JPH05316756A

JPH05316756A - 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置

Info

Publication number: JPH05316756A
Application number: JP3071803A
Authority: JP
Inventors: Tomoki Funakubo; 朋樹舟窪
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1991-04-04
Filing date: 1991-04-04
Publication date: 1993-11-26

Abstract

(57)【要約】【目的】設計、製作が容易で、コンパクトな超音波振動
子およびこの振動子を有する駆動装置を提供することを
目的とする。【構成】圧電素子２５が設けられ第１の方向ｍに振動可
能な弾性体２３と、この弾性体２３に板状の圧電素子２
８を前記弾性体２３の振動する方向ｍに複数枚積層、固
定させ、第１の方向ｍと直交する第２の方向ｌに振動可
能な積層体２７と、を具備した超音波振動子である。前
記両振動を制御することにより超音波楕円振動を行う突
起体３１にスライダ３５を接触させて、このスライダ３
５を矢印方向に駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子等の電気・機
械変換素子を振動源として用いた超音波振動子およびこ
の振動子を有する駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、電磁型モータに代わる新しいモー
タとして超音波モータが脚光を浴びている。この超音波
モータは原理的に新しいというだけでなく、従来のモー
タに比べて次のような利点を有している。（１）薄型、軽量、コンパクトである。（２）ギヤなしで低速・高トルクが得られる。（３）部品構成が単純で信頼性が高い。（４）磁気的影響の授受がない。（５）バックラッシュがなく位置決めが容易である。

【０００３】かくしてこれらの利点を生かすべく、種々
の応用技術の研究が進められている。超音波モータは大
きく回転型とリニア型に分けられる。図１３〜図１６は
リニア型の超音波モータの従来例を示す図である。

【０００４】図１３は第１の従来例を示す図である。図
中左側のランジュバン型圧電振動子１を振動させて、ホ
ーン２の先端を弾性体からなる伝搬棒３につきあてる
と、伝搬棒３には屈曲進行波が発生する。この屈曲進行
波は実線矢印Ｄで示すように伝搬棒３を右方向に伝搬し
て行く。そしてこの進行波は伝搬棒３の右端につきあて
られている同様なホーン４を介してランジュバン型圧電
振動子５を励振させる。この時、図のＬとＲとを適当に
選択してインピーダンスマッチングさせ、上記進行波の
エネルギーをすべて吸収させる。こうすると上記進行波
は常に定常的に左方から右方に進むことになる。

【０００５】さてこのような屈曲進行波の生じている伝
搬棒３の表面にスライダ６をある一定の押圧力で圧接保
持させると、スライダ６は実線矢印Ｈで示すように図中
左方向へと移動していく。

【０００６】図１４は上記伝搬棒３の屈曲進行波とスラ
イダ６との関係を模式的に示す斜視図である。なお、図
中３Ａは伝搬棒３に相当する弾性体、６Ａはスライダ６
に相当する移動体である。図１４に示すように弾性体３
Ａの質点Ｐは楕円軌跡を描いている。従ってこの図中左
回りの楕円軌道を描いている弾性体３Ａの上に移動体６
Ａを所定圧力で圧接させると、移動体６Ａはその進行波
の進行方向Ｄとは逆方向すなわち図中左方向に駆動され
る。なお進行波の伝搬方向を逆にすれば、移動体６Ａは
図中右方向へ駆動される。

【０００７】図１５は他の従来例の構成を示す図であ
る。ランジュバン型振動子７の先端には振動片８が取付
けられている。そして、上記振動体８の先端がスライダ
６Ｂに対し、このスライダ６Ｂの面の法線に対して所定
の角度θだけ傾斜した状態で、一定の押圧力で接触して
いる。このランジュバン型振動子７に対して交流電源９
からランジュバン型振動子の固有振動数と同一の周波数
の交流電圧を印加すると、ランジュバン型振動子７は縦
振動を行う。このとき振動片８の先端がスライダ６Ｂに
所定角度θで当接していることから、横振動をも行う。
これらの振動の合成により振動片８の先端は楕円軌跡を
描く。かくしてスライダ６Ｂは図中矢印で示すように左
の方向に移動する。

【０００８】図１６はさらに別の従来例を示す図で、特
開昭６２−１３４２７８号により開示された振動子の構
成を示している。矩形状をなす導電性の振動子１０の両
面には圧電素子１１，１２が接着されている。この圧電
素子１１，１２からは電圧印加用のリード端子Ａ，Ｂが
引き出されており、振動子１０からは、接地端子Ｅが引
き出されている。振動子１０の形状は、この振動子１０
の縦振動の共振周波数とたわみ振動の共振周波数とが一
致するような形状となっている。かくして上記リード端
子Ａ，Ｂに上記共振周波数を有する交流電圧を一定の位
相差をもって印加すると、振動子１０の端面Ｓの質点が
楕円運動を行う。そこでスライダ６Ｃを上記端面Ｓに対
して一定の圧力で押圧すると、このスライダ６Ｃは図中
矢印ＨＨの方向に移動する。この移動方向は端子Ａと端
子Ｂとに印加する電圧の位相差により決定される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】図１３〜図１６に示し
た超音波モータは、振動子の質点における楕円軌跡運動
のエネルギーを移動体（スライダ）へ摩擦により伝達す
ることを基本原理としている。

【００１０】図１３に示した第１の従来例では、伝搬棒
３の全体に進行波を発生させなければならないため、効
率が悪い上、装置全体が大型化してしまうという問題が
あった。

【００１１】また、図１５に示した第２の従来例では、
スライダ６Ｂの進行方向が一方向に限定される上、第１
の従来例と同様に装置全体が大型化してしまうという問
題があった。

【００１２】さらに、図１６に示す第３の従来例では振
動子１０の両面に接着した圧電素子１１と１２とで振動
出力を得るものであるため、スライダ６Ｃを移動するた
めの大きな力を確保することが困難である。より大きな
振動出力を得るべく上記振動子１０の側面に接着する圧
電素子１１，１２の枚数を増やすと、その分だけ装置が
大型化してしまうという欠点があった。また、この従来
例は振動子１０の縦振動とたわみ振動とを合成して楕円
振動を発生させようとするものであるが、両振動がいず
れも共振状態でないと大きな出力が得られない。よって
縦振動の共振周波数とたわみ振動の共振周波数を一致さ
せる必要がある。このために、トライアンドエラーで振
動子１０の形状を決めていかねばならず、大きな労力を
要し、製作が容易でないという問題があった。

【００１３】本発明の目的は、コンパクトでエネルギー
変換効率が良く、しかも大きな振動出力を取出すことが
でき、リニアモータとして用いた場合に駆動対象物を可
逆的に移動可能である上、設計上の制約が少なく、製作
容易な超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置
を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の超音波振動子は、圧電素子が設けられ第１の
方向に振動可能な弾性体と、この弾性体に板状の圧電素
子を前記弾性体の振動する方向に複数枚積層、固定さ
せ、第１の方向と直交する第２の方向に振動可能な積層
体と、前記第１の方向の振動および第２の方向の振動を
制御する手段とを有することを特徴としている。

【００１５】さらに、前記課題を解決するために本発明
の駆動装置は、前記超音波振動子と、この超音波振動子
に形成され楕円運動を果たす少なくとも１つの突起部材
と、この突起部材に押圧接触される可動部材と、を有
し、この可動部材を任意の平面方向に移動させるように
構成したことを特徴としている。

【００１６】

【作用】弾性体の側面に貼付された圧電素子に、接合さ
れた超音波振動子のもつ屈曲共振周波数と同じ周波数ｆ
r と同じ周波数の交番電圧を印加し、共振屈曲振動を発
生させる。それと共に、同じ周波数ｆr の交番電圧を圧
電積層体に印加し、超音波振動子に非共振の縦振動を発
生させる。弾性体の側面に貼付された圧電素子に印加す
る交番電圧の位相および圧電積層体に印加する交番電圧
の位相について適当に位相差をつけることで、突起台に
ある突起体が超音波楕円振動を行う。その楕円振動を左
回転、又は右回転となるように調整し、その突起体に圧
接させた移動体をスライドさせる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に沿って具
体的に説明する。（第１実施例）

【００１８】図１（ａ）は本発明に係る超音波振動子２
０の構成を示す側面図、（ｂ）はその平面図である。符
号２３は矩形で薄い平板状に構成された弾性体を示す。
この弾性体２３はステンレス鋼、リン青銅、アルミニウ
ム等の金属材料によって構成されている。また弾性体２
３は、その端部において、取付台２１上に接着、固定さ
れている。弾性体２３の上下面には、それぞれ矩形板状
のＰＺＴ等の圧電セラミックス（圧電素子）２５がエポ
キシ系の接着剤により接着されている。弾性体２３の前
記取付台２１と反対側の端面には、長手方向に向けてＰ
ＺＴ等の圧電セラミックス板２８を数枚〜数百枚積層さ
せた圧電積層体２７が接着されている。圧電積層体２７
を構成する圧電セラミックス板２８は、分極方向が交互
に逆になるように、エポキシ等の接着剤によって積層さ
れている。

【００１９】弾性体２３に接着された圧電セラミックス
２５の表面は、例えば焼き付け銀によって電極処理が施
されており、圧電セラミックス２５はあらかじめ分極さ
れている。その分極方向は、両面の圧電セラミックスと
も図の上向き（または両面の圧電セラミックスとも図の
下向き）となっている。圧電セラミックス２５の各電極
面からは、電気端子Ａが取出されており、前記圧電積層
体２７からは電気端子Ｂが取出されている。この電気端
子Ｂの＋端子に正電圧を印加すると、圧電積層体２７は
伸びるように設計されている。また、弾性体２３はその
端部において接地されている。

【００２０】さらに、圧電積層体２７の長手方向の端面
には、ステンレス等の金属材料からなる突起台２９が接
着されている。この突起台２９の上面には、弾性体２
３、圧電積層体２７、突起台２９の接着方向と直交する
方向に半球状の突起体３１が突設されており、この突起
体３１は突起台２９と一体的に形成されている。この突
起体３１は熱処理硬化により、耐磨耗性を上げている。
なお図１の構成において、弾性体２３と圧電積層体２９
との接合は、図１とは逆の順序であっても良い。

【００２１】前記突起体３１の表面には、板状のスライ
ダ３５が一定の押圧力をもって、矢印方向に移動可能に
接触している。これは、例えば、図示していないコロと
ばねとを備えた押圧機構によって構成することができ
る。すなわち、スライダ３５を下向きに付勢するばねと
スライダとの間にコロを配置することにより、スライダ
３５は突起体３１に対して移動可能に接触することがで
きる。なお、このスライダ３５は、アルミニウムの表面
にアルマイト処理が施されたものである。次に、この超
音波振動子２０およびこの振動子を有する駆動装置の作
用について説明する。

【００２２】弾性体２３に貼付された圧電セラミックス
２５の電気端子Ａに、この超音波振動子の屈曲振動の共
振周波数と同一の周波数の交番電圧を印加し、超音波振
動子にｌ方向の振動を発生させる。一方、圧電積層体２
７の電気端子Ｂに、それと同一周波数の交番電圧を印加
することで、ｍ方向の振動を発生させる。この振動は、
非共振振動である。この場合、両電圧の位相差を適当に
とることによって、前記突起体３１は図２（ａ）〜
（ｄ）に示すような振動を行う。

【００２３】前述したように、突起体３１にはスライダ
３５が接触している。突起体３１が図２（ｂ）に示すよ
うな振動を行っているときは、スライダ３５は図の右側
に移動し、図２（ｄ）に示すような振動を行っていると
きは、スライダ３５は図の左側に移動する。すなわち、
この実施例によれば、リニアアクチュエータとして非常
に薄い形状のものを得ることができる。（第２実施例）図３乃至図５を基にして、本発明の第２
の実施例を説明する。

【００２４】図３は超音波振動子の構成を示す側面図で
ある。なお以下の実施例において、第１の実施例と同一
の部分は同一の符号を付しその説明を省略する。第１の
実施例に対しての相違点は、弾性体２３の一部（弾性体
２３の下面の一部）に、その振動を検出するフィードバ
ック用のＰＺＴ等の圧電セラミックス２６が、エポキシ
系接着剤により接着されている点である。この圧電セラ
ミックス２６の表面もまた、焼き付け銀等によって電極
処理が施されており、その電極からはフィードバック用
電気端子Ｆが取出されている。超音波振動子２０の屈曲
振動の状態（振幅、位相）はフィードバック用圧電素子
２６で検出され、その振動が最適となるように駆動回路
にフィードバックをかけるように構成されている。

【００２５】図４に、本発明に係る超音波振動子２０を
駆動する駆動回路に、フィードバックをかける構成の一
例を示す。フィードバック端子からの出力は、まず、増
幅器で増幅される。増幅器の出力電圧は整流回路４１に
より整流され、その振動（屈曲振動）の振幅に比例した
フィードバック電圧が、発振回路４２にフィードバック
される。この発信回路４２は、その発振周波を常に変化
させ、先のフィードバック電圧が最大となるように発振
周波数を設定する。つまり、屈曲振動の振幅が常に最大
となる周波数で屈曲振動が行われる。一方、フィードバ
ック電圧は発振電圧信号と共に位相検出回路４３に入力
され、ここでその位相差が検出される。その位相差信号
は移相回路４４に入力され、ここでは、フィードバック
電圧の位相とＢ端子に印加される電圧信号の位相との位
相差が、＋９０°または−９０°になるように調整され
る。圧電積層体２７は、非共振振動であるから、入力電
圧とほぼ同位相で振動する。よって、突起体３１は、時
計回り、または半時計回りの超音波楕円運動を行うこと
になる。

【００２６】図５に、図４に示した駆動回路とは別の例
の駆動回路を示す。フィードバック端子からの出力は、
まず増幅器で増幅され、その電圧は発振回路４２ａから
の発振電圧信号と共に位相検出回路４３ａに入力され
る。そして、両者の位相差が検出される。その位相差信
号は発振回路４２ａにフィードバックされる。この発振
回路４２ａは、その発振周波数を常に変化させ、屈曲振
動が常に共振状態であるように、先の位相差を常に一定
に（例えば９０°）とすべく、発振周波数を調整する。
一方、位相差信号は、移相回路４４ａに入力され、フィ
ードバック電圧の位相とＢ端子に印加される電圧信号の
位相との位相差が、＋９０°又は−９０°になるように
調整される。この結果、突起体３１は、時計回り、又は
半時計回りの超音波楕円運動を行うことになる。（第３実施例）

【００２７】図６は、超音波振動子の第３の実施例の構
成を示す側面図である。第１の実施例と異なり、弾性体
２３の断面形状と積層体２７の断面形状が異なるように
構成されている。このように構成しても、第１の実施例
と同一の効果を得ることができる。なお、この図におい
ては端子、スライダは省略されている。（第４実施例）

【００２８】図７（ａ）および（ｂ）は、超音波振動子
の第４の実施例の構成を示す側面図および平面図であ
る。この実施例は、前記第１の実施例で説明した超音波
振動子を２ヶ直列に接続して構成されている。ただし、
それぞれの超音波振動子２０ａ，２０ｂは第１の実施例
と異なり、圧電積層体と弾性体の接合順序が逆になって
いる。２つの超音波振動子２０ａ，２０ｂを接続する固
定部材３０は、ステンレス鋼等の金属部材から形成され
ており、取付台２１に接着固定されている。超音波振動
子２０ａの圧電積層体２７ａは図中ｂ方向に振動し、弾
性体２３ａは図中ａ方向に振動する。超音波振動子２０
ｂの圧電積層体２７ｂは図中ｄ方向に振動し、弾性体２
３ｂは図中ｃ方向に振動する。かくして、それぞれの突
起体３１ａ，３１ｂは、超音波楕円振動を行うことがで
きる。

【００２９】次に、この超音波振動子およびこれを用い
た駆動装置の作用について説明する。第１の実施例に述
べた駆動方法によって、左突起体３１ａおよび右突起体
３１ｂに、それぞれ同様な時計回り、又は半時計回りの
超音波楕円振動を生じさせる。この場合、第１の実施例
と同様に、突起体３１ａ，３１ｂの表面に板状のスライ
ダ３５を一定の押圧力をもって矢印方向に移動可能に接
触させる。すると、それぞれの突起体３１ａ，３１ｂの
楕円運動により、スライダ３５は矢印方向に移動するこ
とができる。

【００３０】あるいは以下のようにすることも考えられ
る。スライダ３５を左方向へ移動させる場合は、左突起
体３１ａに半時計回りの超音波楕円振動を生じさせ、か
つ右突起体３１ｂには、右弾性体２３ｂに貼付した圧電
素子２５ｂにのみ電圧を印加して、図のｃ方向の移動の
みを発生させる。スライダ３５を右方向へ移動させる場
合は、右突起体３１ｂに時計回りの超音波楕円振動を生
じさせ、かつ左突起体３１ａには、左弾性体２３ａに貼
付した圧電素子２５ａにのみ電圧を印加して、図のａ方
向の移動のみを発生させる。このようにスライダ３５を
駆動する場合、振動子としてのパワーは小さくなるもの
の、積層体２７ａ，２７ｂに引張力が働かないために、
超音波振動子の耐久性を向上させることができる。（第５実施例）

【００３１】図８は、超音波振動子の第５の実施例の構
成を示す平面図である。この実施例は、前記第１の実施
例で説明した超音波振動子を４ヶ用いて構成されてお
り、それぞれの超音波振動子２０ａ〜２０ｄが固定部材
３０ａを介して９０°をなす角度で配置されている。こ
の超音波振動子の紙面上方には、図示していないスライ
ダがある一定の押圧力で圧接されるようになっている。

【００３２】この図示していないスライダを図中左右方
向に移動させる場合は、振動子２０ａと振動子２０ｂを
用いて、第４実施例で説明したようにスライダを駆動さ
せる。この場合、振動子２０ｃ，２０ｄは、共に屈曲振
動されている状態にある。また、図示していないスライ
ダを図中上下方向に移動させる場合は、振動子２０ｃと
振動子２０ｄを用いて、第４実施例で説明したようにス
ライダを駆動させる。この場合、振動子２０ａ，２０ｂ
は、共に屈曲振動されている状態にある。さらに、振動
子２０ａ〜２０ｄを用いて、それぞれの超音波振動の振
幅を調整すれば、図示していないスライダを紙面内で２
次元的に移動させることが可能になる。（第６実施例）

【００３３】図９（ａ）および（ｂ）は、超音波振動子
の第６の実施例の構成を示す側面図および正面図であ
る。この実施例は、圧電積層体２７、弾性体２３が共に
直方体状に構成されており、これらが接着されている。
そして、弾性体２３の先端部分のすべての外面には
（ｂ）に示すように、それぞれ突起体３１ａ〜３１ｅが
形成されている。また、弾性体２３の各面には圧電素子
２５が貼付されている。前述した説明でも明らかなよう
に、どの突起体にも超音波楕円振動を発生させることが
可能であり、スライダを必要な突起体に圧接させること
で、それぞれの突起体に対応する面内でスライダを移動
させることが可能になる。すなわち、その分適用範囲が
広がることになる。（第７実施例）図１０は、超音波振動子の第７の実施例
の構成を示す斜視図である。

【００３４】この実施例は、薄い円板状に形成されたＰ
ＺＴ等の圧電セラミックス２８を、分極方向が交互に逆
になるように、数枚〜数十枚重ねた圧電積層体２７を有
している。この圧電積層体２７の上端には、同一形状の
弾性体２４が固定されている。この弾性体２４の上面ほ
ぼ中央部には、直方体状に形成された弾性体２３が鉛直
方向に向けて接着固定されている。弾性体２３の各側面
には、それぞれ圧電素子２５が貼付されており、上端面
には、超音波楕円運動を果たす突起体３１が形成されて
いる。

【００３５】この実施例において、共振屈曲振動を発生
させると、弾性体２３の部分が屈曲振動を行うために、
圧電積層体２７にはあまり応力がかからず、耐久性が向
上する。（第８実施例）

【００３６】図１１は、超音波振動子の第８の実施例の
構成を示す斜視図である。図１０の実施例と比較して、
弾性体２３を矩形の平板状に形成し、その両面に圧電素
子２５を貼付した点が異なっている。このように構成し
ても、前記第７の実施例と同様な効果を得ることができ
る。（第９実施例）

【００３７】図１２（ａ）および（ｂ）は、超音波振動
子の第９の実施例の構成を示す斜視図および平面図であ
る。この実施例では、前記第７実施例における圧電積層
体上に円柱状の弾性体２３を取付けると共に、その中間
部分の外周面の４カ所に、互いに直角の面を成すように
切欠部分を形成している。すなわち、弾性体２３の中間
部分は、ほぼ立方体状に形成されており、各面には圧電
素子２５が貼付されている。このように構成しても、前
記第７の実施例と同様な効果を得ることができる。

【００３８】以上、本発明を様々な実施例を用いて説明
したが、本発明は上述した各実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施
可能であるのは勿論である。

【００３９】

【発明の効果】本発明の超音波振動子は、互いに直交す
る非共振振動と共振振動とを合成することにより、超音
波楕円振動を形成するために、任意の形状の楕円振幅が
得られる。このため超音波振動子の設計が容易になると
共に、非常にコンパクトな超音波振動子を得ることがで
きる。

【００４０】さらに、このような超音波振動子を用いる
ことによって、エネルギー変換効率が良く、製作が容易
で薄形、コンパクトな形状の駆動装置を得ることができ
る。さらに、駆動対象物を可逆的に移動することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施例の構成を示す
側面図、（ｂ）はその平面図である。

【図２】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ本発明の超音波振
動子の突起体の移動軌跡を示す図である。

【図３】本発明の第２の実施例の構成を示す側面図であ
る。

【図４】本発明に係る超音波振動子を駆動する駆動回路
に、フィードバックをかける構成の一例を示す図。

【図５】本発明に係る超音波振動子を駆動する駆動回路
に、フィードバックをかける構成の図４とは別の例を示
す図。

【図６】本発明の第３の実施例の構成を示す側面図であ
る。

【図７】（ａ）は、本発明の第４の実施例の構成を示す
側面図、（ｂ）はその平面図である。

【図８】本発明の第５の実施例の構成を示す平面図であ
る。

【図９】（ａ）は、本発明の第６の実施例の構成を示す
側面図、（ｂ）はその正面図である。

【図１０】本発明の第７の実施例の構成を示す斜視図で
ある。

【図１１】本発明の第８の実施例の構成を示す斜視図で
ある。

【図１２】（ａ）は、本発明の第９の実施例の構成を示
す斜視図、（ｂ）はその平面図である。

【図１３】従来の超音波リニアモータの構成を示す図で
ある。

【図１４】同従来例の弾性体に生じる進行波を示す図で
ある。

【図１５】他の従来例の構成を示す図である。

【図１６】さらに別の従来例の構成を示す図である。

【符号の説明】

２０…超音波振動子、２３…弾性体、２５…圧電素子、
２７…圧電積層体、３１…突起体、３５…スライダ（可
動部材）。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電素子が設けられ第１の方向に振動可
能な弾性体と、この弾性体に板状の圧電素子を前記弾性
体の振動する方向に複数枚積層、固定させ、第１の方向
と直交する第２の方向に振動可能な積層体と、前記第１
の方向の振動および第２の方向の振動を制御する手段
と、を有することを特徴とする超音波振動子。
【請求項２】請求項１に記載の超音波振動子を２ヶ直
列に接合したことを特徴とする超音波振動子。
【請求項３】請求項１に記載の超音波振動子を互いに
９０°の角度を成すように４ヶ接合したことを特徴とす
る超音波振動子。
【請求項４】板状の圧電素子を複数枚積層し第１の方
向に振動可能な積層体と、この積層体に固定され前記第
１の方向に延出する弾性体と、この弾性体に設けられ、
この弾性体を前記第１の方向と直交する方向に振動可能
にする圧電素子と、前記第１の方向の振動および第２の
方向の振動を制御する手段と、を有することを特徴とす
る超音波振動子。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかの１に記載さ
れた超音波振動子と、この超音波振動子に形成され楕円
運動を果たす少なくとも１つの突起部材と、この突起部
材に押圧接触される可動部材と、を有し、この可動部材
を任意の平面方向に移動させるように構成したことを特
徴とする駆動装置。