JP2009188012A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この露光装置10は、光源12と、ミラーM,M2を繰り返し傾斜させるMEMS光スキャナと、光源からの光をミラーを介して被露光物A上に露光する露光光学系と、を備え、光源からの光をMEMS光スキャナで傾斜するミラーにより走査して被露光物上に照射する際に、その走査光の被露光物の表面A1における走査位置が時間的にほぼ線形に変化する線形領域を用いて被露光物に対し露光を行う。
【選択図】図1
Description
tan(α2)=x2/f2
x0=f0・(f2/f1)・tan(α2) ・・・(1)
ただし、α2:ミラーMの光軸bに対するX方向への傾斜角(振れ角)
x=u・sin(θ) ・・・(4)
ただし、u:走査光の光路長
x=u・θ ・・・(5)
5 ミラー
10 露光装置
11 XYステージ
12 光源
13 制御装置
14 位置検出部
15a,15b ステッピングモータ
21 受光素子
22 オートフォーカス用レーザ光源
23 アクチュエータ
24 CCDカメラ
25 光導入部
26〜29 ビームスプリッタ
20,30 ハウジング
31 鏡筒
32 チューブレンズ
A 被露光物
A1 表面
B 磁束密度
C コリメートレンズ
D 駆動コイル
F ローレンツ力
FI 光ファイバ
J 対物レンズ
L1,L2 レンズ
M ミラー
P1,P2 永久磁石
PA1〜PA3 ラインパターン
T ねじり棒
Y ヨーク
b 光軸
c 光軸
i 電流
m 平行光
m’ 反射光
p 回転中心軸
r 回転方向
r’回転方向rの逆方向
Claims (7)
- 光源と、ミラーを繰り返して傾斜させるMEMS光スキャナと、前記光源からの光を前記ミラーを介して被露光物上に露光する露光光学系と、を備え、
前記光源からの光を前記MEMS光スキャナで傾斜するミラーにより走査して前記被露光物上に照射する際に、その走査光の前記被露光物の表面における走査位置が時間的にほぼ線形に変化する線形領域を用いて前記被露光物に対し露光を行う露光装置。 - 前記MEMS光スキャナは駆動コイルを備える電磁駆動型に構成され、前記駆動コイルへの電流量を調整することで、前記走査光が前記線形領域内で前記被露光物の表面を露光する請求項1に記載の露光装置。
- 前記被露光物を移動可能なステージを備え、前記ステージの移動を制御することで前記被露光物上にパターンを露光する請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記MEMS光スキャナによる光走査方向と略直交する方向に前記ステージを移動させる請求項3に記載の露光装置。
- 前記ステージの位置を検出する位置検出部を備え、
前記ステージが駆動源としてモータを有し、
前記位置検出部の検出信号に基づいて前記モータを駆動し前記ステージの位置を制御する請求項3または4に記載の露光装置。 - 前記光源からの光のオンオフを制御することで前記被露光物上にパターンを露光する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記露光光学系が対物レンズを含み、
前記対物レンズを前記被露光物に対し駆動し自動的に合焦させるオートフォーカス機構を備える請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008023736A JP2009188012A (ja) | 2008-02-04 | 2008-02-04 | 露光装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2008
- 2008-02-04 JP JP2008023736A patent/JP2009188012A/ja active Pending
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