JP2024090648A - 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置およびステージ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】振動型アクチュエータを高精度に駆動させることを目的とする。【解決手段】本発明の振動型アクチュエータ１００では、下側支持部材１８は、保持部材９と下側支持部材１８との相対位置を第２の方向にガイドする一対のガイド部１８ｃを有し、保持部材９は、一対のガイド部１８ｃによりガイドされる一対のガイド受部９ａを有する。エンコーダ本体３１は、第２の方向から見て、一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域と重なる位置において下側支持部材１８に固定されている。【選択図】図５

Description

本発明は、振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置およびステージ装置に関する。

一般に、振動型アクチュエータは、振動体と被駆動体とを加圧接触させ、振動体に励起した振動により振動体と被駆動体とを相対的に摩擦駆動させることにより駆動力を得る。振動型アクチュエータは、構造が簡素で薄型であるとともに高精度で静粛な駆動が可能であるために、レンズ鏡筒、雲台等の旋回駆動装置、ＦＡ等の生産装置、ＯＡ機器等の駆動モータとして用いられている。

特許文献１には、接触体の厚み方向（接触体の長手方向および短手方向に直交する方向）において接触体を２つの振動体で挟み込み、接触体の長手方向に振動体がガイドバーに沿って駆動する構造の振動型アクチュエータが開示されている。

特開２０２１－８７３１７号公報

振動型アクチュエータは、高精度な位置決めを行うために、エンコーダ本体と、スケールを設けることがある。しかしながら、特許文献１の振動型アクチュエータでは、エンコーダ本体やスケールを取り付ける位置によっては、振動体と接触体との相対的な移動を高精度に検出できない場合がある。すなわち、振動体とエンコーダ本体が取り付けられている部品との間にガタ等が発生すると、ガタによってエンコーダ本体がスケールに対して相対的に移動してしまう。したがって、振動体が接触体に対して移動していないにもかかわらず、エンコーダからは移動した信号が検出されるため振動型アクチュエータの駆動が不安定になり、位置決めの精度が低下してしまうおそれがある。

本発明は、振動型アクチュエータを高精度に駆動させることを目的とする。

本発明は、電気－機械エネルギ変換素子と突出部とを有する振動体と、前記突出部が接触され、前記振動体に対して第１の方向に相対移動可能に設けられた接触体と、を備える振動型アクチュエータであって、前記振動体を前記第１の方向に対して交差する第２の方向である前記接触体の側に加圧するとともに、前記振動体を振動可能に保持する保持部と、前記保持部を介して前記振動体を支持する支持部と、前記支持部に固定され、前記振動体または前記接触体の位置を検出する位置検出部と、を有し、前記保持部と前記支持部のうち何れか一方は、前記保持部と前記支持部との相対位置を前記第２の方向にガイドする一対のガイド部を有し、前記保持部と前記支持部のうち何れか他方は、前記一対のガイド部によりガイドされる一対のガイド受部を有し、前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部により挟まれる領域と重なる位置において前記支持部に固定されていることを特徴とする。

本発明によれば、振動型アクチュエータを高精度に駆動させることができる。

第１の実施形態の振動型アクチュエータの概略構成を示す斜視図である。 振動型アクチュエータの分解斜視図である。 振動型アクチュエータの下側支持部材の分解斜視図である。 振動体に励起させる固有振動モードを説明するための斜視図である。 振動型アクチュエータの下側支持部材の構成を示す図である。 エンコーダ本体の構成を示す図である。 振動型アクチュエータの下側支持部材の構成を示す図である。 比較例の振動型アクチュエータの下側支持部材の構成を示す図である。 第２の実施形態の振動型アクチュエータの構成を示す図である。 第３の実施形態の撮像装置の概略構成を示す上面図である。 第４の実施形態の顕微鏡の概略構成を示す斜視図である。

以下、本発明の好ましい実施形態について添付の図面を参照して説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は、第１実施形態の振動型アクチュエータ１００の概略構成を示す斜視図である。図２は、振動型アクチュエータ１００の分解斜視図である。図３は、下側支持部材１８の分解斜視図である。図３（ａ）は下側支持部材１８を上側から見た分解斜視図であり、図３（ｂ）は下側支持部材１８を下側から見た分解斜視図である。
振動型アクチュエータ１００は、振動体２、保持部材９、接触体１０、下側支持部材１８、上側支持部材１９、トッププレート２０、土台部２１、ガイドバー２２、接触体保持部２３、２４、引張コイルばね２５等を有する。

振動体２は、弾性体３と、弾性体３の一方の面に設けられた一対の突出部５と、弾性体３において突出部５が設けられた面の反対側の面に設けられた圧電素子４と、を有する（図３を参照）。なお、突出部５は一対である場合に限られず、少なくとも１つあれば接触体１０の駆動は可能である。
弾性体３は、略矩形で平板状の形状である。弾性体３は、例えば、マルテンサイト系のステンレス等の金属材料からなり、耐久性を高めるための硬化処理として焼入処理が施される。

突出部５は、弾性体３の一方側の面から接触体１０側に突出する部位である。突出部５は、ばね性を有する厚さで形成される。突出部５は、例えば、弾性体３を構成する板材のプレス加工等によって、弾性体３と一体的に形成される。ただし、突出部５は、弾性体３と一体である場合に限られず、例えば、溶接等によって弾性体３に固定してもよい。突出部５の先端５ａ（上面）は、接触体１０と摩擦摺動するため、耐摩耗性を高めるための硬化処理として焼入処理等が施される。

保持部材９（保持部）は、突出部５が設けられた面の反対側から振動体２を振動可能に保持する。保持部材９は、引張コイルばね２５によって付勢されることで振動体２を接触体１０の側に加圧する。
接触体１０は、振動体２に対して相対移動可能である。接触体１０は、ステンレス等の金属材料からなり、突出部５との摩擦摺動面には、耐摩耗性を高めるために窒化処理等の硬化処理が施される。

圧電素子４は、電気量を機械量に変換する電気－機械エネルギ変換素子である。圧電素子４は、接着剤によって弾性体３に接着される。圧電素子４は、板状の圧電セラミックスの両面に所定の形状の電極が形成された構造を有する。圧電素子４の電極には、給電フレキシブル基板４１から所定の周波数の駆動電圧（交流電圧）が印加される。圧電素子４は、駆動電圧の印加に応じて振動体２に後述する第１の振動モードと第２の振動モードとの振動を励起し、２つの突出部５を結ぶ方向と突出部５の突出方向とを含む面内での楕円運動を突出部５に生じさせる。したがって、突出部５は接触体１０を摩擦駆動（以下、駆動という）し、接触体１０と振動体２とを相対的にリニア駆動させることができる。

図４は、振動型アクチュエータ１００を駆動する（振動体２と接触体１０とを相対移動させる）ために振動体２に励起させる固有振動モードを説明するための斜視図である。図４（ａ）は、振動型アクチュエータ１００を駆動するために振動体２に励起させる第１の振動モードを説明する斜視図である。図４（ｂ）は、振動型アクチュエータ１００を駆動するために振動体２に励起させる第２の振動モードを説明する斜視図である。

図４（ａ）、（ｂ）は、変形形状の理解を容易にするために、振動体２の形状に比べて変位量が拡大して表わしている。また、第１の振動モードおよび第２の振動モードを説明するためにＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向を示している。Ｘ方向は、２つの突出部５（の先端）を結ぶ方向であり、振動体２の長手方向でもある。Ｚ方向は、突出部５の突出方向であり、振動体２が加圧され接触体１０と接触する方向でもある。Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向と直交（交差）する方向であり、振動体２の短手方向でもある。

第１の振動モードは、Ｘ方向（振動体の長手方向）に２次（振動の腹が２つ）の屈曲振動を生じるモードであり、Ｙ方向と平行な３本の振動の節（以下、節という）を有する。突出部５（の先端）は、第１の振動モードの振動によりＸ方向で往復運動を行う。このとき、突出部５を第１の振動モードの振動で節となる位置またはその近傍に（第１の振動モードの振動で節となる位置と重なるように）配置することにより、突出部５（の先端）をＸ方向で最も大きく変位させることができる。

第２の振動モードは、Ｙ方向（振動体の短手方向）に１次（振動の腹が１つ）の屈曲振動を生じるモードであり、Ｘ方向と平行な２本の節を有する。突出部５は、第２の振動モードの振動によりＺ方向で往復運動を行う。このとき、突出部５が第２の振動モードで腹となる位置またはその近傍に（第２の振動モードの振動で腹となる位置と重なるように）配置することにより、突出部５をＺ方向で最も大きく変位させることができる。

振動体２では、第１の振動モードと第２の振動モードとを組み合わせることにより、突出部５の先端に、略ＺＸ面内で楕円運動を発生させることができ、楕円運動により略Ｘ方向に振動体２を駆動する駆動力が発生する。このとき、２つの突出部５がそれぞれ、第１の振動モードの節の位置、且つ、第２の振動モードの腹の位置またはその近傍に配置されることにより、突出部５（の先端）の振動変位を最も大きくすることができ、高い出力を得ることができる。

図１、図２、図３に戻り、振動型アクチュエータ１００について説明する。
振動型アクチュエータ１００は、下側支持部材１８（支持部）に支持された振動体２と上側支持部材１９（支持部）に支持された振動体２とで接触体１０を挟み込んだ構成を有する。接触体１０の長手方向の端部はそれぞれ、接触体保持部２３、２４に制振ゴム２３ａ、２４ａを介して固定される。制振ゴム２３ａ、２４ａは、振動減衰性能が高いブチルゴムやシリコーンゴム等からなる。制振ゴム２３ａ、２４ａは振動型アクチュエータ１００の駆動中に接触体１０に不要な振動が発生することを抑制する。したがって、振動型アクチュエータ１００は異音の発生が抑制されるとともに出力の低下が防止される。

土台部２１は、スケール保持部２１ａ、外枠部２１ｂ、ボトムプレート２１ｃを備える。スケール保持部２１ａは、接触体１０とＸ方向に略平行となるようにスケール３０が接着剤や粘着テープ等で固定される。接触体保持部２３、２４と、トッププレート２０と、土台部２１とがねじ等により連結されることで、振動型アクチュエータ１００の基部が形成される。
ガイドバー２２は、上側支持部材１９をガイドする。ガイドバー２２は接触体１０とＸ方向に略平行となるように配置される。ガイドバー２２は、軸方向の端部がそれぞれ、接触体保持部２３、２４に固定される。

上側支持部材１９は、ガイドバー２２が摺動可能に嵌合する貫通穴部１９ｃが設けられる（図２を参照）。ガイドバー２２を貫通穴部１９ｃに嵌合させることにより、上側支持部材１９が案内部材であるガイドバー２２の軸方向（Ｘ方向）に案内され、接触体１０に対して相対的に移動可能となっている。上側支持部材１９は、上部に球状の駆動伝達部１９ｄが設けられる。駆動伝達部１９ｄと駆動対象物とが連結されることにより、振動型アクチュエータ１００の駆動力を駆動対象物に伝達する。なお、上側支持部材１９の貫通穴部１９ｃとガイドバー２２の摺動を滑らかにするためにグリスを塗布してもよい。
下側支持部材１８は、Ｘ方向に突出する接続ピン１８ｂが設けられる。接続ピン１８ｂを上側支持部材１９に設けられた接続受け部１９ｂと接続することにより、下側支持部材１８が上側支持部材１９に対して位置決めされる。したがって、下側支持部材１８と上側支持部材１９とは、ガイドバー２２に沿って案内され、一体的に移動可能である。

引張コイルばね２５は、下側支持部材１８に設けられたバネ受け部１８ａと上側支持部材１９に設けられたバネ受け部１９ａとに懸架される。引張コイルばね２５は、下側支持部材１８と上側支持部材１９を互いに引き寄せる方向に付勢する。したがって、下側支持部材１８と上側支持部材１９のそれぞれに支持されている振動体２の突出部５の先端５ａが接触体１０に加圧接触させた状態で保持される。なお、下側支持部材１８と上側支持部材１９を互いに引き寄せる方向に付勢するには、引張コイルばね２５に限られず、円錐コイルばねやゴム等であってもよい。

下側支持部材１８と上側支持部材１９のそれぞれに支持される振動体２は、給電フレキシブル基板４１が接続される。給電フレキシブル基板４１は、連結フレキシブル基板４０の接続コネクタ４２にそれぞれ挿入することで接続される。連結フレキシブル基板４０からは、下側支持部材１８に支持されている振動体２と、上側支持部材１９に支持されている振動体２とに発生する略ＺＸ面内での楕円運動が互いに反対方向になるような交流信号が印可される。したがって、接触体１０に対して対向して配置されている２つの振動体２が接触体１０を同じ方向に駆動できるようになっている。また、連結フレキシブル基板４０は、振動体２のＸ方向での移動と一体的に移動するため、Ｕターン部４０ａが形成される。Ｕターン部４０ａは、連結フレキシブル基板４０が他の部品と干渉せずに安定したＸ方向の駆動を実現する。

以上の構成により、振動型アクチュエータ１００は、振動体２を駆動すると接触体１０に対して振動体２、保持部材９、下側支持部材１８、上側支持部材１９、引張コイルばね２５が一体となってガイドバー２２の軸方向に移動する。

次に、下側支持部材１８の構成と、振動体２の突出部５を接触体１０に接触させる構成について、図３を参照して説明する。
振動体２は、振動体２の長手方向（２つの突出部５の先端５ａを結ぶ方向）の端部近傍（平板部から長手方向に延びた固定部）で、接着や溶接等の手段により保持部材９に固定される。
ここで、図３（ａ）に示すように、下側支持部材１８の上面には複数（ここでは２つ）のガイド部１８ｃが設けられる。ガイド部１８ｃは、下側支持部材１８の上面からＺ方向に突出する円柱状である。２つのガイド部１８ｃは、Ｘ方向に離れている。２つのガイド部１８ｃの間隔は、振動体２の２つの突出部５の間隔よりも大きい。２つのガイド部１８ｃは、一対のガイド部の一例に対応する。
一方、図３（ｂ）に示すように、保持部材９の下面には複数（ここでは２つ）のガイド受部９ａが設けられる。ガイド受部９ａは、保持部材９の下面からＺ方向に円柱状に凹んだ凹部としての穴である。ガイド受部９ａは貫通穴であってもよく、有底穴であってもよい。２つのガイド受部９ａは、Ｘ方向に離れている。２つのガイド受部９ａの間隔は、２つのガイド部１８ｃの間隔と略同一である。ガイド受部９ａにはガイド部１８ｃが挿入可能である。２つのガイド受部９ａは、一対のガイド受部の一例に対応する。また、Ｚ方向から見たときに、２つのガイド受部９ａの間に振動体２の２つの突出部５が位置する。

ガイド部１８ｃをガイド受部９ａに挿入した状態では、保持部材９が下側支持部材１８のガイド部１８ｃの軸方向に沿って摺動可能である。
ここで、保持部材９と下側支持部材１８は、振動体２の振動が伝わりにくい構造にするため、ポリカーボネートやＰＯＭ等の樹脂材料で形成される。したがって、保持部材９に設けられたガイド受部９ａと、下側支持部材１８に設けられたガイド部１８ｃとの隙間は樹脂成型可能な精度であり、金属材料で作る場合よりも大きい隙間が設けられる。
また、振動体２の駆動力はガイド部１８ｃに伝達されるため、円柱状のガイド部１８ｃの直径は、駆動力が作用しても破損しない程度の大きさで形成される。

下側支持部材１８は、振動体２から保持部材９に伝達された振動を減衰する一対の振動減衰部材２６が設けられる。振動減衰部材２６は穴部２６ａを有しており、穴部２６ａに下側支持部材１８の凸部１８ｆを挿入することにより、保持部材９の短手方向から保持部材９を挟み込む状態に取り付けられる。振動減衰部材２６の材質は、柔らかい樹脂材料が用いられ、例えば、振動減衰性能が高いブチルゴムやシリコーンゴム等のゴム材料を成形したものが好適である。ただし、振動減衰部材２６の材質は、上述した材質に限られず、例えば、熱可塑性ポリウレタン（ＴＰＵ）、紫外線硬化ゲル、高分子ゲル等を用いることができる。また、減衰効果を高めるために、振動減衰部材２６は円柱部が潰れる程度に変形させて実装している。振動減衰部材２６は振動体２から保持部材９に伝わる振動を減衰することにより、振動型アクチュエータ１００の異音や出力の低下を防止する。なお、上側支持部材１９にも振動減衰部材２６が取り付けられ、下側支持部材１８の振動減衰部材２６と同様の機能を有する。

振動体２には、緩衝部材１１と加圧ブロック１３が接触するように配置される。
緩衝部材１１は、加圧力を分散させるための部材であり、加圧ブロック１３に接着等の手段により取り付けられる。緩衝部材１１は、例えば、フェルトを用いることができる。緩衝部材１１は、圧電素子４の厚み方向の２つの面のうち弾性体３と接着されていない面と接触する。
加圧ブロック１３は、緩衝部材１１が取り付けられている面の反対側の面に突出部１３ａが設けられる。加圧ブロック１３は、突出部１３ａが下側支持部材１８に設けられた穴部１８ｅに嵌合することで、下側支持部材１８に対して位置決めされる。

振動体２の突出部５の先端５ａを接触体１０に対して加圧する加圧力は、引張コイルばね２５によって付与される。具体的に、加圧ブロック１３において緩衝部材１１が張り付けられている面の反対側の面が下側支持部材１８に設けられた突出部１８ｄと接触することで、保持部材９と下側支持部材１８との間に隙間が形成され、加圧ブロック１３は振動体２の側に加圧される。これにより、突出部５の先端５ａを接触体１０に加圧するための加圧力は振動体２に対してのみ与えられる。

なお、上側支持部材１９は、下側支持部材１８と同様に、振動体２、保持部材９、緩衝部材１１、加圧ブロック１３が設けられる。したがって、引っ張りコイルバネ２５が下側支持部材１８と上側支持部材１９を引き寄せる力が加圧ブロック１３を介して振動体２を接触体１０に対して加圧する力に変換されて、振動体２と接触体１０とが所定の加圧力で接触する。

図５（ａ）は下側支持部材１８の上面図であり、図５（ｂ）は下側支持部材１８の下面図である。図６は、エンコーダ本体３１の構成を示す図である。以下、エンコーダ本体３１およびスケール３０について図２、図３、図５、図６を参照して説明する。
エンコーダ本体３１（位置検出部）は、振動体２または接触体１０の位置を検出する。エンコーダ本体３１は、振動体２と接触体１０の相対位置（変位情報）を検出してもよく、振動体２と接触体１０の絶対位置（位置情報）を検出してもよい。なお、「変位情報」とは、いわゆるインクリメンタル・エンコーダにおいて検出される情報のことである。また、「位置情報」とは、いわゆるアブソリュート・エンコーダにおいて検出される情報のことである。

本実施形態では、エンコーダ本体３１として、発光素子と受光素子とを有する反射型の光学式センサを用いる。なお、図５（ｂ）では、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａを黒丸で示している。エンコーダ本体３１から照射された光が、リフレクタとしてのスケール３０（被検出部）で反射され、反射された光をエンコーダ本体３１が受け取ることで変位情報（または位置情報）が検出される。スケール３０には、エンコーダ本体３１により取得可能な位置に関する情報が含まれている。

ここで、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａについて説明する。
図６（ａ）は、エンコーダ本体３１とスケール３０との位置関係を示す図であり、Ｙ方向から見た図である。
エンコーダ本体３１には、発光素子３１ｂと、受光素子３１ｃとを有する。ここでは、発光素子３１ｂと受光素子３１ｃとはＸ方向に離れている。発光素子３１ｂはスケール３０に向かって斜めに光を照射し、受光素子３１ｃがスケール３０で反射された光を検出窓部３１ｄを通して受ける。発光素子３１ｂからスケール３０に向かう光の入射角と、スケール３０により反射される光の反射角は等しいことから光の軌跡は、二等辺三角形となる。二等辺三角形の頂点は、エンコーダ本体３１がスケール３０の位置を検出するときの検出中心３１ａである。検出中心３１ａは、ＸＹ平面においてエンコーダ本体３１の発光素子３１ｂと受光素子３１ｃとの間の中心である光学中心３１ｅと一致する。すなわち、検出中心３１ａをＺ方向に延長させると光学中心３１ｅと重なる。本実施形態ではＺ方向から見て、発光素子３１ｂと受光素子３１ｃとの間の中心（二等辺三角形の底辺の中心）が光学中心３１ｅである。
なお、本実施形態では、Ｚ方向から見て、発光素子３１ｂと受光素子３１ｃとの間の中心と、検出中心３１ａとが一致するが、この場合に限られず、エンコーダ本体３１の光学式センサに応じて異なる。例えば、光学式センサが受光素子を中心として発光素子を囲むように複数の発光素子が配置された光学式センサであれば、Ｚ方向から見て、受光素子の位置が光学中心であり、検出中心となる。

エンコーダ本体３１は、エンコーダフレキシブル基板３２の表面に半田等を用いて実装されている。また、エンコーダフレキシブル基板３２は複数の固定ねじ３３により下側支持部材１８に固定されることにより、エンコーダ本体３１はエンコーダフレキシブル基板３２を介して下側支持部材１８に固定される。したがって、振動体２と接触体１０が相対移動すると、エンコーダ本体３１は振動体２および下側支持部材１８とともに接触体１０に対して相対移動する。このとき、エンコーダ本体３１とスケール３０が相対的に移動することから、エンコーダ本体３１は振動体２と接触体１０との相対位置（または絶対位置）を検出することができる。なお、エンコーダ本体３１とスケール３０とは、Ｘ方向（接触体と振動体が相対移動する方向）から見たときに、エンコーダ本体３１とスケール３０のパターンとがＺ方向に対向するように下側支持部材１８と土台部２１との間に配置される。

また、エンコーダフレキシブル基板３２は、移動時の安定した給電を実現するためにＵターン部３２ａが形成される（図２を参照）。エンコーダフレキシブル基板３２のＵターン部３２ａは、連結フレキシブル基板４０のＵターン部４０ａとはＹ方向において重ならないように配置される。したがって、振動体２のＸ方向の移動の際にエンコーダフレキシブル基板３２のＵターン部３２ａと連結フレキシブル基板４０のＵターン部４０ａとが接触することなく、フレキシブル基板の摩耗による接続不良や断線等を防止することができる。また、センサ信号と、振動体２への給電信号との距離を離すことができることから、ノイズを抑制し、安定したセンサ信号の読み取りが可能となる。ただし、エンコーダフレキシブル基板３２のＵターン部３２ａと連結フレキシブル基板４０のＵターン部４０ａとはＹ方向において重ならない場合に限られず、例えば、小型化のためにＹ方向に重なるように配置してもよい。

本実施形態のエンコーダ本体３１は、振動体２と接触体１０の相対的位置、または絶対位置を高い精度で検出できる位置に配置される。具体的に、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている。
ここで、一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａについて説明する。
図５（ｂ）は、下側支持部材１８の下面図であり、保持部材９に設けられる一対のガイド受部９ａを隠れ線（破線）で示している。また、図５（ｂ）では、２つガイド受部９ａのＸ方向における略中心である直線をＹ０で示し、２つガイド受部９ａの円の中心を繋ぐ直線をＬ１で示している。また、２つガイド受部９ａの円の外形のうち直線Ｌ１からＹ方向に離れた端部同士を繋ぐ直線をＬ２、Ｌ３で示している。すなわち、直線Ｌ１は、ガイド受部９ａのＹ方向の幅Ｗの略中心を通る直線である。ここで、一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａとは、一対のガイド受部９ａの間であって直線Ｌ２と直線Ｌ３により囲まれた、ハッチングを付した領域である。また、換言すると、領域Ａは、Ｘ方向において一対のガイド受部９ａに挟まれ、かつＹ方向に沿った一対のガイド受部９ａの投影領域と重なる領域に対応する。
このように、エンコーダ本体３１は領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている。

また、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａは、Ｚ方向から見て、領域Ａ内に位置する。
具体的に、検出中心３１ａは、Ｙ方向における位置がガイド受部９ａの幅Ｗの略中心であって、直線Ｌ１上である。換言すると、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部９ａの略中心に検出中心３１ａを有する。
また、検出中心３１ａは、一方のガイド受部９ａと他方のガイド受部９ａとの間の略中心であって、直線Ｙ０上である。換言すると、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、Ｙ方向におけるガイド受部９ａの幅の略中心に検出中心３１ａを有する。

また、エンコーダ本体３１の受光素子３１ｃは、図６（ｂ）に示すように、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部９ａの間の中心Ｏと重なっている。一対のガイド受部９ａの中心は、一対のガイド受部９ａをＸＹ平面上に投影した投影領域の面積重心Ｏと換言される。
図６（ｂ）は、エンコーダ本体３１を下側から見た下面図である。ここでは、保持部材９に設けられる一対のガイド受部９ａを隠れ線（破線）で示し、一対のガイド受部９ａの中心をＯで示している。受光素子３１ｃは、発光素子３１ｂから発光されスケール３０で後方に散乱した散乱光のうちの少なくとも正反射成分を受光可能な位置に所定の開口径の検出窓部３１ｄを有している。検出窓部３１ｄは、一点鎖線の円形で示す対物レンズＬ３１ｄのレンズ径に該当する開口径を有している。受光素子３１ｃの検出窓部３１ｄは、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部９ａの間の中心Ｏと重なっている。このように、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部９ａの中心と重なる位置に検出窓部３１ｄを有する。このような位置関係を満たす位置に検出窓を設けることで、一対のガイド受部９ａと一対のガイド部９ｂとの間の間隙と、駆動時に支持部が受けるヨー方向の応力と、の影響により駆動時に傾く検出部の位置変動を低減することができる。すなわち、受光素子３１ｃの検出窓部３１ｄのＸ方向における大きさＬ（範囲）内に、一対のガイド受部９ａの中心Ｏが位置することが好ましい。ヨー方向の応力は、第１の方向（Ｘ方向）に対して支持部(下側支持部材１８)が第２の方向に沿った軸（Ｚ方向）の周りに受ける応力に対応する。ヨー方向の応力は、図６（ｂ）のＸＹ平面の周方向に沿った応力である。ヨー方向の応力は、ヨー方向のトルクと換言される場合がある。

次に、上述したように配置されるエンコーダ本体３１により、振動体２と接触体１０の相対的位置、または絶対位置を高精度で検出することができる作用について説明する。
図７は、本実施形態の下側支持部材１８の下面図である。図７では、上述したようにエンコーダ本体３１が領域Ａ内に位置している。図７（ａ）は下側支持部材１８が回転していない状態であり、図７（ｂ）は下側支持部材１８がＺ軸回りにθだけ回転した状態を示している。
図８は、比較例の下側支持部材１８の下面図である。図８では、エンコーダ本体３１が上述した領域Ａに重なり合わず、検出中心３１ａの位置が直線Ｌ１からＹ方向においてＹ１の距離だけ離れている。図８（ａ）は下側支持部材１８が回転していない状態であり、図８（ｂ）は下側支持部材１８がＺ軸回りにθだけ回転した状態を示している。
なお、図７（ｂ）および図８（ｂ）では理解を容易にするために、回転角度を拡大して表している。

振動型アクチュエータ１００は、上述したように振動体２は保持部材９に保持される。一方、保持部材９は、下側支持部材１８のガイド部１８ｃの軸方向に摺動可能となるように、保持部材９のガイド受部９ａと下側支持部材１８のガイド部１８ｃとの間には隙間が設けられている。すなわち、ガイド受部９ａの円の直径が、ガイド部１８ｃの円の直径よりも大きくなっている。また、下側支持部材１８と連結される上側支持部材１９の貫通穴部１９ｃは、ガイドバー２２に摺動可能となるように、貫通穴部１９ｃとガイドバー２２との間には隙間が設けられている。

このような構成において、振動型アクチュエータ１００の駆動伝達部１９ｄに駆動対象物からの外力が作用すると、振動体２は接触体１０との摩擦力により位置が保持される。一方、図８（ｂ）に示すように、下側支持部材１８は保持部材９のガイド受部９ａとガイド部１８ｃとの隙間の分だけ、直線Ｌ１と直線Ｙ０との交点を中心としてＺ軸回りに回転する。このときの回転角度をθとすると、検出中心３１ａは、Ｙ１×ｓｉｎθの量だけＸ方向に移動した検出中心３１ａ´の位置に移動する。したがって、土台部２１に固定されているスケール３０に対して、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａがＸ方向においてＹ１×ｓｉｎθだけ相対的に移動してしまう。これにより、振動体２と接触体１０との相対移動が発生していないにも関わらず、エンコーダ本体３１からはＹ１×ｓｉｎθだけ移動した信号が生成され、振動型アクチュエータ１００の位置決め精度が低下し、制御が不安定になる。

一方、本実施形態のエンコーダ本体３１は、一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている。具体的には、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａが直線Ｌ１に位置するとともに直線Ｙ０上に位置する。したがって、図７（ｂ）に示すように、振動型アクチュエータ１００に外力が作用して下側支持部材１８がＺ軸回りに回転しても、検出中心３１ａは直線Ｌ１と直線Ｙ０との交点で回転するのみでＸ方向に移動しない。したがって、土台部２１に固定されているスケール３０に対してもエンコーダ本体３１の検出中心３１ａはＸ方向に移動せず、移動した信号も生成されない。

このように、エンコーダ本体３１が一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている。したがって、ガイド部１８ｃとガイド受部９ａとの間の隙間の影響によりエンコーダ本体３１が移動しても、移動量が抑制される。特に、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａを、直線Ｌ１と直線Ｙ０との交点に位置させることにより、エンコーダ本体３１が振動体２と接触体１０との相対移動（または絶対位置）を精度良く検出することができる。このように、エンコーダ本体３１が振動体２と接触体１０との相対位置を精度よく検出できることにより、振動型アクチュエータ１００の位置決め精度が向上し、安定した制御が可能となる。
以上のように本実施形態によれば、保持部材９に対して下側支持部材１８が隙間等のガタを有する構造であっても、振動型アクチュエータ１００の位置決め精度が向上することにより振動型アクチュエータ１００を高精度に駆動することができる。

なお、本実施形態では、検出中心３１ａが直線Ｌ１上に位置する場合について説明したが、この場合に限られない。例えば、検出中心３１ａは、直線Ｌ２と直線Ｌ３との間に位置していればよい。この場合には、下側支持部材１８のＺ軸回りの回転に伴って検出中心３１ａはＸ方向に移動するものの、移動量は非常に小さいため、比較例よりも振動型アクチュエータの高精度な駆動が可能である。
また、本実施形態では、検出中心３１ａが直線Ｙ０上に位置する場合について説明したが、この場合に限られない。例えば、検出中心３１ａは、２つのガイド受部９ａの間に位置していればよい。この場合には、下側支持部材１８のＺ軸回りの回転の影響は小さいため、比較例よりも振動型アクチュエータの高精度な駆動が可能である。

また、本実施形態では、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている場合について説明したが、この場合に限られない。例えば、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、一対のガイド部１８ｃによって挟まれる領域と重なるように位置してもよい。
また、本実施形態では、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａは、Ｚ方向から見て、領域Ａ内に位置する場合について説明したが、一対のガイド部１８ｃによって挟まれる領域内に位置してもよい。

また、本実施形態では、保持部材９にガイド受部９ａを設け、下側支持部材１８にガイド部１８ｃを設ける場合について説明したが、この場合に限られない。例えば、保持部材９にガイド部１８ｃを設け、下側支持部材１８にガイド受部９ａを設けてもよい。

また、本実施形態では、位置検出部が反射型の光学式エンコーダである場合について説明したが、この場合に限られず、光学的、磁気的または電気的のうち少なくとも何れか一つの形式により位置に関する情報を取得できるものであってもよい。例えば、エンコーダとしてホール素子や磁気抵抗素子等の磁気センサを採用し、スケールとして磁力線発生部、具体的には、パターンのある磁石を用いる形式であってもよい。何れの形式であってもＺ方向から見て、位置検出部を一対のガイド受部９ａによって挟まれる領域Ａと重なる位置に固定させることができる。また、何れの形式であってもＺ方向から見て、位置検出部による位置を検出するときの検出中心を領域Ａ内に位置させることができる。また、何れの形式であってもＺ方向から見て、一対のガイド受部９ａの中心と重なる検出窓部を有することができる。

＜第２の実施形態＞
図９は、第２の実施形態の振動型アクチュエータの構成を示す図である。
本実施形態は、振動体１０２および保持部材１０９の構造が第１の実施形態と異なる。なお、第１の実施形態と同様の構成は適宜、説明を省略する。

図９に示す振動型アクチュエータ２００の保持部材１０９は、２つの凸部１０９ｂ－１、１０９ｂ－２が設けられる。２つの凸部１０９ｂ－１、１０９ｂ－２は、図４（ａ）、（ｂ）で示した振動体の２つの振動モードの共通の節近傍に給電フレキシブル基板１４１を介して接触し、振動体１０２を支持する位置に設けられる。したがって、振動体１０２に発生させる２つの振動（変位）を阻害することなく振動体１０２を支持することが可能である。本実施形態では振動体１０２の中でも給電フレキシブル基板１４１と凸部１０９ｂ－１、１０９ｂ－２が接触するが、この最大静止摩擦力が接触体１１０に発生する推力よりも常に大きい値になるように加圧力と摩擦係数を調整している。すなわち、凸部１０９ｂ－１、１０９ｂ－２によってあたかも点接触するかのように振動体１０２を加圧するため、振動型アクチュエータ２００の駆動中に振動体１０２が保持部材１０９に対して移動することが抑制される。

一方、保持部材１０９には４つの遊嵌部１０９ｃ（１０９ｃ－１、１０９ｃ－２、１０９ｃ－３、１０９ｃ－４）が設けられる。遊嵌部１０９ｃは、振動体１０２の外周面に対して、ガタを有した状態で支持（遊嵌）している。遊嵌部１０９ｃは振動体１０２の組立時の位置決めや、接触体１１０に何らかの外力が働いた場合にストッパーとして機能する。

また、遊嵌部１０９ｃは、振動体１０２の外周面の振動の節とは異なる２か所で接触している可能性がある。しかしながら、上述したように給電フレキシブル基板１４１と凸部１０９ｂ－１、１０９ｂ－２の最大摩擦力が接触体１１０に発生する推力より大きくなるために、遊嵌部１０９ｃと振動体１０２との接触部にはＸ方向およびＹ方向の力が働かない。このために、遊嵌部１０９ｃと振動体１０２との接触による損失は無視できる程度であり駆動上の問題は生じない。

このように保持部材１０９の凸部１０９ｂと振動体１０２の節近傍、遊嵌部１０９ｃと振動体１０２との外周面とが直接接触するので、保持部材１０９の材質は異音の発生を防ぐために振動絶縁性が高い樹脂材料であることが好ましい。凸部１０９ｂは振動体１０２との保持力を高めるために摩擦係数が高いほうが好ましく、遊嵌部１０９ｃは振動体１０２との摩擦損失をより低減するために摩擦係数が小さいほうが好ましい。したがって、凸部１０９ｂには摩擦係数を高めるコーティングを施し、遊嵌部１０９ｃには摩擦係数を下げるコーティングを別々に施すことが可能である。また、凸部１０９ｂおよび遊嵌部１０９ｃに、それぞれに適した摩擦係数の別部品を接着や圧入して構成してもよい。

本実施形態の振動型アクチュエータ２００は、保持部材１０９の遊嵌部１０９ｃで振動体１０２を位置決めし、凸部１０９ｂと振動体１０２の摩擦力で振動体１０２を保持することで、第１の実施形態のような振動体と保持部との接合部が不要である。したがって、振動体１０２の駆動方向であるＸ方向のサイズを小さくすることができる。また、振動体１０２が保持部材１０９に接着等で固定されていないため、接着による振動の抑制がなくなり、振動型アクチュエータ２００の速度や効率、推力等を向上できる。

本実施形態の保持部材１０９は、２つのガイド受部１０９ａが設けられる。また、ガイド受部１０９ａは、Ｚ方向に円柱状に凹んだ貫通穴である。一方、図示しない下側支持部材１８は、第１の実施形態と同様の構成であり、２つの図示しないガイド部１８ｃが設けられる。ガイド受部１０９ａにはガイド部１８ｃが挿入可能である。
ガイド部１８ｃをガイド受部１０９ａに挿入した状態では、保持部材１０９が下側支持部材１８のガイド部１８ｃの軸方向に沿って摺動可能である。振動体１０２のＸ方向への移動に伴って、保持部材１０９および下側支持部材１８は一体的に移動する。

また、保持部材１０９に設けられた２つのガイド受部１０９ａと、下側支持部材１８に設けられたガイド部１８ｃとの隙間は樹脂成型可能な精度であり、金属材料で作る場合よりも大きい隙間が設けられる。

本実施形態でも、第１の実施形態と同様、エンコーダ本体３１は、Ｚ方向から見て、一対のガイド受部１０９ｃによって挟まれる領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている。図９（ｃ）には、下側支持部材１８に固定されるエンコーダ本体３１を想像線（二点鎖線）で示し、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａを黒丸で示している。また、２つガイド受部１０９ａの間の中心である直線をＹ０で示しており、２つガイド受部１０９ａの円の中心を繋ぐ直線をＬ１で示している。また、２つガイド受部１０９ａの円の外形のうち直線Ｌ１からＹ方向に離れた端部同士を繋ぐ直線をＬ２、Ｌ３で示している。本実施形態でも、第１の実施形態と同様、エンコーダ本体３１の検出中心３１ａが、直線Ｌ１と直線Ｙ０との交点に位置している。

このように、エンコーダ本体３１が一対のガイド受部１０９ａによって挟まれる領域Ａと重なる位置において下側支持部材１８（支持部）に固定されている。したがって、ガイド部１８ｃとガイド受部１０９ａとの間の隙間の影響によりエンコーダ本体３１が移動しても、移動量が抑制される。そのため、エンコーダ本体３１が振動体１０２と接触体１０との相対位置を精度よく検出できることにより、振動型アクチュエータ２００の位置決め精度が向上し、安定した制御が可能となる。

＜第３の実施形態＞
図１０は、振動型アクチュエータ１００を備える撮像装置６０の概略構成を示す上面図である。
撮像装置６０は、撮像装置本体６１と、レンズ鏡筒６２とを備える。
撮像装置本体６１は、レンズ鏡筒６２の後述する複数のレンズ群６３を通過した光を結像する図示しない撮像素子をする。
レンズ鏡筒６２は、撮像装置本体６１に対して着脱可能である。レンズ鏡筒６２は、複数のレンズ群６３（レンズ）と、フォーカス調整用レンズ６４（レンズ）と、振動型アクチュエータ１００とを有する。フォーカス調整用レンズ６４は、図示しないレンズ保持枠により保持される。レンズ保持枠は、振動型アクチュエータ１００における移動体である上側支持部材１９に連結される。したがって、振動型アクチュエータ１００を駆動することにより、フォーカス調整用レンズ６４が光軸方向に移動して、被写体にピントを合わせることができる。

なお、振動型アクチュエータ１００は、レンズ鏡筒６２にズーム用レンズが配置されている場合に、ズーム用レンズを光軸方向に移動させる駆動源として用いることができる。更に、レンズ鏡筒６２に像ブレ補正レンズが配置されている場合に、振動型アクチュエータ１００は、像ブレ補正レンズを光軸と直交する平面内で駆動する駆動源として用いることができる。また、撮像装置６０は、振動型アクチュエータ１００に代えて、振動型アクチュエータ２００を用いることができる。

＜第４の実施形態＞
図１１は、振動型アクチュエータ１００を備える顕微鏡４００（ステージ装置）の概略構成を示す斜視図である。
顕微鏡４００は、振動型アクチュエータ１００を少なくとも２つ以上を備える。装置の一例として、Ｘ－Ｙステージを備える顕微鏡４００の構成について図１１を参照して説明する。

顕微鏡４００は、図示しない撮像素子と光学系とを内蔵する撮像部４１０と、自動ステージ４３０とを有する。
自動ステージ４３０は、基台４４０と、基台４４０に設けられる第１の振動型アクチュエータ（不図示）および第２の振動型アクチュエータ（不図示）と、基台４４０上に設けられているＸ－Ｙ面内で移動されるステージ４２０とを有する。第１の振動型アクチュエータおよび第２の振動型アクチュエータのそれぞれは、上述した振動型アクチュエータ１００を用いることができる。

第１の振動型アクチュエータは、ステージ４２０を、ステージ４２０のＸ方向に駆動する駆動装置として用いられる。また、第１の振動型アクチュエータは、振動体２と接触体１０の一部との相対移動の方向がステージ４２０のＸ方向と一致するように配置される。
第２の振動型アクチュエータは、ステージ４２０を、ステージ４２０のＹ方向に駆動する駆動装置として用いられる。また、第２の振動型アクチュエータは、振動体２と接触体１０の一部との相対移動の方向がステージ４２０のＹ方向と一致するように配置される。

被観察物をステージ４２０の上面に置いて、拡大画像を撮像部４１０で撮影する。観察範囲が広範囲にある場合には、第１の振動型アクチュエータおよび第２の振動型アクチュエータを用いて自動ステージ４３０を駆動してステージ４２０を面内方向に移動させて被観察物を移動させることにより、撮像領域を変更する。異なる撮像領域で撮影された画像を図示しないコンピュータで画像処理により結合させることで、観察範囲が広範囲で、高精細な１枚の画像を取得することができる。
なお、顕微鏡４００は、振動型アクチュエータ１００に代えて、振動型アクチュエータ２００を用いることができる。

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。また、上述した各実施形態は本発明の一実施例を示すものにすぎず、各実施形態を適宜、組み合わせることも可能である。

また、本実施形態の開示は、以下の構成を含む。
（構成１）
電気－機械エネルギ変換素子と突出部とを有する振動体と、
前記突出部が接触され、前記振動体に対して第１の方向に相対移動可能に設けられた接触体と、を備える振動型アクチュエータであって、
前記振動体を前記第１の方向に対して交差する第２の方向である前記接触体の側に加圧するとともに、前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
前記保持部を介して前記振動体を支持する支持部と、
前記支持部に固定され、前記振動体または前記接触体の位置を検出する位置検出部と、を有し、
前記保持部と前記支持部のうち何れか一方は、前記保持部と前記支持部との相対位置を前記第２の方向にガイドする一対のガイド部を有し、
前記保持部と前記支持部のうち何れか他方は、前記一対のガイド部によりガイドされる一対のガイド受部を有し、
前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部により挟まれる領域と重なる位置において前記支持部に固定されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
（構成２）
前記一対のガイド受部により挟まれる領域は、前記第１の方向において前記一対のガイド受部に挟まれ、かつ前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３の方向に沿った前記一対のガイド受部の投影領域と重なる領域に対応する構成１に記載の振動型アクチュエータ。
（構成３）
前記突出部は、前記第２の方向から見て、前記第１の方向において、前記一対のガイド受部の間に位置する構成１または２に記載の振動型アクチュエータ。
（構成４）
前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部の中心と重なる検出窓部を有する構成１ないし３の何れか１つに記載の振動型アクチュエータ。
（構成５）
前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部の略中心に検出中心を有する構成１ないし４の何れか１つに記載の振動型アクチュエータ。
（構成６）
前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記第１の方向および前記第２の方向に交差する第３の方向における前記ガイド受部の幅の略中心に検出中心を有する構成１ないし５の何れか１つに記載の振動型アクチュエータ。
（構成７）
前記第２の方向は、前記第１の方向と直交し、
前記第３の方向は、前記第１の方向および前記第２の方向のそれぞれと直交する構成２または６に記載の振動型アクチュエータ。
（構成８）
前記突出部は、前記第１の方向に離れた一対で構成され、
前記一対の突出部は、前記第２の方向から見て、前記第１の方向において、前記一対のガイド受部の間に位置する構成１ないし７の何れか１つに記載の振動型アクチュエータ。
（構成９）
前記ガイド部は、前記第２の方向に突出する円柱状であり、
前記ガイド受部は、前記ガイド部が挿入される凹部である構成１ないし８の何れか１つに記載の振動型アクチュエータ。
（構成１０）
前記ガイド受部は、前記ガイド部との間に隙間を有する構成９に記載の振動型アクチュエータ。
（構成１１）
前記接触体が固定される基部を有し、
前記基部は、前記位置検出部により検出される被検出部を有する構成１ないし１０の何れか１つに記載の振動型アクチュエータ。
（構成１２）
前記被検出部は、前記位置検出部が取得可能な位置に関する情報を含む構成１１に記載の振動型アクチュエータ。
（構成１３）
前記位置検出部は、光学的、磁気的または電気的のうち少なくとも何れか一つの形式により前記被検出部から前記位置に関する情報を取得する構成１２に記載の振動型アクチュエータ。
（構成１４）
構成１ないし１３の何れか１つに記載の振動型アクチュエータと、
前記接触体を前記振動体に対して相対移動させることによって駆動されるレンズと、を有するレンズ鏡筒。
（構成１５）
構成１ないし１３の何れか１つに記載の振動型アクチュエータと、
前記接触体を前記振動体に対して相対移動させることによって駆動されるレンズと、を有する撮像装置。
（構成１６）
構成１ないし１３の何れか１つに記載の振動型アクチュエータと、
前記接触体を前記振動体に対して相対移動させることによって駆動されるステージと、を有するステージ装置。

１００、２００：振動型アクチュエータ ２：振動体 ４：圧電素子（電気－機械エネルギ変換素子） ５：突出部 ９：保持部材（保持部） ９ａ：ガイド受部 １０：接触体 １８：下側支持部材（支持部） １８ｃ：ガイド部 １９：上側支持部材 ３１：エンコーダ本体（位置検出部）

Claims (16)

1. 電気－機械エネルギ変換素子と突出部とを有する振動体と、
   前記突出部が接触され、前記振動体に対して第１の方向に相対移動可能に設けられた接触体と、を備える振動型アクチュエータであって、
   前記振動体を前記第１の方向に対して交差する第２の方向である前記接触体の側に加圧するとともに、前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
   前記保持部を介して前記振動体を支持する支持部と、
   前記支持部に固定され、前記振動体または前記接触体の位置を検出する位置検出部と、を有し、
   前記保持部と前記支持部のうち何れか一方は、前記保持部と前記支持部との相対位置を前記第２の方向にガイドする一対のガイド部を有し、
   前記保持部と前記支持部のうち何れか他方は、前記一対のガイド部によりガイドされる一対のガイド受部を有し、
   前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部により挟まれる領域と重なる位置において前記支持部に固定されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
2. 前記一対のガイド受部により挟まれる領域は、前記第１の方向において前記一対のガイド受部に挟まれ、かつ前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３の方向に沿った前記一対のガイド受部の投影領域と重なる領域に対応する請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
3. 前記突出部は、前記第２の方向から見て、前記第１の方向において、前記一対のガイド受部の間に位置する請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
4. 前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部の中心と重なる検出窓部を有する請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
5. 前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記一対のガイド受部の略中心に検出中心を有する請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
6. 前記位置検出部は、前記第２の方向から見て、前記第１の方向および前記第２の方向に交差する第３の方向における前記ガイド受部の幅の略中心に検出中心を有する請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
7. 前記第２の方向は、前記第１の方向と直交し、
   前記第３の方向は、前記第１の方向および前記第２の方向のそれぞれと直交する請求項２または６に記載の振動型アクチュエータ。
8. 前記突出部は、前記第１の方向に離れた一対で構成され、
   前記一対の突出部は、前記第２の方向から見て、前記第１の方向において、前記一対のガイド受部の間に位置する請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
9. 前記ガイド部は、前記第２の方向に突出する円柱状であり、
   前記ガイド受部は、前記ガイド部が挿入される凹部である請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
10. 前記ガイド受部は、前記ガイド部との間に隙間を有する請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
11. 前記接触体が固定される基部を有し、
    前記基部は、前記位置検出部により検出される被検出部を有する請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
12. 前記被検出部は、前記位置検出部が取得可能な位置に関する情報を含む請求項１１に記載の振動型アクチュエータ。
13. 前記位置検出部は、光学的、磁気的または電気的のうち少なくとも何れか一つの形式により前記被検出部から前記位置に関する情報を取得する請求項１２に記載の振動型アクチュエータ。
14. 請求項１または２に記載の振動型アクチュエータと、
    前記接触体を前記振動体に対して相対移動させることによって駆動されるレンズと、を有するレンズ鏡筒。
15. 請求項１または２に記載の振動型アクチュエータと、
    前記接触体を前記振動体に対して相対移動させることによって駆動されるレンズと、を有する撮像装置。
16. 請求項１または２に記載の振動型アクチュエータと、
    前記接触体を前記振動体に対して相対移動させることによって駆動されるステージと、を有するステージ装置。

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