JP2009186556A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化が可能でマスクレス露光が可能でありかつスポット照射が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】この露光装置は、光源と、ミラーを繰り返し傾斜させるＭＥＭＳ光スキャナと、光源からの光をミラーを介して被露光物上に露光する露光光学系と、を備え、光源からの光をＭＥＭＳ光スキャナにより第１周波数（１／ｔ１）で振動するミラーにより走査して被露光物を照射する際に、光源からの光を第２周波数（１／ｔ２）で点滅させ、第２周波数と第１周波数との周波数差に基づいて走査光により露光を行う。
【選択図】図７

Description

本発明は、マスクレス露光が可能な露光装置に関する。

従来、半導体集積回路や液晶デバイス等の製造工程では回路パターン形成のためにフォトリソグラフィ工程が多用されている。フォトリソグラフィは、所定のパターンが形成されたフォトマスクを用い、このフォトマスクを介してフォトレジストの塗布されたシリコンなどの基板上に露光することで、フォトマスクのパターンを基板上に転写してから、現像工程、エッチング工程等を経ることにより基板上にパターンを形成するものである。

上述のようなフォトリソグラフィ工程の代わりに、フォトマスクを用いずに所望のパターンを基板等に直接形成するマスクレス露光（直接露光）装置が提案されている（例えば、下記特許文献１参照）。かかるマスクレス露光によれば、フォトマスクが不要でありコスト的に有利であり、また、高精度露光が可能であるとされている。

特許文献１に記載のマスクレス露光装置は、露光ヘッドの結像光学系で結像される所望の露光パターンと被露光物の表面とを相対的に走査する走査手段を備え、かかる走査手段としてＸＹステージを用いている。また、光走査手段としては、ポリゴンミラーやガルバノミラーとレンズ光学系を用いた光走査光学系が知られている。また、かかる光走査光学系の代わりに２次元光変調素子を用いることが提案されている（例えば、下記特許文献２参照）。
特開２００６−２５０９８２号公報 特開２００３−１５０７７号公報

上述のマスクレス露光装置においてスポット位置に露光を行う場合、ガルバノミラー等を用いてスポット照射を行う場合、このような光学系は大きく、装置の小型化の障害となり、また、高価である。また、スポット照射の場合、被露光物上におけるスポット位置の調整が面倒である。

本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、小型化が可能でマスクレス露光が可能でありかつスポット照射が可能な露光装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本実施形態による露光装置は、光源と、ミラーを繰り返し傾斜させるＭＥＭＳ光スキャナと、前記光源からの光を前記ミラーを介して被露光物上に露光する露光光学系と、を備え、前記光源からの光を前記ＭＥＭＳ光スキャナにより第１周波数で繰り返し傾斜するミラーにより走査して前記被露光物を照射する際に、前記光源からの光を第２周波数で点滅させ、前記第２周波数と前記第１周波数との周波数差に基づいて前記走査光により露光を行うものである。

この露光装置によれば、ＭＥＭＳ（メムス）光スキャナによりミラーを繰り返し傾斜させて光源からの光を走査して走査光を得て被露光物上に直接露光できる。ＭＥＭＳ（メムス）とは、微小電気機械システム（Micro Electro Mechanical Systems）の略で、機械要素部品を極小サイズで作製した小型デバイスである。ＭＥＭＳ光スキャナは、アクチュエータによりミラーを駆動して光を走査するＭＥＭＳ（メムス）光デバイスであり、小型に構成され信頼性が高く動作が安定している。このように、ＭＥＭＳ光スキャナを光走査に用いることによって、装置を小型化できかつ安定した動作でマスクレス露光が可能な露光装置を実現できる。

さらに、光源からの光をＭＥＭＳ光スキャナにより第１周波数で繰り返し傾斜（振動）するミラーにより走査し、光源からの光を第２周波数で点滅させ、第２周波数と第１周波数との周波数差に基づいて走査光により露光を行うことで、光源からの光を走査しながら、被露光物上でスポット照射が可能となる。

上記露光装置において前記周波数差をゼロにすることで前記走査光を前記被露光物上で静止させてスポット照射を行うことができる。なお、上述の周波数差を調整することで走査光のスポット照射位置を被露光物上で低速に移動させることができる。

また、前記ミラーが前記第１周波数で繰り返し傾斜するときの位相と前記光源からの光が前記第２周波数で点滅するときの位相との位相差を調整することで、前記走査光のスポット照射位置を変化させることができる。これにより、走査光によるスポット照射位置を簡単かつ正確に調整できる。

また、前記光源からの光の第２周波数での点滅制御により露光を行う第１露光モードと、前記光源からの光を前記被露光物上で走査させて露光を行う第２露光モードと、を切り換え可能であることが好ましい。これにより、露光装置においてスポット照射と走査露光とを切り換えて露光が可能となる。

また、前記露光光学系が対物レンズを含み、前記対物レンズを前記被露光物に対し駆動し自動的に合焦させるオートフォーカス機構を備えることで、露光中に自動的に合焦させることができるので、被露光物の表面に凹凸があっても高精度な露光が可能となる。

なお、被露光物を載置して移動可能なステージをさらに備えることが好ましく、被露光物上における概略的な露光位置の調整を簡単にできる。また、前記ステージの移動を制御することで被露光物上にパターンを露光することにより、被露光物上に所望のパターンを露光できる。

本発明の露光装置によれば、小型化が可能でマスクレス露光が可能でありかつスポット照射が可能となる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。図１は本実施の形態による露光装置の全体の概略的構成を示す図である。図２は図１の露光光学系を説明するための図である。図３は図２の露光光学系のＭＥＭＳ光スキャナのミラーとレンズとの関係を説明するための模式図である。

図１に示すように、露光装置１０は、被露光物Ａを載置し保持してＸＹ方向に移動可能なＸＹステージ１１と、半導体レーザからなる光源１２と、光源１２から光ファイバＦＩで導かれた光により被露光物Ａに対し露光する露光光学系と、露光を行う際に露光光学系の鏡筒３１内の対物レンズをＸＹステージ１１上の被露光物Ａに対し図の上下方向に駆動し自動的に合焦させるオートフォーカス機構と、ＸＹステージ１１上の被露光物Ａを観察するための観察光学系と、ＸＹステージ１１及び光源１２等を制御する制御装置１３と、を備えている。

露光光学系は、図１〜図３のように、光源１２からの光が光ファイバＦＩを介して導入されてコリメートレンズＣで平行化されてミラーＭで反射し、レンズＬ２，ミラー１９，レンズＬ１，ビームスプリッタ２９を介して鏡筒３１内の対物レンズＪでステージ１１上の被露光物Ａの表面Ａ１に集光されて結像しスポット照射するようになっている。

上述の露光光学系の内のコリメートレンズＣからレンズＬ１までの各光学要素はハウジング２０内に配置され収容されている。

オートフォーカス機構は、図１のように、オートフォーカス用レーザ光源２２からの光がビームスプリッタ２７，２８，２９を介して鏡筒３１内の対物レンズＪ（図２）でＸＹステージ１１上の被露光物Ａの表面Ａ１に集光され、その反射光が対物レンズＪ、ビームスプリッタ２９，２８，２７，チューブレンズ３２，ビームスプリッタ２６を介してフォトダイオード（ＰＤ）からなる受光素子２１に入射し、その入射光信号に基づいて公知のピエゾ素子からなるアクチュエータ２３で鏡筒３１を光軸方向に駆動して鏡筒３１内の対物レンズＪ（図２）を移動させて合焦させるようになっている。

上述のビームスプリッタ２６，２７，２８，２９及びチューブレンズ３２はハウジング３０内に配置され収容されている。

観察光学系は、照明光を光導入部２５から導入してＸＹステージ１１上の被露光物Ａに照射してその反射光をＣＣＤカメラ２４で撮像して被露光物Ａを観察できるようになっている。

図１のように、ハウジング３０には、受光素子２１，オートフォーカス用レーザ光源２２，ＣＣＤカメラ２４及び光導入部２５が取り付けられており、ハウジング３０の下端にアクチュエータ２３が配置され、さらにアクチュエータ２３の下方に鏡筒３１が配置されている。

ＸＹステージ１１には、図１のステッピングモータ１５ａ，１５ｂとステッピングモータ１５ａ，１５ｂによる各回転運動をＸ方向及びＹ方向への直線運動に変換する公知のボールねじ等から構成された直動機構とが内蔵されている。ステッピングモータ１５ａ，１５ｂの各等速回転によりＸＹステージ１１は図１の横方向（Ｘ方向）及び図１の紙面垂直方向（Ｙ方向）に等速で移動可能になっている。

制御装置１３は、モータドライバ１６を介してステッピングモータ１５ａ，１５ｂを制御する。また、露光装置１０はＸＹステージ１１のＸ方向及びＹ方向の各位置を検出するエンコーダ等から構成された位置検出部１４を備えている。

制御装置１３は、ＸＹステージ１１のＸ方向及びＹ方向の各移動量を制御するが、このとき、位置検出部１４から入力した位置検出信号に基づいてステッピングモータ１５ａ，１５ｂをフィードバック制御することで、ＸＹステージ１１を高精度に制御できる。

また、制御装置１３は、ドライバ１７を介して光源１２をオンオフ制御し、光源１２からの光をオンオフするようになっている。なお、光源１２に対し公知の電動シャッタを後置し、この電動シャッタを制御装置１３が制御することにより、光源１２からの光をオンオフするようにしてもよい。

また、制御装置１３は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）を備え、ＣＰＵにより光源１２及びＸＹステージ１１を所定のシーケンスで制御し、所定パターンの露光が可能となっている。

図１〜図３に示すミラーＭは、ＭＥＭＳ光スキャナの一部を構成するものであるが、かかるＭＥＭＳ光スキャナについて図４、図５を参照して説明する。

図４は図１〜図３の露光装置で使用可能なＭＥＭＳ光スキャナの基本構造及び動作原理を説明するための概略図である。図５は図１〜図３の露光装置で使用可能なＭＥＭＳ光スキャナの具体例を示す上面図（ａ）、b-b線方向に切断してみた断面図（ｂ）及び下面図（ｃ）である。

図４に示すＭＥＭＳ光スキャナは、矩形状のヨークＹ内に矩形平面状のミラーＭを一対のねじり棒Ｔ，ＴでヨークＹと連結するように形成し、ミラーＭの外周に沿って駆動コイルＤを形成し、ヨークＹの外側に対向するように一対の永久磁石Ｐ１，Ｐ２を配置するものであり、電磁駆動アクチュエータによりミラーを駆動する電磁駆動式の共振型である。

ＭＥＭＳ光スキャナは、図４のように、永久磁石Ｐ１，Ｐ２により磁束密度Ｂの磁界がねじり棒Ｔ，Ｔに直交する方向に生じ、駆動コイルＤに電流ｉを流すと、ローレンツ力Ｆによる回転トルクでねじり棒Ｔ，Ｔがその弾性復元力に抗して回動してミラーＭが傾く。電流ｉを交流電流とすることにより、ねじり棒Ｔ，Ｔが回転方向ｒとその逆方向ｒ’に共振して回動することでミラーＭが共振して傾斜を繰り返す。ここで、Ｆ∝ｉ・Ｂであるので、電流量を変化させることで、ミラーＭの傾きを変えることができる。ミラーＭは回転方向ｒ，ｒ’に傾斜し、ミラーＭに入射して反射する光の方向を一方向において変えるので、図４のＭＥＭＳ光スキャナは１次元可動タイプである。

ＭＥＭＳ光スキャナ１は、具体的には、図５（ａ）〜（ｃ）のように、基板６の基準面６ａ側にヨーク４を設け、ヨーク４の内側に永久磁石２，３を対向させて配置し、永久磁石２，３の間にシリコンチップ７を設け、ミラー５をシリコンチップ７で包囲するようにして配置し、図４のように駆動コイルを形成し、この駆動コイルにコネクタ８を介して外部から交流電流を流すことで、図５（ｂ）、（ｃ）のようにミラー５が回転中心軸ｐを中心にして回転方向ｒ、その逆方向ｒ’に共振して傾斜を繰り返すようになっており、１次元可動タイプの電磁駆動式共振型に構成されている。

図５（ａ）〜（ｃ）のＭＥＭＳ光スキャナ１では、基板６の基準面６ａの反対面６ｂ側において入射光ｎがミラーＭで反射するとき、その反射光ｎ’の基準面６ａに対する反射角度がミラー５の傾斜角に応じて変化する。なお、ＭＥＭＳ光スキャナ１には、図４のねじり棒Ｔと同様のねじり棒が回転中心軸ｐ上に設けられている。

図５（ａ）〜（ｃ）のＭＥＭＳ光スキャナ１は、各部品が微小に構成されており、その全体寸法が、例えば、３０ｍｍ×２２ｍｍ×５ｍｍ（厚さ）であり、ミラー５の平面寸法が４ｍｍ×４ｍｍである。このようなＭＥＭＳ光スキャナは、例えば、日本信号株式会社から商品名「ECO SCAN:ESS115B」として販売されている。

ＭＥＭＳ光スキャナ１は、図１〜図３のミラーＭの位置に配置される。すなわち、ＭＥＭＳ光スキャナ１は、基板６の四隅に取付孔６ｃを有し、基準面６ａを基準にして図１の露光装置１０のハウジング２０内の所定位置にミラー５がミラーＭの機能を発揮するように取付孔６ｃで取り付けられる。また、ＭＥＭＳ光スキャナ１は、図１のように、制御装置１３により制御される。

次に、図１〜図３の露光装置１０の露光動作について図１〜図６を参照して説明する。図６は図１の被露光物の表面に露光されるパターンの一例を説明するための模式図である。

最初に、露光装置１０による露光について説明する。まず、光源１２からの光がコリメートレンズＣで平行光ｍになって図２，図３のようにミラーＭに入射する。ミラーＭは、図５（ａ）〜（ｃ）のＭＥＭＳ光スキャナ１のミラー５に相当し、ＭＥＭＳ光スキャナ１に図４の駆動コイルＤのように交流電流を流すことで、図４のねじり棒Ｔを中心に回動を繰り返し、図２，図３の光軸ｂに対し傾斜を繰り返す。すなわち、ミラーＭは、図２，図３のように光軸ｂを中心にしてＸ方向に傾斜角α２で傾く。

ここで、図３のように、Ｘ方向に傾斜するミラーＭで反射した光ｍ’に関し、ミラーＭとレンズＬ２との間で次式が成立する。
tan(α２)＝ｘ２／ｆ２

次に、ミラーＭで反射した光ｍ’は、焦点距離ｆ２のレンズＬ２，ミラー１９（図１），焦点距離ｆ１のレンズＬ１，ビームスプリッタ２９（図１）を介して焦点距離ｆ０の対物レンズＪにより図１の被露光物Ａの表面Ａ１に集光される。

ＭＥＭＳ光スキャナ１によりミラーＭは光源１２からの平行光ｍを図３のＸ方向に走査し、図２の表面Ａ１上における光軸ｃからのＸ方向への走査光の走査長さｘ０は、次式（１）により表すことができる。
ｘ０＝ｆ０・(ｆ２／ｆ１)・tan(α２) ・・・（１）
ただし、α２：ミラーＭの光軸ｂに対するＸ方向への傾斜角（振れ角）

上述のようにして、図１のＸＹステージ１１に載置されて保持された被露光物Ａの表面Ａ１に対し、光源１２からの光をミラーＭでＸ方向に走査長さｘ０で走査しながらライン照射し露光することができる。

次に、上述の露光装置１０による所定パターンの露光について説明する。ＸＹステージ１１上に被露光物Ａを載せて保持し、ＭＥＭＳ光スキャナ１を駆動し、ミラーＭを振動させることで、図６のように、走査光は被露光物Ａの表面Ａ１上において走査方向Ｘに走査される。また、ＸＹステージ１１による被露光物Ａの移動方向をＹ方向とし、ＸＹステージ１１のステッピングモータ１５ｂを駆動することでＸＹステージ１１を移動方向（走査方向Ｘと直交する方向）Ｙに等速で移動させる。

共振周波数で駆動されるＭＥＭＳ光スキャナ１を安定して駆動するためには一定周波数でミラーＭを振動させることが必要である。そこで、かかる共振型のミラーを用いて露光を行う場合は、露光のタイミング基準がＭＥＭＳ光スキャナ１になるようにステージ１１を移動させて露光を行う。

すなわち、ＸＹステージ１１の移動をＭＥＭＳ光スキャナ１によるミラーＭの振動と同期させることで、ＸＹステージ１１を等速で移動させながらミラーＭの角度と露光位置とを同期（一致）させて光源１２からの光をオンオフして露光を行う。

例えば、ＸＹステージ１１を等速で移動させながら、図６のように、被露光物Ａの表面Ａ１上にＸ方向に走査長さｘ０に対応する長さのラインパターンＰＡ１を露光し、所定幅に対応する時間だけ光源１２からの光をオフとしてから、次のラインパターンＰＡ２を露光することで、Ｙ方向に間欠的なパターンを露光できる。ラインパターンＰＡ２は、光源１２からの光をオンオフすることで、断続的なラインパターンとなっている。同様にして、ラインパターンＰＡ３〜ＰＡ６を露光する。

また、ＸＹステージ１１を移動させ所定の露光位置で停止して図６のラインパターンＰＡ１を露光するようにして、ラインパターンＰＡ２〜ＰＡ６を露光してもよい。

また、上記露光の際に、図１のオートフォーカス機構を作動させると、レーザ光源２２から光が対物レンズＪ（図２）を介して被露光物Ａの表面Ａ１に集光され、その反射光が受光素子２１に入射し、その入射光信号に基づいてアクチュエータ２３で鏡筒３１内の対物レンズＪを光軸方向に駆動して自動的に合焦させる。オートフォーカス機構は、露光の間に継続して作動させることで、被露光物Ａの表面Ａ１に凹凸があっても高精度に露光を行うことができる。また、必要に応じて、ＣＣＤカメラ２４で被露光物Ａの表面Ａ１を観察する。

以上のように、ＭＥＭＳ光スキャナは、電磁駆動アクチュエータによりミラーを共振させ光を走査するＭＥＭＳ（メムス）光デバイスであり、小型に構成されて信頼性が高く動作が安定しているので、ＭＥＭＳ光スキャナを露光装置１０の光走査に用いることによって、装置を小型化できかつ安定した動作でマスクレス露光が可能な露光装置を実現できる。

従来の光走査手段であるポリゴンミラーやガルバノミラーとレンズ光学系を用いた光走査光学系によれば、装置の全体構成が大きく、高価であり、応答性もよくなかったのに対し、本実施の形態のようにＭＥＭＳ光スキャナを用いることで、安価でかつ小型化が可能となり、応答性のよい露光装置１０の光走査が可能となり、さらに従来構成よりも省電力になる。また、従来の別の光走査手段である２次元光変調素子には短寿命化や誤動作発生の問題があったのに対し、ＭＥＭＳ光スキャナを用いることで、信頼性が高く安定した露光が可能となる。

また、本実施の形態において、露光可能なパターンに関し、ＸＹステージ１１の移動及び光源１２からの光のオンオフを制御することで、光源１２からの光により任意のパターンを被露光物Ａの表面Ａ１上に露光できる。例えば、制御装置１３は、装置内部または外部のハードディスク記憶装置等の記憶装置から、所望のパターンで露光するプログラムをＣＰＵに読み取らせ、そのプログラムに従って光源１２を制御することで、露光装置１０は所望のパターンによる自動露光が可能である。

次に、本実施形態におけるスポット照射について図７，図８を参照して説明する。図７は、図１のＭＥＭＳ光スキャナ１のミラーＭの振動の周期及び位相と光源１２からの光の点滅の周期及び位相とが一致した状態を説明するための図（ａ）、周期が一致し位相がずれた状態を説明するための図（ｂ）及び周期がずれた状態を説明するための図（ｃ）である。図８は、図１〜図３の露光装置による被露光物へのスポット照射を説明するための模式図である。

図１の露光装置１０の制御装置１３は、ドライバ１７を介して光源１２を所定周波数で点滅制御し、光源１２からの光を所定周波数で点滅させることができ、また、その点滅の周波数（周期）及び位相を調整可能になっている。なお、光源１２からの光の点滅は、光源１２に対し後置した電動シャッタにより行うようにしてもよい。

図１の露光装置１０において、光源１２からの光の点滅と、ＭＥＭＳ光スキャナ１によるミラーＭの振動と、を同期させることで、ミラーＭによる走査光を用いてスポット照射が可能であるが、かかるスポット照射モードと、図６のような走査光による走査露光モードと、を図１の切換操作部４９で切り換えることができるようになっている。

スポット照射モードでは、ＭＥＭＳ光スキャナ１のミラーＭがその共振周波数（＝１／ｔ１）で振動し、図７（ａ）、（ｂ）のように、ミラーＭの角度が振動周期ｔ１で周期的に変化するとともに、光源１２が所定の周波数（＝１／ｔ２）で点滅制御され、光源１２からの光が点滅周期ｔ２で点滅し、各時間ポイントａ０，ｂ０で点灯する。

また、ＭＥＭＳ光スキャナ１のミラーＭの角度が振動周期ｔ１で周期的に変化するとともに、図７（ｃ）のように、光源１２が所定の周波数（＝１／ｔ３）で点滅制御され、光源１２からの光が点滅周期ｔ３で点滅し、各時間ポイントｃ０で点灯するが、この場合、振動周期ｔ１≠点滅周期ｔ３であると、各時間ポイントｃ０におけるミラーＭの振動に対する位相差Δｔ１，Δｔ２，Δｔ３，Δｔ４が時間とともに変わる。

これに対して、図７（ａ）、（ｂ）のように、光源１２からの光の点滅周期ｔ２をミラーＭの振動周期ｔ１と一致させる（ｔ１＝ｔ２）と、両者の位相がずれている状態では、図７（ｂ）のように、光源１２からの光がミラーＭの振動に対して等しい位相差Δｔを持つ時間ポイントｂ０で点灯する。一方、光の点滅とミラーＭの振動との位相を一致させる（位相差Δｔ＝０）と、図７（ａ）のように、光源１２からの光がミラーＭの振動に対して位相差のない時間ポイントａ０で点灯する。

図７（ａ）のように、光の点滅周期ｔ２をミラーＭの振動周期ｔ１と一致させかつ両者の位相を一致させると、例えば、図８のように、光源１２からの光は、ミラーＭで走査されているが、Ｘ軸上のポイントｘ０１で静止しポイントｘ０１をスポット照射する。

また、図７（ｂ）のように、両周期ｔ１，ｔ２を一致させた状態で位相差Δｔを変えると、図８のように、光源１２からの光は、その位相差に応じてＸ軸上のポイントｘ０１から離れたポイントｘ０２やポイントｘ０３で静止しポイントｘ０２またはｘ０３をスポット照射する。この場合、スポット照射位置は走査光のＸ方向の走査長さｘ０の範囲内で変えることができる。

以上のように、本実施の形態によれば、光源１２からの光をＭＥＭＳ光スキャナ１により所定周波数（１／ｔ１）で振動するミラーＭにより走査する一方、光源１２からの光を点滅周波数（１／ｔ２）で点滅させ、図１の制御装置１３で光源１２の点滅周波数を変えて周波数差（周期差）をゼロに調整することで、光源１２からの光をミラーＭで走査しながら、走査光を被露光物Ａ上で静止させてスポット照射を行うことができる。

また、ミラーＭが振動するときの位相に対し光源１２からの光が点滅する位相を調整し位相差Δｔを変えることで、走査光のスポット照射位置を変化させることができるので、スポット照射位置を簡単かつ正確に調整できる。

さらに、図７（ｃ）のように、光の点滅周期ｔ３とミラーＭの振動周期ｔ１とが不一致であると、光源１２からの光は、図８のＸ軸上でその位置をゆっくり変えながらスポット照射することができるので、周波数差を制御することで、いわば擬似スキャン方式で光走査が可能である。

なお、図８のようなスポット照射モードでは、露光時にＸＹステージ１１を移動させずに固定した状態で使用することができる。

また、上述のスポット照射モードでは、スポット照射位置を正確に合わせた状態でスポット的に露光（スポット露光）することができ、非スキャン方式の露光が可能となる。かかるスポット露光によれば、ＭＥＭＳ光スキャナ１の振動の影響がないため精度の必要な露光の場合に有効である。例えば、被露光物Ａの表面Ａ１が段差や曲面を含む場合に、段差や曲面に沿った露光が可能である。

以上のように本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、露光装置１０を図１の切換操作部４９により図８のようなスポット照射モードと図６のような走査露光モードとの切り換え可能に構成したが、本発明はこれに限定されず、図８のようなスポット照射モード専用に構成し、スポット露光を行うようにしてもよい。

また、ＭＥＭＳ光スキャナは交流電流により変位する共振タイプから構成したが、直流電流で変位するＭＥＭＳ光スキャナであってもよい。

本実施の形態による露光装置の全体の概略的構成を示す図である。 図１の露光光学系を説明するための図である。 図２の露光光学系のＭＥＭＳ光スキャナのミラーとレンズとの関係を説明するための模式図である。 図１〜図３の露光装置で使用可能なＭＥＭＳ光スキャナの基本構造及び動作原理を説明するための概略図である。 図１〜図３の露光装置で使用可能なＭＥＭＳ光スキャナの具体例を示す上面図（ａ）、b-b線方向に切断してみた断面図（ｂ）及び下面図（ｃ）である。 図１の被露光物の表面に露光されるパターンの一例を説明するための模式図である。 図１のＭＥＭＳ光スキャナ１のミラーＭの振動の周期及び位相と、光源１２からの光の点滅の周期及び位相とが一致した状態を説明するための図（ａ）、周期が一致し位相がずれた状態を説明するための図（ｂ）及び周期がずれた状態を説明するための図（ｃ）である。 図１〜図３の露光装置による被露光物へのスポット照射を説明するための模式図である。

符号の説明

１ ＭＥＭＳ光スキャナ
５ ミラー
１０ 露光装置
１１ ＸＹステージ
１２ 光源
１３ 制御装置
１４ 位置検出部
１５ａ，１５ｂ ステッピングモータ
２１ 受光素子
２２ オートフォーカス用レーザ光源
２３ アクチュエータ
２４ ＣＣＤカメラ
２５ 光導入部
２６〜２９ ビームスプリッタ
２０，３０ ハウジング
３１ 鏡筒
３２ チューブレンズ
４９ 切換操作部
Ａ 被露光物
Ａ１ 表面
Ｂ 磁束密度
Ｃ コリメートレンズ
Ｄ 駆動コイル
Ｆ ローレンツ力
ＦＩ 光ファイバ
Ｊ 対物レンズ
Ｌ１，Ｌ２ レンズ
Ｍ ミラー
Ｐ１，Ｐ２ 永久磁石
ＰＡ１〜ＰＡ６ ラインパターン
Ｔ ねじり棒
Ｙ ヨーク
ｂ 光軸
ｃ 光軸
ｉ 電流
ｍ 平行光
ｍ’ 反射光
ｐ 回転中心軸
ｒ 回転方向
ｒ’回転方向ｒの逆方向
ｔ１，ｔ２，ｔ３ 周期
Δｔ，Δｔ１，Δｔ２，Δｔ３ 位相差

Claims (5)

1. 光源と、ミラーを繰り返し傾斜させるＭＥＭＳ光スキャナと、前記光源からの光を前記ミラーを介して被露光物上に露光する露光光学系と、を備え、
   前記光源からの光を前記ＭＥＭＳ光スキャナにより第１周波数で繰り返し傾斜するミラーにより走査して前記被露光物を照射する際に、前記光源からの光を第２周波数で点滅させ、前記第２周波数と前記第１周波数との周波数差に基づいて前記走査光により露光を行う露光装置。
2. 前記周波数差をゼロにすることで前記走査光を前記被露光物上で静止させてスポット照射を行う請求項１に記載の露光装置。
3. 前記ミラーが前記第１周波数で繰り返し傾斜するときの位相と前記光源からの光が前記第２周波数で点滅するときの位相との位相差を調整することで、前記走査光のスポット照射位置を変化させる請求項１または２に記載の露光装置。
4. 前記光源からの光の第２周波数での点滅制御により露光を行う第１露光モードと、前記光源からの光を前記被露光物上で走査させて露光を行う第２露光モードと、を切り換え可能である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
5. 前記露光光学系が対物レンズを含み、
   前記対物レンズを前記被露光物に対し駆動し自動的に合焦させるオートフォーカス機構を備える請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。

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