JP2005265996A - 顕微鏡ステージ - Google Patents
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Abstract
【課題】手動の顕微鏡ステージと置き換え可能なほど小型で熱的ドリフトを引き起こさない電動の顕微鏡ステージを提供する。
【解決手段】顕微鏡ステージ100は、顕微鏡に固定される固定台110と、固定台110に対してY軸に沿って移動可能なYテーブル120と、Yテーブル120に対してY軸にほぼ直交するX軸に沿って移動可能な第二テーブルと、Yテーブル120をY軸に沿って駆動する超音波モーター140と、Xテーブル130をX軸に沿って駆動する超音波モーター150と、Yテーブル120の移動量を検出するY変位検出器160と、Xテーブル130の移動量を検出するX変位検出器170とを備えている。超音波モーター140と超音波モーター150とY変位検出器160とX変位検出器170の大部分は、Xテーブル130から側方に突出することなく、Xテーブル130の下に位置している。
【選択図】 図1
【解決手段】顕微鏡ステージ100は、顕微鏡に固定される固定台110と、固定台110に対してY軸に沿って移動可能なYテーブル120と、Yテーブル120に対してY軸にほぼ直交するX軸に沿って移動可能な第二テーブルと、Yテーブル120をY軸に沿って駆動する超音波モーター140と、Xテーブル130をX軸に沿って駆動する超音波モーター150と、Yテーブル120の移動量を検出するY変位検出器160と、Xテーブル130の移動量を検出するX変位検出器170とを備えている。超音波モーター140と超音波モーター150とY変位検出器160とX変位検出器170の大部分は、Xテーブル130から側方に突出することなく、Xテーブル130の下に位置している。
【選択図】 図1
Description
本発明は顕微鏡ステージに関する。
従来の電動の顕微鏡ステージは、ステッピングモーター等の回転モーターと、モーターの回転駆動力をテーブルの直線移動に変換する運動伝達機構とを備えている。これらのモーターや運動伝達機構は、大きな設置スペースを必要とするため、図6に示されるように、移動テーブルの側方に大きく突出している。このため、電動の顕微鏡ステージは、図5に示される手動の顕微鏡ステージよりも大きなスペースを必要とする。
このため、これまで、保温箱のようなテーブル周辺の空間を制限する箱で覆されて使用されたり、マイクロマニピュレーターやインキュベーターなどの様々な装置を周辺に配置して使用されたりしていた手動の顕微鏡ステージを、単純に電動の顕微鏡ステージに置き換えることは難しい。
特開平6−27387号公報は、このような不具合を解消した、手動の顕微鏡ステージと置き換え可能な小型の電動ステージを開示している。
特開平6−27387号公報
特開平6−27387号公報に開示された電動ステージは、そのアクチュエーター(駆動手段)に、電磁力を利用したリニアモーターを利用している。このため、テーブルを移動させるときだけでなく、テーブルを所望の位置にとどめておくときにも、電流を供給している必要がある。このため、リニアモーターの発熱によって熱的ドリフトが引き起こされるおそれがある。
本発明は、このような実状を考慮して成されたものであり、その目的は、熱的ドリフトを引き起こさない小型な電動の顕微鏡ステージを提供することである。
本発明の顕微鏡ステージは、顕微鏡に固定される固定台と、固定台に対して第一軸に沿って移動可能な第一テーブルと、第一テーブルに対して第一軸にほぼ直交する第二軸に沿って移動可能な第二テーブルと、第一テーブルを第一軸に沿って駆動する第一超音波モーターと、第二テーブルを第二軸に沿って駆動する第二超音波モーターとを備えている。
本発明によれば、手動の顕微鏡ステージと置き換え可能なほど小型で熱的ドリフトを引き起こさない電動の顕微鏡ステージが提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
本実施形態は、倒立型顕微鏡用の顕微鏡ステージに向けられている。図1は、本発明の実施形態の顕微鏡ステージを概略的に示す分解斜視図である。図2は、図1に示した顕微鏡ステージを矢印Aの方向から見た側面図である。図3は、図1に示した顕微鏡ステージを矢印Bの方向から見た側面図である。図4は、図1に示した顕微鏡ステージの縦断面図である。
図1に示されるように、本実施形態の顕微鏡ステージ100は、顕微鏡に固定される固定台110と、固定台110に対してY軸に沿って移動可能なYテーブル120と、Yテーブル120に対してY軸にほぼ直交するX軸に沿って移動可能な第二テーブルと、Yテーブル120をY軸に沿って駆動する超音波モーター140と、Xテーブル130をX軸に沿って駆動する超音波モーター150とを備えている。
顕微鏡ステージ100は、Yテーブル120の移動量を光学的に検出するY変位検出器160と、Xテーブル130の移動量を光学的に検出するX変位検出器170とをさらに備えている。
顕微鏡ステージ100は、超音波モーター140と超音波モーター150とY変位検出器160とX変位検出器170の取り付けのために、Yテーブル120に固定された保持部材124と、Xテーブル130に固定された保持部材134と、固定台110に固定された保持部材114とをさらに備えている。
超音波モーター140は超音波振動子142と被駆動体146とから構成されている。超音波振動子142は保持部材124に固定され、被駆動体146は保持部材114に固定されている。超音波振動子142と被駆動体146は向き合って位置している。超音波振動子142は一対の駆動子144を有し、駆動子144は非駆動時に適当な荷重で被駆動体146に接触している。
同様に、超音波モーター150は超音波振動子152と被駆動体156とから構成されている。超音波振動子152は保持部材134に固定され、被駆動体156は保持部材124に固定されている。超音波振動子152と被駆動体156は向き合って位置している。超音波振動子152は一対の駆動子154を有し、駆動子154は非駆動時に適当な荷重で被駆動体156に接触している。
本実施形態に好適に適用可能な超音波モーターは、これに限定されないが、例えば、ホームページアドレス「http://www.olympus.co.jp/jp/crdc/tech/1997b/bm971200uslmj.cfm」に開示されている。
Y変位検出器160は、これに限定されないが、例えば、光学式リニアエンコーダーで構成され、リニアスケール162とエンコーダーヘッド164とを有している。エンコーダーヘッド164は保持部材124に固定され、リニアスケール162は保持部材114に固定されている。X変位検出器170は、これに限定されないが、例えば、光学式リニアエンコーダーで構成され、リニアスケール172とエンコーダーヘッド174とを有している。リニアスケール172は保持部材134に固定され、エンコーダーヘッド174は保持部材124に固定されている。
本実施形態に好適に適用可能な光学式リニアエンコーダーは、これに限定されないが、例えば特開平11−243258号公報に開示されている。
Yテーブル120は固定台110の上側に位置し、Xテーブル130はYテーブル120の上側に位置している。Xテーブル130は、側方に突出した側方突出部136を有しており、その分、固定台110よりも大きく、またYテーブル120よりも大きい。Xテーブル130の大きさの形状は、例えば図5に示されるような従来の顕微鏡に標準搭載されている手動の顕微鏡ステージのXテーブルとほぼ同じである。
保持部材134は、図2に示されるように、Xテーブル130の側方突出部136の下面に固定されている。保持部材124は、図3に示されるように、Yテーブル120の側面に固定されている。保持部材114は、固定台110の側面に固定されている。
Yテーブル120はX軸に沿って延びている溝126を有している。溝126は、Xテーブル130の移動時に、Xテーブル130の側方突出部136の下面に固定された保持部材134と、保持部材134に固定された被駆動体156とリニアスケール172とが通る空間を与える
Xテーブル130の開口132とYテーブル120の開口122が固定台110の開口112に対して整列した状態、言い換えれば、Yテーブル120が固定台110にほぼ完全に重なり、Xテーブル130が側方突出部136を除いてYテーブル120にほぼ完全に重なった状態では、図2と図3に示されるように、保持部材124は側方突出部136の下方に位置し、これに伴い保持部材114も側方突出部136の下方に位置している。
Xテーブル130の開口132とYテーブル120の開口122が固定台110の開口112に対して整列した状態、言い換えれば、Yテーブル120が固定台110にほぼ完全に重なり、Xテーブル130が側方突出部136を除いてYテーブル120にほぼ完全に重なった状態では、図2と図3に示されるように、保持部材124は側方突出部136の下方に位置し、これに伴い保持部材114も側方突出部136の下方に位置している。
その結果、Xテーブル130とYテーブル120の変位に関係なく、超音波モーター140と超音波モーター150の大部分は、Xテーブル130から側方に突出することなく、Xテーブル130の下に位置している。同様に、Y変位検出器160とX変位検出器170の大部分も、Xテーブル130から側方に突出することなく、Xテーブル130の下に位置している。
次に顕微鏡ステージ100の動作について述べる。
Xテーブル130をX軸に沿って移動させたい場合は、Xテーブル130とYテーブル120の間に適用された超音波モーター150の超音波振動子152に電圧を印加する。超音波振動子152は、電圧印加に応じて、いわゆる尺取り虫のように変形し、駆動子154と被駆動体156の間の摩擦によって、被駆動体156に対してX軸に沿って移動する。その結果、被駆動体156を保持しているXテーブル130は、超音波振動子152を保持しているYテーブル120に対してX軸に沿って移動する。
一方、Yテーブル120と固定台110の間に適用された超音波モーター140の超音波振動子142の駆動子144は、固定台110に保持された被駆動体146に適当な荷重で接触している。このため、Yテーブル120は固定台110に対して移動せずに一定の位置に保持されている。その結果、Xテーブル130は、顕微鏡に固定されている固定台110に対してX軸に沿って移動される。
Yテーブル120に対するXテーブル130の移動に伴い、Xテーブル130に保持されたリニアスケール172は、Yテーブル120に保持されたエンコーダーヘッド174に対してX軸に沿って移動し、その移動量に対応した変位信号を出力する。この出力信号をモニターすることによってXテーブル130のX軸に沿った移動量がわかる。
なお、Yテーブル120に形成された溝126によって、Xテーブル130の下面に固定された保持部材134とそれに保持された被駆動体156とリニアスケール172とが通る空間が確保されているので、Xテーブル130とYテーブル120とが干渉する心配はない。
また、Xテーブル130をY軸に沿って移動させたい場合は、Yテーブル120と固定台110の間に適用された超音波モーター140の超音波振動子142に電圧を印加する。超音波振動子142は、電圧印加に応じて、いわゆる尺取り虫のように変形し、駆動子144と被駆動体146の間の摩擦によって、被駆動体146に対してY軸に沿って移動する。その結果、超音波振動子142を保持しているYテーブル120は、被駆動体146を保持している固定台110に対してY軸に沿って移動する。
一方、Xテーブル130とYテーブル120の間に適用された超音波モーター150の超音波振動子152の駆動子154は、Yテーブル120に保持された被駆動体156に適当な荷重で接触している。このため、Xテーブル130はYテーブル120に対して移動せずに一定の位置に保持されている。その結果、Yテーブル120の上に保持されているXテーブル130は、顕微鏡に固定されている固定台110に対してX軸に沿って移動される。
固定台110に対するYテーブル120の移動に伴い、Yテーブル120に保持されたエンコーダーヘッド164は、固定台110に保持されたリニアスケール162に対してY軸に沿って移動し、その移動量に対応した変位信号を出力する。この出力信号をモニターすることによってYテーブル120の移動量すなわちXテーブル130のY軸に沿った移動量がわかる。
さらに、Xテーブル130の上に載置された試料の観察個所を目標位置へ移動させる用途においては、Y変位検出器160(すなわち光学式リニアエンコーダー)の出力信号が目標値に一致するように超音波モーター140を制御し、X変位検出器170(すなわち光学式リニアエンコーダー)の出力信号が目標値に一致するように超音波モーター150を制御することによって、より高精度な位置決めが可能である。
本実施形態の顕微鏡ステージ100では、目標位置への位置決めが完了した後は、超音波モーターへの電圧印加はなくなる。このため、超音波モーターからの発熱がなく、熱によるドリフトの心配はない。
パッチクランプや磁性ビーズ等を用いた観察や測定では、電磁力は観察や測定に悪影響を与える。本実施形態の顕微鏡ステージ100は、電磁気力を発生しないため、このようなパッチクランプや磁性ビーズなどを用いた観察や測定など、電磁力を嫌う用途に対しても好適に適用可能である。
顕微鏡ステージ100は、従来の顕微鏡で用いられているマニュアルテーブルと同等の大きさである。また、超音波モーター140と超音波モーター150とY変位検出器160とX変位検出器170の大部分は、Xテーブル130から側方に突出することなく、Xテーブル130の下に位置している。このため、本実施形態の顕微鏡ステージ100は、従来から使用されているマニュアルテーブルと容易に置き換え可能である。
本実施形態の顕微鏡ステージ100は、特に倒立型顕微鏡用であり、下方からの光学的観察を可能にするため、固定台110は中央に開口112を有し、Yテーブル120は中央に開口122を有し、Xテーブル130は中央に開口132を有している。固定台110の開口112とYテーブル120の開口122は、X軸とY軸のいずれに対しても線対称な矩形である。さらに、固定台110の開口112とYテーブル120の開口122は、好ましくは、X軸に平行な辺は120mm以上であり、またY軸に平行な辺も120mm以上であるとよい。Xテーブル130の開口132は円形で、図4に示されるように、テーパーを有している。
倒立型顕微鏡などでガラス基材を通して生体観察する際、図4に示されるように、収差を補正するための補正環184を備えた対物レンズ180が使用されることがある。その場合、顕微鏡の操作者は、顕微鏡ステージの下方から手を差し入れて、対物レンズ180の補正環184を調整しなければならない。
固定台110の開口112とYテーブル120の開口122は、一辺が120mm以上の矩形であるため、顕微鏡の操作者が顕微鏡ステージ100の下方から手を差し入れて対物レンズ180の補正環184を操作するに十分な空間を与える。従って、本実施形態の顕微鏡ステージ100は、対物レンズ180の補正環184を容易に調整することを可能にする。
これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
上述した実施形態では、倒立型顕微鏡用の顕微鏡ステージについて述べたが、本発明の顕微鏡ステージは、倒立型顕微鏡用に限定されるものではなく、対物レンズの補正環の操作に関する構成(開口の大きさ)を別にすれば、正立型顕微鏡用の顕微鏡ステージに対してもそのまま適用可能である。
100…顕微鏡ステージ、110…固定台、112…開口、114…保持部材、120…Yテーブル、122…開口、124…保持部材、126…溝、130…Xテーブル、132…開口、134…保持部材、136…側方突出部、140…超音波モーター、142…超音波振動子、144…駆動子、146…被駆動体、150…超音波モーター、152…超音波振動子、154…駆動子、156…被駆動体、160…Y変位検出器、162…リニアスケール、164…エンコーダーヘッド、170…X変位検出器、172…リニアスケール、174…エンコーダーヘッド、180…対物レンズ、184…補正環。
Claims (7)
- 顕微鏡に固定される固定台と、
固定台に対して第一軸に沿って移動可能な第一テーブルと、
第一テーブルに対して第一軸にほぼ直交する第二軸に沿って移動可能な第二テーブルと、
第一テーブルを第一軸に沿って駆動する第一超音波モーターと、
第二テーブルを第二軸に沿って駆動する第二超音波モーターとを備えている、顕微鏡ステージ。 - 第一テーブルの移動量を光学的に検出する第一変位検出器と、第二テーブルの移動量を光学的に検出する第二変位検出器とをさらに備えている、請求項1に記載の顕微鏡ステージ。
- 第一テーブルは固定台の上側に位置し、第二テーブルは第一テーブルの上側に位置しており、第二テーブルは固定台よりも大きく、また第一テーブルよりも大きく、第一超音波モーターと第二超音波モーターの大部分は、第二テーブルから側方に突出することなく、第二テーブルの下に位置している、請求項1に記載の顕微鏡ステージ。
- 第一テーブルは固定台の上側に位置し、第二テーブルは第一テーブルの上側に位置しており、第二テーブルは固定台よりも大きく、また第一テーブルよりも大きく、第一超音波モーターと第二超音波モーターと第一変位検出器と第二変位検出器の大部分は、第二テーブルから側方に突出することなく、第二テーブルの下に位置している、請求項2に記載の顕微鏡ステージ。
- 第一超音波モーターと第二超音波モーターの取り付けのために、第一テーブルに固定された第一保持部材と、第二テーブルに固定された第二保持部材と、固定台に固定された第三保持部材とをさらに備えており、第一超音波モーターは第一超音波振動子と第一被駆動体とから構成され、第一超音波振動子と第一被駆動体の一方は第一保持部材に固定され、第一超音波振動子と第一被駆動体の他方は第三保持部材に固定されており、第二超音波モーターは第二超音波振動子と第二被駆動体とから構成され、第二超音波振動子と第二被駆動体の一方は第二保持部材に固定され、第二超音波振動子と第二被駆動体の他方は第一保持部材に固定されており、第二テーブルは側方に突出した側方突出部を有し、第二保持部材は第二テーブルの側方突出部の下面に固定されている、請求項3に記載の顕微鏡ステージ。
- 第一超音波モーターと第二超音波モーターと第一変位検出器と第二変位検出器の取り付けのために、第一テーブルに固定された第一保持部材と、第二テーブルに固定された第二保持部材と、固定台に固定された第三保持部材とをさらに備えており、第一超音波モーターは第一超音波振動子と第一被駆動体とから構成され、第一超音波振動子と第一被駆動体の一方は第一保持部材に固定され、第一超音波振動子と第一被駆動体の他方は第三保持部材に固定されており、第二超音波モーターは第二超音波振動子と第二被駆動体とから構成され、第二超音波振動子と第二被駆動体の一方は第二保持部材に固定され、第二超音波振動子と第二被駆動体の他方は第一保持部材に固定されており、第一変位検出器はリニアエンコーダーで構成され、第一リニアスケールと第一エンコーダーヘッドとを有し、第一リニアスケールと第一エンコーダーヘッドの一方は第一保持部材に固定され、第一リニアスケールと第一エンコーダーヘッドの他方は第三保持部材に固定されており、第二変位検出器はリニアエンコーダーで構成され、第二リニアスケールと第二エンコーダーヘッドとを有し、第二リニアスケールと第二エンコーダーヘッドの一方は第二保持部材に固定され、第二リニアスケールと第二エンコーダーヘッドの他方は第一保持部材に固定されており、第二テーブルは側方に突出した側方突出部を有し、第二保持部材は第二テーブルの側方突出部の下面に固定されている、請求項4に記載の顕微鏡ステージ。
- 固定台と第一テーブルと第二テーブルはそれぞれ中央に開口を有しており、固定台と第一テーブルの開口は、第一軸と第二軸のいずれに対しても線対称な矩形であり、矩形の辺はいずれも120mm以上である、請求項1に記載の顕微鏡ステージ。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |