JP2018098933A - 振動型アクチュエータ、レンズ駆動装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】振動型アクチュエータの駆動時に不要振動が振動体と接触する部材に発生するのを抑制する。【解決手段】弾性体１０１と圧電素子１０２とを有する振動体１０３と接触ユニット２００とが加圧接触し、振動体１０３に駆動振動が励起されることにより振動体１０３と接触ユニット２００とが相対移動する振動型アクチュエータ１００において、接触ユニット２００を、振動体１０３と加圧接触する接触面を有する接触部材２０１ａ，２０１ｂの間に、接触部材２０１ａ，２０１ｂに発生する振動を抑制する減衰部材２０３が挟持された構造とする。【選択図】図１

Description

本発明は、振動型アクチュエータに関し、特に振動型アクチュエータを用いてレンズ等の駆動対象物を駆動する機構に関する。

複数の振動体を備える振動型アクチュエータが知られている。例えば、特許文献１には、複数の振動体で摩擦部材（被駆動体）を挟持し、振動体に発生させた駆動振動により摩擦部材を摩擦駆動することにより、複数の振動体と摩擦部材とを相対移動させる振動型アクチュエータが記載されている。複数の振動体で摩擦部材を駆動する構成とすることにより、１つの振動体で摩擦部材を駆動する場合に比べて、大きな推力（駆動力）を取り出すことができる。

特開２００６−６７７１２号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載された技術では、振動体の駆動振動に対する摩擦部材の共振が考慮されていないため、摩擦部材に不要な振動が発生したときに、振動型アクチュエータの性能が低下してしまうという問題がある。特に、複数の振動体を用いた構成の振動型アクチュエータの場合には、１つのみの振動体を用いた場合に比べて、摩擦部材が振動体から受ける振動の影響が大きくなるために、共振対策が必要と考えられる。

本発明は、駆動時に不要な振動が振動体と接触する部材に発生することを抑制することができる振動型アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明に係る振動型アクチュエータは、振動体と接触ユニットとが加圧接触し、前記振動体に駆動振動が励起されることにより前記振動体と前記接触ユニットとが相対移動する振動型アクチュエータであって、前記接触ユニットは、前記振動体と加圧接触する接触面を有する複数の接触部材と、前記複数の接触部材の間に挟持され、前記接触部材に発生する振動を抑制する減衰部材と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、振動型アクチュエータを駆動する際に、振動体と接触する部材に不要な振動が発生することを抑制することができ、これにより、駆動時の性能低下を抑えることが可能になる。

第１実施形態に係る振動型アクチュエータの概略断面図である。 接触ユニットに発生する固有振動を説明する図である。 第２実施形態に係る振動型アクチュエータの概略断面図である。 第３実施形態に係る振動型アクチュエータの概略断面図である。 第４実施形態に係る振動型アクチュエータの概略断面図である。 振動型アクチュエータを用いたレンズ駆動装置の概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る振動型アクチュエータの１００の断面図である。図１（ｂ）は、振動型アクチュエータ１００の別の断面図である。図１に示すように、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を設定する。後述するように、Ｘ軸方向は、固定された接触ユニット２００に対して駆動ユニット１２０が相対移動する方向である。また、Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向を水平方向としたときに鉛直方向と略平行となる方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方向と直交する方向である。

振動型アクチュエータ１００は、カバープレート１１１、転動ボール１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃ、筐体部材１１３、連結板１１４、転動ボール１１５、連結部材１１６、駆動ユニット１２０、接触ユニット２００及び固定ネジ２０５を備える。駆動ユニット１２０は、振動体１０３、振動遮断部材１０４、支持部材１０５、加圧力伝達部材１０６、転動コロ１０７、保持部材１０８及び加圧部材１０９を備える。接触ユニット２００は、接触部材２０１ａ，２０１ｂ、スペーサ２０２、減衰部材２０３及び固定ネジ２０４を備える。

振動体１０３は、矩形板状の弾性体１０１と、電気−機械エネルギ変換素子である矩形板状の圧電素子１０２とを有し、弾性体１０１と圧電素子１０２とは接着剤等を用いて接着されている。弾性体１０１において圧電素子１０２が接合されている一方の面の反対側の他方の面には、Ｘ軸方向に所定の間隔で２つの突起部が設けられており、突起部の先端が接触ユニット２００に加圧接触している。支持部材１０５は、弾性体１０１の長手方向端（Ｘ軸方向端）を保持することによって振動体１０３を保持している。振動遮断部材１０４は、圧電素子１０２における弾性体１０１との接合面の反対側の面に配置され、振動体１０３で発生する振動の他の部材への伝達を抑制する。なお、振動遮断部材１０４としては、フェルト等の繊維からなる部材を用いることができるが、これに限定されるものではない。なお、圧電素子１０２の振動遮断部材１０４側の面には、圧電素子１０２に交流電圧を供給するための不図示のフレキシブルプリント基板が取り付けられている。

加圧力伝達部材１０６は、振動遮断部材１０４における圧電素子１０２との接触面の反対側の面に配置され、加圧部材１０９から加圧力を振動遮断部材１０４を介して振動体１０３へ付与する。加圧部材１０９は、接触ユニット２００に対して振動体１０３を加圧するための加圧力を発生するバネ部材（付勢部材）を備え、加圧力伝達部材１０６と振動遮断部材１０４を介して、振動体１０３を接触ユニット２００に対して加圧接触させる。保持部材１０８は、２つの転動コロ１０７を介して支持部材１０５を保持しており、これにより、支持部材１０５に支持された振動体１０３は、支持部材１０５と共にＹ軸方向に移動可能となっている。

保持部材１０８においてカバープレート１１１と対向する面には、３カ所にガイド部が形成されており、各ガイド部に転動ボール１１２ａ〜１１２ｃが配置されている。カバープレート１１１は、筐体部材１１３に固定されている。また、転動ボール１１２ａ〜１１２ｃは、Ｘ軸方向に延在するようにカバープレート１１１に形成された溝部に係合している。つまり、保持部材１０８とカバープレート１１１との間に転動ボール１１２ａ〜１１２ｃが転動可能に挟持されている。これにより、保持部材１０８（駆動ユニット１２０）は、保持部材１０８に形成されたガイド部とカバープレート１１１に形成された溝部に案内されてＸ軸方向に移動可能となっている。

接触ユニット２００において、接触部材２０１ａ，２０１ｂは、振動体１０３と加圧接触する接触面を有する部材である。減衰部材２０３はＹ軸方向において接触部材２０１ａ，２０１ｂに挟持されている。減衰部材２０３は、振動に対して減衰効果を有する部材であり、接触部材２０１ａ，２０１ｂに対して密着性の高いゴム部材や接着剤等の樹脂材料が用いられる。スペーサ２０２は、減衰部材２０３を挟持する接触部材２０１ａ、２０１ｂの間隔を決めるための部材（減衰部材２０３の厚みを決める部材）であり、図１（ａ）に示すように、間隔Ｔで減衰部材２０３を挟持している。減衰部材２０３は、外力を受けて変形する弾性部材であるため、本実施形態では、スペーサ２０２によって接触部材２０１ａ，２０１ｂの間隔Ｔを決定している。接触部材２０１ａ，２０１ｂは、スペーサ２０２を介して固定ネジ２０４により固定される。そして、スペーサ２０２が筐体部材１１３に対して固定ネジ２０５により固定されることで、接触ユニット２００は筐体部材１１３に固定される。

振動型アクチュエータ１００は、２つの駆動ユニット１２０がＹ軸方向において接触ユニット２００を挟持した構造となっており、２つの駆動ユニット１２０の構造は同等である。接触ユニット２００を挟んで対向するように配置された２つの駆動ユニット１２０は、連結板１１４によって連結されている。転動ボール１１５は、２つの駆動ユニット１２０の移動を駆動力として外部に取り出すための部材であり、連結板１１４のＹ軸方向における中央付近に配置されて、不図示の駆動対象物に取り付けられた連結部材１１６と係合している。連結板１１４及び連結部材１１６には、転動ボール１１５を配置するために、図１（ｂ）の左右方向（Ｚ軸方向）に長さを有するＶ溝が形成されている。転動ボール１１５が連結板１１４及び連結部材１１６に形成されたＶ溝に配置されることで、連結板１１４と連結部材１１６とは、駆動ユニット１２０の移動方向であるＸ軸方向において、がたつくことなく連結されている。

振動型アクチュエータ１００では、圧電素子１０２に位相の異なる２相の交流電圧を印加して、弾性体１０１に設けられた突起部の先端がＸＹ面で楕円軌跡（又は円軌跡）を描く駆動振動を振動体１０３に励起させる。これにより、突起部が接触ユニット２００を摩擦駆動し、振動体１０３から接触ユニット２００へ推力が与えられる。ここで、接触ユニット２００は固定されており、駆動ユニット１２０がＸ軸方向において移動可能となっているため、駆動ユニット１２０が接触ユニット２００から受ける反力により、駆動ユニット１２０がＸ軸方向に移動する。なお、圧電素子１０２の電極構造や圧電素子１０２に印加する交流電圧の制御等には、周知の技術を用いることができるため、詳細な説明を省略する。

振動体１０３に励起した駆動振動によって接触ユニット２００に固有振動が発生してしまうと、振動体１０３が接触ユニット２００の振動の影響を受けて駆動性能が低下してしまう。特に、２つの振動体１０３で駆動を行う構造では、１つの振動体１０３で駆動を行う場合に比べて２倍の振動エネルギが接触ユニット２００に加わることになり、接触ユニット２００に固有振動が発生しやすくなる。そこで本実施形態では、以下に詳細に説明する通り、複数の振動体１０３による駆動を行う構成において、接触ユニット２００の構成を工夫して固有振動の発生を抑制することにより、良好な駆動性能を維持することを可能としている。

図２は、接触ユニット２００に発生する固有振動３０１を説明する図である。固有振動３０１は、振動体１０３の駆動周波数の近傍において、接触部材２０１ａ，２０１ｂに発生する４次の固有振動であり、定在波の振動である。そのため、図２では、固有振動３０１を位相が１８０度ずれた実線と破線とで示している。なお、接触部材２０１ａ，２０１ｂには、数多くの固有振動が発生するが、ここでは、振動型アクチュエータ１００の性能に大きな影響を与えるＹ軸方向に振幅を有する固有振動の１つのみを示している。また、固有振動３０１の実際の振動振幅は極めて小さいが、理解を容易とするために図２では振動振幅を拡大（誇張）して表している。

図２に一点鎖線で示す位置３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃ，３０２ｄ，３０２ｅはそれぞれ、固有振動３０１の節位置を示している。接触部材２０１ａ，２０１ｂは、固有振動３０１の節となる位置３０２ａ，３０２ｅにおいて固定ネジ２０４により固定されている。そのため、接触ユニット２００には、位置３０２ａ，３０２ｅを節とした固有振動しか励起されない。また、接触ユニット２００は、接触部材２０１ａ，２０１ｂが減衰部材２０３を挟持した構造となっているため、減衰部材２０３により固有振動３０１の振幅を極めて小さくすることができる。これにより、振動型アクチュエータ１００の駆動時には、固有振動３０１が発生したとしても、その振幅を極めて小さく抑えることができるため、駆動性能の低下を抑えて、良好な駆動性能を維持することができる。

ところで、接触ユニット２００には多数の共振モード（固有振動モード）が存在する。そのため、接触ユニット２００の各寸法を決定する際には、振動型アクチュエータ１００の駆動周波数域に接触ユニット２００の固有振動が存在しないようにすることが重要となる。従来の単一部材からなる接触ユニットの場合、接触部材の厚み（Ｙ軸方向長さ）や幅（Ｚ軸方向長さ）を大きくして機械的強度を高めることで固有振動間の周波数間隔を広げ、その周波数間隔内に振動型アクチュエータの駆動周波数域を設定する等する必要がある。これに対して、接触ユニット２００では、仮に振動型アクチュエータ１００の駆動周波数域に接触ユニット２００の固有振動の周波数が存在しても、固有振動の振幅が小さく抑えられる。よって、接触ユニット２００の厚みや幅を増やす必要がなく、接触ユニット２００を小型化することができる。

また、接触部材２０１ａ，２０１ｂには、焼き入れ処理或いは表面改質処理等によって硬度を高めたステンレス鋼等の金属部材が用いられる。そして、接触部材２０１ａ，２０１ｂにおいて振動体１０３と接触する面は、研磨加工等により平滑性の高い均質な面に仕上げられる。一般的な研磨加工機では金属部材の一面のみしか研磨することができず、両面を研磨しようとすると加工難易度が上がり、歩留まりも低下する。これに対して、接触部材２０１ａ，２０１ｂは、片面のみを研磨加工すればよいため、加工が容易となり、低コストでの製造が可能となる。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。図３は、第２実施形態に係る振動型アクチュエータ１００Ａの断面図であり、図１（ａ）の断面図に対応する図である。振動型アクチュエータ１００Ａは、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１００の減衰部材２０３を薄型化すると共にスペーサ２０２と固定ネジ２０４の使用を廃止することで構成を簡略化したものである。そのため、振動型アクチュエータ１００Ａにおいて振動型アクチュエータ１００と共通する部材については、同じ符号を付して、ここでの説明を省略する。

振動型アクチュエータ１００Ａを構成する接触ユニット４００は、駆動ユニット１２０（の振動体１０３）と接触する接触面を有する接触部材４０１ａ，４０１ｂと、接触部材４０１ａ，４０１ｂに挟持された減衰部材４０３を備える。減衰部材４０３は、接触ユニット４００に固有振動が発生するのを抑制し、また、発生した振動を減衰させる部材であり、更に接触部材４０１ａ，４０１ｂ間の間隔Ｔ´を定めると共に接触部材４０１ａ，４０１ｂを固定する部材である。減衰部材４０３としては、例えば、両面テープを用いることができる。そのため、振動型アクチュエータ１００のようにスペーサ２０２と固定ネジ２０４は不要となり、接触部材４０１ａ，４０１ｂは、減衰部材４０３を介した間隔Ｔ´を隔てて減衰部材４０３により接合される。

接触ユニット４００は、接触部材４０１ａ，４０１ｂが減衰部材４０３を介して接合された状態で筐体部材１１３に固定ネジ４０５により固定される。よって、振動型アクチュエータ１００Ａによれば、振動型アクチュエータ１００と同様の効果が得られ、また、構造の簡単な接触ユニット４００を用いることにより部品点数の削減によるコストの低減と歩留まり（生産性）の向上を図ることができる。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。図４は、第３実施形態に係る振動型アクチュエータ１００Ｂの断面図であり、図１（ａ）の断面図に対応する図である。振動型アクチュエータ１００Ｂは、第２実施形態に係る振動型アクチュエータ１００Ａの減衰部材４０３を、接着剤等の樹脂材料にギャップ材を混入させた減衰部材に代えたものである。そのため、振動型アクチュエータ１００Ｂにおいて振動型アクチュエータ１００Ａと共通する部材については、同じ符号を付して、ここでの説明を省略する。

振動型アクチュエータ１００Ｂを構成する接触ユニット５００は、駆動ユニット１２０（の振動体１０３）と接触する接触面を有する接触部材４０１ａ，４０１ｂと、接触部材４０１ａ，４０１ｂに挟持された減衰部材５０３を備える。減衰部材５０３には、例えば、接着剤に直径が略一定の球状のギャップ材５１０を所定の割合で混入させたものが用いられる。接触ユニット５００では、接触部材４０１ａ，４０１ｂ間の間隔Ｔ´を、減衰部材５０３に含まれるギャップ材５１０によって定めることができる。例えば、第２実施形態に係る振動型アクチュエータ１００Ａのように減衰部材４０３に両面テープを用いた場合、両面テープの潰れ（圧縮）や温度や湿度の影響で間隔Ｔ´が変化し、これに応じて駆動特性が変化してしまうおそれがある。これに対して、ギャップ材５１０を含む減衰部材５０３を用いることにより、間隔Ｔ´をより明確に設定することができ、また、経時的に或いは使用環境によって間隔Ｔ´が変化するのを抑制することができる。したがって、振動型アクチュエータ１００Ｂによれば、振動型アクチュエータ１００Ｂと同様の効果が得られることに加えて、接触部材４０１ａ，４０１ｂ間の間隔Ｔ´の変化が抑制されることで、駆動性能に変化が生じることを抑制することができる。

次に、本発明の第４実施形態について説明する。図５は、第４実施形態に係る振動型アクチュエータ１００Ｃの断面図であり、図１（ａ）の断面図に対応する図である。振動型アクチュエータ１００Ｃは、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１００の接触ユニット２００を薄型化したものである。そのため、振動型アクチュエータ１００Ｃにおいて振動型アクチュエータ１００と共通する部材については、同じ符号を付して、ここでの説明を省略する。

振動型アクチュエータ１００Ｃを構成する接触ユニット６００は、駆動ユニット１２０（の振動体１０３）と接触する接触面を有する接触部材６０１ａ，６０１ｂと、接触部材６０１ａ，６０１ｂに挟持された減衰部材２０３を備える。接触ユニット６００のＸ軸方向端にはスペーサ２０２が設けられており、接触部材６０１ａ，６０１ｂは、スペーサ２０２を介して固定ネジ２０４により固定されている。第１実施形態と同様に、スペーサ２０２は減衰部材２０３の厚みを決定しており、接触ユニット６００はスペーサ２０２を介して固定ネジ２０５により筐体部材１１３に固定されている。

接触部材６０１ｂは、固定ネジ２０４を固定するための雌ネジが形成された円筒部６０２を有する。これにより、接触部材６０１ａ，６０１ｂの厚みを薄型化しても、固定ネジ２０４による接触部材６０１ａ，６０１ｂの固定を確実に行うことができる。したがって、振動型アクチュエータ１００Ｃは、振動型アクチュエータ１００と同様の効果を奏することに加えて、薄型化された接触ユニット６００を用いることで小型化（薄型化）が可能となる。

次に、本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態では、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１００と同等の構造を有する振動型アクチュエータを用いたレンズ駆動装置について説明する。図６は、レンズ駆動装置７００の概略構成を示す断面図である。なお、図６に示す各部材のうち、図１に示した部材と同じ部材については、同じ符号を付して、ここでの説明を省略する。また、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１００は、接触ユニット２００に対して駆動ユニット１２０（振動体１０３）がＸ軸方向に移動する構成となっていた。これに対して、レンズ駆動装置７００には、以下に説明するように、振動体１０３は固定され、接触ユニット９００がＸ軸方向に移動する振動型アクチュエータ８００が用いられている。

レンズ駆動装置７００は、案内部材７２１ａ，７２１ｂ、レンズ保持部材７２２、レンズ部７２３及び振動型アクチュエータ８００を備える。レンズ駆動装置７００は、例えば、デジタルカメラ等の撮像装置（不図示）が備えるレンズ鏡筒の内部に配置される。その場合、被写体からの光がレンズ部７２３へ入射し、レンズ部７２３を通過した光は、レンズ鏡筒の内部を通過して、撮像装置の本体部に配置された撮像素子に結像する。撮像素子は、光学像を電気信号に変換することにより画像データを生成する。

レンズ保持部材７２２は、レンズ部７２３を保持する。案内部材７２１ａ，７２１ｂには、ここでは、丸棒状の部材が用いられている。案内部材７２１ａ，７２１ｂはそれぞれ、長手方向がレンズ部７２３の光軸Ｌと略平行となるように配置された状態でレンズ保持部材７２２と摺動自在に嵌合しており、レンズ保持部材７２２を光軸方向に移動可能に保持する。なお、光軸ＬはＸ軸と平行である。

振動型アクチュエータ８００は、駆動ユニット８２０と接触ユニット９００を備える。駆動ユニット８２０は、振動型アクチュエータ１００の駆動ユニット１２０が備える保持部材１０８と加圧部材１０９に代えて、保持部材８０８と加圧部材を備える。加圧部材は、２枚の加圧板８０９ａと２つの引張バネ部材８０９ｂを備える。２つの引張バネ部材８０９ｂは、Ｙ軸方向に離間して配置された加圧板８０９ａの間に配置され、２枚の加圧板８０９ａをＹ軸方向において互いに接近するように力を与えている。これにより、加圧力伝達部材１０６を介して振動体１０３は接触ユニット９００に加圧接触する。保持部材８０８は、２つの転動コロ１０７を介して、支持部材１０５を保持部材８０８に対してＹ軸方向に移動可能に保持している。保持部材８０８は、レンズ駆動装置７００を内包するレンズ鏡筒（不図示）のフレームの等に固定されている。

接触ユニット９００は、接触部材２０１ａ，２０１ｂの間隔Ｔがこれらの両端に配置されたスペーサ２０２，９０２によって決められた状態で、減衰部材２０３が接触部材２０１ａ，２０１ｂに挟持された構造を有する。接触部材２０１ａ，２０１ｂは、これらの両端に配置されたスペーサ２０２，９０２を介して固定ネジ２０４を用いて固定されている。スペーサ２０２は、接触ユニット９００の長手方向がレンズ部７２３の光軸Ｌと略平行となるように、固定ネジ２０５を用いてレンズ保持部材７２２に固定されている。

レンズ駆動装置７００では、接触ユニット９００を挟んでＹ軸方向で対向するように配置された２つの振動体１０３のそれぞれの弾性体１０１の突起部先端に楕円運動が生じるように、振動体１０３に駆動振動を励起する。これにより、振動体１０３から接触ユニット９００に推力が与えられる。ここで、振動体１０３は固定されており、接触ユニット９００はＸ軸方向に移動可能となっているため、接触ユニット９００は振動体１０３から受ける推力によってＸ軸方向に移動する。レンズ保持部材７２２は、接触ユニット９００と連結されているため、接触ユニット９００の移動に伴って案内部材７２１ａ，７２１ｂに案内されてＸ軸方向に移動し、こうしてレンズ部７２３はＸ軸方向（光軸方向）に駆動される。

なお、レンズ駆動装置７００が上述したように撮像装置の構成要素である場合において、レンズ部７２３がズームレンズであれば、レンズ部７２３を光軸方向で進退させることにより、撮影画角の変更（ズーム動作）を行うことができる。また、レンズ部７２３がフォーカスレンズであれば、レンズ部７２３を光軸方向で進退させることにより、被写体に対する合焦動作を行うことができる。レンズ駆動装置７００は、振動型アクチュエータ８００を駆動するための駆動回路や制御回路を備えるが、振動型アクチュエータ８００の駆動制御には周知の技術を用いることができ、ここでの説明は省略する。

ところで、振動型アクチュエータ８００は、接触ユニット９００の長手方向の一端（スペーサ２０２側）のみが固定ネジ２０５でレンズ保持部材７２２に固定される片持ち構造となっている。従来の接触部材を片持ち構造とした場合には、両持ち構造とした場合に比べてより多くの固有振動が発生する。しかしながら、減衰部材２０３を有する接触ユニット９００を用いることで、固有振動の発生を抑制することができるため、振動型アクチュエータ８００は、片持ち構造であっても、駆動中の性能低下を抑えることができる。

なお、接触ユニット９００のスペーサ９０２側を、Ｘ軸方向に移動可能な状態で不図示の部材により支持又は保持した構造としてもよい。また、接触ユニット９００をその長手方向の任意の位置で保持する構成とすることもできる。このように、レンズ駆動装置７００では、接触ユニット９００を保持する構造設計の自由度を高めることができる。更に、レンズ駆動装置７００では、接触ユニット９００をＸ軸方向に移動可能な構成としたが、接触ユニット９００を固定し、駆動ユニット８２０をＸ軸方向に移動可能とし、レンズ保持部材７２２を駆動ユニット８２０に連結した構成としてもよい。

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。

例えば、接触ユニットを２つの振動体で挟持して、接触ユニットと振動体とを相対移動させる構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、接触ユニットを１つの振動体で駆動する構成であっても、減衰部材を有する接触ユニットを用いることで接触ユニットでの不要振動の発生は抑制され、よって、駆動中の性能低下が抑えられるという効果が得られる。また、接触ユニットを３つ以上の振動体で挟持して、接触ユニットと振動体とを相対移動させる構成となっていてもよい。

接触ユニットの構成は、上述した２枚の接触部材の間に１層の減衰部材が配置された構成に限定されるものではなく、例えば、３枚の接触部材のそれぞれの間に１層（合計で２層）の減衰部材が配置された構造とすることもできる。上記実施形態では、振動体と接触ユニットとが相対的に一方向に直線的に移動する構成の振動型アクチュエータについて説明した。しかし、上述した接触ユニットの構成は、これに限定されず、振動体が接触ユニットに対して与える推力により振動体又は接触ユニットが回転駆動する回転型の振動型アクチュエータの接触ユニットにも適用が可能である。更に、振動型アクチュエータによる駆動が可能な駆動対象物はレンズに限定されるものではなく、上記の各種の振動型アクチュエータは、各種の機械装置や撮像装置やレンズ鏡筒等の光学機器以外の電子機器への適用が可能である。

１００，１００Ａ〜１００Ｃ 振動型アクチュエータ
１０１ 弾性体
１０２ 圧電素子
１０３ 振動体
２００ 接触ユニット
２０１ａ，２０１ｂ 接触部材
２０２，９０２ スペーサ
２０３ 減衰部材
５１０ ギャップ材
７００ レンズ駆動装置
７２１ａ，７２１ｂ 案内部材
７２２ レンズ保持部材
７２３ レンズ部
８００ 振動型アクチュエータ
９００ 接触ユニット

Claims (8)

1. 振動体と接触ユニットとが加圧接触し、前記振動体に駆動振動が励起されることにより前記振動体と前記接触ユニットとが相対移動する振動型アクチュエータであって、
   前記接触ユニットは、
   前記振動体と加圧接触する接触面を有する複数の接触部材と、
   前記複数の接触部材の間に挟持され、前記接触部材に発生する振動を抑制する減衰部材と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータ。
2. 複数の前記振動体が、前記複数の接触部材が前記減衰部材を挟む方向において前記接触ユニットを挟持するよう配置されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
3. 前記振動体は、板状の弾性体の一方の面に電気−機械エネルギ変換素子が接着されており、
   前記弾性体の他方の面には、前記振動体と前記接触ユニットとが相対移動する方向に所定の間隔で２つの突起部が設けられ、
   ２つの前記振動体のそれぞれの突起部が前記接触ユニットを挟んで対向するように前記２つの振動体が配置されていることを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータ。
4. 前記接触ユニットは、前記複数の接触部材に挟持されたスペーサを備え、
   前記スペーサは、前記接触部材に生じる共振モードの節位置の近傍に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
5. 前記減衰部材は、両面テープまたは樹脂材料であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
6. 前記減衰部材は、樹脂材料にギャップ材を混入したものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
   レンズと、
   前記レンズを保持し、前記振動体または前記接触ユニットのうち前記振動型アクチュエータの前記振動体に駆動振動を励起したときに移動する部材に連結されるレンズ保持部材と、
   前記レンズ保持部材と係合し、前記振動体と前記接触ユニットが相対移動する方向に前記レンズ保持部材を案内する案内部材と、を備えることを特徴とするレンズ駆動装置。
8. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
   前記振動型アクチュエータによる駆動が可能な駆動対象物と、を備えることを特徴とする電子機器。

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