CN108696174A - 驱动装置及方法、机器人、输送装置、打印机及投影仪 - Google Patents

驱动装置及方法、机器人、输送装置、打印机及投影仪 Download PDF

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Abstract

一种驱动装置及方法、机器人、输送装置、打印机及投影仪，能够在不使驱动力过大的情况下提高保持力。压电驱动装置包括：第一压电振动模块和第二压电振动模块，第一压电振动模块和第二压电振动模块被向从动部按压，并分别具备振动部以及与从动部抵接并将振动部的振动传递至从动部的传递部；以及控制部，第二压电振动模块向从动部的按压力比第一压电振动模块向从动部的按压力大，控制部驱动第一压电振动模块，以使第一压电振动模块的传递部进行弯曲振动，弯曲振动为在按压方向上振动的纵向振动和在与按压方向交叉的方向上振动的横向振动的复合振动，同时驱动第二压电振动模块，以使第二压电振动模块的传递部进行在按压方向上振动的纵向振动。

Description

驱动装置及方法、机器人、输送装置、打印机及投影仪
技术领域
本发明涉及压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。
背景技术
专利文献1所记载的压电驱动装置包括：转子、抵接于转子的多个压电驱动部。另外，可以选择使各压电驱动部进行向正方向椭圆振动的驱动模式、使各压电驱动部进行向反方向椭圆振动的驱动模式，以及使各压电驱动部进行纵向振动的驱动模式。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开2016-152705号公报
在此，作为压电驱动装置的重要的参数，具有驱动力(使转子旋转的力)和保持力(保持转子的力)。当为了增大保持力时，可以增加压电驱动部的数量，但仅增加压电驱动部的数量的话，驱动力会变得过大。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种在不使驱动力过大的情况下能够提高保持力的压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。
上述目的通过下述的本发明实现。
根据本发明的压电驱动装置，其特征在于，包括：第一压电振动模块和第二压电振动模块，所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块被向从动部按压，并分别具备：振动部、以及与所述从动部抵接并将所述振动部的振动传递至所述从动部的传递部；以及控制部，所述第二压电振动模块向所述从动部的按压力比所述第一压电振动模块向所述从动部的按压力大，所述控制部驱动所述第一压电振动模块，以使所述第一压电振动模块的所述传递部进行弯曲振动，所述弯曲振动为在按压方向上振动的纵向振动和在与所述按压方向交叉的方向上振动的横向振动的复合振动，同时所述控制部驱动所述第二压电振动模块，以使所述第二压电振动模块的所述传递部进行在所述按压方向上振动的纵向振动。
由此，得到能够在不使驱动力过大的情况下提高保持力的压电驱动装置。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，在未被按压于所述从动部的状态下，所述第二压电振动模块的所述传递部的所述纵向振动的振幅比所述第一压电振动模块的所述传递部的所述纵向振动的振幅大。
由此，通过使第二压电振动模块纵向振动，能够更可靠地减小第二压电振动模块与从动部的摩擦力。因此，通过第一压电振动模块的弯曲振动，能够使从动部更顺畅地移动。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一压电振动模块的所述振动部与所述第二压电振动模块的所述振动部为相同的结构。
由此，压电驱动装置的结构简单。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块分别包括至少一对振动区域，该至少一对振动区域配置于所述振动部，并沿着与所述按压方向交叉的方向排列配置，所述第一压电振动模块使所述一对振动区域以不同的相位进行伸缩，从而使所述第一压电振动模块的传递部进行所述弯曲振动，所述第二压电振动模块使所述一对振动区域以相同的相位进行伸缩，从而使所述第二压电振动模块的传递部进行所述纵向振动。
由此，能够通过简单的结构，使第一压电振动模块进行弯曲振动，并使第二压电振动模块进行纵向振动。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一压电振动模块的所述振动部与所述第二压电振动模块的所述振动部为相互不同的结构。
由此，能够使第一压电振动模块和第二压电振动模块分别为适当的结构，因此，成为能够进行效率更高的驱动的压电驱动装置。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第二压电振动模块的产生所述纵向振动的振动区域的面积比所述第一压电振动模块的产生所述纵向振动的振动区域的面积大。
由此，通过使第二压电振动模块纵向振动，能够更可靠地减小第二压电振动模块与从动部的摩擦力。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第二压电振动模块具有一个所述振动区域。
由此，能够增大振动区域，能够进一步增大第二压电振动模块的纵向振动的振幅。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，包括：第一模式，使所述第一压电振动模块的所述传递部进行所述弯曲振动，同时使所述第二压电振动模块的所述传递部进行所述纵向振动，从而使所述从动部移动；以及第二模式，停止所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块的驱动，通过所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块保持所述从动部。
由此，在使从动部移动至预定位置之后，能够将从动部保持于该位置。因此，抑制了从动部的不期望的移动，提高压电驱动装置的可靠性。
在本发明的压电驱动装置中，优选的是，还包括第三模式，在所述第三模式下，使所述第一压电振动模块的所述传递部和所述第二压电振动模块的所述传递部进行所述纵向振动，从而允许所述从动部移动。
由此，例如，操作者能够手动地(通过自己的手)操作从动部，进一步提高压电驱动装置的使用性。
根据本发明的压电驱动装置的驱动方法，其特征在于，所述压电驱动装置包括第一压电振动模块和第二压电振动模块，所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块被向从动部按压，并分别具备：振动部、以及与所述从动部抵接并将所述振动部的振动传递至所述从动部的传递部，在使所述第二压电振动模块向所述从动部的按压力大于所述第一压电振动模块向所述从动部的按压力的状态下，所述第一压电振动模块的所述传递部进行弯曲振动，所述弯曲振动为在按压方向上振动的纵向振动和在与所述按压方向交叉的方向上振动的横向振动的复合振动，并且，所述第二压电振动模块的所述传递部进行在按压方向上振动的纵向振动，由此使所述从动部从动。
由此，能够在不使驱动力过大的情况下提高保持力。
根据本发明本发明的机器人，其特征在于，具备本发明的压电驱动装置。
由此，可得到能够起到本发明的压电驱动装置的效果、可靠性高的机器人。
根据本发明的电子部件输送装置，其特征在于，具备本发明的压电驱动装置。
由此，可得到能够起到本发明的压电驱动装置的效果、可靠性高的电子部件输送装置。
根据本发明的打印机，其特征在于，具备本发明的压电驱动装置。
由此，可得到能够起到本发明的压电驱动装置的效果、可靠性高的打印机。
根据本发明的投影仪，其特征在于，具备本发明的压电驱动装置。
由此，可得到能够起到本发明的压电驱动装置的效果、可靠性高的投影仪。
附图说明
图1为示出本发明的第一实施方式的压电驱动装置的立体图。
图2为示出图1所示的压电驱动装置所包括的压电振动模块的俯视图。
图3为图2中的A-A线截面图。
图4为图2中的B-B线截面图。
图5的(a)、(b)为示出图2所示的压电驱动模块的正旋转振动模式的图。
图6的(a)、(b)为示出图2所示的压电驱动模块的逆旋转振动模式的图。
图7的(a)、(b)为示出图2所示的压电驱动模块的纵向振动模式的图。
图8为用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。
图9为用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。
图10为用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。
图11为用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。
图12为示出通过现有技术的结构能够实现的驱动力和保持力的一例的表。
图13为示出通过本发明的结构能够实现的驱动力和保持力的一例的表。
图14为示出本发明的第二实施方式的压电驱动装置所包括的第二压电振动模块的俯视图。
图15为图14中的C-C线截面图。
图16为示出本发明的第三实施方式的压电驱动装置的立体图。
图17为示出本发明的第四实施方式的机器人的立体图。
图18为示出本发明的第五实施方式的电子部件输送装置的立体图。
图19为示出图18所示的电子部件输送装置所包括的电子部件保持部的立体图。
图20为示出本发明的第六实施方式的打印机的整体结构的概略图。
图21为示出本发明的第七实施方式的投影仪的整体结构的概略图。
附图标记说明
1、1x、1y、1θ…压电驱动装置；2…转子；21…上表面；3…压电振动模块；3A…第一压电振动模块；3B…第二压电振动模块；31…振动部；32…支承部；33…连接部；34…传递部；35…第一基板；36…第二基板；37、37A、37B、37C、37D、37E、37F…压电元件；370…振动区域；371…第一电极；372…压电体；373…第二电极；38…衬垫；4…台；5…施力部；6…控制部；7…滑块；71…上表面；1000…机器人；1010…基部；1020、1030、1040、1050、1060、1070…臂；1080…机器人控制部；1090…末端执行器；2000…电子部件输送装置；2100…基台；2110…上游侧台；2120…下游侧台；2130…检查台；2200…支承台；2210…Y台；2220…X台；2230…电子部件保持部；2231…微调整板；2232…转动部；2233…保持部；3000…打印机；3010…装置本体；3011…盘；3012…排出口；3013…操作面板；3020…印刷机构；3021…头单元；3021a…头；3021b…墨盒；3021c…滑架；3022…滑架电机；3023…往复移动机构；3023a…滑架导向轴；3023b…定时带；3030…供纸机构；3031…从动辊；3032…驱动辊；3040…控制部；4000…投影仪；4010…光源；4021、4022、4023…反光镜；4031、4032…分色镜；4040B、4040G、4040R…液晶显示元件；4050…分色棱镜；4060…投射透镜系统；LL…图像光；O…旋转轴；P…记录纸张；Q…电子部件；V1、V1’、V2、V2’、V3、V3’、V4…电压；X…方向。
具体实施方式
以下，基于附图所示的优选的实施方式，对本发明的压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪进行详细的说明。
<第一实施方式>
首先，对本发明的第一实施方式的压电驱动装置进行说明。
图1为示出本发明的第一实施方式的压电驱动装置的立体图。图2为示出图1所示的压电驱动装置所包括的压电振动模块的俯视图。图3为图2中的A-A线截面图。图4为图2中的B-B线截面图。图5的(a)、(b)为示出图2所示的压电驱动模块的正旋转振动模式的图。图6的(a)、(b)为示出图2所示的压电驱动模块的逆旋转振动模式的图。图7的(a)、(b)为示出图2所示的压电驱动模块的纵向振动模式的图。图8至图11分别为用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。图12为示出通过现有技术的结构能够实现的驱动力及保持力的一例的表。图13为示出通过本发明的结构能够实现的驱动力及保持力的一例的表。以下，为了便于说明，将图1至图13中的上侧也称为“上”、将图1至图13中的下侧也称为“下”。
图1所示的压电驱动装置1包括：转子2(从动部)，用作旋转电机(超声波电机)、并可以围绕旋转轴O旋转；多个压电振动模块3，抵接于转子2的上表面21；台4，支承各压电振动模块3；施力部5，经由台4朝向转子2对各压电振动模块3施力；以及控制部6，独立地控制各压电振动模块3的驱动。另外，多个压电振动模块3中包含至少一个第一压电振动模块3A、至少一个第二压电振动模块3B。
第一压电振动模块3A兼有使转子2围绕旋转轴O旋转(移动)的作为驱动部的功能、以及以该状态保持(即，限制移动)转子2的作为保持部的功能。另一方面，第二压电振动模块3B基本上不具有使转子2围绕旋转轴O旋转的作为驱动部的功能，而是仅具有以该状态保持转子2的作为保持部的功能。即，压电驱动装置1构成为通过第一压电振动模块3A使转子2旋转，并通过第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B来保持转子2。
根据上述结构，仅通过第一压电振动模块3A使转子2移动，因此，能够抑制转子2的驱动力过大(超过需要)。另外，通过第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的双方保持转子2，因此，能够更为提高转子2的保持力。另外，如后所述，第二压电振动模块3B以比第一压电振动模块3A更大的力被按压于转子2，相应地，能够比第一压电振动模块3A实现更大的保持力。因此，能够减少为了发挥预定大小的保持力所必要的压电振动模块3的数量，能够实现压电驱动装置1的小型化。下面，对上述压电驱动装置1进行详细的说明。
转子2形成圆盘状，以能够围绕旋转轴O旋转的方式被支承。不过，作为转子2的结构没有特别的限定。
并且，与转子2的上表面21抵接地配置有多个压电振动模块3。另外，多个压电振动模块3中至少各包含一个第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B，该多个压电振动模块3围绕旋转轴O配置。此外，在本实施方式中，多个压电振动模块3构成为包含两个第一压电振动模块3A和一个第二压电振动模块3B。但是，压电振动模块3的数量没有特别的限定，压电振动模块3所包含的第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的数量也均没有特别的限定。另外，只要能够使转子2旋转，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的配置也没有特别的限定。
接着，对压电振动模块3的结构进行简单的说明。此外，在本实施方式中，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的结构彼此相同，因此在下文中，以“压电振动模块3”的结构进行说明。
如图2所示，压电振动模块3包括：可振动的振动部31；支承部32，支承振动部31；一对连接部33，连接振动部31和支承部32；以及传递部34，设置于振动部31。振动部31形成为大致长方形的板状，在其前端部设置有传递部34。另外，支承部32成为包围振动部31的基端侧的U字形。
在这种结构的压电振动模块3中，于传递部34的前端部抵接于转子2的上表面21，于支承部32被固定于台4。此外，台4被弹簧构件(板簧、弹簧)等的施力部5向转子2侧(图2中的下方侧)施力，由此，传递部34能够以足够的摩擦力与转子2的上表面21接触。因此，滑动被抑制，能够将振动部31的振动经由传递部34效率良好地传递给转子2。
另外，如图1所示，压电振动模块3包括第一基板35、和第二基板36。另外，振动部31包括设置于第一基板35和第二基板36之间的压电元件37，支承部32包括设置于第一基板35和第二基板36之间的衬垫38。此外，衬垫38作为使支承部32的厚度与振动部31的厚度一致的垫片发挥作用。
如图2所示，压电元件37包括五个压电元件37A、37B、37C、37D、37E。并且，压电元件37A、37B位于振动部31的宽度方向的一侧(图2中的右侧)，沿振动部31的长度方向排列配置。另外，压电元件37D、37E位于振动部31的宽度方向的另一侧(图2中的左侧)，沿振动部31的长度方向排列配置。另外，压电元件37C位于振动部31的宽度方向的中央部，沿振动部31的长度方向配置。此外，作为压电元件37的结构没有特别的限定，例如可以省略压电元件37C。
另外，如图3及图4所示，五个压电元件37A、37B、37C、37D、37E分别包括：压电体372；第一电极371，设置于压电体372的上表面；以及第二电极373，设置于压电体372的下表面。并且，被压电体372的第一电极371和第二电极373夹持的区域为振动区域370。
第一电极371为与压电元件37A、37B、37C、37D、37E共通地设置的共用电极。另一方面，第二电极373是为压电元件37A、37B、37C、37D、37E的每个单独地设置的单独电极。在此，压电元件37A、37B、37C、37D、37E的第二电极373的宽度(图2中的横方向的长度)分别大致相等。另外，压电元件37A、37B、37D、37E的第二电极373的长度(图2中的上下方向的长度)约为压电元件37C的第二电极373的长度的1/2。但是，压电元件37A、37B、37C、37D、37E的第二电极373的尺寸不限于此。
另外，压电体372与压电元件37A、37B、37C、37D、37E共通并一体地设置。此外，压电体372也可以为压电元件37A、37B、37C、37D、37E的每个而单独地设置。
压电体372通过被施加沿着振动部31的厚度方向的方向的电场而在沿着振动部31的长度方向的方向上伸缩。作为压电体372的构成材料，例如可以使用锆钛酸铅(PZT)、钛酸钡、钛酸铅、铌酸钾、铌酸锂、钽酸锂、钨酸钠、氧化锌、钛酸钡锶(BST)、钽酸锶铋(SBT)、偏铌酸铅、钪铌酸铅等的压电陶瓷。由压电陶瓷构成的压电体372例如也可以通过块状材料形成，还可以使用溶胶-凝胶法、溅射法而形成。此外，作为压电体372的构成材料，除了上述的压电陶瓷之外，还可以使用聚偏二氟乙烯、水晶等。
在以上那样的结构的压电振动模块3中，当在第一电极371和第二电极373之间施加由未图示的电源部供给的驱动电压时，各压电元件37A、37B、37C、37D、37E根据驱动电压的图形而振动，振动部31整体振动。
接着，对压电振动模块3的振动模式进行说明。压电振动模块3包括传递部34向正方向(第一方向)旋转的正旋转振动模式、传递部34向与正方向相反的反方向(第二方向)旋转的逆旋转振动模式、以及传递部34在振动部31的长度方向上振动的纵向振动模式，并设为能够选择(切换)上述的振动模式。但是，关于第二压电振动模块3B，只要能够以纵向振动模式进行驱动即可，也可以不能切换为正旋转振动模式或逆旋转振动模式。
如图5所示，正旋转振动模式为使传递部34向图中的逆时针方向进行椭圆运动的振动模式。为了进行这种旋转振动模式，例如将图5中的电压V1施加于压电元件37A、37E，将电压V2施加于压电元件37C，将电压V3施加于压电元件37B、37D。由此，振动部31进行在其长度方向(压电振动模块3和转子2的排列方向，施力部5的按压方向)上伸缩的纵向振动，同时在其宽度方向(与长度方向交叉(正交)的方向)上进行二次弯曲的横向振动。这样的纵向振动和横向振动的合成结果是，振动部31进行S字状弯曲振动，伴随于此，传递部34进行作为纵向振动和横向振动的复合振动的逆时针旋转的旋转振动(椭圆振动)。这样，通过使压电元件37A、37E、压电元件37B、37D、压电元件37C以不同的相位进行伸缩，能够使传递部34旋转振动。但是，只要能够使传递部34向逆时针方向椭圆运动，则施加于压电振动模块3的电压图形没有特别的限定。
如图6所示，逆旋转振动模式为使传递部34向图中的顺时针方向进行椭圆运动的振动模式。为了进行这种旋转振动模式，例如将图6中的电压V1’施加于压电元件37A、37E，将电压V2’施加于压电元件37C，将电压V3’施加于压电元件37B、37D。由此，振动部31进行在其长度方向上伸缩的纵向振动，同时在其宽度方向上进行二次弯曲的横向振动。这样的纵向振动和横向振动合成结果是，振动部31进行反S字状弯曲振动，伴随于此，传递部34进行作为纵向振动和横向振动的复合振动的顺时针旋转的旋转振动(椭圆振动)。这样，通过使压电元件37A、37E、压电元件37B、37D、压电元件37C以不同的相位进行伸缩，能够使传递部34旋转振动。但是，只要能够使传递部34向顺时针方向椭圆运动，则施加于压电振动模块3的电压图形没有特别的限定。
如图7所示，纵向振动模式为使传递部34在振动部31的长度方向(压电振动模块3和转子2的排列方向，施力部5的按压方向)上振动的振动模式。为了进行这种纵向振动模式，例如将图7中的电压V4施加于各压电元件37A、37B、37C、37D、37E。由此，振动部31进行在其长度方向上伸缩的纵向振动，伴随于此，传递部34进行纵向振动。这样，通过使压电元件37A、37B、37C、37D、37E以相同的相位伸缩，能够使传递部34纵向振动。特别地，通过将电压V4施加于压电元件37A、37B、37C、37D、37E，能够使纵向振动模式中的纵向振动的振幅大于正旋转振动模式和逆旋转振动模式中的纵向振动的振幅。但是，只要能够使传递部34纵向振动，则施加于压电振动模块3的电压图形没有特别的限定。
此外，本实施方式的纵向振动模式为基本上仅包含纵向振动的振动模式。这样，优选的是，纵向振动模式为仅包含纵向振动的振动模式。但是，作为纵向振动模式，例如也可以包含与上述的正旋转振动模式以及逆旋转振动模式相比振幅较小的横向振动。即，也可以为进行产生小于正旋转振动模式以及逆旋转振动模式的驱动力的旋转振动的模式。
以上，对压电振动模块3进行了说明。此外，作为压电振动模块3，只要能够以上述的正旋转振动模式、逆旋转振动模式以及纵向振动模式进行驱动，则没有特别的限定。例如，可以省略支承部32和连接部33，压电元件37的结构(压电元件的数量、配置)也没有特别的限定。另外，作为压电振动模块3，例如也可以为层叠(重合)有多个本实施方式的压电振动模块3结构。由此，得到驱动力更大的压电振动模块3。
接着，对于压电驱动装置1的驱动方法进行说明。压电驱动装置1具有：保持模式(第一模式)，保持转子2(限制移动)；驱动模式(第二模式)，使转子2旋转；以及手动模式(第三模式)，允许转子2旋转，并能够手动地旋转转子2，可以选择上述之一的模式。此外，保持模式、驱动模式、手动模式的选择通过控制部6进行。
首先，对保持模式进行说明。保持模式为限制转子2的移动的模式。在该模式中，如图8所示，全部的压电振动模块3(第一压电振动模块3A及第二压电振动模块3B)停止驱动(振动)。如上所述，各压电振动模块3被施力部5被向转子2侧施力，各传递部34以足够的摩擦力与转子2的上表面21接触。因此，在该状态下，转子2被各压电振动模块3保持，转子2的旋转(移动)被阻止。通过具有这种保持模式，能够将转子2保持于预定的位置(旋转角度)。另外，能够抑制转子2的不期望的移动，提高压电驱动装置1的安全性、使用性(便利性)。
在此，如上所述，第二压电振动模块3B向转子2的按压力比第一压电振动模块3A向转子2的按压力大。即，第二压电振动模块3B以比第一压电振动模块3A更大的力被按压于转子2，第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力大于第一压电振动模块3A与转子2的摩擦力。由此，例如与现有技术那样、全部的压电振动模块3以相同的力被按压于转子2的情况相比，能够减少为了得到预定的保持力而所需的压电振动模块3的数量。因此，能够实现压电驱动装置1的小型化。
此外，作为第二压电振动模块3B向转子2的按压力，没有特别的限定，但在将第二压电振动模块3B向转子2的按压力设为N2，且将第一压电振动模块3A向转子2的按压力设为N1时，优选的是，2≤N2/N1≤10，更优选的是，3≤N2/N1≤5。由此，能够充分地提高第二压电振动模块3B向转子2的按压力。另外，如上所述，在使第二压电振动模块3B进行纵向振动时，能够充分地减小第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力，在驱动模式中，能够使转子2顺畅地移动。
接着，对驱动模式进行说明。驱动模式为使各压电振动模块3进行驱动(振动)而使转子2旋转的模式。在该模式中，如图9所示，以旋转振动模式驱动第一压电振动模块3A，以纵向振动模式驱动第二压电振动模块3B。由此，转子2被第一压电振动模块3A的传递部34送出，转子2围绕旋转轴O旋转(从动)。此外，在第二压电振动模块3B中所产生的纵向振动模式为，基本上不产生使转子2旋转的驱动力，而是为了允许转子2的旋转的振动。这样，通过不将第二压电振动模块3B用作使转子2移动的驱动部，能够抑制转子2的驱动力过大(超过需要)。
在此，对驱动模式时使第二压电振动模块3B进行纵向振动的理由进行说明。如上所述，第二压电振动模块3B被朝向转子2施力，在非驱动状态下，第二压电振动模块3B的传递部34以足够的摩擦力抵接于转子2。因此，当第二压电振动模块3B不驱动(振动)时，第二压电振动模块3B成为阻力(制动)，可能产生如下等问题：即使第一压电振动模块3A进行驱动而欲使转子2旋转，也无法使转子2旋转，或者即使转子2旋转其转速也会下降。
因此，关于不产生驱动力的第二压电振动模块3B，需要使其与转子2的摩擦力减小，允许转子2旋转，而实现这点的为纵向振动模式。由于该振动模式为接近、离开转子2的方向的往复振动，在向离开方向振动时，与转子2的摩擦力下降(传递部34从转子2离开的话，则摩擦力变为0)。因此，若平均来看，与停止状态(非驱动状态)相比，传递部34与转子2的摩擦力变小，能够允许转子2的移动。此外，优选的是，第二压电振动模块3B在纵向振动模式时，具有离开转子2的时间。由此，能够使传递部34与转子2的平均的摩擦力更为减小。
在此，在第二压电振动模块3B中通过各压电元件37A、37B、37C、37D、37E的伸缩而产生纵向振动，与此对比，在第一压电振动模块3A中通过压电元件37C的伸缩而产生纵向振动。因此，即使施加于第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的电压(图5中的电压V1、V2、V3、图7中的电压V4)为相同的大小，在不与转子2接触的状态(不与其他构件接触的自然状态)下，第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅大于第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅。在本实施方式中，由于压电元件37A、37B、37C、37D、37E的振动区域370的大小的合计约为压电元件37C的振动区域370的3倍，因此，第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅约为第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅的3倍。
这样，由于第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅大于第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅，因此，即使第二压电振动模块3B向转子2的按压力大于第一压电振动模块3A向转子2的按压力，在使第二压电振动模块3B纵向振动时，也能够充分地降低第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力。换言之，第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅大于第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅，因此，能够使第二压电振动模块3B向转子2的按压力大于第一压电振动模块3A向转子2的按压力。
在此，作为自然状态下的第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅，并没有特别的限定，在将第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅设为G2、将第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅设为G1时，优选的是，2≤G2/G1≤10，更优选的是，3≤G2/G1≤5。由此，能够使振幅G2足够大，通过使第二压电振动模块3B纵向振动，能够更可靠地使第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力充分地降低。另外，可防止振幅G2变得过大，例如，能够抑制第二压电振动模块3B的损坏、电力消耗的增加等。
当将按压力N1、N2的比率(N2/N1)设为N，将振幅G1、G2的比率(G2/G1)设为G时，例如，优选的是，0.5G≤N≤G，更优选的是，0.6G≤N≤0.9G。由此，能够充分地增大第二压电振动模块3B向转子2的按压力N2。因此，在保持模式中，能够减少为了得到预定的保持力所需要的压电振动模块3的数量。因此，能够实现压电驱动装置1的小型化。另外，能够将振幅G2确保为能够使第二压电振动模块3B的传递部34从转子2离开的程度。因此，在使第二压电振动模块3B进行纵向振动时，能够进一步减小第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力。因此，在驱动模式中，能够使转子2更顺畅地旋转。
以上，对驱动模式进行了说明。此外，在本实施方式中，作为驱动模式，对使全部的第一压电振动模块3A以正旋转振动模式进行驱动的结构进行了说明，但只要使至少一个第一压电振动模块3A以正旋转模式进行驱动的话，还可以使其他的压电振动模块3A以纵向振动模式进行驱动。这样，通过使第一压电振动模块3A的一部分以纵向振动模式进行驱动，能够使转子2的转速和转矩降低。另外，在本实施方式中，作为驱动模式，对使全部的第一压电振动模块3A以正旋转振动模式进行驱动的结构进行了说明，但相反地，也可以如图10所示那样，使全部的第一压电振动模块3A以逆旋转振动模式进行驱动。由此，能够使转子2逆旋转。
接着，对手动模式进行说明。手动模式为使各压电振动模块3驱动(振动)，能够手动地使转子2自如地移动的模式。在该模式中，如图11所示，使全部的压电振动模块3(第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B)以纵向振动模式进行驱动。由此，能够使全部的压电振动模块3与转子2的摩擦力减小，成为能够手动地使转子2运作的状态。此外，在手动模式中，第一压电振动模块3A不进行旋转振动而进行纵向振动，因此，基本上不会产生因第一压电振动模块3A的振动导致的转子2的旋转。
这种手动模式例如能够在操作者希望手动地(通过自己)操作转子2的情况、在向压电驱动装置1的控制部6教示(使其记忆)转子2的运作的情况下优选地使用。
以上，对压电驱动装置1进行了说明。如上所述，这种压电驱动装置1包括第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B，该第一压电振动模块3A何第二压电振动模块3B被向转子2(从动部)按压，并具备：振动部31；以及传递部34，与转子2抵接并将振动部31的振动传递至转子2。另外，第二压电振动模块3B向转子2的按压力大于第一压电振动模块3A向转子2的按压力。另外，第一压电振动模块3A的传递部34进行旋转振动(弯曲振动)，该旋转振动为在按压方向(振动部31的长度方向)上进行振动的纵向振动和在与按压方向交叉的方向(振动部31的宽度方向)上进行振动的横向振动的复合振动，第二压电振动模块3B的传递部34进行在按压方向(振动部31的长度方向)上进行振动的纵向振动。根据上述结构，仅通过第一压电振动模块3A使转子2移动，因此，能够抑制转子2的驱动力过大。另外，通过第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的双方保持转子2，因此，能够进一步提高转子2的保持力。即，能够得到不使驱动力过大并能够提高保持力的压电驱动装置1。此外，第二压电振动模块3B以比第一压电振动模块3A更大的力被按压于转子2，因此，能够比第一压电振动模块3A实现更大的保持力。因此，能够减少为了实现预定大小的保持力所需要的压电振动模块3的数量，能够实现压电驱动装置1的小型化。
为了更容易理解上述效果，基于图12及图13进行说明。在图12中，示出了作为现有技术的、设置有五个第一压电振动模块3A(五个压电振动模块3)的结构，在图13中，示出了作为本发明的结构的、设置有两个第一压电振动模块3A和一个第二压电振动模块3B(三个压电振动模块3)的结构。此外，对于这两个结构，压电振动模块3与转子2的摩擦系数为0.3，作为转子2的保持力求得3(N)，作为转子2的驱动力求得1.2(N)。另外，第一压电振动模块3A向转子2的按压力为2(N)，第二压电振动模块3B向转子2的按压力为6(N)。
在图12所示的现有技术的结构中，通过五个第一压电振动模块3A确保转子2的保持力的目标值即3(N)。另一方面，通过五个第一压电振动模块3A，转子2的驱动力大于作为目标值的1.2(N)而成为3(N)。于是，驱动力变得过大(超过指标)，成为难以使用的压电驱动装置1。另外，由于使用了五个压电振动模块3，因此，相对于图13所示的本发明的结构，导致压电驱动装置1的大型化、成本增加。
与此相对，在图13所示的本发明的结构中，通过两个第一压电振动模块3A以及一个第二压电振动模块3B确保作为转子2的保持力的目标值即3(N)。另一方面，通过两个第一压电振动模块3A，确保转子2的驱动力确保为目标值即1.2(N)。由此，保持力和驱动力均成为目标值，成为极容易使用的压电驱动装置1。另外，由于使用三个压电振动模块3，因此，与图12所示的现有技术的结构相比，能够实现压电驱动装置1的小型化、低成本化。这样，根据压电驱动装置1，能够在不使驱动力过大的情况下提高保持力。
另外，如上所述，一种压电驱动装置1的驱动方法，该压电驱动装置1包括第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B被向转子2(从动部)按压，并具备：振动部31；以及传递部34，与转子2抵接并将振动部31的振动传递至转子2，该压电驱动装置1的驱动方法设为，在使第二压电振动模块3B向转子2的按压力大于第一压电振动模块3A向转子2的按压力的状态下，第一压电振动模块3A的传递部34进行旋转振动(弯曲振动)，并且第二压电振动模块3B的传递部34进行在按压方向(振动部31的长度方向)上进行振动的纵向振动，旋转振动为在按压方向(振动部31的长度方向)上进行振动的纵向振动与在与按压方向交叉的方向(振动部31的宽度方向)上进行振动的横向振动的复合振动，由此，使转子2旋转(从动)。根据这样的驱动方法，仅通过第一压电振动模块3A使转子2旋转，因此，能够抑制转子2的驱动力过大。另外，通过第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的双方保持转子2，因此，能够进一步提高转子2的保持力。即，能够在不使驱动力过大的情况下提高保持力。此外，第二压电振动模块3B以比第一压电振动模块3A更大的力被按压于转子2，因此，能够比第一压电振动模块3A实现更大的保持力。因此，能够减少为了实现预定大小的保持力所需要的压电振动模块3的数量，能够实现压电驱动装置1的小型化。
另外，如上所述，在压电驱动装置1中，在不被按压至转子2的状态(自然状态)下，第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅大于第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅。由此，通过使第二压电振动模块3B纵向振动，能够更可靠地减小第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力。因此，通过第一压电振动模块3A的旋转振动，能够使转子2更顺畅地移动。
另外，如上所述，在压电驱动装置1中，第一压电振动模块3A的振动部31和第二压电振动模块3B的振动部31为相同结构。由此，压电驱动装置1的结构简单。此外，上述“相同结构”是指，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B均能够以纵向振动模式和旋转振动模式进行振动。因此，只要能够以纵向振动模式和旋转振动模式进行振动即可，例如，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的整体的结构可以彼此不同。例如，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的一方可以不包括支承部32和连接部33，页可以为不同的形状，还可以是振动部31中的压电元件37的配置互不相同。
另外，如上所述，在压电驱动装置1中，第一压电振动模块3A及所述第二压电振动模块3B配置于振动部31，并包括在与按压方向(振动部31的长度方向)交叉的方向(振动部31的宽度方向)上排列配置的至少一对振动区域370。并且，第一压电振动模块3A通过使一对振动区域370以不同的相位进行伸缩而使传递部34旋转振动，第二压电振动模块3B通过使一对振动区域370以相同的相位进行伸缩而使传递部34纵向振动。由此，通过简单的结构，能够使第一压电振动模块3A旋转振动，并能够使第二压电振动模块3B纵向振动。
另外，如上所述，压电驱动装置1包括：驱动模式(第一模式)，一边使第一压电振动模块3A的传递部34旋转振动，一边使第二压电振动模块3B的传递部34纵向振动，由此使转子2移动；以及保持模式(第二模式)，停止第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B的驱动，并通过第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B保持转子2。由此，在使转子2移动至预定位置之后，能够将转子2保持于该位置。因此，抑制了转子2的不期望的移动，提高压电驱动装置的可靠性。
另外，如上所述，压电驱动装置1还包括手动模式(第三模式)，在该手动模式中，使第一压电振动模块3A的传递部34和及第二压电振动模块3B的传递部34纵向振动，从而允许转子2的移动。由此，例如操作者能够手动地(通过自己的手)操作转子2，进一步提高压电驱动装置1的使用性。另外，手动模式能够在向压电驱动装置1的控制部6教示(使其记忆)转子2的运作的情况下优选地使用。
<第二实施方式>
接着，对本发明的第二实施方式的压电驱动装置进行说明。
图14为示出本发明的第二实施方式的压电驱动装置所包括的第二压电振动模块的俯视图。图15为图14中的C-C线截面图。
以下，关于第二实施方式的压电驱动装置，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。
本发明的第二实施方式的压电驱动装置，除了第二压电振动模块的结构不同之外，其余与上述的第一实施方式基本相同。此外，对于与上述的实施方式相同的结构标注相同的附图标记。
在本实施方式的压电驱动装置1中，第一压电振动模块3A和所述第二压电振动模块3B为相互不同的结构。第一压电振动模块3A的结构与上述的第一实施方式的结构相同，因此，以下对第二压电振动模块3B的结构进行说明。
与上述的第一实施方式的结构相比，第二压电振动模块3B的压电元件37的结构不同。如图14所示，在本实施方式的第二压电振动模块3B中，压电元件37包括遍及几乎振动部31的整个区域配置的一个压电元件37F。另外，如图15所示，压电元件37F包括：压电体372；第一电极371，设置于压电体372的上表面；以及第二电极373，设置于压电体372的下表面。并且，被压电体372的第一电极371和第二电极373夹持的区域为振动区域370。在这种结构的第二压电振动模块3B中，通过将图7所示的电压V4施加于压电元件37F，能够进行纵向振动模式。即，压电元件37F伸缩振动，传递部34纵向振动。
第二压电振动模块3B中的产生纵向振动的压电元件37F的振动区域370的面积比第一压电振动模块3A中的产生纵向振动的压电元件37C的振动区域370的面积大。因此，如果驱动电压为相同大小，则第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅大于第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅。由此，在驱动模式时，能够更可靠地使第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力下降。此外，在本实施方式中，压电元件37F的振动区域370的面积约为压电元件37C的振动区域370的3倍，因此，第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅约为第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅的3倍。
以上，对本实施方式的压电驱动装置1进行了说明。在上述那样的压电驱动装置1中，如上所述，第一压电振动模块3A的振动部31和第二压电振动模块3B的振动部31为相互不同的结构。由此，能够使第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B分别为适当的结构，因此，成为能够进行更有效率的驱动的压电驱动装置1。此外，上述“不同的结构”是指，第一压电振动模块3A能够以纵向振动模式和旋转振动模式进行振动，而第二压电振动模块3B能够以纵向振动模式进行振动但不能够以旋转振动模式进行振动，除此以外的结构没有特别的限定。例如，第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B中的一方可以不包括支承部32和连接部33，也可以为不同的形状。
另外，如上所述，在本实施方式的压电驱动装置1中，第二压电振动模块3B的产生纵向振动的振动区域370(压电元件37F的振动区域370)的面积比第一压电振动模块3A的产生纵向振动产生的振动区域370(压电元件37C的振动区域370)的面积大。因此，第二压电振动模块3B的传递部34的纵向振动的振幅大于第一压电振动模块3A的传递部34的纵向振动的振幅。由此，通过使第二压电振动模块3B纵向振动，能够更可靠地减小第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力。
在此，作为压电元件37F的振动区域370的面积，没有特别的限定，在将压电元件37F的振动区域370的面积设为M2、将压电元件37C的振动区域370的面积设为M1时，优选的是，2≤M2/M1≤10，更优选的是，3≤M2/M1≤5。由此，能够使面积G2足够大，通过使第二压电振动模块3B纵向振动，能够更可靠地使第二压电振动模块3B与转子2的摩擦力充分地降低。另外，防止面积M2变得过大，例如，能够抑制第二压电振动模块3B过于大型化。
特别地，在本实施方式中，第二压电振动模块3B具有一个振动区域370。由此，能够在振动部31内设置更大的振动区域370，能够经一部增大第二压电振动模块3B的纵向振动的振幅。
根据以上的第二实施方式，能够实现与上述的第一实施方式同样的效果。
<第三实施方式>
接着，对本发明的第三实施方式的压电驱动装置进行说明。
图16为示出本发明的第三实施方式的压电驱动装置的立体图。
以下，关于第三实施方式的压电驱动装置1，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项，省略其说明。
本发明的第三实施方式的压电驱动装置，除了从动部的结构不同之外，其余与上述的第一实施方式基本相同。此外，对于与上述的实施方式相同的结构标注相同的附图标记。
如图16所示，本实施方式的压电驱动装置1包括：滑块7(从动部)，用作直线电机，能够沿着方向X进行直线移动；多个压电振动模块3(第一压电振动模块3A和第二压电振动模块3B)，抵接于滑块7的上表面71；台4，支承多个压电振动模块3；施力部5，经由台4将压电振动模块3向转子2施力；以及控制部6，独立地控制各压电振动模块3的驱动。关于上述结构的压电驱动装置1，与上述的第一实施方式同样地，在驱动模式中，以正旋转振动模式(逆旋转振动模式)驱动第一压电振动模块3A，以纵向振动模式驱动第二压电振动模块3B，从而能够使滑块7沿方向X移动。
滑块7形成为板状，并通过导轨(引导构件)等而能够基本上仅沿方向X往复移动。但是，作为滑块7的结构，没有特别的限定。并且，与滑块7的上表面71抵接地配置有多个压电振动模块3(两个第一压电振动模块3A和一个第二压电振动模块3B)。另外，多个压电振动模块3沿着方向X(滑块7的移动方向)配置。
根据以上的第三实施方式，能够发挥与上述的第一实施方式同样的效果。
<第四实施方式>
接着，对本发明的第四实施方式的机器人进行说明。
图17为示出本发明的第四实施方式的机器人的立体图。
图17所示的机器人1000能够进行精密仪器、构成精密仪器的部件的材料供给、材料去除、输送以及组装等作业。机器人1000为六轴机器人，包括：基部1010，固定于地板、屋顶；臂1020，转动自如地连结于基部1010；臂1030，转动自如地连结于臂1020；臂1040，转动自如地连结于臂1030；臂1050，转动自如地连结于臂1040；臂1060，转动自如地连结于臂1050；臂1070，转动自如地连结于臂1060；以及机器人控制部1080，控制上述的臂1020、1030、1040、1050、1060、1070的驱动。另外，于臂1070设置有手连接部，在手连接部上安装有对应于使机器人1000执行的作业的末端执行器(end effector)1090。另外，在各关节部中的全部或者一部分中搭载有压电驱动装置1，通过该压电驱动装置1的驱动，各臂1020、1030、1040、1050、1060、1070转动。此外，各压电驱动装置1的驱动通过机器人控制部1080控制。另外，压电驱动装置1也可以搭载于末端执行器1090并用于末端执行器1090的驱动。
上述的机器人1000具备压电驱动装置1。因此，能够得到上述的压电驱动装置1的效果，能够实现高可靠性。
<第五实施方式>
接着，对本发明的第五实施方式的电子部件输送装置进行说明。
图18为示出本发明的第五实施方式的电子部件输送装置的立体图。图19为示出图18所示的电子部件输送装置所包括的电子部件保持部的立体图。此外，为了便于说明，在下文中，将相互正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴。
图18所示的电子部件输送装置2000适用于电子部件检查装置，包括：基台2100；以及支承台2200，配置于基台2100的侧方。另外，基台2100中设置有：上游侧台2110，载置检查对象的电子部件Q并将其沿Y轴方向输送；下游侧台2120，载置检查完成的电子部件Q并将其沿Y轴方向输送；以及检查台2130，位于上游侧基台2110和下游侧基台2120之间，检测电子部件Q的电特性。此外，作为电子部件Q的示例，例如可举出半导体、半导体晶片、CLD或OLED等的显示设备、水晶器件、各种传感器、喷墨头、各种MEMS器件等。
另外，在支承台2200上设置有相对于支承台2200能够沿Y轴方向移动的Y台2210，在Y台2210上设置有相对于Y台2210能够沿X轴方向移动的X台2220，在X台2220上设置有相对于X台2220能够沿Z轴方向移动的电子部件保持部2230。
另外，如图19所示，电子部件保持部2230包括：微调整板2231，能够沿X轴方向及Y轴方向移动；转动部2232，相对于微调整板2231能够围绕Z轴转动；以及保持部2233，设置于转动部2232，保持电子部件Q。另外，在电子部件保持部2230中内置有：压电驱动装置1(1x)，用于使微调整板2231沿X轴方向移动；压电驱动装置1(1y)，用于使微调整板2231沿Y轴方向移动；以及压电驱动装置1(1θ)，用于使转动部2232围绕Z轴转动。此外，作为压电驱动装置1x、1y，能够使用上述的第三实施方式的压电驱动装置，作为压电驱动装置1θ，能够使用上述的第一、第二实施方式的压电驱动装置。
上述的电子部件输送装置2000具备压电驱动装置1。因此，能够得到上述的压电驱动装置1的效果，能够实现高可靠性。
<第六实施方式>
接着，对本发明的第六实施方式的打印机进行说明。
图20为示出本发明的第六实施方式的打印机的整体结构的概略图。
图20所示的打印机3000包括：装置本体3010、以及设置于装置本体3010的内部的印刷机构3020、供纸机构3030及控制部3040。另外，在装置本体3010中设置有：盘3011，设置记录纸张P；排出口3012，排出记录纸张P；以及液晶显示器等的操作面板3013。
印刷机构3020包括：头单元3021、滑架电机3022、以及通过滑架电机3022的驱动力而使头单元3021往复移动的往复移动机构3023。另外，头单元3021包括：作为喷墨式记录头的头3021a、向头3021a供给墨水的墨盒3021b、以及搭载头3021a和墨盒3021b的滑架3021c。
往复移动机构3023包括：滑架导向轴3023a，将滑架3021c支承为能够往复移动；以及定时带3023b，通过滑架电机3022的驱动力而使滑架3021c在滑架导向轴3023a上移动。
供纸机构3030包括：相互压接的从动辊3031及驱动辊3032、以及作为驱动驱动辊3032的供纸电机的压电驱动装置1。
控制部3040例如基于从个人电脑等的主机计算机输入的印刷数据来控制印刷机构3020、供纸机构3030等。
在上述打印机3000中，供纸机构3030逐张地将记录纸张P向头单元3021的下部附近间歇输送。此时，头单元3021在与记录纸张P的输送方向大致正交的方向上往复移动，进行对记录纸张P的印刷。
上述的打印机3000包括压电驱动装置1。因此，能够得到上述的压电驱动装置1的效果，能够实现高可靠性。此外，在本实施方式中，压电驱动装置1驱动供纸用的驱动辊3032，但除此之外也可以驱动滑架3021c。
<第七实施方式>
接着，对本发明的第七实施方式的投影仪进行说明。
图21为示出本发明的第七实施方式的投影仪的整体结构的概略图。
图21所示的投影仪4000为LCD方式的投影仪，并包括：光源4010、反光镜4021、4022、4023、分色镜(dichroic mirror)4031、4032、液晶显示元件4040R、4040G、4040B、分色棱镜4050、投射透镜系统4060、压电驱动装置1。
作为光源4010例如可举出卤素灯、水银灯、发光二极管(LED)等。并且，作为该光源4010，可使用射出白色光的光源。并且，从光源4010射出的光，首先被分色镜4031分离为红色光(R)和其他的光。红色光被反光镜4021反射之后入射至液晶显示元件4040R，其他的光被分色镜4032进一步分离为绿色光(G)和蓝色光(B)。并且，绿色光入射至液晶显示元件4040G，蓝色光在被反光镜4022、4023反射之后入射至液晶显示元件4040B。
液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别用作空间光调制器。上述的液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别为与R、G、B的原色对应的透射型的空间光调制器，例如包括排列为纵1080行、横1920列的矩阵状的像素。在各像素中，调整相对于入射光的透射光的光量，在各液晶显示元件4040R、4040G、4040B中协调控制全部像素的光量分布。通过上述的液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别被空间性调制的光，通过分色棱镜4050合成，从分色棱镜4050射出全彩的图像光LL。并且，所射出的图像光LL被投射光学系统4060放大，例如被投射至屏幕等。压电驱动装置1能够使包含于投射透镜系统4060的至少一个透镜沿光轴方向移动而变更焦点距离。
上述的投影仪4000包括压电驱动装置1。因此，能够得到上述的压电驱动装置1的效果，能够实现高可靠性。
以上基于图示的实施方式对本发明的压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪进行了说明，但本发明不限于此，各部分的结构可以置换为具有同样的功能的任意的结构。并且，本发明中可以附加任意的结构物。并且，可以适当地组合各实施方式。
并且，在上述的实施方式中，对将压电驱动装置应用于机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪的结构进行了说明，压电驱动装置也能够应用于除上述以外的各种电子设备。

Claims (14)

1.一种压电驱动装置，其特征在于，包括：
第一压电振动模块和第二压电振动模块，所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块被向从动部按压，并分别具备振动部、以及与所述从动部抵接并将所述振动部的振动传递至所述从动部的传递部；以及
控制部，
所述第二压电振动模块向所述从动部的按压力比所述第一压电振动模块向所述从动部的按压力大，
所述控制部驱动所述第一压电振动模块，以使所述第一压电振动模块的所述传递部进行弯曲振动，所述弯曲振动为在按压方向上振动的纵向振动和在与所述按压方向交叉的方向上振动的横向振动的复合振动，
同时所述控制部驱动所述第二压电振动模块，以使所述第二压电振动模块的所述传递部进行在所述按压方向上振动的纵向振动。
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
在未被按压于所述从动部的状态下，
所述第二压电振动模块的所述传递部的所述纵向振动的振幅比所述第一压电振动模块的所述传递部的所述纵向振动的振幅大。
3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述第一压电振动模块的所述振动部与所述第二压电振动模块的所述振动部为相同的结构。
4.根据权利要求3所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块分别包括至少一对振动区域，该至少一对振动区域配置于所述振动部，并沿着与所述按压方向交叉的方向排列配置，
所述第一压电振动模块使所述一对振动区域以不同的相位进行伸缩，从而使所述第一压电振动模块的传递部进行所述弯曲振动，
所述第二压电振动模块使所述一对振动区域以相同的相位进行伸缩，从而使所述第二压电振动模块的传递部进行所述纵向振动。
5.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述第一压电振动模块的所述振动部与所述第二压电振动模块的所述振动部为相互不同的结构。
6.根据权利要求5所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述第二压电振动模块的产生所述纵向振动的振动区域的面积比所述第一压电振动模块的产生所述纵向振动的振动区域的面积大。
7.根据权利要求6所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述第二压电振动模块具有一个所述振动区域。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述控制部包括：
第一模式，使所述第一压电振动模块的所述传递部进行所述弯曲振动，同时使所述第二压电振动模块的所述传递部进行所述纵向振动，从而使所述从动部移动；以及
第二模式，停止所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块的驱动，通过所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块保持所述从动部。
9.根据权利要求8所述的压电驱动装置，其特征在于，
所述控制部还包括第三模式，在所述第三模式下，使所述第一压电振动模块的所述传递部和所述第二压电振动模块的所述传递部进行所述纵向振动，从而允许所述从动部移动。
10.一种压电驱动装置的驱动方法，其特征在于，
所述压电驱动装置包括第一压电振动模块和第二压电振动模块，所述第一压电振动模块和所述第二压电振动模块被向从动部按压，并分别具备：振动部、以及与所述从动部抵接并将所述振动部的振动传递至所述从动部的传递部，
在使所述第二压电振动模块向所述从动部的按压力大于所述第一压电振动模块向所述从动部的按压力的状态下，
所述第一压电振动模块的所述传递部进行弯曲振动，所述弯曲振动为在按压方向上振动的纵向振动和在与所述按压方向交叉的方向上振动的横向振动的复合振动，并且，所述第二压电振动模块的所述传递部进行在按压方向上振动的纵向振动，
由此使所述从动部从动。
11.一种机器人，其特征在于，
具备权利要求1至9中任一项所述的压电驱动装置。
12.一种电子部件输送装置，其特征在于，
具备权利要求1至9中任一项所述的压电驱动装置。
13.一种打印机，其特征在于，
具备权利要求1至9中任一项所述的压电驱动装置。
14.一种投影仪，其特征在于，
具备权利要求1至9中任一项所述的压电驱动装置。
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