JPH06105569A - 超音波アクチュエータ - Google Patents
超音波アクチュエータInfo
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- JPH06105569A JPH06105569A JP4279588A JP27958892A JPH06105569A JP H06105569 A JPH06105569 A JP H06105569A JP 4279588 A JP4279588 A JP 4279588A JP 27958892 A JP27958892 A JP 27958892A JP H06105569 A JPH06105569 A JP H06105569A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
- H02N2/0025—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes using combined longitudinal modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 駆動力および速度を向上した超音波アクチュ
エータを得る。 【構成】 基台１に弾性体２を固定し、この弾性体２の
側部二つの積層圧電素子４ａ、４ｂを固定し、また上部
に積層圧電素子３を接着する。この積層圧電素子３に突
起をもつ摺動材５を接着して振動子を構成する。この振
動子に対し、摺動材８を固定した被駆動体７を保持手段
９により一定圧力で前記振動子に押圧し、所定の方向に
相対移動するように摩擦接触させる。積層圧電素子４ａ
と４ｂの伸長と縮小の位相が互いに逆になるように交番
電圧を印加して振動子全体を屈曲振動または伸縮振動で
きる所望のアクチュエータを得る。
エータを得る。 【構成】 基台１に弾性体２を固定し、この弾性体２の
側部二つの積層圧電素子４ａ、４ｂを固定し、また上部
に積層圧電素子３を接着する。この積層圧電素子３に突
起をもつ摺動材５を接着して振動子を構成する。この振
動子に対し、摺動材８を固定した被駆動体７を保持手段
９により一定圧力で前記振動子に押圧し、所定の方向に
相対移動するように摩擦接触させる。積層圧電素子４ａ
と４ｂの伸長と縮小の位相が互いに逆になるように交番
電圧を印加して振動子全体を屈曲振動または伸縮振動で
きる所望のアクチュエータを得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動を駆動源と
するアクチュエータに関する。
するアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波振動を動力源とする超音波モータ
は近年さかんに研究され、一部実用化されている。これ
ら超音波モータは、振動子のこれに接する可動体との接
触部が楕円運動し、この楕円運動により、可動体と振動
子を相対移動させていることが一般に知られている。こ
の一例としては、先に本出願人が提案した特開平２−７
８７５号公報記載の振動子がある。
は近年さかんに研究され、一部実用化されている。これ
ら超音波モータは、振動子のこれに接する可動体との接
触部が楕円運動し、この楕円運動により、可動体と振動
子を相対移動させていることが一般に知られている。こ
の一例としては、先に本出願人が提案した特開平２−７
８７５号公報記載の振動子がある。
【０００３】上記発明は、図４及び図５に示すように、
弾性体２５のまわりに固定された圧電素子２６ａ〜２６
ｂの伸縮により図６のように振動子２９を屈曲させ水平
方向の動きを得ている。また、積層圧電素子２７の伸縮
により図１０のように振動子２９の上下振動を得てい
る。これらを図８に示すように振幅を制御して楕円運動
を構成している。また、屈曲を圧電素子２６ａと２６
ｃ、２６ｂと２６ｄの互いに９０度異なる方向で制御
し、合成することにより楕円の方向を３６０度任意方向
に向け、突起部２８を図９に示すように可動体３０と接
触することにより、可動体３０をｘｙの任意方向に移動
させている。
弾性体２５のまわりに固定された圧電素子２６ａ〜２６
ｂの伸縮により図６のように振動子２９を屈曲させ水平
方向の動きを得ている。また、積層圧電素子２７の伸縮
により図１０のように振動子２９の上下振動を得てい
る。これらを図８に示すように振幅を制御して楕円運動
を構成している。また、屈曲を圧電素子２６ａと２６
ｃ、２６ｂと２６ｄの互いに９０度異なる方向で制御
し、合成することにより楕円の方向を３６０度任意方向
に向け、突起部２８を図９に示すように可動体３０と接
触することにより、可動体３０をｘｙの任意方向に移動
させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平２−７８７５号公報記載の技術においては、振動子
の屈曲振動を単層の圧電素子で励起しているために、ア
クチュエータ駆動に必要な振幅を得るのに数１００Ｖの
高圧電圧を印加しなければならず、高電圧増幅器または
トランス等の昇圧手段を用いなければならなかった。
開平２−７８７５号公報記載の技術においては、振動子
の屈曲振動を単層の圧電素子で励起しているために、ア
クチュエータ駆動に必要な振幅を得るのに数１００Ｖの
高圧電圧を印加しなければならず、高電圧増幅器または
トランス等の昇圧手段を用いなければならなかった。
【０００５】また、摩擦力により被駆動体を駆動してい
るので、駆動力を発生させるためには被駆動体と振動子
間に押圧力が必要となる。しかし振動子の先端に被駆動
体を押圧すると、両者間の摩擦力が屈曲振動を妨げる力
として作用する。このとき単板の圧電素子で屈曲振動を
励起していると屈曲発生力が小さいため振動振幅が著し
く小さくなり、被駆動体の駆動力および移動速度の向上
が望めない。
るので、駆動力を発生させるためには被駆動体と振動子
間に押圧力が必要となる。しかし振動子の先端に被駆動
体を押圧すると、両者間の摩擦力が屈曲振動を妨げる力
として作用する。このとき単板の圧電素子で屈曲振動を
励起していると屈曲発生力が小さいため振動振幅が著し
く小さくなり、被駆動体の駆動力および移動速度の向上
が望めない。
【０００６】よって、本発明は従来技術における問題点
に鑑みて開発されたもので、低電圧駆動で発生力の大き
な振動子を提案し、これを用いてアクチュエータの駆動
力および速度を向上させることを目的とする。
に鑑みて開発されたもので、低電圧駆動で発生力の大き
な振動子を提案し、これを用いてアクチュエータの駆動
力および速度を向上させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、基台と、該基台に固定された弾性体と、該弾性体の
上部に伸縮の１端を固定した第１の積層圧電素子と、該
弾性体の側部に位置し、伸縮の両端をそれぞれ該弾性体
と該基台に固定し、かつ予圧を印加した１個以上の第２
の積層圧電素子群と、第１の積層圧電素子の弾性体との
固定端と反対端に固定された摺動部とを有する振動子
と、前記振動子の摺動材に所定の圧力で押圧され、かつ
相対移動可能なように接触する被駆動体で超音波アクチ
ュエータを構成した。
に、基台と、該基台に固定された弾性体と、該弾性体の
上部に伸縮の１端を固定した第１の積層圧電素子と、該
弾性体の側部に位置し、伸縮の両端をそれぞれ該弾性体
と該基台に固定し、かつ予圧を印加した１個以上の第２
の積層圧電素子群と、第１の積層圧電素子の弾性体との
固定端と反対端に固定された摺動部とを有する振動子
と、前記振動子の摺動材に所定の圧力で押圧され、かつ
相対移動可能なように接触する被駆動体で超音波アクチ
ュエータを構成した。
【０００８】
【作用】本発明により、 （１）第１の積層圧電素子の伸縮による第１方向の振幅
と、第２の積層圧電素子の振幅により励起される振動子
の屈曲による第１方向と略直角方向の第２方向の振動を
合成することにより、楕円運動を振動子の頂点部に構成
できる。 （２）また、数１０Ｖの電圧で、超音波アクチュエータ
の駆動に必要な超音波振動の振幅（数百ｎｍ〜数μｍ）
と同程度の変位が得られる積層圧電素子を用いることに
より、比較的低電圧でアクチュエータの駆動が可能とな
る。 （３）さらに、比較的発生力の大きな積層型圧電素子で
屈曲振動を励起することにより、屈曲力を大きくするこ
とができる。
と、第２の積層圧電素子の振幅により励起される振動子
の屈曲による第１方向と略直角方向の第２方向の振動を
合成することにより、楕円運動を振動子の頂点部に構成
できる。 （２）また、数１０Ｖの電圧で、超音波アクチュエータ
の駆動に必要な超音波振動の振幅（数百ｎｍ〜数μｍ）
と同程度の変位が得られる積層圧電素子を用いることに
より、比較的低電圧でアクチュエータの駆動が可能とな
る。 （３）さらに、比較的発生力の大きな積層型圧電素子で
屈曲振動を励起することにより、屈曲力を大きくするこ
とができる。
【０００９】
【実施例１】図１は、本実施例の超音波アクチュエータ
を示すものである。厚さ１０ｍｍのステンレス板からな
る基台１に、側面に圧電素子固定用の突起部をもつ燐青
銅の弾性体２が二つの積層圧電素子４ａ、４ｂ（トーキ
ン（株）製ＮＬＡ−２×３×９）を挟みＭ３のビス６で
固定されている。このとき、基台１と弾性体２の間に約
１ｍｍの間隔をあけて、ビス６を締め込むことにより、
積層圧電素子４ａ、４ｂに予圧が加えられている。また
弾性体２の上部に積層圧電素子３（トーキン（株）製Ｎ
ＬＡ−５×５×９）が接着され、積層圧電素子３にステ
ンレスに焼入を施した半球状の突起をもつ摺動材５が接
着されて、振動子が構成されている。
を示すものである。厚さ１０ｍｍのステンレス板からな
る基台１に、側面に圧電素子固定用の突起部をもつ燐青
銅の弾性体２が二つの積層圧電素子４ａ、４ｂ（トーキ
ン（株）製ＮＬＡ−２×３×９）を挟みＭ３のビス６で
固定されている。このとき、基台１と弾性体２の間に約
１ｍｍの間隔をあけて、ビス６を締め込むことにより、
積層圧電素子４ａ、４ｂに予圧が加えられている。また
弾性体２の上部に積層圧電素子３（トーキン（株）製Ｎ
ＬＡ−５×５×９）が接着され、積層圧電素子３にステ
ンレスに焼入を施した半球状の突起をもつ摺動材５が接
着されて、振動子が構成されている。
【００１０】この振動子に対し、アルミナセラミックス
平板の摺動材８を両面粘着テープで固定した被駆動体７
を保持手段９により一定圧力で前記振動子に押圧し、両
ｘ方向に相対移動するように摩擦接触している。
平板の摺動材８を両面粘着テープで固定した被駆動体７
を保持手段９により一定圧力で前記振動子に押圧し、両
ｘ方向に相対移動するように摩擦接触している。
【００１１】ここで、積層圧電素子４ａと４ｂの伸長と
縮小の位相が互いに逆になるように交番電圧を印加す
る。すると前述の図１０の（ａ）（ｂ）に示すように、
振動子全体が屈曲振動する。また図１０は１次の屈曲振
動モードの様子を示してあるが、図１１に示すような高
次の屈曲振動モードでもよい。また、積層圧電素子３に
交番電圧を印加し伸縮振動させると、図１０の（ｃ）
（ｄ）に示すように、振動子が縦振動することになる。
縮小の位相が互いに逆になるように交番電圧を印加す
る。すると前述の図１０の（ａ）（ｂ）に示すように、
振動子全体が屈曲振動する。また図１０は１次の屈曲振
動モードの様子を示してあるが、図１１に示すような高
次の屈曲振動モードでもよい。また、積層圧電素子３に
交番電圧を印加し伸縮振動させると、図１０の（ｃ）
（ｄ）に示すように、振動子が縦振動することになる。
【００１２】この屈曲振動と縦振動の位相が９０度ずれ
るように、それぞれの積層圧電素子に印加する電圧の位
相を調整すると、前述の図８のようにして、振動子の先
端部にある摺動材５に楕円運動が発生する。この楕円振
動に被駆動体７が摩擦接触することにより、振動子と被
駆動体が相対移動する。このようにして超音波駆動のア
クチュエータが構成される。
るように、それぞれの積層圧電素子に印加する電圧の位
相を調整すると、前述の図８のようにして、振動子の先
端部にある摺動材５に楕円運動が発生する。この楕円振
動に被駆動体７が摩擦接触することにより、振動子と被
駆動体が相対移動する。このようにして超音波駆動のア
クチュエータが構成される。
【００１３】以上の構成によるアクチュエータで実験を
行った結果、被駆動体を３００ｇｆで振動子に押圧し、
駆動周波数が４４．７ｋＨｚで屈曲用圧電素子に１５Ｖ
ｐｐ、縦振動用圧電素子に１０Ｖｐｐの電圧を印加した
ときに、無負荷時の速度４０ｍｍ／ｓｅｃ、最大推力１
００ｇｆがえられた。なお、ここでの推力とは被駆動体
を図１のｘ方向に動かす力を示している。
行った結果、被駆動体を３００ｇｆで振動子に押圧し、
駆動周波数が４４．７ｋＨｚで屈曲用圧電素子に１５Ｖ
ｐｐ、縦振動用圧電素子に１０Ｖｐｐの電圧を印加した
ときに、無負荷時の速度４０ｍｍ／ｓｅｃ、最大推力１
００ｇｆがえられた。なお、ここでの推力とは被駆動体
を図１のｘ方向に動かす力を示している。
【００１４】この本実施例のアクチュエータによれば、
振動子の屈曲振動を発生させる圧電素子が比較的発生力
の大きな積層型を用いることにより、被駆動体を比較的
強く押圧しても十分な振幅が得られる。この結果、押圧
力を大きくすることにより摩擦力が増し、摺動材５と被
駆動体７との間のスリップが起こりにくくなり、被駆動
体の推力が増大する効果が得られる。
振動子の屈曲振動を発生させる圧電素子が比較的発生力
の大きな積層型を用いることにより、被駆動体を比較的
強く押圧しても十分な振幅が得られる。この結果、押圧
力を大きくすることにより摩擦力が増し、摺動材５と被
駆動体７との間のスリップが起こりにくくなり、被駆動
体の推力が増大する効果が得られる。
【００１５】
【実施例２】図２は、本実施例の超音波アクチュエータ
を示すものである。基台１と、４側面に積層圧電素子固
定用の突起部をもつ燐青銅の弾性体１１とで４個の積層
圧電素子１３ａ〜１３ｂを挟み、ビス１５で固定されて
いる。さらに弾性体１１の上部に積層圧電素子１２が接
着され、積層圧電素子１２にステンレスに焼入を施した
摺動材１４が接着されて、振動子が構成されている。
を示すものである。基台１と、４側面に積層圧電素子固
定用の突起部をもつ燐青銅の弾性体１１とで４個の積層
圧電素子１３ａ〜１３ｂを挟み、ビス１５で固定されて
いる。さらに弾性体１１の上部に積層圧電素子１２が接
着され、積層圧電素子１２にステンレスに焼入を施した
摺動材１４が接着されて、振動子が構成されている。
【００１６】この振動子に対し、アルミナセラミックス
平板の被駆動体１６が前記振動子に対し２次元的に相対
移動し、かつ一定圧力で押圧しながら摩擦接触してい
る。ただし、図２では構造の説明のために振動子と被駆
動体は接触させていないが、実際には摩擦接触している
ものである。
平板の被駆動体１６が前記振動子に対し２次元的に相対
移動し、かつ一定圧力で押圧しながら摩擦接触してい
る。ただし、図２では構造の説明のために振動子と被駆
動体は接触させていないが、実際には摩擦接触している
ものである。
【００１７】ここで、弾性体１１を介し互いに対向する
積層圧電素子１３ａと１３ｂ、または１３ｃと１３ｄの
伸長と縮小の位相が互いに逆になるように交番電圧を印
加すると積層圧電素子１３ａ、１３ｂでｘ方向に、また
１３ｃ、１３ｄでｙ方向に、振動子全体が図１０の
（ａ）（ｂ）に示すように、屈曲振動する。
積層圧電素子１３ａと１３ｂ、または１３ｃと１３ｄの
伸長と縮小の位相が互いに逆になるように交番電圧を印
加すると積層圧電素子１３ａ、１３ｂでｘ方向に、また
１３ｃ、１３ｄでｙ方向に、振動子全体が図１０の
（ａ）（ｂ）に示すように、屈曲振動する。
【００１８】また、積層圧電素子１２に交番電圧を印加
し伸縮振動させると、図１０の（ｃ）（ｄ）に示すよう
に、振動子が縦振動することになる。この屈曲振動と縦
振動の位相が９０度ずれるように、それぞれの積層圧電
素子に印加する電圧の位相を調整すると、前述の図８の
ようにして、振動子の先端部にある摺動材８に楕円運動
が発生する。また、２組の積層圧電素子１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加する電圧の振幅と位相を調整
することにより楕円運動の方向が３６０度任意の方向に
変わる。この楕円振動に被駆動体１６が摩擦接触するこ
とにより、振動子と被駆動体が相対移動する。このよう
にして超音波駆動のアクチュエータが構成される。
し伸縮振動させると、図１０の（ｃ）（ｄ）に示すよう
に、振動子が縦振動することになる。この屈曲振動と縦
振動の位相が９０度ずれるように、それぞれの積層圧電
素子に印加する電圧の位相を調整すると、前述の図８の
ようにして、振動子の先端部にある摺動材８に楕円運動
が発生する。また、２組の積層圧電素子１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ、１３ｄに印加する電圧の振幅と位相を調整
することにより楕円運動の方向が３６０度任意の方向に
変わる。この楕円振動に被駆動体１６が摩擦接触するこ
とにより、振動子と被駆動体が相対移動する。このよう
にして超音波駆動のアクチュエータが構成される。
【００１９】この本実施例のアクチュエータによれば、
例えばＸＹステージのように２次元的に被駆動体が移動
するアクチュエータが実現できる。なお、図１０では１
次の屈曲振動モードの様子を示してあるが、図１１に示
すような高次の屈曲振動モードを使ってもよい。
例えばＸＹステージのように２次元的に被駆動体が移動
するアクチュエータが実現できる。なお、図１０では１
次の屈曲振動モードの様子を示してあるが、図１１に示
すような高次の屈曲振動モードを使ってもよい。
【００２０】
【実施例３】図３は、本実施例の超音波アクチュエータ
を示すものである。基台１７と、側面に積層圧電素子固
定用の突起と傾き防止用の足をもつ燐青銅の弾性体１８
とが一つの積層圧電素子２０を挟み、ビス２２で固定さ
れている。さらに弾性体１８の上部に積層圧電素子１９
が接着され、積層圧電素子１９にステンレスに焼入を施
した摺動材２１が接着されて、振動子が構成されてい
る。この振動子に対し、押圧固定手段２４により、アル
ミナセラミックス平板の被駆動体２３が前記振動子に対
し相対移動するように摩擦接触している。
を示すものである。基台１７と、側面に積層圧電素子固
定用の突起と傾き防止用の足をもつ燐青銅の弾性体１８
とが一つの積層圧電素子２０を挟み、ビス２２で固定さ
れている。さらに弾性体１８の上部に積層圧電素子１９
が接着され、積層圧電素子１９にステンレスに焼入を施
した摺動材２１が接着されて、振動子が構成されてい
る。この振動子に対し、押圧固定手段２４により、アル
ミナセラミックス平板の被駆動体２３が前記振動子に対
し相対移動するように摩擦接触している。
【００２１】ここで、積層圧電素子２０に交番電圧を印
加すると、振動子全体が屈曲振動する。また、積層圧電
素子１９に交番電圧を印加し伸縮振動させると、振動子
が縦振動することになる。この屈曲振動と縦振動の位相
が９０度ずれるように、それぞれの積層圧電素子に印加
する電圧の位相を調整すると、前述の図８のようにし
て、振動子の先端部にある摺動材２１に楕円運動が発生
する。この楕円振動に被駆動体２３が摩擦接触すること
により、振動子と被駆動体が相対移動する。このように
して超音波駆動のアクチュエータが構成される。
加すると、振動子全体が屈曲振動する。また、積層圧電
素子１９に交番電圧を印加し伸縮振動させると、振動子
が縦振動することになる。この屈曲振動と縦振動の位相
が９０度ずれるように、それぞれの積層圧電素子に印加
する電圧の位相を調整すると、前述の図８のようにし
て、振動子の先端部にある摺動材２１に楕円運動が発生
する。この楕円振動に被駆動体２３が摩擦接触すること
により、振動子と被駆動体が相対移動する。このように
して超音波駆動のアクチュエータが構成される。
【００２２】この本実施例のアクチュエータによれば、
実施例１に比較して屈曲力は小さくなるが積層圧電素子
が１個少なくなり、安価なアクチュエータが構成でき
る。なお、同様にして、実施例２に於いても、対向する
積層圧電素子をそれぞれ一つずつ減らせることは明かで
ある。また、図１０では１次の屈曲振動モードの様子を
示してあるが、図１１に示すような高次の屈曲振動モー
ドを使ってもよい。
実施例１に比較して屈曲力は小さくなるが積層圧電素子
が１個少なくなり、安価なアクチュエータが構成でき
る。なお、同様にして、実施例２に於いても、対向する
積層圧電素子をそれぞれ一つずつ減らせることは明かで
ある。また、図１０では１次の屈曲振動モードの様子を
示してあるが、図１１に示すような高次の屈曲振動モー
ドを使ってもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、本発明の超音波アクチュ
エータによれば、低電圧駆動が可能で駆動力の比較的お
おきな、リニアまたは２次元動作のアクチュエータを比
較的簡単な構造で提供できる。
エータによれば、低電圧駆動が可能で駆動力の比較的お
おきな、リニアまたは２次元動作のアクチュエータを比
較的簡単な構造で提供できる。
【図１】本発明の実施例１の超音波アクチュエータの斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明の実施例２の超音波アクチュエータの斜
視図である。
視図である。
【図３】本発明の実施例３の超音波アクチュエータの斜
視図である。
視図である。
【図４】従来の超音波アクチュエータの斜視図である。
【図５】従来の駆動回路の構成図である。
【図６】動作モードを示す概略側面図である。
【図７】動作モードを示す概略側面図である。
【図８】楕円運動の説明図である。
【図９】可動体及び振動子の斜視図である。
【図１０】１次の屈曲振動モード図である。
【図１１】高次の屈曲振動モード図である。
１ 基台 ２ 弾性体 ３ 積層圧素子 ５ 摺動材 ７ 被駆動体 ８ 摺動材 ４ａ 積層圧電素子 ４ｂ 積層圧電素子
Claims (2)
- 【請求項１】 基台と、該基台に固定された弾性体と、
該弾性体の上部に伸縮の１端を固定した第１の積層圧電
素子と、該弾性体の側部に位置し、伸縮の両端をそれぞ
れ該弾性体と該基台に固定した１個以上の第２の積層圧
電素子群と、第１の積層圧電素子の弾性体との固定端と
反対端に固定された摺動部とを有する振動子と、前記振
動子の摺動部に所定の圧力で押圧され、かつ相対移動可
能な様に接触する被駆動体を有することを特徴とする超
音波アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の超音波アクチュエータ
において、第２の積層圧電素子群に予圧が印加されてい
ることを特徴とする請求項１項記載の超音波アクチュエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4279588A JPH06105569A (ja) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | 超音波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4279588A JPH06105569A (ja) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | 超音波アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06105569A true JPH06105569A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17613084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4279588A Withdrawn JPH06105569A (ja) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | 超音波アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105569A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996019836A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoaktuatorisches antriebs- bzw. verstellelement |
| WO2000048256A1 (de) * | 1999-02-11 | 2000-08-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum einstellen der mechanischen vorspannung piezoelektrischer antriebselemente |
| US8355191B2 (en) | 2006-09-08 | 2013-01-15 | Seiko Epson Corporation | Actuator, optical scanner and image forming apparatus |
| KR101327299B1 (ko) * | 2012-01-26 | 2013-11-11 | 한국과학기술원 | 고전력 밀도를 가지는 에너지 수확 소자 및 그 제조 방법 |
| WO2015014823A1 (de) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | Johannes Kindt | Mehrachsiges positioniersystem zum positionieren eines objektes in einer x-y-ebene sowie mikroskop |
| WO2023244160A1 (en) * | 2022-06-17 | 2023-12-21 | Precibeo Ab | Drive elements for electromechanical motor |
| DE102022119245A1 (de) | 2022-08-01 | 2024-02-01 | Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG | Piezoelektrischer Lauf- und Resonanzantrieb |
-
1992
- 1992-09-24 JP JP4279588A patent/JPH06105569A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE102022119245B4 (de) | 2022-08-01 | 2024-03-28 | Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG | Piezoelektrischer Lauf- und Resonanzantrieb |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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