JP2017070115A - 振動型アクチュエータ、振動型アクチュエータの駆動方法、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動型アクチュエータ10の概略構成を示す斜視図である。振動型アクチュエータ10は、円環状の駆動部1と、円環状の被駆動体3とを有する。駆動部1の中心軸と被駆動体3の中心軸とは、略一致している。駆動部1は、同一構造を有する3つの振動体ユニットS1,S2,S3と、振動体ユニットS1,S2,S3を保持する円環状の基台7とを有する。振動体ユニットS1,S2,S3は、基台7の円周を略3等分する位置に配置されている。
第2実施形態では、第1実施形態で説明した振動体2を構成する弾性体2bの構造を変えた点で、第1実施形態と相違する。よって、以下、この相違点について説明することとし、第1実施形態と重複する説明を省略する。
第3実施形態では、振動型アクチュエータ10を備える装置(機械)の一例としての撮像装置の構成について説明する。図13(a)は、撮像装置700の概略構成を示す上面図である。撮像装置700は、撮像素子710及び電源ボタン720を搭載したカメラ本体730を備える。また、撮像装置700は、第1レンズ群(不図示)、第2レンズ群320、第3レンズ群(不図示)、第4レンズ群340、振動型アクチュエータ620,640を備えるレンズ鏡筒740を備える。レンズ鏡筒740は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒740をカメラ本体730に取り付けることができる。
第4実施形態では、上述した各実施形態に係る振動型アクチュエータを備える装置の一例としてのX−Yステージを備える顕微鏡の構成について説明する。
図14は、顕微鏡400の外観斜視図である。顕微鏡400は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部410と、基台上に設けられ、振動型アクチュエータによりX−Y面内で移動されるステージ420を有するステージ装置の一例である自動ステージ430とを有する。振動型アクチュエータとして、振動体2が基材に保持されたものが、少なくとも2つ用いられる。少なくとも1つの振動型アクチュエータは、ステージ420のX方向駆動に用いられ、振動体2のX方向がステージ420のX方向と一致するように配置される。少なくとも1つの別の振動型アクチュエータは、ステージ420のY方向駆動に用いられ、振動体2のX方向がステージ420のY方向と一致するように配置される。
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
2,22 振動体
2a,22a 圧電素子
2b,22b 弾性体
2c,22c 突起部
3 被駆動体
10 振動型アクチュエータ
400 顕微鏡
700 撮像装置
740 レンズ鏡筒
Claims (13)
- 電気−機械エネルギ変換素子と弾性体とが接合されてなる振動体と、
前記振動体と加圧接触する被駆動体とを有し、
所定の駆動周波数領域の範囲内の周波数を有する駆動電圧を前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することによって前記振動体に励起させた振動により前記振動体と前記被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータであって、
前記駆動周波数領域の範囲内において、前記駆動周波数領域の上限周波数よりも高く且つ該上限周波数に最も近い前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差が、前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動に用いられる前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差よりも大きいことを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動に用いられる前記振動体の固有振動モードは、2つの異なる固有振動モードであり、
前記駆動周波数領域の範囲内において、前記上限周波数よりも高く且つ該上限周波数に最も近い前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差は、前記2つの異なる固有振動モードの各共振周波数と前記駆動電圧の周波数とのそれぞれの差よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記上限周波数よりも高く且つ該上限周波数に最も近い前記振動体の固有振動モードの共振周波数での前記駆動電圧の印加時のアドミッタンスは、前記2つの異なる固有振動モードの少なくとも一方の固有振動モードの共振周波数での前記駆動電圧の印加時のアドミッタンスよりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記弾性体は、略矩形で平板状の形状を有し、
前記弾性体において前記電気−機械エネルギ変換素子が接合されている面の反対側の面に前記被駆動体と加圧接触する少なくとも1つの突起部が設けられ、
前記被駆動体と前記突起部とを加圧接触させる加圧手段を備え、
前記駆動周波数領域の範囲内において、前記上限周波数よりも高く且つ該上限周波数に最も近い前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差が、前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動に用いられる前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差よりも大きくなるように、前記加圧手段による前記突起部と前記被駆動体との間の加圧力が調整されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記弾性体は、平板状で略矩形の形状を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、平板状で略矩形の形状を有する圧電素子であり、
前記弾性体において前記電気−機械エネルギ変換素子が接合されている面の反対側の面に前記被駆動体と加圧接触する少なくとも1つの突起部が設けられ、
前記駆動周波数領域の範囲内において、前記上限周波数よりも高く且つ該上限周波数に最も近い前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差が、前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動に用いられる前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差よりも大きくなるように、前記圧電素子の厚さが調整されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記弾性体は、平板状で、略矩形の角部が切り欠かれた形状を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、平板状で略矩形の形状を有する圧電素子であり、
前記弾性体において前記圧電素子が接合されている面の反対側の面に前記被駆動体と加圧接触する少なくとも1つの突起部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記弾性体は、平板状で略矩形の形状を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、平板状で、略矩形の角部が切り欠かれた形状を有する圧電素子であり、
前記弾性体において前記圧電素子が接合されている面の反対側の面に前記被駆動体と加圧接触する少なくとも1つの突起部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 電気−機械エネルギ変換素子と弾性体とが接合されてなる振動体と、
前記振動体と加圧接触する被駆動体とを有し、
所定の駆動周波数領域の範囲内の周波数を有する駆動電圧を前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することによって前記振動体に励起させた振動により前記振動体と前記被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータの駆動方法であって、
前記駆動周波数領域の範囲内において、前記駆動周波数領域の上限周波数よりも高く且つ該上限周波数に最も近い前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差が、前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動に用いられる前記振動体の固有振動モードの共振周波数と前記駆動電圧の周波数との差よりも大きくなるように、前記駆動電圧の電圧値を調整することを特徴とする振動型アクチュエータの駆動方法。 - レンズと、
光軸方向に前記レンズを移動させる請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。 - 像ぶれ補正用のレンズと、
光軸と直交する面内で前記レンズを移動させる請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。 - レンズ鏡筒と、
前記レンズ鏡筒に配置されたレンズを光軸方向に移動させる請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、
前記レンズ鏡筒を通過した光の光学像を電気信号に変換する撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。 - レンズ鏡筒と、
前記レンズ鏡筒を通過した光の光学像を電気信号に変換する撮像素子と、
前記撮像素子を光軸方向と直交する面内で移動させて前記撮像素子に結像する光学像の像ぶれを補正する請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とする撮像装置。 - ステージと、
前記ステージをその面内で移動させる請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とするステージ装置。
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