JP4373449B2 - 超音波モータを備えた微動機構及び振動体保持機構 - Google Patents

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Description

本発明は、超音波モータを備えた微動機構に関し、特に、固定台に対して移動可能に支持された移動体の位置決めを行う微動機構に関する。
半導体や生体試料など微細構造の観察に顕微鏡がよく利用されている。観察対象の任意位置を顕微鏡観察下に位置づけるためにＸＹステージを利用するが、このとき、観察対象となる微細構造と同等以上の送り分解能や静止時の安定性が求められている。また、観察位置も高いスループットで複数箇所を観察する必要がある場合も多く、高速動作も求められている。
以上のニーズに対応するアクチュエータの一つとして超音波モータが注目されている。例えば特許文献１に記載されているように顕微鏡用ＸＹステージのアクチュエータとして超音波モータを採用する装置も提案されている。また、超音波モータやその保持方法として、特許文献２や３に記載されているような構成が提案されている。
特開２００５−２６５９９６号公報 特開平７−２６４８８０号公報 特許第３１８４１１７号公報
近年では、半導体の線幅観察や生体分子観察など観察対象の極微細化により、観察倍率は高倍率化していて、サブミクロンオーダの駆動分解能が必要となってきた。また、ステージ上には例えば生体試料用インキュベータなどのような装置が載置されることもあり、積載荷重や配線などの屈曲抵抗、手で触れるなどの外力が作用するため、大きな静止保持力や駆動力が必要とされる。
このため、超音波モータの保持機構にゴムのような変形しやすい弾性体や剛性の低い弾性体が介在すると、振動子の駆動方向支持剛性が低くなり、移動体移動時に生じる様々な抵抗力によって振動子自体が微小変位してしまい移動対象物が所望する微小量動かないという問題が生じてしまう。
また、超音波モータを固定台に対して保持する機構中に完全固定されていない接触・摺動部などが存在すると、超音波モータの振動により接触状態が変化し、サブミクロンオーダの位置再現性が得られず、所望する変位が得られない問題も生じる。
先行例に示す超音波モータ保持機構は、以上の問題を含むためサブミクロンオーダの位置決めが難しい問題を内包している。
一方、超音波モータは、振動子を移動体に押圧させて振動させると、その摩擦力により移動体を移動させる。ここで、サブミクロンオーダの微小駆動の場合、振動子を移動体に押圧する力によって、移動体の移動量が変化する。例えば図９に模式的に示すような構成を有する駆動機構において、ある駆動条件で微小駆動させたとき、押圧力と移動量の間には図１０に示すような関係がある。
なお、図９に示した駆動機構は、固定台３１と、例えばリニアボールガイド等のガイド３２によって固定台３１に対して移動可能に支持された移動体３３と、この移動体３３に当接される突起部３４（３４ａ，３４ｂ）が設けられた振動体３５と、この振動体３５を固定台３１に対して保持する保持部材３６等を有する。この場合、例えば、振動体３３が突起部３４を介して移動体３３に押圧力Ｆで押圧されている状態で、駆動信号の印加により振動体３５が微小駆動されると、移動体３３がガイド３２に沿って移動量Ｓだけ移動する。また、図１０において、縦軸は移動量Ｓ、横軸は押圧力Ｆである。
図１０に示したように、押圧力Ｆの増加に伴い移動量Ｓは増加し、押圧力Ｆopで移動量Ｓは最大となる。その後、移動量Ｓは減少し、押圧力Ｆmaxを越えると移動体３３が動かなくなったり逆方向に移動したりする。このことから、微小駆動を確実且つ効率的に得るためには、最適な押圧力Ｆopを負荷する必要がある。
本発明は、上記実情に鑑み、サブミクロンオーダの位置決めが可能な、超音波モータを備えた微動機構及び振動体保持機構を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の第１の態様に係る装置は、超音波モータを備えた微動機構であって、固定台と、前記固定台に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体と、前記移動軸方向に対して平行な平面であって複数の突起部が設けられた第１の平面と当該第１の平面に対して平行な第２の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体と、前記振動体を前記固定台に対して保持する保持機構と、を備え、前記保持機構は、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって構成されており、その一部は、前記振動体の前記第２の平面の一部と固定されるとともに、前記移動体の駆動方向に対して前記振動体を高剛性に保持し、前記駆動方向に直交する方向に対して弾性を有する、前記振動体との固定面に対して平行に延在して設けられた薄板ばねで構成されている、ことを特徴とする。
また、本発明の第２の態様に係る装置は、上記第１の態様において、前記薄板ばねは、前記保持機構と一体構造である、ことを特徴とする。
また、本発明の第３の態様に係る装置は、上記第１又は２の態様において、前記薄板ばねは中央部にバネとして作用しない厚肉部を有し、前記薄板ばねの押圧方向ばね定数より小さなばね定数の弾性部材が前記厚肉部を押圧するように配置され、前記振動体に設けられた前記複数の突起部が前記振動体と共に前記厚肉部を介して前記弾性部材により前記移動体に押圧される、ことを特徴とする。
本発明の第４の態様に係る装置は、固定台と、該固定台に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体と、超音波モータとを備えた微動機構における振動体保持機構であって、前記超音波モータに含まれる振動体は、前記移動軸方向に対して平行な平面であって複数の突起部が設けられた第１の平面と当該第１の平面に対して平行な第２の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起し、前記振動体保持機構は、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって構成されており、その一部は、前記振動体の前記第２の平面の一部と固定されるとともに、前記移動体の駆動方向に対して前記振動体を高剛性に保持し、前記駆動方向に直交する方向に対して弾性を有する、前記振動体との固定面に対して平行に延在して設けられた薄板ばねで構成されており、前記振動体を前記固定台に対して保持する、ことを特徴とする。
本発明によれば、移動対象物をサブミクロンオーダで移動することができると共に、押圧力の変動があっても安定してそれを移動することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る、超音波モータを備えた微動機構の斜視図である。図２(a) は本実施形態に係る微動機構の一部上面図であり、同図(b) は同図(a) に示したＡ−Ａ´断面図である。図３は、プランジャの断面図である。
本実施形態に係る微動機構は、サブミクロンオーダの位置決めが可能な装置であって、移動対象物の正確な微小移動が要求される顕微鏡システムや電子機器等に適用可能な装置である。
図１に示したように、固定台１上には、ガイド２（同図では２ａ，２ｂ，２ｃ）によって固定台１に対して移動軸方向となる１軸方向に移動可能に支持された移動体３が保持されている。なお、ガイド２は、例えばリニアボールガイド等のガイドである。移動体３の側面には、例えばセラミック等の硬い材料で作られた摺動部材４が設けられている。
保持部材５は、振動体８を固定台１に対して保持する保持機構であって、例えばアルミニウム等の金属材料で構成されている。また、保持部材５は、詳しくは図２(a) に示したように、ワイヤ放電加工等により切り欠き穴部６を設けることによって形成された薄板ばね部７（同図(a) では斜線で示した部分）を有する。薄板ばね部７の中央にはばねとして作用しない厚肉部７ａが形成されていて、厚肉部７ａと振動体８とが例えばセラミック接着材等の硬度の高い接着剤で接着されている。このとき、薄板ばね部７と振動体８は平行に近接して設けられるように構成されている。また、振動体８の接着位置は、振動体８の接着面中央付近である。
このように、本実施形態では、ばねとして作用しない厚肉部７ａに振動体８を接着することによって、薄板ばね部７がたわんだときに振動体８との接着が剥がれないようにしている。また、薄板ばね部７と振動体８とを近接して設けるように構成することによって、薄板ばね部７の引っ張り圧縮方向の剛性をより高めるようにしている。なお、薄板ばね部７の中央に形成される厚肉部７ａの形状は、図示した形状に限らず、振動体８との接着が剥がれない程度の厚みを持ちながら薄板ばね部７と振動体８とを平行に近接して設けることができるような形状であって、さらに後述のプランジャ１１等のような押圧手段により適切に押圧力を与えることができるような形状であるならば、他の形状であってもよい。
振動体８において、保持部材５の厚肉部７ａが接着された面と反対の面には突起部９（９ａ，９ｂ）が２個設けられている。突起部９は、例えば強化繊維を含むポリアセタールやセラミック等の、摩擦係数の比較的小さな樹脂を母材とした材料で形成されている。保持部材５は、突起部９が２個とも摺動部材４に接する状態で、固定用ビス穴１０（１０ａ，１０ｂ）を通してビスにより固定台１に固定される。このとき、薄板ばね部７のたわみは殆ど無い状態で、移動体３側への押圧力はゼロ近傍であることが望ましい。なお、図１においては保持部材５を固定台１に固定するための固定用ビス穴１０及びビスを省略して示している。
また、保持部材５にはメネジが形成されていて、詳しくは図２(b) に示したように、外周にオネジが形成されたプランジャ１１をねじ込むことによって厚肉部７ａを押圧できるようになっている。プランジャ１１の内部には、詳しくは図３に示したように、コイルばね１２が内蔵されており、先端部材１３が押し込まれることにより押圧力が発生する。このため、プランジャ１１の先端部材１３の移動量（同図のΔＷ）に応じた押圧力が厚肉部７ａに負荷される。このとき、振動体８も突起部９と共に摺動部材４に押圧される。なお、プランジャ１１のコイルばね１２のばね定数は、薄板ばね部７の押圧方向ばね定数よりも小さく構成されている。このため、プランジャ１１によって、より細かい押圧力の調整が可能になっている。
なお、本実施形態に係る微動機構において、移動体３の移動軸方向と、振動体８における突起部９が設けられた平面と、振動体８における厚肉部７ａが接着された平面と、薄板ばね部７の引っ張り圧縮方向とは平行である。
また、振動体８は、不図示の駆動回路により所定の高周波電圧信号が印加されることにより、複数の振動モードを励起することが可能になっている。そして、振動体８に複数の振動モードを励起させることによって、振動体８に設けられている突起部９に接触している摺動部材４と共に移動体３を移動させることが可能になっている。
また、本実施形態に係る微動機構において、超音波モータは、少なくとも振動体８及び突起部９を含んで構成されている。
以上のように構成された本実施形態に係る超音波モータを備えた微動機構では、一体構造の保持部材５のみによって振動体８が固定台１に対して保持されており、摩擦摺動部やゴム部材等のような非線形要素（非線形性の高い要素を含む）が保持部材５に含まれない。また、移動体３の駆動方向を支持する剛性は、薄板ばね部７の引っ張り圧縮方向の剛性とほぼ一致するため、剛性が高い。例えば、厚みtを0.5mm、長さLを20mm、幅bを5mmとする一般的形状の薄板ばねであって材料がアルミニウムの薄板ばねの場合、薄板ばねの引っ張り圧縮方向の剛性は約6900N/mmである。この場合、仮に駆動反力が1Nとすれば、薄板ばねの引っ張り圧縮方向の変形は約0.15μmである。
よって、振動体８の振動により突起部９と摺動部材４との接触状態が変化することは無く、移動体３の移動時に生じる抵抗力によって振動体８自体が微小変位して移動体３が動かなくなる心配も無く、サブミクロンオーダで移動体３を微小量動かすことが可能である。
また、本実施形態に係る微動機構では、移動体３の移動に伴い、加工や組立の誤差等の影響により押圧方向に微小な変位を生じる場合がある。このとき、その微小変位に伴って押圧力も変動するが、振動体８の押圧方向を支持する剛性により押圧力の変化は大きく異なる。その剛性が高いと押圧力は急激に増大し、許容最大値を超えてしまう場合もある。図４は、移動体３の移動に伴う押圧方向の微小変位を模式的に示す図である。同図において、振動体８の押圧方向を支持する剛性をKとして、移動体３が移動量Sだけ移動したときの移動体３の押圧方向変位をΔXとすれば、押圧力ΔF＝KΔXだけ変化することになる。このことから振動体８の押圧方向を支持する剛性Kが大きいと、押圧力ΔFも大きく変化するため、場合によって押圧力はFmaxを超えてしまい移動体３が動かなくなる虞がある。
ここで、保持部材５に形成された薄板ばね部７のみで振動体８を押圧する場合を考える。ここでは、押圧力の最適値Fopを10N、押圧力の許容最大値を20Nとする。また、薄板ばね部７を、厚みtを0.5mm、長さLを20mm、幅bを5mmとする一般的な形状の薄板ばねに簡略化し、その材料をアルミニウムとすると、薄板ばねの押圧方向の剛性Kpはおおよそ90N/mmである。この場合、最適値Fopを負荷するためには薄板ばねを約0.1mmたわませて振動体８を保持する必要がある。しかしながら、薄板ばねを0.1mmたわませるように押圧力を設定するのは組立上困難な作業である。例えば、組付け誤差が0.01mm生じれば、押圧力は1N変化してしまう。
これに対し、本実施形態に係る微動機構のようにプランジャ１１により押圧力を負荷する構成では、薄板ばね部７をたわませずに押圧力を負荷することが可能である。例えば、市販されているM5サイズのプランジャを適用した場合、内部のコイルばね剛性はおよそ4.5N/mmであり、10Nの荷重を負荷するためには約2.2mmプランジャをねじ込むことになる。このため、たとえ0.01mmの組み付け誤差が生じたとしても、押圧力の変化は0.04N程度である。
さらに、移動体３の移動に伴って移動体３が押圧方向振動体８側に0.05mm変位したとしても、押圧力の増加分は5N程度であり、押圧力の最大値も15N程度に留まる。このため、許容最大値20Nに達することは無く、微小駆動を確実に行うことができる。
また、本実施形態に係る微動機構では、保持部材５が一つの金属部品から構成されるため、部品点数が最小となり、製造コストを大幅に削減することができる。
また、本実施形態に係る微動機構では、保持部材５に設けられた薄板ばね部７の中央部にバネとして作用しない厚肉部７ａが設けられ、これに振動体８が接着されるので、接着面にバネ変形による無理な応力が作用せず、耐久性をより向上させることができる。
また、例えば上述の特許文献３の図７に記載されているような超音波モータ保持方法では、超音波モータを構成する振動子自体に切欠きや極端に形状が変化する部分が存在するため、応力集中が生じて破損する可能性が高まるが、本実施形態に係る微動機構では、振動体８に応力集中の心配が無いため、耐久性をより向上させることができる。
また、本実施形態に係る微動機構では、薄板ばね部７の初期たわみがほとんど無い状態にすることができるので、許容応力に達するまでのたわみ量を大きくすることができる。このため、ガイド２やその他部品の加工や組立等の誤差による押圧方向変位の許容範囲が大きくなるので、耐久性の向上や加工及び組立コストの低減が可能となる。
また、本実施形態では、細かい押圧力の調整手段としてプランジャ１１を用いた例を説明したが、押圧力の微調整が可能であれば他の弾性手段を用いても良い。また、薄板ばね部７と保持部材５を別体の構成として、薄板ばね部７を金属以外の高剛性材料で構成しても良い。
［第２の実施形態］
図５は、本発明の第２の実施形態に係る、超音波モータを備えた微動機構の斜視図である。図６(a) は本実施形態に係る微動機構の一部上面図であり、同図(b) は同図(a) に示したＢ−Ｂ´断面図である。図７は、図６(a) に示した構成の斜視図である。図８は、本実施形態における保持部材が固定台に固定された状態を模式的に示す図である。
本実施形態に係る超音波モータを備えた微動機構は、振動体を固定台に対して保持する保持機構である保持部材の構成が第１の実施形態と異なり、その他の構成は同じである。
図５乃至図８において、本実施形態における保持部材２１は、例えばアルミニウム等の金属材料で構成されており、詳しくは図６(a)に示したように、ワイヤ放電加工等により切り欠き穴部２２を設けることによって形成された薄板ばね部２３（同図(a) では斜線で示した部分）を有する。また、詳しくは図７に示したように、保持部材２１の移動体３側の平面にも、ワイヤ放電加工等により切り欠き穴部２４が設けられており、これが切り欠き穴部２２と繋がっている。
薄板ばね部２３の中央にはばねとして作用しない厚肉部２３ａが形成されていて、この厚肉部２３ａと、一部が切り欠き穴部２４に挿入された状態の振動体８とが例えばセラミック接着材等の硬度の高い接着剤で接着されている。このとき、薄板ばね部２３と振動体８は平行に近接して設けられるように構成されている。また、振動体８の接着位置は、振動体８の接着面中央付近である。
このように、本実施形態でも、ばねとして作用しない厚肉部２３ａに振動体８を接着することによって、薄板ばね部２３がたわんだときに振動体８との接着が剥がれないようにしている。また、薄板ばね部２３と振動体８とを近接して設けるように構成することによって、薄板ばね部２３の引っ張り圧縮方向の剛性をより高めるようにしている。なお、薄板ばね部２３の中央に形成される厚肉部２３ａの形状は、図示した形状に限らず、振動体８との接着が剥がれない程度の厚みを持ちながら薄板ばね部２３と振動体８とを平行に近接して設けることができるような形状であるならば、他の形状であってもよい。
保持部材２１は、詳しくは図８に示したように、振動体８における保持部材２１が接着された面と反対の面に設けられた２個の突起部９（９ａ，９ｂ）がいずれも摺動部材４に接すると共に、薄板ばね部２３がΔｗたわんだ状態で固定台１に固定される。なお、図８においては、摺動部材４と移動体３とを一体として模式的に示している。
また、保持部材２１には固定用ビス穴２５（２５ａ，２５ｂ）が設けられており、この穴を通して保持部材２１がビスで固定台１に固定される。固定用ビス穴２５は長穴形状をしていて、押圧方向にある程度動かすことができるようになっている。なお、図５においては、保持部材２１を固定台１に固定するための固定用ビス穴２５及びビスを省略して示している。
なお、本実施形態に係る微動機構においても、移動体３の移動軸方向と、振動体８における突起部９が設けられた平面と、振動体８における厚肉部２３ａが接着された平面と、薄板ばね部２３の引っ張り圧縮方向とは平行である。
以上のように構成された本実施形態に係る超音波モータを備えた微動機構では、振動体８の一部が保持部材２１の切り欠き穴部２４に挿入された状態で振動体８が保持部材２１により保持されることから、振動体８が保持部材２１により保持された状態における構成の押圧方向長さを短くすることができ、構成をより小型化することができる。
また、本実施形態に係る微動機構でも、第１の実施形態と同様に、一体構造の保持部材２１のみによって振動体８が固定台１に対して保持されており、摩擦摺動部やゴム部材等のような非線形要素（非線形性の高い要素を含む）が保持部材２１に含まれない。また、移動体３の駆動方向を支持する剛性は、薄板ばね部２３の引っ張り圧縮方向の剛性とほぼ一致するため、剛性が高い。よって、振動体８の振動により突起部９と摺動部材４との接触状態が変化することは無く、移動体３の移動時に生じる抵抗力によって振動体８自体が微小変位して移動体３が動かなくなる心配も無く、サブミクロンオーダで移動体３を微小量動かすことが可能である。
また、本実施例に係る微動機構においても、移動体３の移動に伴い、加工や組立の誤差等の影響により押圧方向に微小な変位を生じる場合がある。この場合、薄板ばね部２３の厚みを0.2mm程度の薄さで形成しておけば、押圧力が最大許容力を超えることはない。
ここで、保持部材２１に形成された薄板ばね部２３で振動体８を押圧する場合を考える。ここでは、押圧力の最適値Fopを10N、押圧力の許容最大値を20Nとする。また、薄板ばね部２３を、厚みｔを0.3mm、長さLを20mm、幅bを5mmとする一般的な形状の薄板ばねに簡略化し、その材料をアルミニウムとすると、薄板ばねの押圧方向の剛性Kpはおおよそ19N/mmである。この場合、最適値Fopを負荷するためには薄板ばねを約0.5mmたわませて振動体８を保持すればよい。
また、移動体３の移動に伴って移動体３が押圧方向振動体８側に0.05mm変位したとしても、押圧力の増加分は1N程度である。このため、許容最大値20Nに達することは無く、微小駆動を確実に行うことができる。
また、本実施形態では、薄板ばね部２３のみを用いた構成を説明したが、第１の実施形態で説明したプランジャ１１や、公知の弾性部材を用いて、厚肉部２３ａの後方から押圧する構成としても良い。
また、本実施形態に係る微動機構では、第１の実施形態と同様に、次のような効果もある。まず、保持部材２１が一つの金属部品から構成されるため、部品点数が最小となり、製造コストを大幅に削減することができる。また、バネとして作用しない厚肉部２３ａに振動体８が接着されるので、接着面にバネ変形による無理な応力が作用せず、耐久性をより向上させることができる。さらに、振動体８に応力集中の心配が無いため、耐久性をより向上させることができる。
以上、第１及び第２の実施形態について説明した。各実施形態では、保持部材と薄板ばね部とが一部品の一体構造で構成されていたが、両者を別々の部品として構成し、両者を組み立てたときに一体的に構成されるようにすることもできる。
また、各実施形態では、保持部材をアルミニウム等の金属材料によって構成したが、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料であるならば他の材料によって構成することもできる。
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良及び変更を行っても良いのはもちろんである。
第１の実施形態に係る、超音波モータを備えた微動機構の斜視図である。 (a)は第１の実施形態に係る微動機構の一部上面図であり、(b) は(a) に示したＡ−Ａ´断面図である。 プランジャの断面図である。 移動体の移動に伴う押圧方向の微小な変位を模式的に示す図である。 第２の実施形態に係る、超音波モータを備えた微動機構の斜視図である。 (a) は第２の実施形態に係る微動機構の一部上面図であり、(b) は(a) に示したＢ−Ｂ´断面図である。 図６(a) に示した構成の斜視図である。 第２の実施形態における保持部材が固定台に固定された状態を模式的に示す図である。 移動体を移動させる駆動機構を模式的に示す図である。 押圧力と移動量との間の関係を示す図である。
符号の説明
１ 固定台
２ ガイド
３ 移動体
４ 摺動部材
５ 保持部材
６ 切り欠き穴部
７ 薄板ばね部
８ 振動体
９ 突起部
１０ 固定用ビス穴
１１ プランジャ
１２ コイルばね
１３ 先端部材
２１ 保持部材
２２ 切り欠き穴部
２３ 薄板ばね部
２４ 切り欠き穴部
２５ 固定用ビス穴
３１ 固定台
３２ ガイド
３３ 移動体
３４ 突起部
３５ 振動体
３６ 保持部材

Claims (4)

  1. 超音波モータを備えた微動機構であって、
    固定台と、
    前記固定台に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体と、
    前記移動軸方向に対して平行な平面であって複数の突起部が設けられた第１の平面と当該第１の平面に対して平行な第２の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体と、
    前記振動体を前記固定台に対して保持する保持機構と、
    を備え、
    前記保持機構は、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって構成されており、その一部は、前記振動体の前記第２の平面の一部と固定されるとともに、前記移動体の駆動方向に対して前記振動体を高剛性に保持し、前記駆動方向に直交する方向に対して弾性を有する、前記振動体との固定面に対して平行に延在して設けられた薄板ばねで構成されている、
    ことを特徴とする微動機構。
  2. 前記薄板ばねは、前記保持機構と一体構造である、
    ことを特徴とする請求項１記載の微動機構。
  3. 前記薄板ばねは中央部にバネとして作用しない厚肉部を有し、前記薄板ばねの押圧方向ばね定数より小さなばね定数の弾性部材が前記厚肉部を押圧するように配置され、前記振動体に設けられた前記複数の突起部が前記振動体と共に前記厚肉部を介して前記弾性部材により前記移動体に押圧される、
    ことを特徴とする請求項１又は２記載の微動機構。
  4. 固定台と、該固定台に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体と、超音波モータとを備えた微動機構における振動体保持機構であって、
    前記超音波モータに含まれる振動体は、前記移動軸方向に対して平行な平面であって複数の突起部が設けられた第１の平面と当該第１の平面に対して平行な第２の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起し、
    前記振動体保持機構は、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって構成されており、その一部は、前記振動体の前記第２の平面の一部と固定されるとともに、前記移動体の駆動方向に対して前記振動体を高剛性に保持し、前記駆動方向に直交する方向に対して弾性を有する、前記振動体との固定面に対して平行に延在して設けられた薄板ばねで構成されており、前記振動体を前記固定台に対して保持する、
    ことを特徴とする振動体保持機構。
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