JP7027052B2 - 振動型アクチュエータ及びこれを用いた電子機器 - Google Patents
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 65
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
10,20 振動型アクチュエータ
11,21 振動体
11a,21a 弾性体
11b,21b 圧電素子
11c,21c 突起部
12,22 フレキシブルプリント基板
12a 振動部
12b1 第1支持部
12b2 第2支持部
12c1 第1固定部
12c2 第2固定部
12d 導通部材
13,23 裏打ち材
500 顕微鏡
700 撮像装置
Claims (15)
- 平板状かつ矩形の形状で短辺と長辺を有する振動体と、接触体と、を相対的に移動させる振動型アクチュエータであって、
前記振動体を支持し、前記振動体へ給電する支持部材を有し、
前記支持部材は、
前記振動体に接合される振動部と、
前記支持部材を所定の位置に固定するために前記振動体を挟んで対向して設けられる第1固定部および第2固定部と、
前記振動部と前記第1固定部とを連結して前記振動体を支持する第1支持部と、
前記振動部と前記第2固定部とを連結して前記振動体を支持する第2支持部と、
前記振動体から前記第1固定部へ延出し、かつ、前記振動体から前記第2固定部へ延出し、前記振動体へ給電する導通部材と、を有し、
前記振動体は、前記振動体の厚み方向と直交する同一平面上において直交すると共に前記短辺と前記長辺にそれぞれ平行で、且つ、前記同一平面上における前記振動体の中心に交点が配置される第1対称軸と第2対称軸の各軸について、対称となる形状を有し、
前記第1支持部と前記第2支持部における前記導通部材の配線形状は、前記第1対称軸と前記第2対称軸の各軸について対称となる形状を有し、
前記導通部材の一部は、給電および接地に用いられないことを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記第1固定部と前記第2固定部は、前記第1対称軸と前記第2対称軸の各軸について線対称となる位置に設けられている特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記第1支持部と前記第2支持部の形状は、前記第1対称軸と前記第2対称軸の各軸について対称となっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記導通部材は、該導通部材が延出する方向と直交する方向に所定の間隔を空けて設けられた2つの給電配線部を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記導通部材は、前記2つの給電配線部の間に接地のための配線部を有することを特徴とする請求項4に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記支持部材は、前記導通部材よりも剛性の小さい2層のシート状部材に前記導通部材が挟まれた構造を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記導通部材は、金属箔または金属ワイヤであることを特徴とする請求項6に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記支持部材が有する前記第1固定部と前記第2固定部には、補強部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記支持部材は、前記振動体に接合されるフレキシブルプリント基板であることを特徴とする請求項5乃至8のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動体は、前記接触体に対向する面に設けられている少なくとも1つの突起部を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動体に少なくとも第1の曲げ振動モードの振動と第2の曲げ振動モードの振動を励起することによって前記振動体と前記接触体とを相対的に移動させることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動体は、第1の電極部と第2の電極部を有する電気-機械エネルギ変換素子を備え、
前記第1の電極部に交流電圧を印加した場合と前記第2の電極部に交流電圧を印加した場合との両方における前記電気-機械エネルギ変換素子の周波数-アドミッタンス特性が、前記第1の曲げ振動モードの共振周波数におけるピークと第2の曲げ振動モードの共振周波数におけるピークとを有することを特徴とする請求項11に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記第1の曲げ振動モードの共振周波数と前記第2の曲げ振動モードの共振周波数が以下の式を満たし、
0<Δf<fa×0.15
ただし、Δfは、前記第1の曲げ振動モードの共振周波数と前記第2の曲げ振動モードの共振周波数との差を、faは、前記第1の曲げ振動モードの共振周波数及び前記第2の曲げ振動モードの共振周波数のうち高い方の共振周波数であることを特徴とする請求項11に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記振動体と前記接触体は、前記第1固定部、前記第1支持部、前記振動部、前記第2支持部および前記第2固定部が直線状に並んでいる方向に沿って相対的に移動することを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータの駆動によって位置決めされる部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/658,853 US10833608B2 (en) | 2016-08-03 | 2017-07-25 | Vibration actuator and electronic apparatus using vibration actuator |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016152806 | 2016-08-03 | ||
JP2016152806 | 2016-08-03 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018027006A JP2018027006A (ja) | 2018-02-15 |
JP2018027006A5 JP2018027006A5 (ja) | 2020-08-06 |
JP7027052B2 true JP7027052B2 (ja) | 2022-03-01 |
Family
ID=61194405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017132935A Active JP7027052B2 (ja) | 2016-08-03 | 2017-07-06 | 振動型アクチュエータ及びこれを用いた電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7027052B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010068586A (ja) | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2013215085A (ja) | 2012-03-08 | 2013-10-17 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
JP2016046912A (ja) | 2014-08-22 | 2016-04-04 | キヤノン株式会社 | 振動子ユニット、振動型アクチュエータ及び撮像装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09233868A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Canon Inc | 振動装置 |
-
2017
- 2017-07-06 JP JP2017132935A patent/JP7027052B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010068586A (ja) | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2013215085A (ja) | 2012-03-08 | 2013-10-17 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
JP2016046912A (ja) | 2014-08-22 | 2016-04-04 | キヤノン株式会社 | 振動子ユニット、振動型アクチュエータ及び撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018027006A (ja) | 2018-02-15 |
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