JP2016152645A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ Download PDF

Info

Publication number
JP2016152645A
JP2016152645A JP2015027551A JP2015027551A JP2016152645A JP 2016152645 A JP2016152645 A JP 2016152645A JP 2015027551 A JP2015027551 A JP 2015027551A JP 2015027551 A JP2015027551 A JP 2015027551A JP 2016152645 A JP2016152645 A JP 2016152645A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wave motor
vibration wave
vibrator
pressure
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015027551A
Other languages
English (en)
Inventor
俊之 上原
Toshiyuki Uehara
俊之 上原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2015027551A priority Critical patent/JP2016152645A/ja
Publication of JP2016152645A publication Critical patent/JP2016152645A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

【課題】小型で組立が容易な振動波モータを提供する。【解決手段】振動波モータは、振動子50の保持機能部と振動子50を摺動部材9へ加圧する加圧弾性部4bとが一体に形成された板ばね材料からなる保持部材4から構成されている。振動子50に加圧力を与える加圧部材5を加圧弾性部4bに取り付け、加圧部材5により加圧弾性部4bを変形させて、加圧力を発生させる。【選択図】図7

Description

本発明は、振動子と振動子に摩擦接触する摺動部材とを振動子に発生させた振動によって相対移動させる振動波モータ(超音波モータ)に関する。
近年、デジタルカメラやビデオカメラ等の撮影装置では、フォーカシングやズーミングの駆動源に電磁型モータよりすぐれた超音波モータが用いられている。超音波モータは、圧電素子からなる振動子に超音波振動を励振させ、この振動子を摺動部材に加圧することで、両者間に発生する摩擦力により駆動するモータである。そのモータユニットは、振動子、摺動部材、加圧部材、駆動ガイド部材、各保持部材などから構成される。そして、これら部材を組み合わせると構成が大型化し、電磁型モータと比べ広いスペースが必要とされる。
これに対して近年、部材の構造を工夫することでモータユニットの小型化を実現する例が提案されている。例えば、振動子の定在波の節に対応する位置の振動子両側面に支持軸を設け、コイルばねで付勢された押圧板がこの支持軸を加圧する振動子加圧部構造と、摺動部材及び転動ボールが組み込まれたケース型の駆動ガイド部構造とで構成することが開示されている。(特許文献1)
特許第3807513号公報
しかしながら、上述の特許文献1に開示された従来技術では、モータユニットの小型化は実現出来ても、振動子位置決め保持部、振動子加圧部、駆動ガイド部等から構成されるユニット構造が複雑となる。更に部品点数も多く、モータユニットの組立性が悪いといった課題がある。
そこで本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、小型で組立が容易な振動波モータを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、振動波モータは、振動を発生する振動子と、振動子が摩擦接触する摺動部材と、振動子を保持する保持機能部及び振動子を摺動部材に加圧する加圧弾性部を備えた板状の部材から形成された保持部材と、から構成され、振動子に加圧力を与える加圧部材を加圧弾性部に取り付け、加圧部材により加圧弾性部を変形させて、加圧力を発生させることを特徴とした。
本発明によれば、小型な構成で組立性が容易な振動波モータを実現することができる。
振動波モータの振動子50の構成を示す斜視図である。 保持部材4を形成する板状の素材の展開図の一例である。 図2の板状の素材を板金プレス加工によって立体形成した保持部材4の一例を示す図である。 実施例1における保持部材4の斜視図である。 実施例1における保持部材4に振動子50、加圧ベース3、加圧部材5が取付けられた状態の斜視図である。 実施例1におけるガイド部材6の斜視図である。 実施例1における振動波モータユニット100の断面図である。 図7の断面線VIII−VIIIにおける振動波モータユニット100の断面図である。 実施例1における振動波モータユニット100を内蔵したレンズ鏡筒20の断面図である。 実施例2における振動波モータユニット100の断面図である。 図10の断面線XI−XIにおける振動波モータユニット100の断面図である。
以下に、本発明の好ましい実施の形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
(実施例1)
本発明の振動波モータ(超音波モータ)の実施例1の構成を説明する。図1には、実施例1における振動波モータの一部を構成する振動子50の構成が示されている。振動子50は、圧電素子1と振動板2とによって構成されており、振動板2は、圧電素子1の底面部に接着剤等で固定されている。振動板2には、振動突起部2aが二つ並んで形成されているが、振動突起部2aの数は一つであってもよいし、複数あってもよい。この振動突起部2aは、後述の摺動部材9と摩擦接触している。そして、圧電素子1に高周波駆動電流が印加されると振動波(超音波)が発生し、発生した振動波が振動板2の振動突起部2aに伝達され、振動突起部2aが振動(超音波振動)する。
振動板2が固定された圧電素子1の底面部とは反対の上面部には、振動子50を摺動部材9に加圧するための加圧力を受ける加圧ベース3が固定されている。加圧ベース3の中央部には、後述の加圧部材5による加圧力を受けるためのR突起部3aが備えられている。
次に、振動子50を保持及び加圧する機能を有する保持部材4について説明する。保持部材4としての素材には、平板の板ばね材料が用いられる。更に板ばね材料としては、ばね鋼やステンレス鋼などを使用することができる。図2は、保持部材4を形成する板状の素材の展開図の一例を示す。
平板の板ばね材料は、プレス加工で打ち抜かれ、図2に示されるような一枚の板状の素材に形成される。素材の形成の際に取付け用の穴eが部分dに四つ、及び素材の中央に雌ネジ用の穴cが一つ形成される。寸法Aを有する部分と寸法Bを有する部分とは、素材の展開図において同じ長さを有する。そして、プレス加工で打ち抜かれた板状の素材は、板金プレス加工によって、破線部4−1が谷折りされるとともに、一点鎖線部4−2が山折りされる。同時に、破線部4−3が谷折りされる。
図3は、図2に示す板状の素材を板金プレス加工によって立体成形した保持部材4の一例を示す。図3には、平面図の断面線III−IIIにおける断面図及び側面図も併せて示されている。板状の素材が板金プレス加工されることによって、図2に示される破線4−1と一点鎖線4−2との間の部分が立壁fとなる。そして、寸法Aを有する部分は、振動子50を保持する保持機能部となる。また、寸法Bを有する部分は、振動子50を加圧する加圧機能部となる。保持機能部の寸法aと加圧機能部の寸法bとは、立体成形された状態において同じ長さとなる。
立体成形された保持部材4の一例において、保持機能部は、略凹形状をしている。また、加圧機能部は、上に凸状の略橋のような形状をしている。より詳細には、側面図を参照すると保持機能部は下に凹むように、また加圧機能部は上に膨らむようにそれぞれ板金プレス加工される。板金プレス加工の際に、バーリング加工を行うことによって、加圧機能部の中央部の穴cには雌ネジが形成される。
図4は、実施例1の保持部材4の斜視図を示す。保持部材4には、振動子50を保持する振動子取付け部4aと、振動子50を加圧する加圧力を発生する加圧弾性部4b及び後述の加圧部材5を取付ける雌ネジ部4cと、後述のガイド部材6を取付けるガイド部材取付け部4d及び取付け穴4eとが形成されている。
振動子取付け部4aは、略枠形状の保持部材4の内側へ向かう方向に突出した形状として2つ形成されており、それぞれが対向するように設けられている。なお、振動子取付け部4aの数は2つに限定されず複数あってもよい。そして、2つの振動子取付け部4aを結ぶ直線と直交する直線上には、板金プレス加工によって立壁4fが形成されている。
ガイド部材取付け部4dは、保持部材4の立壁4fの頂部に、略枠形状の保持部材4から外側へ向かう方向に突出した形状で2つ形成されており、それぞれが対向するように設けられている。よって、振動子取付け部4aの形成面とガイド部材取付け部4dの形成面とは、同一平面ではなく、立壁4fを介して異なる面となっている。更に、ガイド部材取付け部4dには、ガイド部材6を取付けるための取付け穴4eが各ガイド部材取付け部4dに2つずつ合計4つ形成されている。
加圧弾性部4bは、対向する2つのガイド部材取付け部4dを接続する略橋形状に形成されている。このような形状及び板ばね材料の特性により、加圧弾性部4bは、弾性の特性を有する。そして、加圧弾性部4bのほぼ中央部に備えられた雌ネジ部4cには、雄ネジが形成された加圧部材5が螺着される。
図5を用いて、振動子50を保持するための保持機能部について詳細に説明する。保持部材4の加圧弾性部4bの中央部にある雌ネジ部4cの真下には、加圧ベース3のR突起部3aが位置するように振動子50の位置が決められる。そして、振動子50は、保持部材4の振動子取付け部4aに溶接又は接着剤などによる手段で固定される。保持機能部は、振動子取付け部4a、対向する二つの立壁4fを接続する部材及び二つの立壁4fによって構成される。
次に、振動子50を加圧するための加圧機能部について説明する。上述のように振動子50が位置決め及び固定されると、雌ネジ部4cには、雄ネジが形成された加圧部材5が螺着される。加圧部材5はネジであって、ピンネジの形状をしている加圧ピンネジであり、雌ネジ部4cへねじ込まれることで、加圧部材5の先端部が加圧ベース3のR突起部3aに当接し、加圧ベース3を押圧する。加圧部材5が更にねじ込まれると加圧弾性部4bが変形し、この変形によって振動子50を摺動部材9へ加圧するための加圧力が発生する。すなわち、加圧弾性部4bと加圧部材5とによって加圧力が発生する。加圧機能部は、加圧弾性部4b、雌ネジ部4c及び加圧部材5によって構成される。また、保持機能部の寸法と加圧弾性部4bの寸法は、同じ長さであることが見て取れる。
図6は、実施例1のガイド部材6の斜視図を示す。ガイド部材6は略枠形状をしており、転動部材7を組み込むための4つのガイド溝6aがガイド部材6の平面上に形成されている。更にガイド部材6には、ガイド部材6を保持部材4のガイド部材取付け部4dに固定するための4個の雌ネジ部(不図示)が形成されており、ガイド部材6は、4つの取り付けネジ6b(図7参照)によってガイド部材取付け部4dに取り付けられる。
図7には、振動子50からなる振動波モータの構成が断面図により示されている。ユニットベース10は略箱型の形状をしており、その内部の底面上に摺動部材9が固定される。振動子50の振動板2の振動突起部2aが摺動部材9と摩擦接触するように、ガイド部材6が取り付けられた保持部材4に固定された振動子50は、摺動部材9の上に配置されている。ガイド部材6を保持部材4に取付けた面の反対側の面にあるガイド溝6aには、転動部材7が4つ配置されている。
ユニットベース10の開口には、略枠形状の天板8がガイド部材6と向き合うように固定されている。転動部材7を組み込むためのガイド溝6aを有するガイド部材6の面と対峙する天板8の面には、転動部材7のための4つのガイド溝が設けられている(不図示)。そして、天板8とガイド部材6との間に4つの転動部材7を転動可能に挟持して、天板8がユニットベース10の開口に取り付けられる。すなわち、振動子50は保持部材4、ガイド部材6、転動部材7及び天板8を介してユニットベース10に保持されている。振動子50を組み込んだユニットベース10が振動波モータユニット100を形成する。
図8は、図7の断面線VIII−VIIIにおける断面図であって、図の矢印の方向に見た図である。天板8とガイド部材6との間には転動部材7が転動可能に挟持されているので、ガイド部材6が取り付けられた保持部材4に固定された振動子50は、ユニットベース10に対して、図8に示すX方向に相対移動が可能になっている。
以上のような構成で本発明の実施例1の振動波モータは、振動波モータユニット100として構成される。図7および図8に示されるように、加圧部材5が適正にねじ込まれると、保持部材4の加圧弾性部4bが変形する。加圧弾性部4bが変形すると、加圧弾性部4bの弾性特性により、振動子50は矢印Z方向に加圧され、振動突起部2aが摺動部材9に摩擦接触する。そして、振動子50に高周波振動を発生させると、振動突起部2aと摺動部材9との摩擦による駆動力が生じ、図8に示すように振動子50は摺動部材9に対してX方向に相対移動する。なお、本実施例では振動子50が移動し、摺動部材9が固定される構成としたが、振動子50を固定し、摺動部材9が移動する構成でもよい。
次に図9を用いて、レンズ鏡筒20のフォーカシングの駆動源に本発明の振動波モータを用いたレンズ鏡筒20の構成を説明する。レンズ鏡筒20の撮像光学系には、被写体側から第1群レンズ21、第2群レンズ22、フォーカスレンズ25が備えられ、更に第3群レンズ23、第4群レンズ24が備えられている。これら第1群レンズ21、第2群レンズ22を保持する第1、2群レンズ鏡筒26、更に、第3群レンズ23、第4群レンズ24を保持する第3、4群レンズ鏡筒27が備えられている。加えて、フォーカスレンズ25を保持するレンズ移動枠28が備えられている。なお、第1群レンズ21、第2群レンズ22、第3群レンズ23、第4群レンズ24は、いずれも固定レンズである。更に、絞りユニット駆動モータ32、絞りユニット33を備える。
そして、レンズ移動枠28を光軸41方向に移動させる2つのメインガイドバー30がレンズ鏡筒20の鏡筒内壁に光軸41と平行に取り付けられている。更に、レンズ鏡筒20の内部には、ガイド部材6の移動方向を光軸41方向と平行になるように振動波モータユニット100が取り付けられている。ガイド部材6とレンズ移動枠28とは連結部材31で連結され、連結部材31によって振動子50の駆動力がレンズ移動枠28へ伝達され、フォーカスレンズ25を光軸41に沿って移動させることが可能となる。
次に、実施例1の形態の作用効果について説明をする。振動波モータの小型化に関して、複数の機能を備える保持部材4を、それぞれの機能を満たす個別の部品として機械加工して製作し、これら部品をボルト締結して従来のようにユニット構成すると部品点数が増加してしまう。そして、これらボルトの締結部も含めると更にスペースが必要となり振動波モータが大型化してしまう。振動子50を保持する機能部と振動子を加圧する機能部は、特に振動波モータにおけるスペース占有率が高いので、これら機能を集約して薄板状の部材として構成することは、振動波モータの小型化に有効な手段となっている。
図4に示されるように、実施例1の形態では、振動子50を保持する振動子取付け部4a、ガイド部材6を取り付けるガイド部材取付け部4d及び振動子50を加圧する加圧力を発生する加圧弾性部4bを有する保持部材4を板状の部材から一体形成している。その結果、実施例1の形態は、従来技術のような複雑な部品構造ではなく、極めて簡単な構造とすることができたので、振動波モータユニット100を小型に構成することができる。更に、振動波モータユニット100の製造及び組立も容易とすることができる。
また、図7に示されるように、加圧弾性部4bの雌ネジ部4cに加圧部材5を螺着して、加圧弾性部4bを変形させることにより振動子50を加圧する加圧力を矢印Z方向に発生させることができる。また、加圧部材5を矢印に示すように旋回してねじ込み量を調整することにより、加圧弾性部4bの変形量を変え、振動子50への加圧力を調整可能としている。なお、振動子50を摺動部材9に対して最適な加圧力範囲で加圧力が得られるようにするには、保持部材4の板厚、板幅、板長の各形状を調整して、加圧弾性部4bのばね定数を決定すればよい。
組立時に、保持部材4に加圧部材5が固定されていないので、振動子50を保持部材4へ組入れることを容易にし、組立性を向上させている。更に、振動波モータの外側に保持部材4の加圧部材取付け部である雌ネジ部4cが露出しているので、振動波モータユニット100の組立に際し、組立最後の行程で加圧部材5を組み付けることも可能である。また、振動特性を確認しながら加圧部材5による加圧力を調整することが可能となる。これにより、加圧力の調整後に他部品を取り付けることによる影響で振動特性が変化してしまうことが防止される。
以上、説明したように、実施例1の形態は、保持部材4が板状の板ばねで構成され、振動子50をユニットベース10に組み込む構成とすることにより構造がシンプルとなる。また、振動波モータの組立最後の行程で加圧部材5の組み付け及び調整を可能にすることで、小型な構成で組立が容易な振動波モータを実現することができる。
(実施例2)
次に、本発明の実施例2について、図10と図11を用いて説明する。図11は、図10の断面線XI−XIにおける断面図を示す。実施例2の基本構成は実施例1と同様であるので、ここでは実施例1と実施例2とにおける相違点を主に説明する。
実施例2では、ユニットベース10と天板8を無くした構成としている。また、実施例2のガイド部材6と摺動部材9の形状とが実施例1の形状と異なっている。実施例2のガイド部材6は、保持部材4のガイド部材取付け部4dの下面に取付けられている。そして、ガイド部材6は、略L字形状をしており、摺動部材9と対面するように配置される。ガイド部材6と摺動部材9とは、転動部材7によっていずれも相対移動可能になっている。
ガイド部材6を移動方向Xへ移動させる転動部材7をガイドするガイド部が摺動部材9に設けられている。摺動部材9には、両側面に四つのガイド溝9bを設け、ガイド部材6の内側に設けた四つのガイド溝6aとの間に転動部材7が4つ組み込まれる。振動子50とガイド部材6とが組み込まれて振動波モータユニット100が構成される。
本発明の実施例2で得られる効果は、ユニットベース10と天板8を無くしているので、振動波モータユニット100の高さ方向の寸法を抑えることである。また、構造が簡素化され、振動波モータの組立最後に加圧部材5の組み付けを可能にすることで、小型で組立が容易な振動波モータを実現している。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
2a 振動突起部
3 加圧ベース
4 保持部材
4a 振動子取付け部(保持機能部)
4b 加圧弾性部(加圧機能部)
4c 雌ネジ部(加圧部材取付け部、加圧機能部)
4f 立壁(保持機能部)
5 加圧部材(加圧機能部)
9 摺動部材
20 レンズ鏡筒
50 振動子

Claims (13)

  1. 振動を発生する振動子と、
    該振動子が摩擦接触する摺動部材と、
    前記振動子を保持する保持機能部及び前記振動子を前記摺動部材に加圧する加圧弾性部を備えた板状の部材で形成された保持部材と、
    から構成され、前記振動により前記振動子と前記摺動部材とを相対移動させる振動波モータにおいて、
    前記振動子に加圧力を与える加圧部材を前記加圧弾性部に取り付け、前記加圧部材により前記加圧弾性部を変形させて、前記加圧力を発生させることを特徴とする振動波モータ。
  2. 前記加圧部材は、前記加圧力を調整可能に取り付けられることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
  3. 前記加圧部材は、ネジであることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動波モータ。
  4. 前記加圧部材は、前記振動子に備えられた加圧ベースに当接し、前記加圧ベースを押圧することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  5. 前記加圧部材の加圧部材取付け部が前記振動波モータの外側に露出していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  6. 前記保持機能部の形状は、略凹形状であり、前記加圧弾性部の形状は略橋形状であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  7. 前記板状の部材は、薄板状のばね鋼又はステンレス鋼の材料であることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  8. 前記保持部材は、板金によって平板から一体形成されることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  9. 前記相対移動の方向と直交する方向において、前記保持機能部の寸法と前記加圧弾性部の寸法とは、同じ長さを有することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  10. 前記振動子は、前記摺動部材と摩擦接触する振動突起部を備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  11. 前記振動突起部は、複数あることを特徴とする請求項10に記載の振動波モータ。
  12. 前記振動波モータは、前記振動が超音波振動する超音波モータであることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  13. 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の振動波モータを駆動源に使用したレンズ鏡筒。
JP2015027551A 2015-02-16 2015-02-16 振動波モータ Pending JP2016152645A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015027551A JP2016152645A (ja) 2015-02-16 2015-02-16 振動波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015027551A JP2016152645A (ja) 2015-02-16 2015-02-16 振動波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016152645A true JP2016152645A (ja) 2016-08-22

Family

ID=56695596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015027551A Pending JP2016152645A (ja) 2015-02-16 2015-02-16 振動波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016152645A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109696211A (zh) * 2019-03-01 2019-04-30 南京航空航天大学 超声电机变预压力加载装置及机械特性测试平台
CN110165932A (zh) * 2018-02-15 2019-08-23 佳能株式会社 振动波马达和包括振动波马达的驱动装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110165932A (zh) * 2018-02-15 2019-08-23 佳能株式会社 振动波马达和包括振动波马达的驱动装置
CN110165932B (zh) * 2018-02-15 2023-05-12 佳能株式会社 振动波马达和包括振动波马达的驱动装置
CN109696211A (zh) * 2019-03-01 2019-04-30 南京航空航天大学 超声电机变预压力加载装置及机械特性测试平台

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6604749B2 (ja) 振動型モータ及び振動型モータを用いたレンズ駆動装置、レンズユニット、撮像装置
JP5683643B2 (ja) リニア超音波モータ及びそれを有する光学装置
JP6021830B2 (ja) リニア超音波モータ
US10222578B2 (en) Linear driving apparatus using vibration wave motor and optical apparatus
JP6122452B2 (ja) アクチュエータ
JP5544504B2 (ja) リニア駆動装置、レンズ駆動装置、カメラ及びカメラ付き携帯電話
JP7046614B2 (ja) 振動型アクチュエータ及び電子機器
JP2016201906A (ja) 振動波モータ
US10924037B2 (en) Vibration motor that prevents resonance of contact member, and electronic apparatus
JP2016152645A (ja) 振動波モータ
JP2017093086A (ja) 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置
US20170092837A1 (en) Vibration-type actuator, driving method for vibration-type actuator, and electronic apparatus equipped with vibration-type actuator
US9933593B2 (en) Driving apparatus and optical device
CN109980986B (zh) 振动型马达、镜头设备和电子装置
JP6708472B2 (ja) 振動波モータ及び振動波モータが搭載された光学機器
JP7112250B2 (ja) 振動波モータ及び駆動装置
CN112019085B (zh) 振动波电机及电子装置
US10581346B2 (en) Motor using vibrator, and electronic apparatus
JP6465587B2 (ja) 振動子ユニット、振動型アクチュエータ及び撮像装置
CN109698637A (zh) 振动致动器和包括该振动致动器的电子设备
JP6812510B2 (ja) 振動型アクチュエータ及びそれを有する電子機器
JP2017200355A (ja) 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器
JP6869727B2 (ja) 振動波モータ
JP2020102971A (ja) 振動波モータ
JP2016101023A (ja) 振動波モータ及びそれを有する光学装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD05 Notification of revocation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425

Effective date: 20171214

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20180126