JP2016170284A - ステージ装置、ラマンナノポアdnaシーケンサ、および光学顕微鏡装置 - Google Patents
ステージ装置、ラマンナノポアdnaシーケンサ、および光学顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016170284A JP2016170284A JP2015050156A JP2015050156A JP2016170284A JP 2016170284 A JP2016170284 A JP 2016170284A JP 2015050156 A JP2015050156 A JP 2015050156A JP 2015050156 A JP2015050156 A JP 2015050156A JP 2016170284 A JP2016170284 A JP 2016170284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable table
- scale
- moves
- stage
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【解決手段】可動テーブル11と、可動テーブル11の下方に設けられたベース10と、第1の方向に延びて可動テーブル11に配置された第1のスケール30aと、第1の方向とは異なる第2の方向に延びて可動テーブル11に配置された第2のスケール30bと、第1の方向へ可動テーブル11を移動させるための第1の駆動機構40aと、第2の方向へ可動テーブル11を移動させるための第2の駆動機構40bと、可動テーブル11が第2の方向へ移動するとき、可動テーブル11と共に移動する第1の検出器31aと、可動テーブル11が第1の方向へ移動するとき、可動テーブルと共に移動する第2の検出器31bと、を備え、第1の検出器31aは第1のスケール30aを検出し、第2の検出器31bは第2のスケール30bを検出する。
【選択図】図3
Description
可動テーブルと、
前記可動テーブルの下方に設けられたベースと、
第1の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第1のスケールと、
第1の方向とは異なる第2の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第2のスケールと、
第1の方向へ前記可動テーブルを移動させるための第1の駆動機構と、
第2の方向へ前記可動テーブルを移動させるための第2の駆動機構と、
前記可動テーブルが第2の方向へ移動するとき、前記可動テーブルと共に移動する第1の検出器と、
前記可動テーブルが第1の方向へ移動するとき、可動テーブルと共に移動する第2の検出器と、を備え、
前記第1の検出器は前記第1のスケールを検出し、前記第2の検出器は前記第2のスケールを検出するステージ装置を提案する。
10 ベース
10a ベースの上部
11 移動体(可動テーブル)
11a 移動体の上部
11b 移動体の下部
12 第1軸と第2軸からなる2次元平面
12a 第1軸
12b 第2軸
12c 第3軸
20 移動体支持機構
21 案内軸(ガイドレール)
21a 第1案内軸(第1ガイドレール)
21b 第2案内軸(第2ガイドレール)
22 ガイドブロック
22a ガイドブロックに形成される第1軸受
22b ガイドブロックに形成される第2軸受
23 1軸案内
24 1軸案内軸(ガイドレール)
25 1軸ガイドブロック
30a 第1位置検出ヘッド
30b 第2位置検出ヘッド
31a 第1スケール
31b 第2スケール
40a 第1回転モータ
40b 第2回転モータ
41a 第1ボールねじユニット
41b 第2ボールねじユニット
42a 第1ナット
42b 第2ナット
43a 第1ねじ軸
43b 第2ねじ軸
50 透過穴
51 透過穴(ベース側)
52 透過穴(可動テーブル側)
Claims (16)
- 可動テーブルと、
前記可動テーブルの下方に設けられたベースと、
第1の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第1のスケールと、
第1の方向とは異なる第2の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第2のスケールと、
第1の方向へ前記可動テーブルを移動させるための第1の駆動機構と、
第2の方向へ前記可動テーブルを移動させるための第2の駆動機構と、
前記可動テーブルが第2の方向へ移動するとき、前記可動テーブルと共に移動する第1の検出器と、
前記可動テーブルが第1の方向へ移動するとき、可動テーブルと共に移動する第2の検出器と、を備え、
前記第1の検出器は前記第1のスケールを検出し、前記第2の検出器は前記第2のスケールを検出することを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記ベースに固定された第1方向に延びる第1のガイドレールと、
前記可動テーブルに固定された第1方向に延びる第2のガイドレールと、
前記可動テーブルに固定された第2方向に延びる第3のガイドレールと、を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項2において、
第1のガイドレールおよび第3のガイドレールに挟まれて位置し、両者にかみ合う第1のブロックを備えており、
当該第1のブロックは、前記可動テーブルが第1の方向へ移動するとき、前記可動テーブルと一緒に移動することを特徴とするステージ装置。 - 請求項2において、
前記第2のガイドレールとかみ合う第2のブロックを備えており、
当該第2のブロックは、前記可動テーブルが第2の方向へ移動するとき、前記第2のガイドレールと共に第2の方向へ移動することを特徴とするステージ装置。 - 請求項3において、
前記可動テーブルが第1の方向へ移動するとき、前記第1のブロックは前記第1のガイドレールに沿って移動することを特徴とするステージ装置。 - 請求項2において、
前記第1のガイドレールは前記ベースの4隅に一つずつ設けられていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項2において、
前記第2のガイドレールは前記可動テーブルの4隅に一つずつ設けられていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第1の駆動機構は、回転モータとボールねじを備えていることを特徴とする、ステージ装置。 - 請求項1において、
前記第2の駆動機構は、回転モータとボールねじを備えていることを特徴とする、ステージ装置。 - 請求項1において、
前記第1のスケールおよび前記第2のスケールは前記可動テーブルの重心上を通る軸に配置されていることを特徴とする、ステージ装置。 - 請求項1において、
前記第1のスケールおよび前記第2のスケールは直交して配置されていることを特徴とする、ステージ装置。 - 請求項1において、
前記ベースおよび前記可動テーブルは透過穴を備えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第1の駆動機構はリニアモータを備えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第2の駆動機構はリニアモータを備えることを特徴とするステージ装置。 - 前記可動テーブルを有するステージ機構と、前記可動テーブル上に固定されたデバイスと、前記デバイス上の観察サンプルのラマン散光を画像として撮像するための撮像手段と、前記画像を解析して塩基配列情報を検出する解析手段とを備えた、ラマンナノポアDNAシーケンサであって、
前記ステージ機構は、
前記可動テーブルの下方に設けられたベースと、
第1の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第1のスケールと、
第1の方向とは異なる第2の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第2のスケールと、
第1の方向へ可動テーブルを移動させるための第1の駆動機構と、
第2の方向へ可動テーブルを移動させるための第2の駆動機構と、
前記可動テーブルが第2の方向へ移動するとき、前記可動テーブルと共に移動する第1の検出器と、
前記可動テーブルが第1の方向へ移動するとき、前記可動テーブルと共に移動する第2の検出器と、を備え、
前記第1の検出器は前記第1のスケールを検出し、前記第2の検出器は前記第2のスケールを検出することを特徴とするラマンナノポアDNAシーケンサ。 - 可動テーブルを有するステージ機構と、前記可動テーブル上に固定されたデバイスと、前記デバイス上の観察サンプルを画像として撮像するための倒立顕微鏡システムと、を備えた、光学顕微鏡装置であって、
前記ステージ機構は、
前記可動テーブルの下方に設けられたベースと、
第1の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第1のスケールと、
第1の方向とは異なる第2の方向に延びて前記可動テーブルに配置された第2のスケールと、
第1の方向へ前記可動テーブルを移動させるための第1の駆動機構と、
第2の方向へ前記可動テーブルを移動させるための第2の駆動機構と、
可動テーブルが第2の方向へ移動するとき、可動テーブルと共に移動する第1の検出器と、
可動テーブルが第1の方向へ移動するとき、可動テーブルと共に移動する第2の検出器と、を備え、
第1の検出器は第1のスケールを検出し、第2の検出器は第2のスケールを検出することを特徴とすることを特徴とする光学顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015050156A JP6431792B2 (ja) | 2015-03-13 | 2015-03-13 | ステージ装置、ラマンナノポアdnaシーケンサ、および光学顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015050156A JP6431792B2 (ja) | 2015-03-13 | 2015-03-13 | ステージ装置、ラマンナノポアdnaシーケンサ、および光学顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016170284A true JP2016170284A (ja) | 2016-09-23 |
JP6431792B2 JP6431792B2 (ja) | 2018-11-28 |
Family
ID=56983680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015050156A Active JP6431792B2 (ja) | 2015-03-13 | 2015-03-13 | ステージ装置、ラマンナノポアdnaシーケンサ、および光学顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6431792B2 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62249006A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | X−yテーブル |
JPH0627387A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-02-04 | Olympus Optical Co Ltd | 電動ステージ |
JPH07276166A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-24 | Kaijo Corp | Xyテーブル |
JP2001356187A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | XYθステージ装置及びその制御方法 |
US20040263108A1 (en) * | 2001-09-24 | 2004-12-30 | Lim Ser Yong | Decoupled planar positioning system |
JP2005265996A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 顕微鏡ステージ |
JP2008098409A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Yaskawa Electric Corp | アライメントステージ |
WO2012043028A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 生体ポリマーの光学的解析装置及び方法 |
JP2015046331A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ステージ装置および荷電粒子線装置 |
-
2015
- 2015-03-13 JP JP2015050156A patent/JP6431792B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62249006A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | X−yテーブル |
JPH0627387A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-02-04 | Olympus Optical Co Ltd | 電動ステージ |
JPH07276166A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-24 | Kaijo Corp | Xyテーブル |
JP2001356187A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | XYθステージ装置及びその制御方法 |
US20040263108A1 (en) * | 2001-09-24 | 2004-12-30 | Lim Ser Yong | Decoupled planar positioning system |
JP2005265996A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 顕微鏡ステージ |
JP2008098409A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Yaskawa Electric Corp | アライメントステージ |
WO2012043028A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 生体ポリマーの光学的解析装置及び方法 |
JP2015046331A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ステージ装置および荷電粒子線装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6431792B2 (ja) | 2018-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101660786B1 (ko) | 고정/루스 베어링 장치를 가지는 레이저-기반 좌표 측정 장치 | |
Jäger et al. | Nanomeasuring and nanopositioning engineering | |
US20160025479A1 (en) | Probe holder for measuring system | |
TW200936299A (en) | Integrated large XY rotary positioning table with virtual center of rotation | |
US9979262B2 (en) | Positioning device in gantry type of construction having a position-measurement device for measuring the position of a carriage relative to a cross-member | |
JP2011215016A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
JP7125215B2 (ja) | 計測システム | |
JP6611739B2 (ja) | 位置決めユニット | |
CN115388771A (zh) | 基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪 | |
JP6431792B2 (ja) | ステージ装置、ラマンナノポアdnaシーケンサ、および光学顕微鏡装置 | |
CN100401014C (zh) | 线宽测量装置 | |
JP4964124B2 (ja) | 検査対象物における座標の計量測定用座標測定装置 | |
Shinno et al. | A newly developed three-dimensional profile scanner with nanometer spatial resolution | |
US9557282B1 (en) | High precision detector robot arm system | |
JP5252777B2 (ja) | 垂直2次元面の走査機構および走査方法 | |
JP5292668B2 (ja) | 形状測定装置及び方法 | |
Kranert et al. | 3D fabrication and characterization of polymer-imprinted optics for function-integrated, lightweight optomechanical systems | |
JP2010038892A (ja) | 長尺円筒部材の真直度計測治具とその計測方法 | |
TWI271564B (en) | Translation mechanism for opto-mechanical inspection | |
JP4756446B2 (ja) | ステージ装置 | |
Bettahar | High accurate 3-D photo-robotic nano-positioning for hybrid integrated optics | |
TWI822202B (zh) | 光學機器用載台裝置 | |
Manske et al. | Nanopositioning and nanomeasuring machine for high accuracy measuring procedures of small features in large areas | |
CN109957503A (zh) | 一种用于高通量基因测序设备的工艺芯片及其应用 | |
Torralba et al. | A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170117 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180807 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181009 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6431792 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |