JP7406888B2

JP7406888B2 - 振動型モータ及び駆動装置

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Publication number: JP7406888B2
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Description

本発明は、振動子を振動させて推力を得る振動型モータ及び振動型モータを用いた駆動装置に関するものである。

デジタルカメラには、光学系を介して撮像面に結像する像のピントズレを補正する為に、ピントズレに応じて光学系の全部又は一部を移動することで合焦するレンズ駆動装置が搭載されている。近年、合焦動作の高速化や、高精度化、静粛化を目的として、超音波モータを駆動源とするレンズ駆動装置が注目されている。特に、被駆動体を直進方向に駆動することが可能なリニア型超音波モータは、制御性や駆動特性が優れており、レンズ駆動装置の駆動源として活用されている。

超音波モータの課題の一つに、振動や異音の発生が挙げられる。超音波モータは、摩擦部材と加圧接触している振動子を高周波で振動させることで推力を得るが、摩擦部材の形状によって決まる共振周波数と駆動周波数が近いと摩擦部材の振動が励起され、可聴域の異音が発生してしまう。

特許文献１では、摩擦部材の形状を変更することで摩擦部材の共振周波数を調整し、小型化したリニア型超音波モータ及び超音波モータを有する駆動装置が提案されている。

特開２０１８－６７９８３号公報

しかしながら特許文献１に記載された構成は、摩擦部材の共振周波数を調整することで共振周波数を避ける構成であるが振動を抑制する構成ではないので、摩擦部材の形状に制約があると摩擦部材の共振を避けるのが困難になる。また、モータのストロークが長くなると摩擦部材は振動しやすくなるため、共振を避ける設計自体の難易度が高くなるという課題がある。

本発明の目的は、上記課題を鑑みてなされたもので、長ストローク化しても異音の発生を抑制可能な振動型モータ及び振動型モータを用いた駆動装置を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明に係る振動型モータは、振動子と、摩擦部材と、前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、前記摩擦部材を保持する保持部材と、前記摩擦部材を前記保持部材に固定する固定手段と、を備え、前記振動子を振動させることで、前記振動子と前記摩擦部材とが相対移動する振動型モータであって、前記摩擦部材は、前記振動子と接触する領域を含む第１の領域と、前記保持部材に保持される領域を含む第２の領域とを有し、前記相対移動の方向における両端に前記第２の領域が配置されるとともに前記第２の領域の間に前記第１の領域が配置されていて、前記摩擦部材が前記固定手段によって固定される位置は、前記加圧手段の加圧方向から見て前記相対移動の方向と平行で前記第１の領域を通る直線上にあり、前記第１の領域の前記相対移動の方向及び前記加圧手段の加圧方向の両方と直交する方向における寸法は、前記第２の領域の前記直交する方向における寸法よりも小さいことを特徴とする。

本発明によれば、長ストローク化しても異音の発生を抑制可能な振動型モータ及び振動型モータを用いた駆動装置を提供することができる。

本発明の実施形態に係る撮像装置１００のブロック図である。本発明の実施形態に係る超音波モータ１０２を表す断面図である。本発明の実施形態に係る超音波モータ１０２に含まれる振動子１１３の動作を示す図である。本発明の実施形態に係る超音波モータ１０２に含まれる摩擦部材１１４の形状及び保持機構を表す図である。本発明の実施形態に係る超音波モータ１０２に含まれる補強部材１２２の形状を表す図である。本発明の実施形態に係る固定筒１２５の構成を表す図である。

以下では、図面を用いて本発明の実施形態に係る駆動装置である撮像装置１００について説明する。

図１は、撮像装置１００のブロック図である。撮像装置１００は、撮影光学系の一部であるレンズ１０１及びレンズ１０１を駆動する超音波モータ１０２を含む鏡筒１０３と、撮像素子１０４を有するカメラ本体１０５で構成されている。焦点検出手段１０６によって公知の位相差検出方式やコントラスト方式を用いて撮像素子１０４に結像される像の焦点状態が検出され、その焦点検出信号がＣＰＵなどで構成される制御手段１０８に入力される。また、ホール素子やフォトインタラプターなどを用いた位置検出手段１０７によってレンズ１０１の現在位置が検出され、その位置検出信号が制御手段１０８に入力される。制御手段１０８はそれらの信号をもとに、鏡筒１０３に設けられたレンズ側ＣＰＵなどで構成される駆動手段１０９に制御信号を出力し、超音波モータ１０２を駆動する。これにより、撮像装置１００は、超音波モータ１０２によってレンズ１０１を目標位置まで駆動し、ピントずれを補正することで良好な画像を撮影することができる。なお、撮像装置１００にはその他の構成要件も含まれていてもよい。

次に、本発明の実施形態に係る振動型モータである超音波モータ１０２の構成について図２、図３を用いて説明する。図２は、超音波モータ１０２の構造を表す断面図であり、（ａ）は超音波モータ１０２の進行方向Ｘ及び加圧方向Ｚの両方と直交する方向Ｙから見た断面図、（ｂ）は超音波モータ１０２の進行方向Ｘから見た断面図である。図３は、振動子１１３の動作を示す図である。

超音波モータ１０２は、振動子１１３、摩擦部材１１４、摩擦部材１１４を保持する第１の保持部材１１１、振動子１１３を保持する第２の保持部材１１２、案内部１１５、加圧部１１６、連結部１１７で構成される。

第１の保持部材１１１は、摩擦部材１１４及び第１の案内部材１１５ａを保持する部材であり、鏡筒１０３（図１）に固定される概略板形状の部材である。第１の保持部材１１１には締結穴１１１ａが設けられ、摩擦部材１１４を保持するようにビスなどの摩擦部材固定手段１１９により締結される。また、第１の保持部材１１１は、摩擦部材１１４と当接する当接部１１１ｂを備える。また、第１の保持部材１１１には、締結穴１１１ｃ（図５）が設けられ、第１の案内部材１１５ａを保持するように補強部材固定手段１２０（図５）で締結される。

第２の保持部材１１２は、第１の振動子保持部材１１２ａ、第２の振動子保持部材１１２ｂ、薄板１１２ｃで構成されている。第１の振動子保持部材１１２ａは突起１１２ａａを有し、振動子１１３の係合穴部１１３ａｂと係合することで振動子１１３を保持する。第２の振動子保持部材１１２ｂは、第２の案内部材１１５ｂ及び連結部材１１７を保持する。薄板１１２ｃは、加圧部１１６の加圧方向Ｚにおける剛性が進行方向Ｘ及び方向Ｙにおける剛性より低い弾性部材であり、第１の振動子保持部材１１２ａと第２の振動子保持部材１１２ｂとを連結する。このような振動子保持構造により、薄板１１２ｃが変形することで加圧方向Ｚにおける振動子１１３と摩擦部材１１４との位置ずれを吸収し、振動子１１３及び摩擦部材１１４の安定した当接状態を維持し高効率で推力を発生させることができる。

振動子１１３は、振動板１１３ａと振動板１１３ａに接着固定された圧電素子１１３ｂとで構成されている。図３に示すように、振動板１１３ａには、圧電素子１１３ｂが接着固定される矩形の平板部の裏面側に２つの突起１１３ａａが長手方向に並ぶように設けられている。また、振動板１１３ａには、第１の振動子保持部材１１２ａに固定するための係合部１１３ａｂが平板部から進行方向Ｘの前後に延びるように形成されている。また、圧電素子１１３ｂには不図示のフレキシブル基板が電気的に接続されており、フレキシブル基板から特定の振幅及び位相差を有する電圧が圧電素子１１３ｂに印加されると、振動子１１３が変形して突起１１３ａａの先端が楕円運動を行う。

摩擦部材１１４は、振動子１１３に接触する部材であり、摩擦部材固定手段１１９によって第１の保持部材１１１に締結される。振動子１１３に電圧が印加され突起１１３ａａが楕円運動すると、摩擦部材１１４との間に摩擦力が断続的に発生し、振動子１１３が摩擦部材１１４に対して相対移動する相対移動方向（進行方向）Ｘへの推力となる。この推力により第２の保持部材１１２が第１の保持部材１１１に対して相対的に移動することになる。

案内部１１５は、摩擦部材１１４に対する振動子１１３の相対移動を案内するものであって、案内部材１１５ｅ及び転動部材１１５ｆで構成される。さらに案内部材１１５ｅは、第１の案内部材１１５ａ及び第２の案内部材１１５ｂで構成され、転動部材１１５ｆは第１の転動部材１１５ｃ、第２の転動部材１１５ｄで構成される。第１の案内部材１１５ａは、締結穴１１５ａａを有し、補強部材固定手段１２０によって第１の保持部材１１１に締結されることで第１の保持部材１１１に保持され、摩擦部材１１４に対して相対移動しない。また、第１の案内部材１１５ａはＶ溝１１５ａｂを有し、第１の転動部材１１５ｃ及び第２の転動部材１１５ｄと当接する。第２の案内部材１１５ｂは、締結穴１１５ｂａを有し、ビス等の固定手段１２１によって第２の振動子保持部材１１２ｂに締結されることで第２の保持部材１１２に保持され、振動子１１３とともに相対的に移動する。また、第２の案内部材１１５ｂは加圧部１１６と係合する係合部１１５ｂｂを有し、加圧部１１６の加圧方向Ｚに付勢される。また、Ｖ溝１１５ｂｃ、１１５ｂｄを有し、それぞれが第１の転動部材１１５ｃ、第２の転動部材１１５ｄと当接する。第１の転動部材１１５ｃは、第１の案内部材１１５ａのＶ溝１１５ａｂと第２の案内部材１１５ｂのＶ溝１１５ｂｃに挟持され、第２の転動部材１１５ｄは、第１の案内部材１１５ａのＶ溝１１５ａｂと第２の案内部材１１５ｂのＶ溝１１５ｂｄに挟持される。この構成により、第１の案内部材１１５ａによって第１の転動部材１１５ｃ及び第２の転動部材１１５ｄの位置が、進行方向Ｘのみ移動できるように規制され、第２の案内部材１１５ｂも同様に進行方向Ｘのみ移動できるように規制される。また、転動部材１１５ｆが転動することで案内部材１１５ｅが低摩擦で相対的に移動することができる。以上の構成から、第１の案内部材１１５ａに対して第２の案内部材１１５ｂが進行方向Ｘに案内されるため、第１の保持部材１１１に対して第２の保持部材１１２が進行方向Ｘへ案内される。なお、上記の構成は振動子１１３が移動する構成の一例であり摩擦部材１１４が移動する構成であってもよい。また、上記の構成は振動子１１３及び摩擦部材１１４の安定した当接状態を維持する構成の一例であり、例えば、第１の振動子保持部材１１２ａと第２の振動子保持部材１１２ｂとを転動部材を介して連結する構成などでもよい。

加圧部１１６は、弾性部材１１６ａ、第１の伝達部材１１６ｂ、第２の伝達部材１１６ｃ、第３の伝達部材１１６ｄで構成され、振動子１１３と摩擦部材１１４とを加圧接触させる加圧力を発生させる加圧機構である。弾性部材１１６ａは、引っ張りバネであり、本実施形態では振動子１１３を囲む位置に４本配置される。なお、弾性部材１１６ａの数はこれに限定されない。弾性部材１１６ａの一方の端は第１の伝達部材１１６ａの保持部１１６ａａにかけられ、他方の端は第２の案内部材１１５ｂの係合部１１５ｂｂにかけられることで、第１の伝達部材１１６ｂと第２の案内部材１１５ｂを互いに近づけるように加圧する。第１の伝達部材１１６ｂは、弾性部材１１６ａを保持する保持部１１６ａａを有し、第２の伝達部材１１６ｃへ加圧力を伝達する。第２の伝達部材１１６ｃは、第１の伝達部材１１６ｂと当接する円弧形状の当接部１１６ｃａを有し、第１の伝達部材１１６ｂから伝達された加圧力を第３の伝達部材１１６ｄへ伝達する。当接部１１６ｃａと第１の伝達部材１１６ｂが当接することで、製造ばらつきによって第１の伝達部材１１６ｂと第２の伝達部材１１６ｃとが傾いている場合でも効率よく加圧力を伝達することができる。第３の伝達部材１１６ｄは振動を吸収しやすいフェルトなどの弾性部材であり、振動子１１３と第２の伝達部材１１６ｃとに挟まれるように配置され、振動子１１３の振動が他の部材に伝搬することを軽減する。Ｚ方向において、第１の伝達部材１１６ｂ、第２の伝達部材１１６ｃ、第３の伝達部材１１６ｄ、振動子１１３、摩擦部材１１４、第１の案内部材１１５ａ、第１の転動部材１１５ｃ及び第２の転動部材１１５ｄ、第２の案内部材１１５ｂが積層されている。このような構成により、弾性部材１１６ａの加圧力を各伝達部材を介して効率よく振動子１１３へ伝達し、振動子１１３と摩擦部材１１４とを加圧接触させている。なお、上記の構成は振動子１１３と摩擦部材１１４とを加圧接触させる構成の一例であり、弾性部材の位置や伝達部材の数など限定されない。

連結部１１７は、振動子１１３及び摩擦部材１１４の相対移動により発生した推力を後述するレンズ保持部材１１８に伝達するためのものであって、第２の振動子保持部材１１２ｂに固定された部材である。なお、連結部１１７は第２の振動子保持部材１１２ｂに一体的に形成されていてもよい。

摩擦部材固定手段１１９は、摩擦部材１１４を第１の保持部材１１１に締結するビス等の部材である。

以上の構成により、超音波モータ１０２は、印加される電圧によって振動子１１３と摩擦部材１１４の間で推力を発生させ、振動子１１３を保持する第２の保持部材１１２が第１の保持部材１１１に対して相対移動する。そして、発生した推力は伝達部１１７を介して被駆動部材であるレンズ保持部材１１８に伝達され、レンズ保持部材１１８を光軸方向（進行方向Ｘ）に移動させることができる。

次に、図４を用いて、摩擦部材１１４の形状及び保持構造について説明する。図４は、摩擦部材１１４の形状を表す図であり、（ａ）はＺ方向から見た図、（ｂ）はＹ方向から見た図、（ｃ）は摩擦部材１１４の図４（ｂ）におけるＡ－Ａ断面図である。また、（ｄ）はＺ方向から見た摩擦部材１１４及び第１の保持部材１１１の一部を拡大した図、（ｅ）はＺ方向から見た摩擦部材１１４の共振周波数調整のための形状を説明する図である。

摩擦部材１１４は、図４（ａ）に示すように、振動子１１３と接触する領域を含む第１の領域１１４ａと、摩擦部材固定手段１１９によって第１の保持部材１１１に固定される領域を含む第２の領域１１４ｂを備える。進行方向Ｘの両端に第２の領域１１４ｂは配置されていて、第１の領域１１４ａは第２の領域１１４ｂの間に配置されている。また、第１の領域１１４ａは、進行方向Ｘから見て摩擦部材固定手段１１９と重なって配置される。すなわち、摩擦部材１１４が摩擦部材固定手段１１９によって固定される位置は、第１の領域１１４ａと進行方向Ｘに並んでいる。

ここで、説明のため、振動子１１３と摩擦部材１１４との進行方向Ｘの寸法を長さ、加圧部１１６の加圧方向Ｚの寸法を厚み、進行方向Ｘ及び加圧方向Ｚの両方と直交する方向Ｙの寸法を幅と定義する。このとき、第１の領域１１４ａの幅ａは、第２の領域１１４ｂの幅ｂよりも小さい。また、摩擦部材１１４の厚みｃは、第２の領域１１４ｂの幅ｂよりも第１の領域１１４ａの幅ａに近い寸法関係にある。第１の領域１１４ａの幅が摩擦部材１１４の厚みに近い寸法関係になっていることで、第１の領域１１４ａの断面は正方形に近い形状となる。この形状により、摩擦部材１１４は相対移動方向Ｘに平行な軸を中心とするねじれ方向θの剛性が高い構成となる。また、第２の領域１１４ｂの幅ｂが第１の領域１１４ａの幅ａよりも大きいことで、摩擦部材固定手段１１９によって固定される幅が大きくなり、ねじれ方向θを含む各方向について摩擦部材１１４の剛性が高い構成となる。なお、第２の領域１１４ｂの幅よりも第１の領域１１４ａの幅が摩擦部材１１４の厚みに近い構成であれば、ねじれ方向θの剛性が高い構成となり、必ずしも第１の領域１１４ａの幅が摩擦部材１１４の厚みと等しくなくてもよい。

さらに、摩擦部材１１４は、図４（ｄ）に示すように、第１の保持部材１１１の当接部１１１ｂと当接して保持される。当接部１１１ｂは、摩擦部材１１４の厚み方向Ｚにて摩擦部材１１４と当接する部分であり、位置精度が良好な付き当て面である。ここで、当接部１１１ｂの幅ｄは、第２の領域１１４ｂの幅ｂよりも大きい。また、当接部１１１ｂは、進行方向Ｘについて、第１の領域１１４ａと摩擦部材固定手段１１９の間の位置に配置される。この当接部１１１ｂの形状および当接する位置により、摩擦部材１１４は進行方向Ｘに平行な軸を中心とするねじれ方向θの剛性がさらに高い構成となる。

さらに、摩擦部材１１４は、図４（ｅ）に示すように、調整部１１４ｃを有する。調整部１１４ｃは、摩擦部材１１４の第２の領域１１４ｂに含まれ、摩擦部材固定手段１１９よりも摩擦部材１１４の端側に配置される。調整部１１４ｃは摩擦部材１１４の長さを調整するための領域である。調整部１１４ｃの長さが変わると摩擦部材１１４の剛性が変化するため、調整部１１４ｃによって摩擦部材１１４が所定の剛性になるように調整をすることが可能になる。したがって、調整部１１４ｃの相対移動方向の長さを変更することで摩擦部材１１４の共振周波数を変更することができる。

以上の構成から、本実施例の超音波モータ１０２は、摩擦部材１１４の剛性、特にねじれ方向の剛性が高い構成となり、かつ剛性を調整することが可能な構成となる。なお、本実施形態では、第２の領域１１４ｂにおける第１の領域１１４ａから離れるほど幅が大きくなる変化部を連続的に幅が変化するテーパー形状としたが、段階的に幅が変化する形状などでもよい。

次に、図５を用いて、摩擦部材１１４を補強する補強部材１２２の形状について説明する。図５は、第１の保持部材１１１、摩擦部材１１４、補強部材１２２の関係を表す図であり、摩擦部材１１４及び摩擦部材固定手段１１９は外形を点線で表している。

補強部材１２２は、本実施形態では第１の案内部材１１５ａと同一の部材であり、摩擦部材１１４とともに第１の保持部材１１１に保持される。補強部材１２２は、図５に示すように、進行方向Ｘに長いＩ字形状をしていて、転動部材１１５ｆと当接する領域を含む第３の領域１２２ａと、補強部材固定手段１２０によって第１の保持部材１１１に固定される領域を含む第４の領域１２２ｂとを備える。進行方向Ｘにおいて第４の領域１２２ｂは２か所あって、第３の領域１２２ａは第４の領域１２２ｂの間に配置される。このとき、第３の領域１２２ａの幅ｅは、第４の領域１２２ｂの幅ｆよりも小さい。また、加圧方向Ｚにおいて、補強部材１２２の第３の領域１２２ａと摩擦部材１１４の第１の領域１１４ａとが少なくとも一部で重なるとともに、補強部材１２２の第４の領域１２２ｂと摩擦部材１１４の第２の領域１１４ｂとが少なくとも一部で重なっている。この形状により、補強部材１２２の剛性によって第１の保持部材１１１の剛性が高くなるため、第１の保持部材１１１に保持される摩擦部材１１４のねじれ方向θの剛性がさらに高い構成となる。

以上の構成から、本実施形態の超音波モータ１０２は、摩擦部材１１４の剛性、特にねじれ方向の剛性が高い構成となる。なお、本実施形態では第１の案内部材１１５ａと補強部材１２２を同一の部材としたが、別部材で構成してもよい。

次に、超音波モータ１０２でレンズ保持枠１１８を移動させる機構について図６を用いて説明する。図６は、超音波モータ１０２を実装した固定筒１２５を説明する図であり、（ａ）は固定筒１２５を正面から見た断面図、（ｂ）は固定筒１２５の側面から見た図であり、それぞれ各構成の位置関係を概念的に表している。

固定筒１２５は、筒形状であり、鏡筒１０３の内部にて、第１のレンズ案内部材１２３、第２のレンズ案内部材１２４、超音波モータ１０２を保持している。

レンズ保持部材１１８は、筒形状であり、中心に焦点調節用のレンズ１０１を保持している。レンズ保持部材１１８には、第１のレンズ案内部材１２３が貫くように、丸穴１１８ａが形成され、第２のレンズ案内部材１２４が当接するように、Ｕ溝１１８ｂが形成されている。また、レンズ保持部材１１８は、連結部材１１７を介して超音波モータ１０２と連結している。

第１のレンズ案内部材１２３は、メインガイドバーであり、丸穴１１８ａを介してレンズ保持部材１１８と当接する。第１のレンズ案内部材１２３により、レンズ保持部材１１８の進行方向Ｘに直交する方向の移動が規制される。

第２のレンズ案内部材１２４は、サブガイドバーであり、Ｕ溝１１８ｂを介してレンズ保持部材１１８と当接する。第２のレンズ案内部材１２４により、レンズ保持部材１１８の、第１のレンズ案内部材１２３周りの回転移動が規制される。第１のレンズ案内部材１２３及び第２のレンズ案内部材１２４により、レンズ保持部材１１８は進行方向Ｘへ平行移動するように案内され、固定筒１２５に対して相対移動する。

以上の構成によって、超音波モータ１０２によって発生する推力が連結部材１１７によってレンズ保持部材１１８に伝えられる。レンズ保持部材１１８は、第１のレンズ案内部材１２３及び第２のレンズ案内部材１２４によって進行方向Ｘ以外の方向への移動が規制されるため、レンズ１０１と一体となって進行方向Ｘに駆動される。したがって、振動子１１３及び摩擦部材１１４の発生した推力が連結部材１１７を介してレンズ１０１に伝達されて駆動することにより、焦点調節を行うことができる。

以上のように、上記の実施形態では、摩擦部材の形状を工夫することで摩擦部材のねじれ方向θの剛性を高くし、長ストローク化しても異音の発生を抑制することができる。なお、上記の実施形態では、本発明を適用した振動型モータを用いる駆動装置の一例として撮像装置を説明したが、その他の駆動装置にも本発明は適用できるし、本発明を適用した振動型モータの駆動対象である被駆動部材はレンズ保持部材に限定されない。例えば、撮像装置が備える撮像素子を被駆動部材とする構成であってもよいし、顕微鏡などのステージを被駆動部材とする構成であってもよい。

１００撮像装置
１０２超音波モータ
１１１第１の保持部材
１１２第２の保持部材
１１３振動子
１１４摩擦部材
１１９摩擦部材固定手段

Claims

振動子と、
摩擦部材と、
前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、
前記摩擦部材を保持する保持部材と、
前記摩擦部材を前記保持部材に固定する固定手段と、を備え、
前記振動子を振動させることで、前記振動子と前記摩擦部材とが相対移動する振動型モータであって、
前記摩擦部材は、前記振動子と接触する領域を含む第１の領域と、前記保持部材に保持される領域を含む第２の領域とを有し、前記相対移動の方向における両端に前記第２の領域が配置されるとともに前記第２の領域の間に前記第１の領域が配置されていて、
前記摩擦部材が前記固定手段によって固定される位置は、前記加圧手段の加圧方向から見て前記相対移動の方向と平行で前記第１の領域を通る直線上にあり、
前記第１の領域の前記相対移動の方向及び前記加圧手段の加圧方向の両方と直交する方向における寸法は、前記第２の領域の前記直交する方向における寸法よりも小さいことを特徴とする振動型モータ。
前記第１の領域の前記直交する方向における寸法は、前記第２の領域の前記直交する方向における寸法よりも、前記第１の領域の前記加圧手段の加圧方向における寸法に近いことを特徴とする請求項１に記載の振動型モータ。
前記保持部材は、前記摩擦部材と当接する当接部を有し、
前記当接部の前記直交する方向における寸法は、前記第２の領域の前記直交する方向における寸法よりも大きく、
前記当接部は、前記相対移動の方向において前記固定手段の位置よりも前記第１の領域に近い位置に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の振動型モータ。
前記摩擦部材は、前記相対移動の方向において前記摩擦部材が前記固定手段によって固定される位置よりも端側に、前記摩擦部材の共振周波数を調整するための調整部を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動型モータ。
前記保持部材を補強する補強部材を備え、
前記補強部材は、前記加圧方向において前記第１の領域と重なる第３の領域と、前記加圧方向において前記第２の領域と重なる第４の領域とを有し、
前記第３の領域の前記直交する方向における寸法は、前記第４の領域の前記直交する方向における寸法よりも小さく、
前記第４の領域の前記直交する方向における寸法は、前記第２の領域の前記直交する方向における寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動型モータ。
前記第２の領域は、前記相対移動の方向において前記第１の領域から離れるほど前記直交する方向における寸法が大きくなる変化部を有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動型モータ。
前記変化部は、前記直交する方向における寸法が連続的に変化していることを特徴とする請求項６に記載の振動型モータ。
前記変化部は、前記直交する方向における寸法が段階的に変化していることを特徴とする請求項６に記載の振動型モータ。
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動型モータと、
前記振動型モータによって移動する被駆動部材と、
を有することを特徴とする駆動装置。