JP2023048574A - 振動型アクチュエータ、光学機器及び駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加圧力を適切に振動体へ伝達することができると共に異音の発生を低減させた振動型アクチュエータを提供する。【解決手段】振動型アクチュエータ１は、振動体２と、振動体２と接触する摩擦部材１０と、振動体２を保持する振動体保持部材３と、振動体２と摩擦部材１０を加圧接触させる加圧部材１５と、加圧部材１５と振動体２の間に配置されて振動体保持部材３に対して位置決めされる第１の加圧伝達部材１３と、加圧部材１５と振動体２の間に配置されて第１の加圧伝達部材１３に対して位置決めされる第２の加圧伝達部材１４とを備え、第２の加圧伝達部材１４が振動体保持部材３と接触しない構成とする。【選択図】図７

Description

本発明は、振動型アクチュエータ、振動型アクチュエータを備えた光学機器及び駆動装置に関する。

振動型アクチュエータは、小型でも大きな出力を得ることができ、また、駆動時の静粛性に優れるという特徴を備えているため、例えば、デジタルカメラ等の撮像装置における光学レンズの駆動に用いられている。種々の構造の振動型アクチュエータが知られているが、その１つに、複数の突起を設けた振動体を励振して突起の先端に楕円運動を生じさせ、突起に接触した被駆動体に摩擦駆動力を与えることで振動体と被駆動体を相対移動させるタイプのものがある。

このタイプの振動型アクチュエータは、振動体を被駆動体に対して押圧するために、加圧部材及び加圧伝達部材を必要とする。例えば、特許文献１には、加圧部材であるコイルばねの加圧力を、加圧方向に重ねて配置された２つの加圧伝達部材（第１の加圧伝達部材、第２の加圧伝達部材）を介して振動体に伝達する構成が記載されている。コイルばねに直接接触している第１の加圧伝達部材は、球突起を有する第２の加圧伝達部材を介して、コイルばねの加圧力を振動体に伝達している。このとき、特許文献１では、球突起で加圧力を伝達することによって平板状の振動体の略中心位置に加圧力を与えることで、振動体に不要なモーメントが作用しないよう工夫されている。

また、特許文献１では、振動体の加圧受け面に均一に加圧力が作用するように、振動体と振動体により近い第２の加圧伝達部材との間に緩衝部材が配置されている。緩衝部材には、例えばフェルト等の、振動体に当接しても振動体の振動を阻害しにくい素材が用いられる。こうして特許文献１では、コイルばねの加圧力は、コイルばねから、第１の加圧伝達部材、球突起を有する第２の加圧伝達部材、緩衝部材、の順に振動体へ伝達される。

特開２０２０－５３７４号公報

上記特許文献１に記載された振動型アクチュエータでは、振動体は振動体保持部材に直接保持されている。そして、第１の加圧伝達部材と振動体保持部材が相互の位置決めのために接触しており、且つ、第２の加圧伝達部材も振動体保持部材に対して相互の位置決めのために接触している。そのため、振動体を所定の周波数で励振すると、振動板の振動に付随して生じる振動体保持部材の高周波振動によって、振動体保持部材と第１の加圧伝達部材の接触位置及び振動体保持部材と第２の加圧伝達部材の接触位置で高周波の衝突が生じて、異音が発生してしまう。

本発明は、加圧力を適切に振動体へ伝達することができると共に異音の発生を低減させた振動型アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明に係る振動型アクチュエータは、振動体と、前記振動体と接触する被駆動体と、前記振動体を保持する振動体保持部材と、前記振動体と前記被駆動体を加圧接触させる加圧部材と、を備える振動型アクチュエータであって、前記加圧部材と前記振動体の間に配置されて前記振動体保持部材に対して位置決めされる第１の加圧伝達部材と、前記加圧部材と前記振動体の間に配置されて前記第１の加圧伝達部材に対して位置決めされる第２の加圧伝達部材と、を備え、前記第２の加圧伝達部材は前記振動体保持部材と接触しないことを特徴とする。

本発明によれば、加圧力を適切に振動体へ伝達することができると共に異音の発生を低減させた振動型アクチュエータを提供することができる。

実施形態に係る振動型アクチュエータの分解斜視図である。 振動型アクチュエータの外観斜視図である。 第１の加圧伝達部材の形状を説明する図である。 第１の加圧伝達部材と振動体保持部材が位置決めされた状態を示す図である。 第２の加圧伝達部材の形状を説明する図である。 第１及び第２の加圧伝達部材が位置決めされた状態を示す図である。 振動体保持部材、第１の加圧伝達部材、第２の加圧伝達部材が位置決めされた状態を示す図である。 図７（ｂ）の部分拡大図である。 第１の加圧伝達部材に対して第２の加圧伝達部材が傾いた状態を示す断面図である。 撮像装置の概略構成を示す断面図である。

以下に、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

図１は実施形態に係る振動型アクチュエータ１の分解斜視図であり、図１（ａ）と図１（ｂ）とでは、図中に直交座標軸で示されるように、振動型アクチュエータ１を見る方向が異なっている。図２は、振動型アクチュエータ１の外観斜視図であり、図２（ａ）と図２（ｂ）とでは、図中に直交座標軸で示されるように、振動型アクチュエータ１を見る方向が異なっている。なお、図１及び図２に示す直交座標軸において、Ｘ方向は後述の振動体２が後述の摩擦部材１０に対して相対的に移動する方向（駆動方向）である。また、Ｚ方向は振動体２が摩擦部材１０に対し加圧される方向（加圧方向）であり、Ｙ方向はＸ方向とＺ方向の両方と直交する方向である。

振動型アクチュエータ１は、振動体２、振動体保持部材３、連結部材４、可動枠５、可動案内部材６、転動ボール８、固定案内部材９、摩擦部材１０、筐体１１、緩衝部材１２、第１の加圧伝達部材１３、第２の加圧伝達部材１４及び加圧部材１５を備える。

振動体２は、２つの突起２ｂを有する矩形平板状の弾性部材２ｃと、弾性部材２ｃにおいて突起２ｂが設けられている面の反対側の面に接着剤等で接合された矩形平板状の圧電素子２ａを有する。例えば、圧電素子２ａはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスであり、弾性部材２ｃはステンレス等の金属板である。圧電素子２ａには給電部材であるフレキシブル基板（不図示）が貼付されており、フレキシブル基板を介して圧電素子２ａに交流電圧を印加することが可能となっている。圧電素子２ａに所定の交流電圧を印加すると突起２ｂの先端に楕円運動を発生させることができる。なお、突起２ｂの先端に楕円運動を発生させる方法は公知であるため、詳細な説明は省略する。また、振動体２に設けられる突起の数は２つに限定されず、１つであっても構わない。

振動体保持部材３は、振動体２が直接接着されることで振動体２を保持する樹脂製の枠体である。摩擦部材１０は、振動体２の突起２ｂから摩擦駆動力（推力）を受ける被駆動体であり、ここでは、振動体２の突起２ｂと摩擦接触する摺動面１０ａを有する金属板であり、筐体１１に固定される。筐体１１は、振動型アクチュエータ１のベースとなる部材であり、振動型アクチュエータ１が電子機器等に搭載される際に機器のフレーム等に固定される部材である。なお、本実施形態では、突起２ｂの先端に楕円運動を発生させることにより、摩擦部材１０に対して相対的に振動体２が移動する。但し、このような構成に限らず、振動体２に振動を励起することにより、摩擦部材１０が振動体２に対して相対的に移動する構成であってもよい。

第１の加圧伝達部材１３は樹脂成形品であり、第２の加圧伝達部材１４は金属板である。第１の加圧伝達部材１３は、加圧方向（－Ｚ方向）において、振動体２と第２の加圧伝達部材１４の間に配置される。第２の加圧伝達部材１４には、複数の加圧部材１５が取り付けられる。具体的には、加圧部材１５として４個の引張バネが用いられている。

第２の加圧伝達部材１４の４隅にばね掛け部１４ａが設けられており、それぞれのばね掛け部１４ａに引張バネの一端が掛かり止めされる。４個の引張バネのそれぞれの他端は、可動案内部材６において４カ所に設けられたばね掛け部６ｂに掛かり止めされる。こうして、加圧部材１５は可動枠５の周囲（４隅）に配置され、４個の加圧部材１５それぞれに生じる引張力の合力により、振動体２は加圧方向（－Ｚ方向）に押圧されて、振動体２が摩擦部材１０と加圧接触する。また、第２の加圧伝達部材１４と可動案内部材６が加圧部材１５を介して連結される。

緩衝部材１２は、第１の加圧伝達部材１３に取り付けられる。緩衝部材１２には、振動体２に当接しても振動体２の振動を阻害し難い素材が用いられ、本実施形態ではフェルトを用いているが、これに限定されるものではない。第１の加圧伝達部材１３には蒲鉾形状部１３ｃ（図８参照）が設けられている。蒲鉾形状部１３ｃは、Ｙ方向と直交する断面での形状が略楕円形であり、Ｙ方向に延在する形状を有する。第２の加圧伝達部材１４は、蒲鉾形状部１３ｃの稜線又はその近傍にて第１の加圧伝達部材１３と当接する。これにより、第２の加圧伝達部材１４は、第１の加圧伝達部材１３に対して蒲鉾形状部１３ｃまわりに相対的に回動可能に保持される。第２の加圧伝達部材１４は、４個の加圧部材１５で生じる加圧力（引張力の合力）を第１の加圧伝達部材１３に伝達し、第１の加圧伝達部材１３は緩衝部材１２を介して振動体２に加圧力を伝達する。

可動枠５は、振動体保持部材３の周囲を囲むように配置された樹脂製の枠体である。可動枠５と振動体保持部材３はそれぞれ、略薄板形状の連結部材４に連結される。連結部材４によって可動枠５と振動体保持部材３はＸＹ平面での相対的な位置が決まり、振動体２の駆動方向（Ｘ方向）における可動枠５と振動体保持部材３のガタ（がたつき）が抑制される。なお、振動型アクチュエータ１では、連結部材４における可動枠５との連結部と振動体保持部材３との連結部が、Ｚ方向において略等しい高さに設けられる。これにより、連結部材４に対する可動枠５と振動体保持部材３の各連結部のＺ方向での高さが異なることによって連結部材４に弾性力が発生することが抑制され、連結部材４に発生する弾性力の振動体保持部材３を介した振動体２への伝達が抑制される。こうして、連結部材４が振動体２に対して弾性力を発生させない構成とすることで、加圧部材１５の加圧力を安定させることが可能となる。

可動案内部材６と固定案内部材９は、金属板である。可動案内部材６は、振動体２の移動方向に延在する案内溝６ａを有している。可動案内部材６と可動枠５はビス７により結合（連結）される。なお、可動案内部材６には、駆動対象物（不図示）との連結に用いられる接続部６ｃが設けられている。

固定案内部材９は、加圧方向（Ｚ方向）において案内溝６ａと対向する位置に設けられた案内溝９ａを有している。転動ボール８は、加圧部材１５が振動体２を摩擦部材１０に対して押圧する加圧力の反力を用いて、Ｚ方向において案内溝６ａと案内溝９ａの間にＸ方向に転動可能に挟持されており、振動体２（可動案内部材６）のＸ方向での移動を可能とする。固定案内部材９は、筐体１１に固定される。

振動型アクチュエータ１では、加圧部材１５、第１の加圧伝達部材１３、第２の加圧伝達部材１４及び緩衝部材１２は、振動体２を摩擦部材１０に対して押圧する加圧力を生じて振動体２へ伝達する加圧機構として機能する。また、連結部材４、可動枠５、可動案内部材６、固定案内部材９及び転動ボール８は、振動体２を摩擦部材１０に対し相対的に移動可能に案内する保持機構として機能する。

次に、振動型アクチュエータ１の加圧機構を構成する部品の位置決め手法について説明する。図３は第１の加圧伝達部材１３の形状を説明する図であり、図３（ａ）は上面図（＋Ｚ側から見た図）であり、図３（ｂ）は正面図（－Ｙ側から見た図）である。

図３に示されるように、第１の加圧伝達部材１３は、Ｘ方向において＋Ｘ側と－Ｘ側それぞれに１カ所ずつ突出した当接部１３ａ１を有する。また、第１の加圧伝達部材１３は、Ｙ方向において＋Ｙ側と－Ｙ側それぞれに２カ所ずつ突出した当接部１３ａ２を有する。更に、第１の加圧伝達部材１３は、Ｚ方向に突出する突起部として１カ所に形成された位置決め部１３ｂ１と２カ所に形成された位置決め部１３ｂ２を有する。当接部１３ａ１，１３ａ２は、振動体保持部材３に対する第１の加圧伝達部材１３の位置決めに用いられる。また、位置決め部１３ｂ１，１３ｂ２は、第２の加圧伝達部材１４を第１の加圧伝達部材１３に対して位置決めするために用いられる。

図４は第１の加圧伝達部材１３と振動体保持部材３が位置決めされた状態を示す図であり、図４（ａ）は上面図であり、図４（ｂ）は正面図である。振動体保持部材３には、第１の加圧伝達部材１３を収容するための略矩形の収容スペースが、加圧部材１５による加圧方向（Ｚ方向）と略平行な内壁３ａ１，３ａ２に囲まれて形成されている。第１の加圧伝達部材１３は、振動体保持部材３の収容スペースに挿入される。すると、第１の加圧伝達部材１３においてＸ方向に突出している当接部１３ａ１が振動体保持部材３の内壁３ａ１と当接することによって、第１の加圧伝達部材１３と振動体保持部材３のＸ方向における相対的な位置が決まる。また、Ｙ方向に突出している当接部１３ａ２が振動体保持部材３の内壁３ａ２と当接することによって、第１の加圧伝達部材１３と振動体保持部材３のＹ方向における相対的な位置が決まる。つまり、第１の加圧伝達部材１３の当接部１３ａ１，１３ａ２がそれぞれ振動体保持部材３の内壁３ａ１，３ａ２と当接することにより、加圧部材１５による加圧方向と略直交する平面（ＸＹ平面）における第１の加圧伝達部材１３の振動体保持部材３に対する位置が決まる。

図５は第２の加圧伝達部材１４の形状を説明する図であり、図５（ａ）は上面図であり、図５（ｂ）は正面図である。第２の加圧伝達部材１４は、略薄板状で、第１の加圧伝達部材１３に対する位置決めに用いられる１カ所の位置決め部１４ｂ１と２カ所の位置決め部１４ｂ２を有する。位置決め部１４ｂ１，１４ｂ２はそれぞれ、Ｚ方向に貫通する孔として設けられている。位置決め部１４ｂ１はＹ方向に延在する長孔形状を有しており、位置決め部１４ｂ１をＸ方向で挟むように２カ所に設けられた位置決め部１４ｂ２はＸ方向に延在する長孔形状を有している。これらの位置決め部１４ｂ１，１４ｂ２はそれぞれ、第１の加圧伝達部材１３に設けられた位置決め部１３ｂ１，１３ｂ２と係合する。

図６は第２の加圧伝達部材１４と第１の加圧伝達部材１３が位置決めされた状態を示す図であり、図６（ａ）は上面図であり、図６（ｂ）は正面図である。第２の加圧伝達部材１４の位置決め部１４ｂ１は、Ｙ方向に延在した孔であるが、Ｘ方向では第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ１と係合可能な公差程度の幅で形成されている。よって、位置決め部１４ｂ１が位置決め部１３ｂ１と係合することによって、第２の加圧伝達部材１４は第１の加圧伝達部材１３に対してＸ方向でガタなく位置が決まる。また、第２の加圧伝達部材１４の２カ所の位置決め部１４ｂ２はＸ方向に延在した孔であるが、Ｙ方向では第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ２と係合可能な公差程度の幅で形成されている。そのため、２カ所の位置決め部１４ｂ２が２カ所の位置決め部１３ｂ２と１対１で係合することにより、第２の加圧伝達部材１４は第１の加圧伝達部材１３に対してＹ方向にガタなく位置が決まり、Ｚ方向と平行な軸を中心とした回転も規制される。

第２の加圧伝達部材１４は、第１の加圧伝達部材１３に対して位置決め（係合）された状態で第１の加圧伝達部材１３の蒲鉾形状部１３ｃと当接する当接面１４ｃを有する。蒲鉾形状部１３ｃと当接面１４ｃは、加圧部材１５によって－Ｚ方向に加圧されるために当接しており、４個の加圧部材１５の力のつり合いによって当接位置を中心とした傾きとＺ方向の相対的な位置が決まる。

つまり、第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ１，１３ｂ２と第２の加圧伝達部材１４の位置決め部１４ｂ１，１４ｂ２によって、第１の加圧伝達部材１３と第２の加圧伝達部材１４のＸＹ平面における相対的な位置が決まる。また、第１の加圧伝達部材１３の蒲鉾形状部１３ｃと第２の加圧伝達部材１４の当接面１４ｃによって、第１の加圧伝達部材１３と第２の加圧伝達部材１４のＺ方向での相対的な位置が決まる。更に、加圧部材１５の力のつり合いによって、第１の加圧伝達部材１３に対する第２の加圧伝達部材１４の傾きが決まる。

図７は振動体保持部材３、第１の加圧伝達部材１３及び第２の加圧伝達部材１４が位置決めされた状態を示す図であり、図７（ａ）は上面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）中に示す矢視Ａ－Ａでの断面図である。

前述の通り、第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ１，１３ｂ２と第２の加圧伝達部材１４の位置決め部１４ｂ１，１４ｂ２によって、ＸＹ平面における第１の加圧伝達部材１３と第２の加圧伝達部材１４の位置が決まる。第１の加圧伝達部材１３は、振動体保持部材３に対して、振動体２と緩衝部材１２を介して＋Ｚ方向での高さが決まり、第２の加圧伝達部材１４は第１の加圧伝達部材１３の蒲鉾形状部１３ｃに当接することによってＺ方向での位置が決まる。

振動体保持部材３は振動体２を直接保持しているため加振されやすく、接触している部品との位置決めで隙間が生じていることによって高周波の衝突が発生し、異音として使用者に聞こえるおそれがある。この問題に対して、振動型アクチュエータ１では、振動体保持部材３に第１の加圧伝達部材１３が接触しており、第１の加圧伝達部材１３に第２の加圧伝達部材１４が接触する構造となっている。つまり、第２の加圧伝達部材１４は第１の加圧伝達部材１３を介して振動体保持部材３に対して位置決めされるため、第２の加圧伝達部材１４と振動体保持部材３は接触していない。こうして、振動体保持部材３に接触する部品点数を減らして、前述の衝突が発生する部位を少なくすることで、異音を低減することが可能となっている。

次に、振動の減衰と異音の低減方法について説明する。前述の通り、振動型アクチュエータ１の加圧機構を構成する第１の加圧伝達部材１３は樹脂製であり。第２の加圧伝達部材１４は金属板である。第１の加圧伝達部材１３の振動減衰率をδ１とし、第２の加圧伝達部材１４の振動減衰率をδ２とした時、振動減衰率の関係が‘δ１＞δ２’となるように材質を選定する。これは以下の理由による。即ち、第１の加圧伝達部材１３は、振動体２によって最も加振されやすい振動体保持部材３と接触して位置が決まっており、第２の加圧伝達部材１４は第１の加圧伝達部材１３に接触して位置が決まっている。振動体２に励起された振動は、振動体２から振動体保持部材３を介して第１の加圧伝達部材１３に振動が伝搬し、更に第１の加圧伝達部材１３から第２の加圧伝達部材１４に伝搬する。そのため、最初に加振される部材の材料に振動減衰率の大きいものを用い、振動が伝達される部材の順に振動減衰率が小さくなる材料を選択することで、振動の伝搬を効率よく減衰させることができる。その結果、加圧機構全体に振動が伝搬して異音が発生することを抑制することが可能となる。なお、第１の加圧伝達部材１３は樹脂製であり、第２の加圧伝達部材１４は金属製であるとしたが、これらの部材の材質はこれに限定されず、例えば振動減衰率の異なる樹脂同士や金属同士の組み合わせであってもよい。

続いて、減衰部材による異音の低減方法について説明する。図８は、図７（ｂ）の部分拡大図であり、第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ１，１３ｂ２の近傍の構造を示している。減衰部材１６は、第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ１，１３ｂ２の近傍に配置され、第１の加圧伝達部材１３と第２の加圧伝達部材１４の両方に接触している。前述したように、振動体２から第１の加圧伝達部材１３を介して第２の加圧伝達部材１４に振動が伝搬するため、第１の加圧伝達部材１３と第２の加圧伝達部材１４の位置決め部同士の高周波の衝突によって異音が発生する。そこで、第１の加圧伝達部材１３と第２の加圧伝達部材１４の位置決め部に減衰部材１６を設けて、第１の加圧伝達部材１３から第２の加圧伝達部材１４に対し伝わる振動を減衰させることにより、異音の発生を抑制することができる。減衰部材１６には、例えば、弾性樹脂接着剤や制振ゴム等が用いられる。

次に、第１の加圧伝達部材１３に対して第２の加圧伝達部材１４の姿勢と接触状態が変化することにより異音の発生を抑制するメカニズムについて説明する。図９は、第１の加圧伝達部材１３に対して第２の加圧伝達部材１４が傾いた状態を示す断面図である。図９の状態では、４個の加圧部材１５（図９に不図示）の力のつり合いによって、第２の加圧伝達部材１４は第１の加圧伝達部材１３の蒲鉾形状部１３ｃに対する接触点を回転中心として時計まわりに傾いた状態で位置と姿勢が決まっている。前述したように、第２の加圧伝達部材１４の位置決め部１４ｂ１はＹ方向に延在した孔であり、位置決め部１４ｂ２はＸ方向に延在した孔であるため、第２の加圧伝達部材１４は図９に示されるように、Ｙ方向と平行な軸を回転中心として、傾くことができる。

位置決め部１３ｂ１と位置決め部１４ｂ１は加圧機構の加圧中心Ｓに配置されており、位置決め部１３ｂ１は位置決め部１４ｂ１に対してＸ方向ではガタなく係合している。第２の加圧伝達部材１４が傾くことにより、位置決め部１３ｂ１に対して位置決め部１４ｂ１がこじれてしまう。しかし、第２の加圧伝達部材１４は略薄板形状であり、位置決め部１３ｂ１と位置決め部１４ｂ１の嵌合長は短いため、部品同士のこじれを小さくすることができる。

また、位置決め部１３ｂ１と位置決め部１４ｂ１は、Ｚ方向において蒲鉾形状部１３ｃと同軸となる（蒲鉾形状部１３ｃの頂点を通りＺ方向と平行な軸と位置決め部１３ｂ１及び位置決め部１４ｂ１の中心軸が一致する）ように蒲鉾形状部１３ｃ上に設けられている。よって、蒲鉾形状部１３ｃと第２の加圧伝達部材１４の接触点が回転中心となり、位置決め部１３ｂ１及び位置決め部１４ｂ１は回転中心の近傍に位置する。こうして、位置決め部の近傍に部品の回転中心が来ることによって、部品の傾きによる係合部のこじれを最小限に抑えることができ、その結果として異音の発生を抑制することができる。

次に、位置決め部１３ｂ２と位置決め部１４ｂ２の接触状態について説明する。位置決め部１３ｂ２と位置決め部１４ｂ２はそれぞれ、加圧機構の加圧中心ＳからＸ方向に所定の間隔Ｄだけ離れた位置に設けられている。また、位置決め部１３ｂ２は、位置決め部１４ｂ２に対しＹ方向にガタなく係合している。そして、位置決め部１４ｂ２はＸ方向に延在した長穴形状の孔であるため、第２の加圧伝達部材１４が傾くことによる係合部のこじれを逃がす（位置決め部１３ｂ２，１４ｂ２同士を擦れ難くする）ことができる。

なお、振動型アクチュエータ１の加圧機構において、振動体２の突起２ｂの面圧を均一化するためには加圧中心Ｓと振動体２の中心とが可能な限り一致していることが望ましい。加圧中心Ｓは第１の加圧伝達部材１３に設けられた蒲鉾形状部１３ｃの位置となるため、振動体２と第１の加圧伝達部材１３を相対的に高い精度で位置決めする必要がある。そのためには、第１の加圧伝達部材１３の位置決めは、振動体保持部材３に対して直接当接して位置決めされることが好ましい。そこで、図３及び図４を参照して前述したように、振動型アクチュエータ１では、第１の加圧伝達部材１３は振動体保持部材３に対して直接当接して位置決めされている。振動体保持部材３に対する第１の加圧伝達部材１３の位置決めは、当接部１３ａ１，１３ａ２を用いる構成に限定されるものではない。

また、第２の加圧伝達部材１４が振動体２に不要なモーメントを伝達することのないように、第２の加圧伝達部材１４は振動体保持部材３及び第１の加圧伝達部材１３に対して自由に回動可能となっていることが望ましい。この観点から、振動型アクチュエータ１では、Ｘ方向の位置を決める第１の加圧伝達部材１３の位置決め部１３ｂ１と第２の加圧伝達部材１４の位置決め部１４ｂ１が、Ｚ方向で加圧中心Ｓとなる蒲鉾形状部１３ｃと同軸上に配置されている。そして、加圧中心ＳからＸ方向に所定の間隔Ｄだけ離れた位置にＹ方向の位置を決める位置決め部１３ｂ２及び位置決め部１４ｂ２が配置されている。これにより、第２の加圧伝達部材１４が傾くことによって生じる位置決め部のこじれを位置決め部１４ｂ２のガタによって吸収し、部材同士のこじれによる不要なモーメントの伝達を回避することができる。つまり、第２の加圧伝達部材１４は、第１の加圧伝達部材１３に対してこじれなく自由に回動することが可能となっている。

次に、振動型アクチュエータ１を用いた光学機器の一例として、撮像装置を構成する鏡筒装置（レンズ鏡筒）について説明する。図１０は、撮像装置の概略構成を示す断面図である。撮像装置は、大略的に、レンズ鏡筒１０１と撮像装置本体１０２から構成される。撮像装置本体１０２の内部には撮像素子１０４が配置されている。

ここでは、レンズ鏡筒１０１と撮像装置本体１０２は一体となっているものとするが、レンズ鏡筒１０１は、撮像装置本体１０２に対して着脱可能な、所謂、交換レンズであってもよい。レンズ鏡筒１０１の内部には、複数の光学部品のうちの１つとして、レンズ及びレンズ保持枠からなる光学レンズ１０３が撮像光軸Ｐと平行な方向（光軸方向）に移動可能に配置されている。光学レンズ１０３は振動型アクチュエータ１の可動案内部材６の接続部６ｃと連結されており、振動型アクチュエータ１と光学レンズ１０３からレンズ駆動装置１０００が構成されている。

振動型アクチュエータ１は、レンズ鏡筒１０１内において、振動体２や可動案内部材６を含む可動部が光軸方向に移動可能に配置されており、よって、振動体２が移動することにより光学レンズ１０３も光軸方向に移動する。光学レンズ１０３が合焦レンズであれば、撮像時に合焦レンズを光軸方向に移動させることにより、被写体に合焦した被写体像を撮像素子１０４に結像させることができる。また、光学レンズ１０３がズームレンズであれば、ズームレンズを光軸方向に移動させることによって撮像画角を変更することが可能になる。

なお、振動型アクチュエータ１を用いて駆動対象物を駆動させる駆動装置において、駆動対象物は上記の光学レンズ１０３に限定されるものではない。例えば、駆動対象物を撮像素子１０４（を保持する保持枠）とすれば、振動型アクチュエータ１を用いて撮像素子１０４を光軸Ｐと直交する平面内で駆動する像振れ補正装置を構成することができる。更に、振動型アクチュエータ１は、撮像装置以外の駆動装置にも用いることができ、例えば、駆動対象物を視度調整用レンズや表示パネルとしたヘッドマウントディスプレイ等の表示装置、駆動対象物をステージとした顕微鏡にも用いることができる。

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。

１ 振動型アクチュエータ
２ 振動体
３ 振動体保持部材
３ａ１，３ａ２ 内壁
１０ 摩擦部材
１３ 第１の加圧伝達部材
１３ａ１，１３ａ２ 当接部
１３ｂ１，１３ｂ２ 位置決め部
１３ｃ 蒲鉾形状部
１４ 第２の加圧伝達部材
１４ｂ１，１４ｂ２ 位置決め部
１５ 加圧部材
１６ 減衰部材
１０１ レンズ鏡筒
１０３ 光学レンズ
１０００ レンズ駆動装置

Claims (11)

1. 振動体と、
   前記振動体と接触する被駆動体と、
   前記振動体を保持する保持部材と、
   前記振動体と前記被駆動体を加圧接触させる加圧部材と、を備える振動型アクチュエータであって、
   前記加圧部材と前記振動体の間に配置されて前記保持部材に対して位置決めされる第１の加圧伝達部材と、
   前記加圧部材と前記振動体の間に配置されて前記第１の加圧伝達部材に対して位置決めされる第２の加圧伝達部材と、を備え、
   前記第２の加圧伝達部材は前記保持部材と接触しないことを特徴とする振動型アクチュエータ。
2. 前記第１の加圧伝達部材は、前記第２の加圧伝達部材より振動の減衰率が高い材質からなることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
3. 前記第１の加圧伝達部材は前記第１の加圧伝達部材に対する前記第２の加圧伝達部材の位置を決めるための第１の位置決め部を有し、
   前記第２の加圧伝達部材は前記第１の位置決め部と嵌合する第２の位置決め部を有し、
   前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部が嵌合した状態で、前記第１の加圧伝達部材に対する前記第２の加圧伝達部材の前記振動体による駆動方向への移動が規制されると共に、前記第１の加圧伝達部材に対する前記第２の加圧伝達部材の前記加圧部材による加圧方向と平行な軸を中心とする回転が規制されることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
4. 前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部が嵌合した状態で、前記第２の加圧伝達部材は、前記駆動方向および前記加圧方向と直交する方向と平行な軸を中心として、前記第１の加圧伝達部材に対して傾くことが可能であることを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータ。
5. 前記第１の加圧伝達部材は、前記駆動方向および前記加圧方向と直交する方向に延在する蒲鉾形状部を有し、
   前記第２の加圧伝達部材は、前記蒲鉾形状部の稜線またはその近傍で前記第１の加圧伝達部材に当接することを特徴とする請求項４に記載の振動型アクチュエータ。
6. 前記第１の位置決め部は、前記駆動方向に沿って設けられた３つの突起部であり、
   前記第２の位置決め部は、前記３つの突起部と嵌合する３つの孔であり、
   前記３つの孔のうち、前記３つの突起部のうち真ん中の１つの突起部と嵌合する孔は前記駆動方向および前記加圧方向と直交する方向に延在する長孔であり、残りの２つの突起部と嵌合する孔は前記駆動方向に延在する長孔であることを特徴とする請求項５に記載の振動型アクチュエータ。
7. 前記真ん中の突起部は、前記蒲鉾形状部に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の振動型アクチュエータ。
8. 前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部に接触する減衰部材を備えることを特徴とする請求項３乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
9. 前記第１の加圧伝達部材は、前記保持部材と当接し、前記加圧部材による加圧方向と略直交する平面において前記保持部材に対する前記第１の加圧伝達部材の位置を決める第３の位置決め部を有し、
   前記保持部材は、前記第３の位置決め部と当接する内壁により囲まれ、前記第１の加圧伝達部材を収容する収容スペースを有する当接面を有し、
   前記内壁は前記加圧方向と略平行であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
    前記振動型アクチュエータにより駆動される光学部品と、を備えることを特徴とする光学機器。
11. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
    前記振動型アクチュエータにより駆動される駆動対象物と、を備えることを特徴とする駆動装置。

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