JPH0458273B2

JPH0458273B2 -

Info

Publication number: JPH0458273B2
Application number: JP62130316A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Shimizu; Takashi Takada; Masateru Ishibashi
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1987-05-25
Filing date: 1987-05-25
Publication date: 1992-09-17
Also published as: JPS63294281A

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕この発明は、圧電素子を用いた直線移動型また
は回転型の圧電駆動装置に関するものである。

〔背景技術〕

従来、圧電素子を用いた超音波モータとして、
特公昭59−037672号公報に示されたものがある。
これは、圧電素子を振動体に貼りつけて縦振動を
発生させ、振動体の先端部に傾きを持つた駆動片
を形成し、その先端部が前記縦振動によつて楕円
運動を行い、円板と接触することにより、摩擦力
により円板を回転させるものである。

しかし、この従来構造であると、回転方向が駆
動片の傾き方向によつて決まつてしまい、また駆
動片の先端部は細く、摩擦の為に摩耗も大きく、
寿命的にも問題がある。

また、他の従来例として、特開昭58−148682号
公報に示されたものがある。この例は、圧電素子
の全体振動を振動体に伝え、一方の波形をもう一
方の波形と90゜位相をずらせて振動させることに
より、振動体表面に進行波を発生させ、その上に
ロータを接触させることにより、摩擦でロータを
回転させるものである。

この例によると、逆転も可能であるが、常に振
動体全体にエネルギを与える必要があり、しかも
圧電素子の振動体に貼着された面と反対の面の振
動は吸収してやる必要がある。このため、エネル
ギロスが大きく、効率向上に難がある。また、リ
ニアモータの形成には進行波を循環させる方策を
取らねばならず、エネルギロスが大き過ぎて問題
にならず、その循環方法も極めて難しい。

このような問題点を解消したものとして、振動
子をコ字状に形成し、その両対向辺を断面形状方
形として各対向辺の隣合う２面に圧電素子部を設
けたものを提案した（特願昭61−227502号）。隣
合う２面の圧電素子部には互いに90゜位相の異な
る高周波電圧を印加する。これにより、振動子の
先端が円また楕円軌道となる屈曲振動を行い、接
触部材を接触させることにより、接触部材または
振動子のいずれかが駆動される。

この構成の場合、振動子の両対向辺が共振を行
うため、大きな振幅が得られ、効率良く機械的駆
動力が得られる。

しかし、２本の対向辺が共振するように振動特
性を合わせる必要があり、しかも各対向辺につ
き、前記隣合う２面の圧電素子部で振動させる直
交する２方向の振動合わせが必要となる。そのた
め、取扱いが困難という問題点がある。

〔発明の目的〕

この発明の目的は、低消費電力で効率良く機械
的駆動力を得ることができ、かつ構造が簡単で取
扱性の良い圧電駆動装置を提供することである。

〔発明の開示〕

第１の発明の圧電駆動装置は、振動子１と、電
源装置４と、接触部材５とを有する圧電駆動装置
であつて、前記振動子１は弾性を有する材料により断面形
状が略方形の棒状に形成され、少なくとも隣合う
２面に圧電素子部３を有するものであり、前記電源装置４は高周波電圧を発生するもので
あり、前記接触部材５は前記振動子１の振幅点が摩擦
係止するように前記振動子１に対面し、前記電源装置４により前記振動子１の隣合う２
面の前記圧電素子部３に互いに位相差を持たせた
所定の高周波電圧を印加することにより、前記振
動子１が振幅点で円また楕円運動を行い、前記振
動子１および前記接触部材５の少なくともいずれ
か一方を動作させることを特徴とするものであ
る。

前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を貼
着して形成したものであつても、また前記振動子
を圧電材料にて形成して、この圧電材料に直接に
電極を形成したものであつてもよい。

第２の発明の圧電駆動装置は、第１の発明の圧
電駆動装置の振動子を２本平行に用い、両振動子
に挟まれてこれら振動子に接する接触部材を設け
たものである。電源装置は、両振動子を互いに同
位相に振動させる高周波電圧を印加するものとす
る。

第３の発明の圧電駆動装置は、第１の発明の圧
電駆動装置の振動子を、長手方向の複数箇所で節
を有する振動をするものとし、この振動子を前記
節の部分で支持する支持部材を設けたものであ
る。

第１の発明の構成によると、振動子を略方形の
断面形状とし、振動子の隣合う２面に設けた圧電
素子部に位相差を持たせて高周波電圧を印加する
ので、振動子は最大振幅点が円または楕円運動を
する。この振動子の１面に接触部材が接触するの
で、この接触部材または振動子のいずれかが駆動
され、機械的駆動力が得られる。

この場合に、振動子の振動は、基端部において
非振動状態となるように行われるので、基端部を
支持部とすることにより、支持によつて振動を妨
げることがなく、そのため電気的エネルギを効率
良く機械的駆動力に変換できる。また、このよう
に振動子に振動しない箇所があることから、振動
子と接触部材のいずれを固定側としても可動側と
しても用いることができる。さらに、振動子は１
本の棒状のものであるため、２本を共振させるも
のと異なり、構造が簡単であるうえ、前記圧電素
子部で振動させる直交する２方向の振動調整を単
独で行え、振動調整が容易である。そのため、取
扱いが容易であり、また振動子を複数本用いるこ
ともできる。

第２の発明の構成によると、振動子を２本平行
に設け、両振動子間に挟んで接触部材を配置して
いるので、強力な駆動が行え、また接触点が多点
化されて駆動が安定し、摩耗も低減する。その他
の作用は第１の発明と同様である。

第３の発明の構成によると、振動子の振動の節
の部分を支持するので、支持によつて振動を妨げ
ることが全くなく、電気的エネルギをより一層効
率よく機械的駆動力に変換できる。その他の作用
は第１の発明と同様である。

実施例第１の発明の一実施例を第１図ないし第６図に
基づいて説明する。この圧電駆動装置は、リニア
モータに適用した例であり、弾性を有する材料に
て断面形状が略方形の棒状に形成されて隣合う２
面に圧電素子部３を有しこの圧電素子部３に高周
波電圧を印加することにより屈曲振動する振動子
１と、振動子１の前記隣合う圧電素子部３に位相
差を持たせて高周波電圧を印加する電源装置４
と、振動子１の１面に接触する接触部材５とを備
え、振動子１の最大振幅点が円または楕円運動す
ることにより、接触部材５または振動子１のいず
れかが駆動されるものである。

振動子１の基端部１ａは、固定しても振動に影
響を与えない長さをとり、基台７に固定してあ
る。基台７に対し、接触部材５は相対的に第１図
の矢印Ｐ方向へ進退移動自在にガイド手段（図示
せず）で支持してある。接触部材５は、振動子１
の圧電素子部３が設けられていない１面における
先端部であるＸ点（第４図Ｂ）に接するように配
置してある。なお、必ずしも先端部に接するよう
にしなくても良い。

振動子１の先端には接触部材５の駆動を円滑に
行う為の摩擦材６が設けてある。摩擦材６は振動
子１の一部に一体に形成した突部であつても良
く、他の金属またはプラスチツクであつても良
い。

振動子１はエリンバ等の恒弾性体を用いている
が、精度や大振幅が不要のときは、一般の鋼材を
用いても良く、またその他の金属やセラミツクス
等を用いることもできる。振動子１の断面形状は
方形であるが、各角部に面取りを施して８角形状
の断面形状としても良く、また面取りの代わりに
角部を丸めても良い。要は、振動子１は互いに直
角に隣合う４面を有する形状であれば良い。

圧電素子部３は、圧電素子を振動子１に貼着し
て形成したものである。圧電素子部３は振動子１
の３面または４面に設けても良い。

電源装置４は、第６図に示すように高周波電源
８と90゜移相器９とを有し、各圧電素子部３，３
_１，３₂に同図のように電圧を印加する。同図の
＋、−の符号は分極方向を示す。

動作振動子１の各圧電素子部３₁，３₂に第６図の電
源装置４で高周波電圧を印加して励振すると、各
振動子１はそれぞれの圧電素子部３₁，３₂の励振
に従つて縦および横方向に振動する。このとき圧
電素子部３₂には圧電素子部３₁よりも90゜位相を
遅らせた電圧を印加すると、振動子１の先端部の
Ｘ点は、第５図のような円または楕円軌道を描い
て運動する。したがつて、振動子１の１面の摩擦
材６に接触部材５が接触するように配置してある
と、接触部材５は矢印Ｐ方向に直線的に移動す
る。Ｘ点の楕円軌道の偏平度は、振動子１の曲げ
方向による剛性の違いや、各圧電素子部３₁，３₂
に印加する電圧の大きさ、位相差等により調整で
きる。

圧電素子部３₂に90゜進み位相の電圧を印加すれ
ば、第５図と反対回りの軌道を描くことになり、
接触部材５は矢印Ｐと逆方向に移動する。

このように動作するが、振動子１の振動は、基
端部１ａにおいて非振動状態となるように行われ
るので、基端部１ａを支持することにより、支持
によつて振動を妨げることがない。そのため、電
気的エネルギを効率よく機械的駆動力に変換でき
る。また、このように振動子１に振動しない箇所
があることから、振動子１と接触部材５のいずれ
を固定側としても可動側としても用いることがで
きる。

さらに、振動子１は１本の棒状のものであるた
め、構造が簡単であるうえ、隣合う２面の各圧電
素子部３で振動させる直交する２方向の振動調整
を単独で行え、振動調整が容易である。そのた
め、取扱が容易であり、また振動子１を後述のよ
うに複数本用いることもできる。

この実施例では、第３図Ａのように１次モード
で振動させる場合につき説明したが、第３図Ｂ，
Ｃに示すように、２次モードや３次モードなど、
高次モードで振動させると、振動子１の接触部材
５に対する接触点を多点化させることができ、駆
動の安定および摩耗防止が図れる。

１次モードの振動は、振動子１の長手方向につ
き、１枚の圧電素子部３を設けた場合に得られ
る。２次モードの振動は、この１枚の圧電素子部
３を長手方向に２分割し、分極方向を反対にして
貼着することにより得られる。３次モードの振動
は、１枚の圧電素子部３を長手方向に３分割し、
中央の分割圧電素子部と両側の分割圧電素子部の
分極方向を反対として貼着し、各分割圧電素子部
の同一面側の電極を共通電極として同一の電圧を
印加することにより得られる。

なお、前記実施例では摩擦材６を振動子１に設
けたが、摩擦材６の代わりに第２０図のように、
振動子１の最大振幅部に永久磁石６′を設け、接
触部材５を磁性体としても良い。

このように、振動子１と接触部材５とが永久磁
石６′と磁性体とで接するように構成した場合、
磁力により両者間に安定した接触力が得られ、摩
擦力による駆動が確実となる。しかも、振動子１
の円または楕円運動に伴つて磁力による移動力が
摩擦力による進行方向と同方向に与えられる。そ
のため、摩擦力と磁力とが加わつた駆動力が得ら
れることになり、効率の良い駆動ができる。

第７図は第１の発明の他の実施例を示す。この
例は、振動子１を互いに接触部材５の可動方向に
離して２本平行に並設したものである。これら振
動子１の先端のＸ点およびＹ点は、第８図Ａに示
すように全く同じ動作をさせても良く、また第８
図Ｂのように180゜ずらせて駆動することもでき
る。このように振動子１を２本設けると、接触点
が多点化され、動作が安定すると同時に、摩耗も
軽減する。その他の構成効果は、第１図の実施例
と同様である。

第９図は、振動子１の両端を基台７に固定した
実施例を示す。振動モードは、第１０図Ａのよう
に、１次モードとすることも、第１０図Ｂ，Ｃの
ように高次モードとすることもできる。このよう
に振動子１を両端支持とした場合は、接触部材
（図示せず）を振動子１の中間部分に接触させる
ことができるので、安定した駆動が可能である。

第１１図は回転型とした実施例を示す。振動子
１を４本放射状に配置してその基端を基端支持部
材１０に固定し、円板状の接触部材１５を振動子
１の放射中心を回転中心として適宜の支持手段で
回転自在に支持してある。振動子１は第１図の実
施例で用いたものと同様のものである。支持部材
１０は基台７に固定してある。この構成の場合、
各振動子１が前記のように円または楕円軌道の屈
曲振動を行うことにより、接触部材１５が回転運
動をする。

第１２図および第１３図は、振動子１１，２１
を圧電材料で形成し、直接に圧電素子部１３，２
３を形成した実施例を示す。圧電材料としては、
PZT（ジルコンチタン酸鉛磁器）等の圧電セラミ
ツクス、または圧電セラミツクスとプラスチツク
との複合圧電材料等が用いられる。振動子１１，
２１は方形断面形状のものであり、第１２図の例
は隣合う２面に、第１３図の例は４面に圧電素子
部１３，２３が各々形成してある。

詳しくは、第１２図の例は圧電横効果を利用し
て屈曲振動させるもので、振動子１１の長手方向
と平行に複数本の電極ａを交差指状に形成し、こ
の電極ａ間に直流電圧を印加して分極する。この
交差指電極ａに高周波電圧を印加することにより
屈曲振動を行わせることができ、隣合う面と90゜
位相をずらしてやることにより、振動子１１の最
大振幅点は円または楕円運動をする。したがつ
て、接触部材（図示せず）を振動子１１で駆動す
ることができる。その他の構成効果は、第１図の
実施例と同様である。

第１３図の例は圧電横効果を利用したものであ
るが、振動子１の４面の角部に電極ｂを形成し、
４面同時に分極してある。このように４面同時に
分極することにより、振動子２１は振幅を極めて
大きくすることができる。

これら第１２図、第１３図の例のように圧電材
料に直接分極して圧電素子部１３，２３を形成す
れば、圧電体を接着するものと異なり、接着工程
を省略できるとともに、接着誤差による性能ばら
つきや接着剥離をなくすことができる。なお、分
極は圧電縦効果を用いるようにすることもでき
る。

第１４図は、第２の発明の実施例を示す。この
例は、２本の振動子１を互いに間隔を開けて平行
に配置し、両振動子１に挟まれてこれら振動子１
に接する接触部材５を設けたものである。振動子
１は、第９図の例と同様に、両端を基台７（第１
４図には図示せず）に固定してある。各振動子１
は第９図の例で用いたものと同様のものである。

このように構成した場合、振動子１と接触部材
５との接触点が多点化され、駆動の安定および摩
耗の減少が得られる。その他の構成効果は、第１
図の実施例と同様である。

なお、第１４図の板状の接触部材５の代わり
に、第１５図のように丸軸状とした接触部材３５
を用いても良い。接触部材３５を丸軸状とした場
合、接触部材３５と振動子１との接触が円滑にな
り、また接触部材３５のガイド手段による支持も
円滑になり、支持手段の構造が簡単になる。

第１６図および第１７図は、第３の発明の実施
例を示す。この例は、棒状の振動子１の長手方向
２箇所で振動の節Ｑが生じるように振動子１に圧
電素子部３を設け、節Ｑの箇所で支持部材４０を
介して振動子１を基台７で支持したものである。
節Ｑは３箇所以上で生じるようにしても良い。支
持部材４０は丸棒状のものであり、振動子１を貫
通し、両端が基台７に固定されている。第１７図
のように、接触部材５は振動子１と直交する方向
に基台７と相対的に移動自在としてある。接触部
材５はガイド手段（図示せず）で移動自在に支持
してある。

この構成の場合、振動子１の振幅が零の箇所を
支持するので、振動の損失が少なく、かつ安定し
た支持が行える。その他の構成効果は、第１図の
実施例と同様である。

第１８図は、第３の発明の他の実施例を示す。
この例は、２本の振動子１を平行に並べ、その間
に挟んで接触部材５を配置したものである。その
他は第１６図の例と同様である。この場合、接触
部材５の両面に振動子１が接するので、接触点の
多点化による安定駆動および摩耗低減の効果が、
第１６図の例の効果に加えて得られる。

第１８図の実施例の接触部材５の代わりに、第
１９図のように振動子１の両端に接する幅広の接
触部材４５を用いても良い。その場合、振動子１
と接触部材４５の接触点が４点となるので、より
一層安定駆動および摩耗低減が得られる。これら
第１８図および第１９図の実施例は、第２の発明
の実施例ともなるものである。

なお、第２および第３の発明の前記各実施例で
は圧電素子部３を圧電素子の貼着により形成した
ものとしたが、これら各実施例においても、第１
２図、第１３図の実施例のように、振動子を圧電
セラミツクスで形成し、この圧電セラミツクスに
駆動用電極を直接形成しても良い。

また、第２の発明および第３の発明において
も、接触部材または振動子のいずれか一方が回転
的に駆動されるものとしても良い。回転的な駆動
は、一方向の回転だけでなく、一定角度範囲を正
逆回転させる駆動であつても良い。

第１および第３の発明の実施例において、接触
部材に丸軸状のものを用いても良い。

さらに、第１ないし第３の各発明の各実施例に
おいて、振動子に第２０図の実施例のように永久
磁石６′を設け、接触部材を磁性体としても良い。
この逆に、振動子を磁性体とし、接触部材を永久
磁石としても良い。すなわち、振動子の最大振幅
部と接触部材の振動子と接する部分の少なくとも
一部とのいずれか一方を永久磁石とし、他方を磁
性体とすれば、第２０図とともに前述した磁力に
よる効率向上が図れる。

〔発明の効果〕

第１の発明の圧電駆動装置は、振動子を略方形
の断面形状とし、振動子の隣合う２面に設けた圧
電素子部に位相差を持たせて高周波電圧を印加す
るので、振動子は最大振幅点が円または楕円運動
をする。その振動子の１面に接触部材が接触する
ので、この接触部材または振動子のいずれかが駆
動され、機械的駆動力が得られる。この場合に、
振動子の振動は、基端部において非振動状態とな
るように行われるので、基端部を支持部とするこ
とにより、支持によつて振動を妨げることがな
く、そのため電気的エネルギを効率良く機械的駆
動力に変換できる。また、このように振動子に振
動しない箇所があることから、振動子と接触部材
のいずれを固定側としても可動側としても用いる
ことができる。さらに、振動子は１本の棒状のも
のであるため、２本の共振させるものと異なり、
構造が簡単であるうえ、前記圧電素子部で振動さ
せる直交する２方向の振動調整を単独で行え、振
動調整が容易である。そのため、取扱いが容易で
あり、また振動子を複数本用いることもできる。

第２の発明および第３の発明は、第１の発明に
加えて次の効果が得られる。

すなわち、第２の発明は、振動子を２本平行に
設け、両振動子に挟んで接触部材を配置している
ので、強力な駆動が行え、また接触点が多点化さ
れて駆動が安定し、摩耗も低減する。

第３の発明は、振動子の振動の節の部分を支持
するので、支持によつて振動を妨げることが全く
なく、電気的エネルギをより一層効率よく機械的
駆動力に変換できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１の発明の一実施例の斜視図、第２
図はその振動子の正面図、第３図は同じくその振
動モードの説明図、第４図Ａ，Ｂはそれぞれ同じ
くその振動子と接触部材との関係を示す正面図お
よび側面図、第５図は同じくその振動子の最大振
幅点の振動軌道の説明図、第６図は同じくその電
源装置の回路図、第７図Ａ，Ｂはそれぞれ第１の
発明の他の実施例の平面図および側面図、第８図
は同じくその振動子の最大振幅点の振動軌道の説
明図、第９図は第１の発明のさらに他の実施例の
正面図、第１０図はその振動モードの説明図、第
１１図Ａ，Ｂはそれぞれ第１の発明のさらに他の
実施例の平面図および正面図、第１２図は第１の
発明のさらに他の実施例の振動子の斜視図、第１
３図は第１の発明のさらに他の実施例の振動子の
斜視図、第１４図は第２の発明の一実施例の斜視
図、第１５図Ａ，Ｂはそれぞれ第２の発明の他の
実施例の破断側面図および破断正面図、第１６図
Ａ〜Ｃはそれぞれ第３の発明の実施例の振動子を
示す平面図、破断側面図、および振動説明図、第
１７図Ａ，Ｂはそれぞれ同じくその平面図および
正面図、第１８図Ａ，Ｂはそれぞれ第３の発明の
他の実施例の破断側面図および破断正面図、第１
９図は第３の発明のさらに他の実施例の破断正面
図、第２０図は第１の発明のさらに他の実施例の
斜視図である。１，１１，２１…振動子、３，１３，２３…圧
電素子部、４…電源装置、５，１５，３５，４５
…接触部材。

Claims

【特許請求の範囲】１振動子１と、電源装置４と、接触部材５とを
有する圧電駆動装置であつて、前記振動子１は弾性を有する材料により断面形
状が略方形の棒状に形成され、少なくとも隣合う
２面に圧電素子部３を有するものであり、前記電源装置４は高周波電圧を発生するもので
あり、前記接触部材５は前記振動子１の振幅点が摩擦
係止するように前記振動子１に対面し、前記電源装置４により前記振動子１の隣合う２
面の前記圧電素子部３に互いに位相差を持たせた
所定の高周波電圧を印加することにより、前記振
動子１が振幅点で円または楕円運動を行い、前記
振動子１および前記接触部材５の少なくともいず
れか一方を動作させることを特徴とする圧電駆動
装置。２前記圧電素子部３は、前記振動子１に圧電素
子を貼着して形成される特許請求の範囲第１項記
載の圧電駆動装置。３前記振動子１１，２１は圧電セラミツクで構
成し、前記圧電素子部１３，２３はこの圧電セラ
ミツクに駆動用電極を直接形成してなる特許請求
の範囲第１項記載の圧電駆動装置。４前記接触部材５は、平板状または丸軸状に形
成され、前記接触部材５または前記振動子１のい
ずれかが直線的に駆動される特許請求の範囲第２
項または第３項記載の圧電駆動装置。５前記接触部材１５は、円板状に形成され、前
記接触部材１５または前記振動子１のいずれかが
回転的に駆動される特許請求の範囲第２項または
第３項記載の圧電駆動装置。６前記振動子１の振幅部と前記接触部材５の前
記振動子１と接する部分の少なくとも一部とのい
ずれか一方を永久磁石６′とし、他方を磁性体と
した特許請求の範囲第２項または第３項記載の圧
電駆動装置。７振動子１と、電源装置４と、接触部材５とを
有する圧電駆動装置であつて、前記振動子１は弾性を有する材料により断面形
状が略方形の棒状に形成されて２本が互いに平行
に配置され、それぞれの少なくとも隣合う２面に
圧電素子部３を有するものであり、前記電源装置４は高周波電圧を発生するもので
あり、前記接触部材５は前記２本の振動子１の振幅点
が摩擦係止するように前記振動子１の間に位置
し、前記電源装置４により前記振動子１の隣合う２
面の前記圧電素子部３に互いに位相差を持たせた
所定の高周波電圧を印加することにより、前記振
動子１が振幅点で互いに反対向きの円または楕円
運動を行い、前記振動子１および前記接触部材５
の少なくともいずれか一方を動作させることを特
徴とする圧電駆動装置。８前記圧電素子部３は、前記振動子１に圧電素
子を貼着して形成される特許請求の範囲第７項記
載の圧電駆動装置。９前記振動子１１，２１は圧電セラミツクで構
成し、前記圧電素子部１３，２３はこの圧電セラ
ミツクに駆動用電極を直接形成してなる特許請求
の範囲第７項記載の圧電駆動装置。１０前記接触部材５は、平板状または丸軸状に
形成され、前記接触部材５または前記振動子１の
いずれかが直線的に駆動される特許請求の範囲第
８項または第９項記載の圧電駆動装置。１１前記接触部材１５は、円板状に形成され、
前記接触部材１５または前記振動子１のいずれか
が回転的に駆動される特許請求の範囲第８項また
は第９項記載の圧電駆動装置。１２前記振動子１の振幅部と前記接触部材５の
前記振動子１と接する部分の少なくとも一部との
いずれか一方を永久磁石６′とし、他方を磁性体
とした特許請求の範囲第８項または第９項記載の
圧電駆動装置。１３振動子１と、電源装置４と、接触部材５、
支持部材４０とを有する圧電駆動装置であつて、前記振動子１は弾性を有する材料により断面形
状が略方形の棒状に形成され、少なくとも隣合う
２面に圧電素子部３を有するものであり、前記電源装置４は高周波電圧を発生するもので
あり、前記電源装置４により前記振動子１の隣合う２
面の前記圧電素子部３に互いに位相差を持たせた
所定の高周波電圧を印加することにより、前記振
動子１が長手方向の複数箇所で節を有しかつ振幅
点で円または楕円運動を行い、前記接触部材５は前記振動子１の振幅点が摩擦
係止するように前記振動子１に対面し、前記支持部材４０は前記振動子１の前記節の位
置を支持し、さらに前記振動子１および前記接触
部材５の少なくともいずれか一方を可動にしたこ
とを特徴とする圧電駆動装置。１４前記圧電素子部３は、前記振動子１に圧電
素子を貼着して形成される特許請求の範囲第１３
項記載の圧電駆動装置。１５前記振動子１１，２１は圧電セラミツクで
構成し、前記圧電素子部１３，２３はこの圧電セ
ラミツクに駆動用電極を直接形成してなる特許請
求の範囲第１３項記載の圧電駆動装置。１６前記接触部材５は、平板状または丸軸状に
形成され、前記接触部材５または前記振動子１の
いずれかが直線的に駆動される特許請求の範囲第
１４項または第１５項記載の圧電駆動装置。１７前記接触部材１５は、円板状に形成され、
前記接触部材１５または前記振動子１のいずれか
が回転的に駆動される特許請求の範囲第１４項ま
たは第１５項記載の圧電駆動装置。１８前記振動子１の振幅部と前記接触部材５の
前記振動子１と接する部分の少なくとも一部との
いずれか一方を永久磁石６′とし、他方を磁性体
とした特許請求の範囲第１４項または第１５項記
載の圧電駆動装置。