JP4512408B2 - 振動波リニアモータ及びそれを用いたレンズ装置 - Google Patents
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Description
駆動突起部での楕円振動の振幅は、ガイドシャフトとの垂直方向では振動子板とガイドシャフトとを離隔させる作用、ガイドシャフトとの水平方向ではガイドシャフトを相対的に駆動させる作用を持っている。これらの作用を満たすように駆動突起部の楕円振動を最適化しているので、傾きが生じると駆動に悪影響を及ぼす。
したがって、先ず、ガイドシャフトを本体装置側に固定する固定部材が必要であることは言うまでもないが、更に移動部においては駆動突起部がガイドシャフトに対して傾かないように位置決めするためのガイドシャフトに対する係合部が最低2箇所必要である。
この場合、上記連結型駆動接触部は、少なくとも一方の端部が上記振動子の本体の側面と一致するように形成されていることが好ましく、また、例えば複数の上記駆動接触部を連結するための平板部を有して該平板部の大きさが上記振動子の上記連結型駆動接触部を接着する1面に一致する大きさであることが好ましい。
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記第1の振動子に設けられた複数の駆動接触部と、上記第2の振動子に設けられた複数の駆動接触部とは、上記被駆動体を挟んで対称の位置に配置されるようにしてもよく、また、例えば上記振動子の中心から上記被駆動体の移動方向に沿って対称に配置されるようにしてもよい。
また、この振動波リニアモータにおいては、例えば上記付勢手段は、引っ張りバネ、圧縮バネ、板バネ等の付勢部材から成り、上記被駆動体の移動中に上記振動子に一定の付勢力を供給し続けるように構成される。
また、例えば上記第1又は上記2の振動子は固定され、上記第2又は第1の振動子は上記付勢手段により上記被駆動体に向けて付勢されるように構成してもよい。
次に、第2の発明のレンズ装置は、上記に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載して構成される。
また、駆動接触部の被駆動体への接触部の断面がU字形又はV字形を成しているので、この接触部で被駆動体の移動方向を規制でき、したがってガイド部品が不要となって部品部品点数が削減でき、これにより小型化の実現とコストの低減に貢献できる。
また、振動子本体と駆動接触部を別体の部材で構成するので、振動子本体又は駆動接触部の性能向上のため材質を個別に様々に変更することが可能となって寿命も含めた性能向上が容易に可能である。
尚、図1(a) には、レンズ装置1と共に例えばカメラなどの本体装置のハウジング内に組み込まれるこのレンズ装置1の各部の駆動を制御する制御回路を備えた回路基板2の一部も共に示している。
これら第1の固定鏡枠部15と第2の固定鏡枠部16との間に、上記第1の移動レンズ部9を保持する第1の移動鏡枠17、第2の移動レンズ部11を保持する第2の移動鏡枠18、及び第3の移動レンズ部12を保持する第3の移動鏡枠19が配置されている。
また、上記第1の移動レンズ部9と第2の移動レンズ部11の間の21は、絞りの位置を示している。
図3は、同じく上記レンズ装置1を天地を逆にして下方から見た分解斜視図である。尚、上記の図2及び図3には、図1(a),(b) に示した構成と同一の構成部分には図1(a),(b) と同一の番号を付与して示している。
これにより、金属フレーム23(23a、23b)は、長手方向(前述した折り曲げられた第2の光軸O2方向でもある)に直角な断面が、1つの主面と長手方向の1つの側面からなるL字型のフレームを構成し、少量の材料で剛性を形成する理想的な構造のフレームとなっている。
そして、第1の固定鏡枠部15は図1(b) にも示したプリズムL1及び図2と図3には図示を省略しているがレンズL2が保持されて固定される。また第2の固定鏡枠部16には、これも図2と図3には図示を省略しているが図1(b) に示したレンズL9が保持されて固定される
これら第1の固定鏡枠部15と第2の固定鏡枠部16との間に、図1(b) にも示した3つの移動鏡枠(第1の移動鏡枠17、第2の移動鏡枠18、及び第3の移動鏡枠19)が配置される。
上記3つの移動鏡枠が組み込まれるに先立って、ズーム用シャフトカム25が、主固定鏡枠22の開放側の長手方向側面の且つ第1の固定鏡枠部15の側部に近接して配置される。ズーム用シャフトカム25は、カム部のカム溝が設けられた周面を形成する太径部と、太径部の両端から同軸に突設された細径部26(26a、26b)を有しており、撮像素子14とは反対側端部に突設されている細径部26aにはギア27が固設されている。
付勢板バネ32の3個の曲がり足部32−1を金属フレーム23cの3個の切欠部33に係合させながら、付勢板バネ32の本体部が金属フレーム23c側に押し込まれると、止め切片32−2の先端が凸部34の周面に係止することにより、付勢板バネ32が金属フレーム23cの外面に位置固定され、その付勢バネ部32−3の先端部によりズーム用シャフトカム25の凸部31が押し付勢されて、位置決めされる。
更に、この絞り・シャッタユニット42の下方に、第3の移動鏡枠19を移動駆動するための振動波リニアモータ46と磁気センサユニット47とが、主固定鏡枠22の短手方向に並んで重なるようにして配置される。
磁気センサユニット47は(図3参照)、磁気センサホルダ48、磁気センサ49、磁気スケール51、及び付勢バネ52を備えている。
このように、上述した各部材が配置された後、図1(b) に示した移動レンズ部9、11、及び12(図2と図3には図示を省略)をそれぞれ接着剤で固定された第1の移動鏡枠17、第2の移動鏡枠18、及び第3の移動鏡枠19が組み付けられる。
これら第1の移動鏡枠17、第2の移動鏡枠18及び第3の移動鏡枠19は(図2参照)、それぞれ、軸受部53(53−1、53−2、53−3)を備え、これらの軸受部53には、それぞれ、ガイド孔54(54−1、54−2、54−3)が設けられている。
更に、第1の移動鏡枠17の上記軸受部53−1とU字切欠部55−1とを有する後端部と対向する前端部外面56と(図2参照)上記軸受部53−1が配置される側面部57との境界に形成される段差部58には、光反射部材59が貼着されて配置される。
また、第3の移動鏡枠19の軸受部53−3に一体に横方向に立設される側面には光反射部材62が貼着されている。
これにより、第1,第2及び第3の移動鏡枠17、18及び19(つまり3個の移動レンズ部9、11、12)は、図1(b) に示す光軸O2方向に移動可能に支持される。
また、上記3個の移動鏡枠の組み付けに先立って、第1の固定鏡枠部15と第2の固定鏡枠部16のそれぞれ金属フレーム23bで構成される閉側面と開口主面とに最も近接する位置に形成された他の2つのガイド軸支持孔67(図3参照)により両端を支持されて第2のガイド軸68が配置される。
上記のようにカムフォロア61がズーム用シャフトカム25のカム溝に嵌入することにより、ズーム用シャフトカム25と第1の移動鏡枠17及び第2の移動鏡枠18とが摺動自在に係合する。
これら二本のガイド軸により支持されて、3個の移動鏡枠(17、18、19)が、光軸O2方向に摺動可能に規制され且つ一方のガイド軸により他方のガイド軸周りの回転を禁止され、光軸O2に直角方向の位置決めをされて主固定鏡枠22内に配置される。
これにより、ズーム用シャフトカム25のカム溝に係合するそれぞれのカムフォロア61−1、61−2が、ズーム用シャフトカム25のカム溝の溝壁のそれぞれ相反する片側に押し付けられるようになり、したがって、ズーム用シャフトカム25の回転駆動時のカム溝とカムフォロア間に生じる遊びが解消される、これにより、左移動時と右移動時における位置関係が正しく制御される。
この後、撮像素子14が第2の固定鏡枠部16の下面に取り付けられる。また、金属フレーム23aと同一面にある第1の固定鏡枠部15の面の、第1の移動鏡枠17に取り付けられている光反射部材59に対応する位置にフォトセンサ取付孔71が設けられており、このフォトセンサ取付孔71にフォトセンサ72が配置される。
図4(a) は、本例において用いられる振動波リニアモータの基本構成を示す正面図であり、同図(b) は、その側面図である。同図(a),(b) に示すように、振動波リニアモータの基本構成70は、先ず、直方体形状をした上下2個の振動子本体71及び72と、この2個の振動子本体71及び72の上下対向する面にそれぞれ振動子本体71及び72と一体に形成された又は別体で接着された突起形状の少なくとも1個以上の(図の例では上の振動子本体71に2個、下の振動子本体72に1個)の駆動接触部73(73−1、73−2、73−3)とから成る2個の振動子74及び75を備えている。
上記3個の駆動接触部73は、詳しくは後述するように、少なくとも1つは楕円運動を行なって上記のシャフト78を相対的に移動させるように構成されている。
このように、本発明の振動波リニアモータによれば、2個の振動子74及び75によりシャフト78を駆動するので、シャフト78の移動に対して大きな駆動力を伝えることが出来る。
また、シャフト78の移動方向を駆動接触部73の接触面で規制することができるのでシャフト78の移動を案内する部品が不要となり、部品点数が削減でき小型化の実現、コストの低減に貢献できる。
同図(a) は、図4(a) の場合と同一であり、駆動接触部73のシャフト78との接触部がU字形の断面となっている。そして、同図(b) は、駆動接触部73のシャフト78との接触部がV字形の断面の場合を示している。いずれの場合も、駆動接触部73は、シャフト78との接触面がシャフト78を半ば抱き込むように形成されており、これにより、シャフト78の移動方向を前述した移動方向に規制するように駆動接触部73の形状が設定されている。
また、同図(c),(d) 及び同図(g),(h) は、複数の駆動接触部73が平板部84によって相互に連結された連結型駆動接触部85として形成され、且つ振動子本体71又は72とは別体の部材で構成されている。これら連結型駆動接触部85は組み立て時には接着によって振動子本体71又は72と一体に構成される。
特に図5(c) のようにシャフト軸に対して対称な形状は、振動子部品の共通化ができるためコストの低減化に有効であり、また、駆動接触部を接着する際の方向性を考える必要がなくなり組み付けが容易となって組み立て作業の能率が向上する。
また、駆動接触部73がシャフト78との接触面でシャフト78を半ば抱き込むように配置されるので、シャフト78は上下に揺動することはあっても、抱き込みのガイド性によって左右に揺動することはなく、このように駆動接触部73はシャフト78の駆動とシャフト78の左右への揺動を禁止するガイドの両方を兼ねている。
また、連結型駆動接触部とすることにより、複数の駆動接触部をばらばらに加工して振動子に接着するよりも、加工工数が低減できてコスト削減に貢献する。
ここで、上記振動波リニアモータ70の振動子本体71(又は72、以下同様)の構成を説明する。
同図(a),(b) に示すように、振動子本体71は、積層された圧電体シート86から成る圧電体シート層87とその下方に積層された弾性体シート88から成る弾性体シート層89とで構成される。
他方は同じく左右二方に分けてほぼ前面にA−内部電極箔96とB+内部電極箔97を形成された圧電体シート86nである。上記A−内部電極箔96とB+内部電極箔97には、それぞれ左右の中央に近い位置に、外部と接続するための端子96−1と端子97−1が圧電体シート86nの上記と同じ一方の側方に突出して形成されている。
本例では、圧電体シート層87は、これら2種類の圧電体シート86mと86nとを、それぞれ24枚づつ合計48枚のシート層として、交互に重ねて構成されている。
上記のA+内部電極箔94、A−内部電極箔96、B+内部電極箔97、及びB−内部電極箔95からそれぞれ圧電体シート86(86m、86n)の一方の側方に突出して形成されている外部接続用の端子94−1、95−1、96−1及び97−1は、同図(a) に示す振動子本体71の一方の側面において、焼き付け銀より成るA+電極接続外部端子98、A−電極接続外部端子99、B+電極接続外部端子101、及びB−電極接続外部端子102にそれぞれ接続されている。
図7(a),(b) は、上記の構成において電極への電圧印加により発振駆動される振動波リニアモータ70の振動子本体71の超音波楕円振動を模式的に説明する斜視図であり、同図(c) は、同図(b) の2次の屈曲振動を分かり易く振動子本体の輪郭線のみで示す図である。
尚、図7(c) では、静止位置113と共振屈曲振動位置114のほかに、図4(b) に示した振動子本体71に配置された駆動接触部73−1及び73−2の構成の場合の2つの駆動接触部の動きを上部に示し、これまでの図では未だ示していなかったが、2つの駆動接触部の振動子本体の長手方向両端に配置した場合の2つの駆動接触部の動きを下部に示している。
また、図7(a),(b) には、同図(c) に示す振動の節部となる中央部79の位置に形成された図6(a),(d),(e) に示したピン部材取り付け孔103に取り付けられたピン部材115を示している。
図8(a),(b) は、位相がπ/2だけ異なる共振周波数近傍の交番電圧を印加したときの振動子の駆動接触部の楕円振動を模式的に示す図である。尚、同図(a),(b) に示す連結型駆動接触部85の駆動接触部73の配置が上下で異なるが、同一の番号で連結型駆動接触部85として示している。また、駆動接触部73が、それぞれが単独の駆動接触部である場合も以下に説明する楕円振動の動きは同一である。
すなわち、上記振動子本体71及び72の縦振動と屈曲振動とから合成される楕円振動が、4個の駆動接触部73を介してガイド軸78に作用し、シャフト78が、振動子本体71及び72の各駆動接触部73の接触面によるガイドに従って、図4(a),(b) で示した同図(a) の図面奥行き方向、同図(b) では図面左右方向に進退移動する。これが、本発明における振動波リニアモータの動作原理である。
また、本例では、振動子本体71が、ほぼ直方体形状であるので、このような場合は、縦振動と屈曲振動により上記の駆動力が得られるが、駆動接触部に楕円振動を起こして駆動力を得られるのであれば、振動子は他の形状でもよい。また、1または複数の、同じまたは整数倍の周波数のモードを同時に励起しても、同じような振動運動を得ることができる。
いずれにしても、電極の配置位置、交番電圧の印加タイミング、駆動接触部の配置位置を適宜に設定することにより、上下2つの振動子を用いて最小限の入力電圧でシャフト78の駆動が可能である。
被駆動体である図4等に示すシャフト78は、その移動方向の長さにおいて振動子の複数の駆動接触部(図8の例では2個)の最大配置長よりも長く形成されていなければならないということになる。
図11(a),(b) は、図9、図10のように支持部材77や付勢係合部材116のような付勢への助成部材を排除して、付勢部材のみで2個の振動子を付勢する構造を示している。すなわち、シャフト78を挟持する振動子74及び75のピン部材115の両端に、引き付勢力を有する菱形の線バネ117がそれぞれ掛け渡されている。これにより、2個の振動子74及び75を容易にシャフト78に付勢することができる。
また、2個それぞれの振動子への付勢力が小さくすむので付勢部材を小型化することができる。更に、振動子とシャフトと付勢部材だけでユニット化されるので、被駆動体であるシャフトに対して振動子の変位の自由度が増し、自在な駆動が可能となる。
このように、振動子74及び75を付勢する付勢部材は、引っ張りバネ、圧縮バネ、板バネ等の付勢部材から成り、被駆動体であるシャフト78の移動中に振動子74及び75に一定の付勢力を供給し続けるように構成されている。
図15(a) は、上記振動波リニアモータ120と、第3の移動鏡枠19との連結方法を説明する斜視図であり、同図(b) は、その連結部のみを取り上げて示す拡大斜視図である。尚、同図(a) は、図3において振動波リニアモータ46(図15(a) では120)と第3の移動鏡枠19を見た図である。また、図15(a) は、シャフト78の端部のナット131に斜め左上向う側に突設されている駆動係合ピン132を、その突設側方向に、分かり易いようにナット131から脱離させて示している。
図15(a) に示すように、第3の移動鏡枠19は、第3の移動レンズ部12を保持する鏡枠本体133と軸受け部53−3と、この軸受部53−3から下方に突設された係合突設部134から構成されている。係合突設部134のほぼ中央部には鏡枠本体133が光軸O2に沿って移動する移動方向に並行する方向に長い長孔135が穿設されている。
板バネ136は、平らな本体部136−1と、この本体部136−1の下方から手前と上方に2段に折り曲げられたけ係止部136−2と、本体部136−1の左横から手前に折り曲げられた付勢部136−3とで構成されている。
この係合により、移動出力取出用の駆動係合ピン132は、長孔135内において、第2の光軸O2方向への動きを禁止され、図15(a) では図示を省略している図2に示した金属フレーム23aに図14(b) に示したハウジング122が固定配置される振動波リニアモータ120のシャフト78の第2の光軸O2方向への移動を忠実に第3の移動鏡枠19に伝達する。
また、これにより、移動出力取出用の駆動係合ピン132は、上記のようにシャフト78の第2の光軸O2方向への移動の向きと力を第3の移動鏡枠19に正確に伝達する一方で振動子本体71及び72の楕円振動等による上下動に影響されるシャフト78の上下動に応じた上下動は長孔135内における上下動で吸収し、第3の移動鏡枠19に伝達することはない。
また、リニア駆動させることで、レンズ鏡枠などの直線移動を行う部材を直接に駆動することが可能となり、機械損失が低減でき、高効率な駆動を実現することができるようになる。
ところで、前述の図4(a),(b) において、本例における振動波リニアモータ70(又は120、以下同様)は、シャフト78と2つの振動子74及び75とは相対的に移動する関係にあると説明した。
そのような構成にすることも可能であり、従ってシャフト78と2つの振動子74及び75とは相対的に移動する関係にあると説明したものである。
2 回路基板
8 第1の固定レンズ部
9 第1の移動レンズ部
11 第2の移動レンズ部
12 第3の移動レンズ部
13 第2の固定レンズ部
14 撮像素子
L1 プリズム一体化レンズ
L2、L9 固定レンズ
L3、L4、L5、L6、L7、L8 移動レンズ
15 第1の固定鏡枠部
15−1 切欠部
16 第2の固定鏡枠部
17 第1の移動鏡枠
18 第2の移動鏡枠
18−1 切欠部
19 第3の移動鏡枠
19−1 切欠部
19−2 突設部
21 絞り位置(シャッタ位置)
22 主固定鏡枠
23(23a、23b、23c) 金属フレーム
24 接着剤溜まり部
25 ズーム用シャフトカム
26(26a、26b) 細径部
27 ギア
28 軸受嵌合孔
29 軸受
31 凸部
32 付勢板バネ
32−1 曲がり足部
32−2 止め切片
32−3 付勢バネ部
33 切欠部
34 凸部
35 ズーム用モータユニット
36 減速ギア列
37 ギア軸固定部
38 止め板固定部
39 位置決め孔
41 止め孔
42 絞り・シャッタユニット
43 絞り・シャッタ部
44、45 ロータリーソレノイド
46 振動波リニアモータ
47 磁気センサユニット
48 磁気センサホルダ
49 磁気センサ
51 磁気スケール
52 付勢バネ
53(53−1、53−2、53−3) 軸受部
54(54−1、54−2、54−3) ガイド孔
55(55−1、55−2、55−3) U字切欠部
56 前端部外面
57 側面部
58 段差部
59 光反射部材
61(61−1、61−2) カムフォロア
62 光反射部材
63(63−2、63−3) 凸部
64(64−1、64−2) ガイド軸支持孔
65 第1のガイド軸
66 圧縮バネ
67 ガイド軸支持孔
68 第2のガイド軸
69 開口部
70 本発明の振動波リニアモータの基本構成
71、72 振動子本体
73(73−1、73−2、73−3) 駆動接触部
74、75 振動子
76(76−1、76−2) 圧縮バネ
77(77−1、77−2) 支持部材
78 シャフト
79 振動の節部となる中央部
81 振動の節部となる中央部を通る直線
82 シャフトの中心軸
84 平板部
85 連結型駆動接触部
86、86m、86n 圧電体シート
87 圧電体シート層
88 弾性体シート
89 弾性体シート層
91 絶縁体シート
94 A+内部電極箔
94−1、95−1 端子
95 B−内部電極箔
96 A−内部電極箔
96−1、97−1 端子
97 B+内部電極箔
98 A+電極接続外部端子
99 A−電極接続外部端子
101 B+電極接続外部端子
102 B−電極接続外部端子
103 ピン部材取り付け孔
105 圧電体
106 振動子本体主要部
107 振動子本体部品
108 弾性体部
109 単板圧電体
111 1次の縦振動の静止位置
112 1次の縦振動の共振縦振動位置
113 2次の屈曲振動の静止位置
114 2次の屈曲振動の共振屈曲振動位置
115 ピン部材
116 付勢係合部材
116−1 V字形係合部
117 菱形線バネ
118 螺旋バネ
119 押し付勢部材
119−1 係合部
120 振動波リニアモータ
121−1、121−2 シャフト挿通孔
122 ハウジング
123−1、123−2 付勢係合部材
123−1−1、123−2−1 係合部
124−1、124−2 係止ピン孔
125−1、125−2 係止ピン孔
126−1、126−2 連結止めピン
127−1、127−2 付勢用ピン孔
128−1、128−2 付勢用係合ピン
129−1、129−2 螺旋バネ
131 ナット
132 駆動係合ピン
133 鏡枠本体
134 係合突設部
135 長孔
136 板バネ
136−1 本体部
136−2 係止部
136−3 付勢部
Claims (18)
- 圧電体部を含んで構成され所定の電圧を印加されることにより振動する少なくとも1つの駆動接触部を有する第1の振動子と、
圧電体部を含んで構成され所定の電圧を印加されることにより振動する複数の駆動接触部を有する第2の振動子と、
前記第1の振動子と前記第2の振動子とを双方の対向部に向けて相対的に付勢する付勢手段と、
該付勢手段により付勢された前記第1及び前記第2の振動子の駆動接触部に接触して前記第1及び第2の振動子に挟持されると共に、前記対向部の相対する方向に直交する長手方向に前記第1及び第2の振動子に対して移動自在に支持される被駆動体と、
を具備し、
前記第1又は第2の振動子の前記駆動接触部のうち少なくとも1つは楕円運動を行なって前記被駆動体を相対的に移動させる振動波リニアモータであり、
前記第2の振動子に設けられた複数の駆動接触部の間に、前記第1の振動子に設けられた少なくとも1個の駆動接触部が対向配置される、
ことを特徴とする振動波リニアモータ。 - 前記被駆動体は、直線形状の中空又はムクの棒状部材からなることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記被駆動体は、その移動方向の長さにおいて前記各振動子の長さよりも長いことを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記被駆動体は、その移動方向の長さにおいて前記第2の振動子の前記複数の駆動接触部の最大配置長よりも長く形成されていることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記被駆動体は、前記棒状部材の一端に駆動伝達係合部を備え、前記棒状部材の一方の端部から他方の端部まで同一の幅で形成されていることを特徴とする請求項2記載の振動波リニアモータ。
- 前記駆動接触部は、前記被駆動体との接触面が該被駆動体の移動方向を規制するように形状が設定されていることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記駆動接触部は、前記被駆動体の移動方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記被駆動体は、円柱形状に形成され、前記駆動接触部は、前記被駆動体との接触部がU字形又はV字形の断面を有することを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記第1及び第2の振動子の本体は、それぞれ直方体形状に形成され、前記複数の駆動接触部は、相互に連結された連結型駆動接触部として形成され且つ振動子本体とは別体の部材で構成されていることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記連結型駆動接触部は、少なくとも一方の端部が前記振動子本体の側面と一致するように形成されていることを特徴とする請求項9記載の振動波リニアモータ。
- 前記連結型駆動接触部は、複数の前記駆動接触部を連結するための平板部を有し、該平板部の大きさは、前記振動子の前記連結型駆動接触部を接着する1面に一致する大きさであることを特徴とする請求項9記載の振動波リニアモータ。
- 前記第1の振動子に設けられた複数の駆動接触部と、前記第2の振動子に設けられた複数の駆動接触部とは、前記振動子の中心から前記被駆動体の移動方向に沿って対称に配置されていることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記駆動接触部は、前記振動子の前記被駆動体との対向方向の振動が最も高くなる位置の近傍に固定されて配置されることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記付勢手段は、引っ張りバネ、圧縮バネ、板バネ等の付勢部材から成り、前記被駆動体の移動中に前記振動子に一定の付勢力を供給し続けるように構成されることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記付勢手段は、前記第1及び/又は前記第2の振動子の振動の節部となる中央部に設けられたピンに係合して、前記第1及び前記第2の振動子を前記被駆動体に圧接させることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記第1又は前記2の振動子は固定され、前記第2又は第1の振動子は前記付勢手段により前記被駆動体に向けて付勢されることを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 前記付勢手段は、前記第1及び前記第2の振動子間において前記被駆動体の外側に配置され、前記第1及び前記第2の振動子を前記被駆動体へ向けて付勢することを特徴とする請求項1記載の振動波リニアモータ。
- 請求項1乃至17に記載のいずれかの振動波リニアモータを、合焦用レンズの駆動源として搭載したことを特徴とするレンズ装置。
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