前述した楕円運動により、弾
性体１０１と移動子との間に相対運動を発生させる。

【０００８】この振動アクチュエータ１００は、弾性体
１０１に発生する縦振動及び屈曲振動それぞれの固有振
動数が非常に近い値となるように設計される。これによ
り、２つの固有振動数に近い周波数の交流電圧を、圧電
体１０２ａ，１０２ｂに印加することにより、縦振動及
び屈曲振動を調和した状態で発生させることができ、、
弾性体１０１と移動子との間で相対運動を発生すること
ができる。

【０００９】ところで、弾性体１０１を相対運動部材に
加圧接触させるには、まず、弾性体１０１を支持するこ
とにより、高精度に位置規制する必要がある。図９及び
図１０は、ともに、従来の弾性体１０１の支持態様を示
す正面図であり、図９は支持前の状態を、図１０は支持
時の状態をそれぞれ示す。

【００１０】図９において、弾性体１０１の両側面の長
手方向中央部には、断面半円形のガイド孔１０３ａ，１
０３ｂが穿設される。一方、振動アクチュエータ１００
の設置対象機器の固定部（ハウジング）１０４の弾性体
設置位置側に臨む平面１０４ａには、弾性体設置位置側
に向けて、丸棒状のガイドピン１０５ａ，１０５ｂが固
定される。

【００１１】これらのガイドピン１０５ａ，１０５ｂを
介して、弾性体１０１の支持部材１０６が支持される。
支持部材１０６は、長板状であってガイドピン１０５
ａ，１０５ｂが隙間を有する状態で貫通するガイドピン
貫通孔１０６ｄ，１０６ｅを形成された本体１０６ａ
と，本体１０６ａの弾性体設置位置側の平面に、ガイド
孔１０３ａ，１０３ｂと等間隔で設置された突起１０６
ｂ，１０６ｃとにより、構成される。突起１０６ｂ，１
０６ｃは、それぞれガイド孔１０３ａ，１０３ｂに嵌ま
り合う断面形状を呈する。

【００１２】さらに、固定部１０４と本体１０６ａとの
間には、ガイドピン１０５ａ，１０５ｂをガイドとし
て、付勢部材であるコイルスプリング１０７ａ，１０７
ｂが設置され、支持部材１０６を弾性体１０１に向けて
付勢する。

【００１３】相対運動部材であるレール１０８は、ガイ
ドローラ１０９ａ，１０９ｂにより、図面上の左右方向
について移動自在に案内される。ここで、図９に示す状
態から、コイルスプリング１０７ａ，１０７ｂのバネ力
により、突起１０６ｂ，１０６ｃをガイド孔１０３ａ，
１０３ｂに嵌合させるとともに駆動力取出部１０１ａ，
１０１ｂの端面をレール１０８の表面に加圧接触させる
（図１０参照）。

【００１４】このような状態で振動アクチュエータ１０
０を駆動すると、弾性体１０１は支持部材１０６を介し
て固定部１０４に固定されるため、レール１０８が図面
上の左右方向に直線的に移動する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図９及び図
１０に示す従来の振動アクチュエータ１００の支持にお
いては、支持部材１０６を、弾性体１０１とレール１０
８との加圧方向と平行な方向に移動自在に支持する必要
性から、ガイドピン１０５ａ，１０５ｂとガイドピン貫
通孔１０６ｄ，１０６ｅとの間には、隙間が不可避的に
存在していた。

【００１６】一方、加工公差等の影響により、突起１０
６ｂ，１０６ｃとガイド孔１０３ａ，１０３ｂとの間に
も、隙間が不可避的に存在していた。そのため、振動ア
クチュエータ１００に駆動電圧を印加してレール１０８
を駆動すると、これらの隙間の総和の分だけ、弾性体１
０１がレール１０８の移動方向と反対方向に位置ずれし
てしまうという課題があった。そのため、レール１０８
の位置制御が不安定になるというおそれがあった。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、振動
子と，この振動子に加圧接触して振動子との間で相対運
動を行う相対運動部材と，固定部材及び振動子に固定さ
れ、振動子を相対運動の方向について位置規制するとと
もに、振動子を振動子と相対運動部材との加圧方向と略
平行な方向について変位自在に支持する、一体構成部材
である支持部材とを備えることを特徴とする振動アクチ
ュエータである。

【００１８】請求項２の発明は、請求項１に記載された
振動アクチュエータにおいて、支持部材は、固定部材に
固定される第１接続部と，振動子に固定される第２接続
部と，第１接続部及び第２接続部の間に位置する連結部
とにより構成され、第２接続部が、加圧方向と略平行な
方向に対して変位自在であることを特徴とする。

【００１９】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載された振動アクチュエータにおいて、支持部材
は、平行バネであることを特徴とする。

【００２０】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、支持部材と振動子との固定、及び／又は、支持
部材と固定部との固定は、傾斜部付き支持棒とこの傾斜
部付き支持棒を収容する収容部との組み合わせにより、
行われることを特徴とする。

【００２１】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、傾斜部付き支持棒は、テーパピン又はくさびで
あるとともに、収容部には、テーパピン又はくさびと略
等しい角度の傾斜面を有するテーパ付きの溝又は孔が形
成されることを特徴とする。

【００２２】請求項６の発明は、請求項１から請求項５
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、弾性体と相対運動部材との加圧は、支持部材に
より行うことを特徴とする。

【００２３】請求項７の発明は、請求項１から請求項６
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、弾性体と相対運動部材との加圧は、専用の加圧
部材により行うことを特徴とする。

【００２４】請求項８の発明は、請求項１から請求項７
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、振動子は、矩形平板状の弾性体と、弾性体の一
方の平面に装着されて弾性体に縦振動及び屈曲振動を調
和的に発生する電気機械変換素子とを備え、相対運動は
１次元であることを特徴とする。

【００２５】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下、本発明にかかる振動アクチュエ
ータの実施形態を添付図面を参照しながら、詳細に説明
する。なお、以降の実施形態の説明は、振動アクチュエ
ータとして超音波の振動域を利用する超音波アクチュエ
ータを例にとって、行う。

【００２６】図１及び図２は、いずれも、第１実施形態
の超音波アクチュエータ１の構成を示す説明図であり、
図１は支持前の状態を、図２は支持時の状態をそれぞれ
示す。さらに、図３は、第１実施形態の超音波アクチュ
エータ１に用いる弾性体２の上面図である。

【００２７】本実施形態の超音波アクチュエータ１は、
略述すれば、図９及び図１０に示す従来の振動アクチュ
エータ１００に比較すると、支持部材を平行バネ２０を
用いて構成したものであり、支持部材以外の構成は殆ど
同一である。したがって、同一の部分は簡単に説明する
こととする。

【００２８】本実施形態の超音波アクチュエータ１は、
矩形平板状の弾性体２と、この弾性体２の一方の平面に
接着により装着されて縦振動及び屈曲振動を調和的に発
生する電気機械変換素子である圧電体４ａ，４ｂを備え
る。弾性体２と圧電体４ａ，４ｂとにより、振動子が構
成される。圧電体４ａ，４ｂは、いずれも、駆動用圧電
体である。圧電体４ａ，４ｂには電気的に位相が９０°
異なる交流電圧が印加される。

【００２９】なお、図中符号４ｐ，４ｐ’も圧電体であ
るが、これらは、弾性体２に発生する振動状態をモニタ
するための振動モニタ用圧電体であり、後述する図５を
用いて説明する制御回路３５に接続される。なお、弾性
体２本体はＧＮＤ電位に接続される。

【００３０】弾性体２の他方の平面であって４次の屈曲
振動の腹位置のうちの外側の２か所には、直方体型の駆
動力取出部２ａ，２ｂが突起状に形成される。

【００３１】図５は、本実施形態の超音波アクチュエー
タ１の駆動回路３０を示すブロック図である。駆動回路
３０は、駆動信号を発振する発振器３１と、この駆動信
号をπ／２位相差のある信号に変換する移相器３２と、
駆動用圧電体４ａに入力する駆動信号を増幅する増幅器
３３と、駆動用圧電体４ｂに入力する変換された駆動信
号を増幅する増幅器３４とを備える。

【００３２】圧電体４ｐ，４ｐ’により検出された振動
は電気信号として制御回路３５に送られる。制御回路３
５では、検出された変位量に基づき、補正信号を発振器
３１に送り、発振器３１から出力される駆動信号が適正
化される。

【００３３】このような駆動回路３０により、圧電体４
ａ，４ｂに電気的に位相が９０°異なる交流電圧を印加
することにより、弾性体２には縦振動及び屈曲振動が調
和的に発生し、これらの振動の合成である楕円運動が、
弾性体２の駆動力取出部２ａ，２ｂの端面に発生する。

【００３４】図１〜図３において、弾性体２の二つの側
面２ｃ，２ｄの長さ方向及び厚さ方向それぞれの中央部
には、弾性体厚さ方向の全長に亘って、連続的に縮径す
る断面半円形のテーパ付き溝２ｅ，２ｆが弾性体２の係
合部として穿設される。穿設位置は、弾性体２に発生す
る屈曲振動の節位置であリ、発生する屈曲振動を減衰さ
せることなく支持することができる。

【００３５】弾性体２の係合部であるテーパ付き溝２
ｅ，２ｆには、図１に示すように、相対運動方向に対し
て傾斜する傾斜部２ｇ，２ｈが形成される。本実施形態
では、テーパ付き溝２ｅ，２ｆは、後述する傾斜付き支
持棒であるテーパピン２２ａ，２２ｂを収容する収容部
として機能する。

【００３６】なお、本実施形態では、弾性体２における
二つの側面２ｃ，２ｄの長さ方向及び厚さ方向それぞれ
における対称の位置である中央部に係合部を設置する
が、本発明における振動アクチュエータはこのような態
様に限定されるものではない。すなわち、弾性体２にお
ける係合部の設置位置は、弾性体２の長さ方向，幅方向
及び厚さ方向の１種又は２種以上に対して対称である位
置に設置することが、弾性体２を確実に位置規制するた
めには、最も望ましい。

【００３７】次に、本実施形態における支持部材２０を
詳細に説明する。図４は、本実施形態における支持部材
２０を構成する平行バネ２０ａを抽出して示す説明図で
あって、図４（ａ）は斜視図，図４（ｂ）は支持前の状
態を示す側面図，図４（ｃ）は支持時の状態を示す側面
図である。

【００３８】本実施形態において、支持部材２０は、図
１に示すように、平行バネ２１と，平行バネ２１の一端
側に設けられたテーパピン２２ａ，２２ｂと，平行バネ
２１を固定部（ハウジング）２５に固定するためのブラ
ケッット２３とにより、構成される。

【００３９】本実施形態における平行バネ２１は、図４
（ａ）に示すように、金属等の弾性材料からなり離間し
て平行に配置された２枚の板材２１ａ，２１ｂと、これ
らの板材２１ａ，２１ｂにより、挟持された状態で配置
される金属等の剛体からなる直方体型の芯材２１ｃ，２
１ｄにより構成される。板材２１ａ，２１ｂと芯材２１
ｃ，２１ｄとは、例えば接着されることにより装着され
る。

【００４０】ここで、芯材２１ｄの形成範囲が、固定部
２５との接続を行うための第１接続部２４ａをなすとと
もに、芯材２１ｃの形成範囲が、弾性体２との接続を行
うための第２接続部２４ｂをなしており、第１接続部２
４ａと第２接続部２４ｂとは、板材２１ａ，２１ｂによ
り構成される連結部２４ｃにより連結されている。

【００４１】このようにして、平行バネ２１は例えば複
数部材の連結部が存在しない一体構成部材として、構成
される。この平行バネ２１は、図４（ｂ）に示す初期状
態において、第１接続部２４ａを固定部に固定してお
き、第２接続部２４ｂに矢印向きの荷重を付与すると、
平行クランク機構のように、連結部２４ｃが平行四辺形
ａｂｃｄを維持したままの状態で、図４（ｃ）に示すよ
うに、変位する。そのため、第２接続部２４ｂに矢印向
きの荷重を付与しても、芯材２１ｃは芯材２１ｄに対す
る平行な位置関係を維持したまま、変位することができ
る。

【００４２】図１に示す本実施形態では、平行バネ２１
の第１接続部２４ａはブラケッット２３を介して固定部
（ハウジング）２５に、例えばボルト等（図示しない）
により締結されることにより、固定される。

【００４３】一方、第２接続部２４の弾性体２側の平面
には、テーパピン２２ａ，２２ｂが固定される。テーパ
ピン２２ａ，２２ｂは、先端部に前述したテーパ付き溝
２ｅ，２ｆと略等しい傾斜角度のテーパが形成されると
ともに、テーパ付き溝２ｅ，２ｆと同じピッチで弾性体
２の幅方向と平行な方向に向けて設けられる。

【００４４】テーパピン２２ａ，２２ｂにも、図１に示
すように、相対運動方向に対して傾斜する傾斜部２２
ｃ，２２ｄが形成される。本実施形態では、テーパピン
２２ａ，２２ｂは傾斜付き支持棒として機能する。

【００４５】そのため、支持部材２０に向けて弾性体２
を接近させていくと、図２に示すように、弾性体２の係
合部であるテーパ付き溝２ｅ，２ｆの傾斜部２ｇ，２ｈ
の傾斜角度と、支持部材２０の係合部であるテーパピン
２２ａ，２２ｂの傾斜部２２ｃ，２２ｄの傾斜角度とが
完全に一致していなくとも、傾斜部２ｇ，２ｈと傾斜部
２２ｃ，２２ｄとが係合する。そして、弾性体２は、図
２に示すように、テーパ付き溝２ｅ，２ｆとテーパピン
２２ａ，２２ｂとが係合することによって、支持部材２
０により完全に固定される。

【００４６】また、平行バネ２１の有するバネ力によ
り、弾性体２はレール２７との加圧方向について加圧さ
れている。図２に示すように、テーパ付き溝２ｅ，２ｆ
とテーパピン２２ａ，２２ｂとが係合した状態では、相
対運動方向（図面上の左右方向）に対して傾斜する傾斜
部を相対面に二つ形成されるため、テーパ付き溝２ｅ，
２ｆとテーパピン２２ａ，２２ｂとの間の加圧力によ
り、テーパ付き溝２ｅ，２ｆとテーパピン２２ａ，２２
ｂとが圧着され、相対運動方向に関する隙間は発生しな
い。

【００４７】なお、図２に示すように、ガイドローラ２
６ａ，２６ｂは、テーパ付き溝２ｅ，２ｆとテーパピン
２２ａ，２２ｂとが完全に嵌合した状態の時に、ガイド
ローラ２６ａ，２６ｂによって案内されるレール２７が
駆動力取出部２ａ，２ｂに接触することができる位置に
配置され、固定部（ハウジング）２５に固定される。

【００４８】このような状態で、超音波アクチュエータ
１を駆動して弾性体２の駆動力取出部２ａ，２ｂを介し
て加圧接触するレール２７が１次元（図１，図２におけ
る左右方向）に移動すると、弾性体２と支持部材２０と
は嵌合固定されるとともに支持部材２０は固定部（ハウ
ジング）２５に締結固定され、さらに支持部材２０は一
体構成部材であることから、弾性体２は固定部（ハウジ
ング）２５に対して、相対運動方向に関して位置ずれを
全く生じない。

【００４９】また、前述した図４に示す、平行バネ２１
の作用により、テーパピン２２ａ，２２ｂは、弾性体２
と相対運動部材２７との加圧方向に平行に移動する。こ
のようにして、本実施形態において平行バネ２１を用い
たことにより、

【００５０】（１）弾性体２を固定部（ハウジング）２
５に支持すること、（２）弾性体２を相対運動方向に位
置規制するとともに、弾性体２を相対運動部材２７との
加圧方向に変位自在に支持すること、及び（３）支持部
材２０にがたつきが存在しない状態で、換言すれば一体
構成部材で弾性体２を支持することが可能になった。

【００５１】したがって、超音波アクチュエータ１に駆
動電圧を印加してレール２７を駆動しても、弾性体２は
レール２７の移動方向と反対方向に位置ずれすることな
く、所定の位置に正確に保持される。

【００５２】（第２実施形態）図６は、本発明の第２実
施形態を示す説明図である。なお、以降の第２実施形態
の説明では、第１実施形態と相違する部分だけを説明
し、同一の部分は同一の図中符号を付すことにより、重
複する説明を適宜省略する。

【００５３】本実施形態が、第１実施形態と相違するの
は、平行バネ２１の第２接続部２４ｂと固定部材２５と
の間に、第２接続部２４ｂを加圧方向に加圧するための
コイルスプリング（付勢部材）２８を配置した点であ
る。

【００５４】本実施形態では、平行バネ２１は支持部材
２０の位置決めだけを行い、弾性体２と相対運動部材２
７との加圧は、専用のコイルスプリング２８で行う。

【００５５】（変形形態）以上の各実施形態の説明で
は、振動アクチュエータとして超音波アクチュエータを
用いたが、本発明にかかる振動アクチュエータはこのよ
うな態様のみに限定されるものではなく、他の超音波域
以外の振動域を利用した振動アクチュエータについても
等しく適用される。

【００５６】また、各実施形態では、電気機械変換素子
として圧電体を用いたが、本発明にかかる振動アクチュ
エータはこのような態様に限定されるものではなく、電
気エネルギーを機械的変位に変換することができるもの
であれば等しく適用することができる。例えば、圧電体
以外に電歪素子を例示することができる。

【００５７】また、各実施形態では、支持部材の係合部
として傾斜部付き支持棒を用いるとともに、弾性体の係
合部にこの傾斜部付き支持棒を収容する収容部を形成す
るようにしたが、本発明にかかる振動アクチュエータは
このような態様に限定されるものではなく、配置位置を
逆にすることにより、弾性体の係合部として傾斜部付き
支持棒を突設するとともに、支持部材の係合部にこの傾
斜部付き支持棒を収容する収容部を形成するようにして
もよい。また、支持部材と、弾性体又は固定部との固定
態様は何ら限定を要するものではなく、公知の適宜手段
により確実に固定すればよい。

【００５８】また、各実施形態では、弾性体，支持部材
それぞれの係合部として、テーパピンとテーパ付きの溝
との組み合わせを用いたが、テーパ付きの溝の代わりに
テーパ付きの孔を用いることもできる。また、テーパピ
ンの代わりにくさびを用いることもできる。このような
場合、テーパ付きの溝又はテーパ付きの孔は、テーパピ
ン又はくさびと略等しい角度の傾斜面を有することが、
係合の確実性，容易性の観点からは望ましい。

【００５９】また、上述したテーパピン又はくさびに代
えて、片方の面にだけ勾配を有する勾配キーと、この勾
配キーと略等しい角度の傾斜面を有する勾配付きの溝又
は孔との組み合わせを用いることもできる。

【００６０】また、第１実施形態及び第２実施形態で
は、横断面形状が円形のテーパピンを用いたが、本発明
にかかる振動アクチュエータは、これらの実施形態に限
定されるものではなく、横断面形状が多角形のテーパピ
ンを用いることも可能である。

【００６１】なお、第１実施形態及び第２実施形態にお
ける横断面形状が円形のテーパピンは製造が簡単であ
り、実施が最も容易であるが、弾性体を１本の円形のテ
ーパピンで位置規制しようとすると、弾性体と相対運動
部材との接触面と平行な平面内で弾性体が回転するおそ
れがあるため、この場合には第１実施形態及び第２実施
形態のように２本用いることが望ましい。

【００６２】さらに、各実施形態の説明では、弾性体及
び支持部材の双方に、係合部として、相対運動の方向に
対して傾斜する傾斜部を設けた態様を例にとったが、一
方にだけ傾斜部を形成するとともに他方は従来と同様の
傾斜部無しとすることにより双方の係合部を構成するこ
とも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、支持前の状態を示す説明図である。

【図２】第１実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、支持時の状態を示す説明図である。

【図３】第１実施形態の超音波アクチュエータに用いる
弾性体の上面図である。

【図４】第１実施形態における支持部材をなす平行バネ
を示す説明図であって、図４（ａ）は透視状態で示す斜
視図，図４（ｂ）は支持前の状態を示す側面図，図４
（ｃ）は支持時の状態を示す側面図である。

【図５】第１実施形態の超音波アクチュエータの駆動回
路を示すブロック図である。

【図６】本発明の第２実施形態を示す説明図である。

【図７】従来の振動アクチュエータに用いる弾性体の一
例の斜視図である。

【図８】従来の振動アクチュエータの弾性体の上面図で
ある。

【図９】従来の弾性体の支持前の状態を示す正面図であ
る。

【図１０】従来の弾性体の支持時の状態を示す正面図で
ある。

【符号の説明】

１ 超音波アクチュエータ（振動アクチュエータ） ２ 弾性体 ２ａ，２ｂ 駆動力取出部 ２ｃ，２ｄ 側面 ２ｅ，２ｆ テーパ付き溝 ２ｇ，２ｈ 傾斜部 ４ａ，４ｂ 圧電体 ２０ 支持部材 ２１ 平行バネ ２１ａ，２１ｂ 板材 ２１ｃ，２１ｄ 芯材 ２２ａ，２２ｂ テーパピン ２３ ブラケッット ２４ａ 第１接続部 ２４ｂ 第２接続部 ２４ｃ 連結部 ２５ 固定部 ２６ａ，２６ｂ ガイドローラ ２７ レール（相対運動部材）

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動子と，前記振動子に加圧接触して前
   記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材と，固定
   部材及び前記振動子に固定され、前記振動子を前記相対
   運動の方向について位置規制するとともに、前記振動子
   を前記振動子と前記相対運動部材との加圧方向と略平行
   な方向について変位自在に支持する、一体構成部材であ
   る支持部材とを備えることを特徴とする振動アクチュエ
   ータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された振動アクチュエー
   タにおいて、 前記支持部材は、前記固定部材に固定される第１接続部
   と，前記振動子に固定される第２接続部と，前記第１接
   続部及び前記第２接続部の間に位置する連結部とにより
   構成され、 前記第２接続部が、前記加圧方向と略平行な方向に対し
   て変位自在であることを特徴とする振動アクチュエー
   タ。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載された振動
   アクチュエータにおいて、 前記支持部材は、平行バネであることを特徴とする振動
   アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記支持部材と前記振動子との固定、及び／又は、前記
   支持部材と前記固定部との固定は、傾斜部付き支持棒と
   前記傾斜部付き支持棒を収容する収容部との組み合わせ
   により、行われることを特徴とする振動アクチュエー
   タ。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記傾斜部付き支持棒は、テーパピン又はくさびである
   とともに、前記収容部には、前記テーパピン又は前記く
   さびと略等しい角度の傾斜面を有するテーパ付きの溝又
   は孔が形成されることを特徴とする振動アクチュエー
   タ。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記弾性体と前記相対運動部材との加圧は、前記支持部
   材により行うことを特徴とする振動アクチュエータ。
7. 【請求項７】 請求項１から請求項６までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記弾性体と前記相対運動部材との加圧は、専用の加圧
   部材により行うことを特徴とする振動アクチュエータ。
8. 【請求項８】 請求項１から請求項７までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記振動子は、矩形平板状の弾性体と、前記弾性体の一
   方の平面に装着されて前記弾性体に縦振動及び屈曲振動
   を調和的に発生する電気機械変換素子とを備え、前記相
   対運動は１次元であることを特徴とする振動アクチュエ
   ータ。