JPH0638559A - 超音波アクチュエータ及びその駆動方法 - Google Patents
超音波アクチュエータ及びその駆動方法Info
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- JPH0638559A JPH0638559A JP4207200A JP20720092A JPH0638559A JP H0638559 A JPH0638559 A JP H0638559A JP 4207200 A JP4207200 A JP 4207200A JP 20720092 A JP20720092 A JP 20720092A JP H0638559 A JPH0638559 A JP H0638559A
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- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低電圧駆動でありながら振動子の共振周波数
以外でも駆動可能な超音波振動子と、この振動子を用い
た比較的簡単な構造のアクチュエータを提供することを
目的とする。 【構成】 基体部１１と、該基体部１１に伸縮方向が同
一平面内にあるように固定された複数個の積層圧電素子
１２ａ，１２ｂと、該積層圧電素子１２ａ，１２ｂの基
体部１１との固定端とは別の端である伸縮端に固定さ
れ、基体部１１を覆う閉じた枠部１３とからなる振動子
を、ガイド部１５内に摩擦接触させる。
以外でも駆動可能な超音波振動子と、この振動子を用い
た比較的簡単な構造のアクチュエータを提供することを
目的とする。 【構成】 基体部１１と、該基体部１１に伸縮方向が同
一平面内にあるように固定された複数個の積層圧電素子
１２ａ，１２ｂと、該積層圧電素子１２ａ，１２ｂの基
体部１１との固定端とは別の端である伸縮端に固定さ
れ、基体部１１を覆う閉じた枠部１３とからなる振動子
を、ガイド部１５内に摩擦接触させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動を駆動源と
するアクチュエータに関する。
するアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、超音波振動を駆動源とする超音波
モータは盛んに研究され、一部実用化されている。これ
ら超音波モータでは、振動子の可動体との接触部が楕円
振動し、この楕円振動により可動体と振動子とを相対運
動させていることが一般に知られている。そして、この
ような超音波振動子としては、例えば、先に本出願人が
提案した特開平２−７８７５号公報記載の振動子が知ら
れている。かかる超音波振動子では、図８及び図９に示
す如く、弾性体２の周囲に固定した圧電素子１ａ〜１ｄ
の伸縮により、図１０に示すように、振動子５を屈曲さ
せて水平方向の動きを得ている。一方、積層圧電素子３
の伸縮により、図１１のような上下振動を得ている。そ
して、これらの振幅を制御して、図１２に示すような楕
円振動を得ている。ここで、屈曲振動を圧電素子１ａと
１ｃ、及び、１ｂと１ｄの互いに直交する方向で制御し
て合成すれば、楕円振動の方向を３６０゜任意の方向に
向けることが可能となって、図１３に示すように、突起
部４と接触する可動体６をＸＹの任意方向に移動させる
ことができる。
モータは盛んに研究され、一部実用化されている。これ
ら超音波モータでは、振動子の可動体との接触部が楕円
振動し、この楕円振動により可動体と振動子とを相対運
動させていることが一般に知られている。そして、この
ような超音波振動子としては、例えば、先に本出願人が
提案した特開平２−７８７５号公報記載の振動子が知ら
れている。かかる超音波振動子では、図８及び図９に示
す如く、弾性体２の周囲に固定した圧電素子１ａ〜１ｄ
の伸縮により、図１０に示すように、振動子５を屈曲さ
せて水平方向の動きを得ている。一方、積層圧電素子３
の伸縮により、図１１のような上下振動を得ている。そ
して、これらの振幅を制御して、図１２に示すような楕
円振動を得ている。ここで、屈曲振動を圧電素子１ａと
１ｃ、及び、１ｂと１ｄの互いに直交する方向で制御し
て合成すれば、楕円振動の方向を３６０゜任意の方向に
向けることが可能となって、図１３に示すように、突起
部４と接触する可動体６をＸＹの任意方向に移動させる
ことができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の超音
波アクチュエータでは、振動子の屈曲振動を単層の圧電
素子で励起していたので、アクチュエータ駆動に必要な
振幅を得るのに数１００Ｖの高電圧を印加しなければな
らず、高電圧増幅器またはトランス等の昇圧手段を用い
なければならないという問題点があった。また、屈曲の
振動効率を高めるために振動子の共振周波数で駆動する
ことが必要となるが、振動子と可動体との押圧条件によ
り共振周波数が変化してしまい、駆動周波数を決定しに
くいという問題点もあった。さらに、振動子と可動体と
を相対移動可能に保持するベアリング機構やリニアガイ
ドが必要となり、さらに押圧の手段も必要となるため、
比較的複雑な構造となっていた。
波アクチュエータでは、振動子の屈曲振動を単層の圧電
素子で励起していたので、アクチュエータ駆動に必要な
振幅を得るのに数１００Ｖの高電圧を印加しなければな
らず、高電圧増幅器またはトランス等の昇圧手段を用い
なければならないという問題点があった。また、屈曲の
振動効率を高めるために振動子の共振周波数で駆動する
ことが必要となるが、振動子と可動体との押圧条件によ
り共振周波数が変化してしまい、駆動周波数を決定しに
くいという問題点もあった。さらに、振動子と可動体と
を相対移動可能に保持するベアリング機構やリニアガイ
ドが必要となり、さらに押圧の手段も必要となるため、
比較的複雑な構造となっていた。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、低電圧駆動でありながら振動子の共振周波数以外で
も駆動可能な超音波振動子と、この振動子を用いた比較
的簡単な構造のアクチュエータを提供することを目的と
する。
で、低電圧駆動でありながら振動子の共振周波数以外で
も駆動可能な超音波振動子と、この振動子を用いた比較
的簡単な構造のアクチュエータを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に係る本発明の超音波アクチュエータでは、
基体部と、該基体部に伸縮方向が同一平面内にあるよう
に固定された複数個の積層圧電素子と、該積層圧電素子
の基体部との固定端とは別の端である伸縮端に固定さ
れ、基体部を覆う閉じた枠状の弾性体とからなる振動子
が、これと相対移動するガイド部と摩擦接触することを
特徴としている。
に請求項１に係る本発明の超音波アクチュエータでは、
基体部と、該基体部に伸縮方向が同一平面内にあるよう
に固定された複数個の積層圧電素子と、該積層圧電素子
の基体部との固定端とは別の端である伸縮端に固定さ
れ、基体部を覆う閉じた枠状の弾性体とからなる振動子
が、これと相対移動するガイド部と摩擦接触することを
特徴としている。
【０００６】この場合、振動子に対して相対移動するガ
イド部は、平行な平面、または等間隔な平面、あるいは
筒状曲面とすることができる。
イド部は、平行な平面、または等間隔な平面、あるいは
筒状曲面とすることができる。
【０００７】そして、この超音波アクチュエータを駆動
するためには、複数の圧電素子に位相の異なる交流電圧
を印加したり、複数の圧電素子が同一タイミングで急速
な伸張または縮小と、緩やかな伸張または縮小とを繰り
返すような電圧を印加すればよい。
するためには、複数の圧電素子に位相の異なる交流電圧
を印加したり、複数の圧電素子が同一タイミングで急速
な伸張または縮小と、緩やかな伸張または縮小とを繰り
返すような電圧を印加すればよい。
【０００８】
【作用】上記構成からなる本発明の超音波アクチュエー
タ及びその駆動方法では、弾性体の頂点部に楕円振動を
起こすために、積層圧電素子の伸縮による水平方向の動
きと、同伸縮により励起される弾性体のたわみによる積
層圧電素子の伸縮と直角方向の動きとを合成する。ここ
で、積層圧電素子を用いたので、数１０Ｖの低電圧でも
駆動に十分な変位（数百ｎｍ〜数μｍ）が得られる。し
かも、必ずしも振動子の共振周波数でなくともアクチュ
エータの駆動が可能となる。さらに、振動子の周囲に設
けた弾性体の弾性を利用してガイド部に押圧が可能とな
る。そして、たとえ押圧力が不足しても圧電素子の急速
変形による反作用力を利用してアクチュエータを駆動す
ることができる。
タ及びその駆動方法では、弾性体の頂点部に楕円振動を
起こすために、積層圧電素子の伸縮による水平方向の動
きと、同伸縮により励起される弾性体のたわみによる積
層圧電素子の伸縮と直角方向の動きとを合成する。ここ
で、積層圧電素子を用いたので、数１０Ｖの低電圧でも
駆動に十分な変位（数百ｎｍ〜数μｍ）が得られる。し
かも、必ずしも振動子の共振周波数でなくともアクチュ
エータの駆動が可能となる。さらに、振動子の周囲に設
けた弾性体の弾性を利用してガイド部に押圧が可能とな
る。そして、たとえ押圧力が不足しても圧電素子の急速
変形による反作用力を利用してアクチュエータを駆動す
ることができる。
【０００９】以下、添付図面を参照して本発明に係る超
音波アクチュエータ及びその駆動方法のいくつかの実施
例を説明する。
音波アクチュエータ及びその駆動方法のいくつかの実施
例を説明する。
【００１０】
【実施例１】まず、本発明の実施例１を説明する。図１
は超音波アクチュエータを示す図である。図示の通りこ
の振動子では、ステンレス等からなる基体部１１に２つ
の積層圧電素子１２ａ、１２ｂを接着し、同積層圧電素
子１２ａ、１２ｂの他端には燐青銅等の弾性体からなる
枠部１３を接着固定した。そして、枠部１３にはハード
アルマイトからなる耐摩耗材１４を接着し、この耐摩耗
材１４が、アルミナセラミックス等からなる平行なガイ
ド部１５の内面に摩擦接触する状態で、振動子を配置す
る。なお、このとき枠部１３の弾性力により振動子はガ
イド部１５に押圧されている。
は超音波アクチュエータを示す図である。図示の通りこ
の振動子では、ステンレス等からなる基体部１１に２つ
の積層圧電素子１２ａ、１２ｂを接着し、同積層圧電素
子１２ａ、１２ｂの他端には燐青銅等の弾性体からなる
枠部１３を接着固定した。そして、枠部１３にはハード
アルマイトからなる耐摩耗材１４を接着し、この耐摩耗
材１４が、アルミナセラミックス等からなる平行なガイ
ド部１５の内面に摩擦接触する状態で、振動子を配置す
る。なお、このとき枠部１３の弾性力により振動子はガ
イド部１５に押圧されている。
【００１１】次に、この振動子の動作を図２により説明
する。以下、図２（ａ）に示す如く、２つの圧電素子の
自然長をそれぞれｌ 1、ｌ 2とする。圧電素子に電圧を
印加して、図２（ｂ）に示すように、 （ｌ1 ＋Δｌ1 ）＋（ｌ2 ＋Δｌ2 ）＞（ｌ1 ＋ｌ2 ） の状態に変位すると、枠部は圧電素子の変位方向と垂直
方向に縮小する。同様に、図２（ｃ）に示すように、 （ｌ1 −Δｌ1 ）＋（ｌ2 −Δｌ2 ）＜（ｌ1 ＋ｌ2 ） の状態に変位すると、枠部は圧電素子の変位方向と垂直
方向に伸張する。また、図２（ｄ）に示すように、 （ｌ1 −Δｌ1 ）＋（ｌ2 ＋Δｌ2 ） の状態に変位すると、枠全体が図の右方向に変位する。
同様に、図２（ｅ）に示すように、 （ｌ1 ＋Δｌ1 ）＋（ｌ2 −Δｌ2 ） の状態に変位すると、枠全体が図の左方向に変位する。
する。以下、図２（ａ）に示す如く、２つの圧電素子の
自然長をそれぞれｌ 1、ｌ 2とする。圧電素子に電圧を
印加して、図２（ｂ）に示すように、 （ｌ1 ＋Δｌ1 ）＋（ｌ2 ＋Δｌ2 ）＞（ｌ1 ＋ｌ2 ） の状態に変位すると、枠部は圧電素子の変位方向と垂直
方向に縮小する。同様に、図２（ｃ）に示すように、 （ｌ1 −Δｌ1 ）＋（ｌ2 −Δｌ2 ）＜（ｌ1 ＋ｌ2 ） の状態に変位すると、枠部は圧電素子の変位方向と垂直
方向に伸張する。また、図２（ｄ）に示すように、 （ｌ1 −Δｌ1 ）＋（ｌ2 ＋Δｌ2 ） の状態に変位すると、枠全体が図の右方向に変位する。
同様に、図２（ｅ）に示すように、 （ｌ1 ＋Δｌ1 ）＋（ｌ2 −Δｌ2 ） の状態に変位すると、枠全体が図の左方向に変位する。
【００１２】以上のことから、図３（ａ）に示すよう
に、２つの圧電素子に位相の異なる正弦波電圧を印加す
れば、両電圧の差が圧電素子の伸縮方向の成分の振動と
なり、両電圧の和が圧電素子の伸縮方向に対して垂直な
成分の振動となる。従って、振動方向が互いに直交し、
かつ位相のずれた２つの振動が同時に発生し、これらが
合成されて、図１の枠部１３の耐摩耗材１４の位置に楕
円振動を発生させることができる。そして、位相差を変
化させると、図３（ｂ）に示すように、楕円振動の縦横
比を変化させることができる。この楕円振動に、振動子
に対し相対移動可能なガイド部を摩擦接触させると、振
動子に対しガイド部が相対移動する。
に、２つの圧電素子に位相の異なる正弦波電圧を印加す
れば、両電圧の差が圧電素子の伸縮方向の成分の振動と
なり、両電圧の和が圧電素子の伸縮方向に対して垂直な
成分の振動となる。従って、振動方向が互いに直交し、
かつ位相のずれた２つの振動が同時に発生し、これらが
合成されて、図１の枠部１３の耐摩耗材１４の位置に楕
円振動を発生させることができる。そして、位相差を変
化させると、図３（ｂ）に示すように、楕円振動の縦横
比を変化させることができる。この楕円振動に、振動子
に対し相対移動可能なガイド部を摩擦接触させると、振
動子に対しガイド部が相対移動する。
【００１３】また、本実施例の超音波アクチュエータは
楕円振動以外の駆動方法をとることもできる。すなわ
ち、図４（ａ）に示すように、２つの圧電素子が伸張す
るような電圧（Ｖa ，Ｖb ）を印加すると、図２（ｂ）
に示す原理により、耐摩耗材とガイド部との接触圧が減
少して摩擦力を低減することができる。この状態で、一
方の圧電素子を急速縮小し他方の圧電素子を急速伸張す
ると、図４（ｂ）に示すように質量ｍ（基体部）が矢印
α方向に急速に移動し、この反作用が振動子の静止摩擦
力より大きくなって、振動子全体が矢印βの方向に移動
する。その後、圧電素子の変位を緩やかに戻せば、振動
子は静止したまま質量ｍ（基体部）のみが移動する。こ
こで、２つの圧電素子の伸張、縮小を逆にすれば振動子
の移動方向を逆にすることができる。以上を繰り返せ
ば、図４（ｃ）に示すように、振動子とガイド部はステ
ップ状に相対移動する。この駆動方法は特にガイド部と
の接触圧が不足して楕円振動による駆動ができない場合
に有効である。
楕円振動以外の駆動方法をとることもできる。すなわ
ち、図４（ａ）に示すように、２つの圧電素子が伸張す
るような電圧（Ｖa ，Ｖb ）を印加すると、図２（ｂ）
に示す原理により、耐摩耗材とガイド部との接触圧が減
少して摩擦力を低減することができる。この状態で、一
方の圧電素子を急速縮小し他方の圧電素子を急速伸張す
ると、図４（ｂ）に示すように質量ｍ（基体部）が矢印
α方向に急速に移動し、この反作用が振動子の静止摩擦
力より大きくなって、振動子全体が矢印βの方向に移動
する。その後、圧電素子の変位を緩やかに戻せば、振動
子は静止したまま質量ｍ（基体部）のみが移動する。こ
こで、２つの圧電素子の伸張、縮小を逆にすれば振動子
の移動方向を逆にすることができる。以上を繰り返せ
ば、図４（ｃ）に示すように、振動子とガイド部はステ
ップ状に相対移動する。この駆動方法は特にガイド部と
の接触圧が不足して楕円振動による駆動ができない場合
に有効である。
【００１４】以上の構成からなる本実施例によれば、リ
ニアガイドや特別な押圧機構を必要とすることがなく、
従って、比較的低価格にリニアアクチュエータを構成す
ることができる。
ニアガイドや特別な押圧機構を必要とすることがなく、
従って、比較的低価格にリニアアクチュエータを構成す
ることができる。
【００１５】なお、枠部には、図５（ａ）に示すような
ヒンジを設けたり、図５（ｂ）に示すような溝を設け
て、枠部をたわみやすくしてもよい。また、この楕円振
動は振動子の２箇所の耐摩耗材に発生するので、ガイド
部は図１の平行レールに限られず、図５（ｃ）のような
円筒状としてもよい。そして円筒の場合には円筒内での
回転を防ぐために溝を設けるとよい。
ヒンジを設けたり、図５（ｂ）に示すような溝を設け
て、枠部をたわみやすくしてもよい。また、この楕円振
動は振動子の２箇所の耐摩耗材に発生するので、ガイド
部は図１の平行レールに限られず、図５（ｃ）のような
円筒状としてもよい。そして円筒の場合には円筒内での
回転を防ぐために溝を設けるとよい。
【００１６】
【実施例２】次に、本発明の実施例２を説明する。図６
は超音波アクチュエータを示す図である。図示の通りこ
の振動子では、ステンレス等からなる基体部２１に２つ
の積層圧電素子２２ａ、２２ｂを接着し、同積層圧電素
子２２ａ、２２ｂの他端には燐青銅等の弾性体からなる
枠部２３を接着固定した。ここで枠部２３は、実施例１
とは異なり、４方向から基体部２１及び積層圧電素子２
２ａ、２２ｂを覆うように設けられている。そして、枠
部２３にはアルミナセラミックスからなる耐摩耗材２４
を接着し、この耐摩耗材２４が、ハードアルマイト等か
らなる円筒状のガイド部２５の内面に摩擦接触する状態
で、振動子を配置する。このガイド部２５の内面の接触
部には振動子の円周方向の回転を規制し、ひねりの動作
を加えるために図６（ｃ）に示すような螺旋状の溝が形
成されている。なお、このとき枠部２３の弾性力により
振動子はガイド部２５に押圧されている。本実施例で
も、実施例１と同様の原理により振動子とガイド部とが
相対移動する。
は超音波アクチュエータを示す図である。図示の通りこ
の振動子では、ステンレス等からなる基体部２１に２つ
の積層圧電素子２２ａ、２２ｂを接着し、同積層圧電素
子２２ａ、２２ｂの他端には燐青銅等の弾性体からなる
枠部２３を接着固定した。ここで枠部２３は、実施例１
とは異なり、４方向から基体部２１及び積層圧電素子２
２ａ、２２ｂを覆うように設けられている。そして、枠
部２３にはアルミナセラミックスからなる耐摩耗材２４
を接着し、この耐摩耗材２４が、ハードアルマイト等か
らなる円筒状のガイド部２５の内面に摩擦接触する状態
で、振動子を配置する。このガイド部２５の内面の接触
部には振動子の円周方向の回転を規制し、ひねりの動作
を加えるために図６（ｃ）に示すような螺旋状の溝が形
成されている。なお、このとき枠部２３の弾性力により
振動子はガイド部２５に押圧されている。本実施例で
も、実施例１と同様の原理により振動子とガイド部とが
相対移動する。
【００１７】以上の構成からなる本実施例によれば、ア
クチュエータが直進するときに同時にひねりが加わる。
このとき実施例１と比較して、振動子が４方向からガイ
ド部に接触しており、振動子がねじれ方向の力に対して
強いという利点がある。
クチュエータが直進するときに同時にひねりが加わる。
このとき実施例１と比較して、振動子が４方向からガイ
ド部に接触しており、振動子がねじれ方向の力に対して
強いという利点がある。
【００１８】
【実施例３】次に、本発明の実施例３を説明する。図７
は超音波アクチュエータを示す図である。図示の通りこ
の振動子では、ステンレス等からなる基体部３１に４つ
の積層圧電素子３２ａ〜３２ｄを接着し、同積層圧電素
子３２ａ〜３２ｄの他端には燐青銅等の弾性体からなる
枠部３３を接着固定した。そして、枠部３３にはアルミ
ナセラミックスからなる耐摩耗材３４を接着し、この耐
摩耗材３４が、図７（ｃ）に示すアルミナセラミックス
等からなる平行平面のガイド部３５の内面に摩擦接触す
る状態で、振動子を配置する。なお、このとき枠部３３
の弾性力により振動子はガイド部３５に押圧されてい
る。本実施例でも、実施例１と同様の原理により振動子
とガイド部とが相対移動する。
は超音波アクチュエータを示す図である。図示の通りこ
の振動子では、ステンレス等からなる基体部３１に４つ
の積層圧電素子３２ａ〜３２ｄを接着し、同積層圧電素
子３２ａ〜３２ｄの他端には燐青銅等の弾性体からなる
枠部３３を接着固定した。そして、枠部３３にはアルミ
ナセラミックスからなる耐摩耗材３４を接着し、この耐
摩耗材３４が、図７（ｃ）に示すアルミナセラミックス
等からなる平行平面のガイド部３５の内面に摩擦接触す
る状態で、振動子を配置する。なお、このとき枠部３３
の弾性力により振動子はガイド部３５に押圧されてい
る。本実施例でも、実施例１と同様の原理により振動子
とガイド部とが相対移動する。
【００１９】以上の構成からなる本実施例によれば、４
つの圧電素子の振動を合成することにより、振動子に発
生する楕円振動の向きを３６０゜任意に変えることがで
きる。これにより振動子とガイド部との相対運動の方向
を任意に変更できる２次元動作のアクチュエータを得る
ことができる。
つの圧電素子の振動を合成することにより、振動子に発
生する楕円振動の向きを３６０゜任意に変えることがで
きる。これにより振動子とガイド部との相対運動の方向
を任意に変更できる２次元動作のアクチュエータを得る
ことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、低
電圧駆動でありながら振動子の共振周波数以外でも駆動
可能な超音波振動子と、この振動子を用いた比較的簡単
な構造のリニアまたは２次元動作のアクチュエータを提
供することができる。
電圧駆動でありながら振動子の共振周波数以外でも駆動
可能な超音波振動子と、この振動子を用いた比較的簡単
な構造のリニアまたは２次元動作のアクチュエータを提
供することができる。
【図１】本発明の超音波アクチュエータの実施例１を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の超音波アクチュエータの作用を説明す
るための図である。
るための図である。
【図３】本発明の超音波アクチュエータの請求項３に係
る駆動方法を説明するための図である。
る駆動方法を説明するための図である。
【図４】本発明の超音波アクチュエータの請求項４に係
る駆動方法を説明するための図である。
る駆動方法を説明するための図である。
【図５】実施例１の超音波アクチュエータの他の実施態
様を示す図である。
様を示す図である。
【図６】本発明の超音波アクチュエータの実施例２を示
す図である。
す図である。
【図７】本発明の超音波アクチュエータの実施例３を示
す図である。
す図である。
【図８】従来の超音波振動子を示す斜視図である。
【図９】従来の超音波振動子の結線回路を示す図であ
る。
る。
【図１０】従来の超音波振動子の屈曲振動を説明する図
である。
である。
【図１１】従来の超音波振動子の上下振動を説明する図
である。
である。
【図１２】従来の超音波振動子の楕円振動を説明する図
である。
である。
【図１３】従来の超音波振動子を用いた２次元アクチュ
エータを示す模式図である。
エータを示す模式図である。
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ 圧電素子 ２ 弾性体 ３ 積層圧電素子 ４ 突起部 ５ 振動子 ６ 可動体 １１，２１，３１ 基体部 １２ａ，１２ｂ，２２ａ，２２ｂ 積層圧電素子 ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ 積層圧電素子 １３，２３，３３ 枠部 １４，２４，３４ 耐摩耗材 １５，２５，３５ ガイド部
Claims (4)
- 【請求項１】 基体部と、該基体部に伸縮方向が同一平
面内にあるように固定された複数個の積層圧電素子と、
該積層圧電素子の基体部との固定端とは別の端である伸
縮端に固定され、基体部を覆う閉じた枠状の弾性体とか
らなる振動子が、これと相対移動するガイド部と摩擦接
触することを特徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の超音波アクチュエータに
おいて、振動子に対し相対移動するガイド部が、平行な
平面、または等間隔な平面、あるいは筒状曲面であるこ
とを特徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項３】 複数の圧電素子に位相の異なる交流電圧
を印加することを特徴とする請求項１又は２記載の超音
波アクチュエータの駆動方法。 - 【請求項４】 複数の圧電素子が同一タイミングで急速
な伸張または縮小と、緩やかな伸張または縮小とを繰り
返すような電圧を印加することを特徴とする請求項１又
は２記載の超音波アクチュエータの駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4207200A JPH0638559A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 超音波アクチュエータ及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4207200A JPH0638559A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 超音波アクチュエータ及びその駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0638559A true JPH0638559A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16535902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4207200A Withdrawn JPH0638559A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 超音波アクチュエータ及びその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638559A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009038901A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 圧電モータおよびカメラ装置 |
| JP2018037450A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| CN110587387A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-12-20 | 南昌大学 | 一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置 |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP4207200A patent/JPH0638559A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009038901A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 圧電モータおよびカメラ装置 |
| JP2018037450A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| CN110587387A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-12-20 | 南昌大学 | 一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |