JP2005287246A - 振動子および振動波モータ - Google Patents

Abstract

【課題】 振動子の共振周波数のばらつきを小さくし、かつ共振周波数を安定化させる振動子および振動波モータを提供する。
【解決手段】 第１の弾性体２とディスク状弾性体４との境界部にある各挟持面は、駆動に供する振動モードにより発生する歪みが大きい位置である変位拡大部に配置されており、これらの挟持面の間には、銅系材質からなる厚み３０μｍ程度の薄い金属板３が設けられている。薄い金属板３は、第１の弾性体２およびディスク状弾性体４の各加工面の隙間に入り込むことにより、挟持面の加工粗さを補正する。この挟持面では、歪みとともに発生する応力も大きいので、第１の弾性体２とディスク状弾性体４との剛性差が大きい場合、一方の部材が変形するおそれがあるが、この薄い金属板３が緩衝材となって、その変形を抑える。
【選択図】 図２

Description

本発明は、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、この棒状弾性体を励振させ、この棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子および振動波モータに関する。

従来、振動波モータとして、例えば超音波モータは、カメラレンズ駆動用として応用され、製品化されている。超音波モータには、円環型のものと棒状型のものとが存在する。図５はカメラレンズ駆動用として用いられる従来の棒状型振動波モータの構造を示す断面図である。図において、ａは第１の弾性体、ｂは第２の弾性体、ｃは積層圧電素子、ｄ１はシャフト、ｄ２はナットである。第１の弾性体ａ、積層圧電素子ｃおよび第２の弾性体ｂからなる３つの部品は、振動子を構成するものであり、シャフトｄ１およびナットｄ２によって所定の挟持力が付与されるように締め付けられる。

また、ｆは摩擦面、ｇはロータ、ｊは加圧バネ、ｈはギア、ｉはフランジである。ギアｈとロータｇとの間には、ロータｇに加圧力を付与するための加圧バネｊが設けられている。ロータｇは、加圧バネｊによって図中下方に付勢されており、その一端面は第１の弾性体ａの摩擦面ｆに接触する小さな接触幅ｐを有する。

また、ロータｇの他端面は、ロータｇと一緒に回転し、モータの出力を伝達するギアｈの凸部に係合するように形成された凹部を有する。尚、ギアｈが凹部に形成されている場合、ロータｇの他端面は、ギアｈの凹部に係合するような凸部に形成される。また、ギアｈの、シャフトｄ１のスラスト方向における位置は、振動波モータを取り付けるためのフランジｉによって固定されている。

また、積層圧電素子ｃには、２つにグループ化された電極群が設けられており、各電極群に、電源から位相の異なる交流電界が印加されると、棒状振動子には、直交する２つの曲げ振動が励振される。図６は図５の棒状型振動波モータにおける振動子部分の構造および振動子の径方向の変位を示す図である。同図（Ａ）は振動子の軸方向の各部を示し、同図（Ｂ）は振動子の軸方向の各部における径方向の変位を示す。２つの曲げ振動のうち、一方は、図中、曲線１０１ａで示されるように、紙面に平行な振動であり、他方は紙面に垂直な振動（図示せず）である。印加される交流電界の位相を調整することにより、２つの振動間に９０度の時間的な位相差を与えることができる。この結果、棒状振動子の曲げ振動は、振動子の軸周りに回転する。したがって、ロータｇが接触する第１の弾性体ａの上面には、円または楕円運動が形成され、耐摩耗性を有する摩擦面ｆに押圧されたロータｇが摩擦により駆動されるので、ロータｇ、ギアｈ、加圧バネｊが一体となって回転する。

このような構造を有する棒状型振動波モータは、リング型振動波モータに比べ、非常に小さく、しかも部品の加工コストを極力抑えるように単純な形状に設計されている（特許文献１参照）。

しかし、世の中のニーズとして、このような棒状型振動波モータを更に小さく、安価なものにしたいという要望があった。この要望に応えるために、モータの長さを短くしたり、比較的コストの高い圧電素子を小径・薄型化して、よりローコストを実現するモータの構造が提案されている（特許文献２参照）。図７は小型化された棒状型振動波モータの振動子部分の構造および振動子の径方向の変位を示す図である。同図（Ａ）は振動子の軸方向の各部を示し、同図（Ｂ）は振動子の軸方向の各部における径方向の変位を示す。この小型化された振動子は、ディスク状弾性体２００ｅおよび圧電素子２００ｃが第１の弾性体２００ａおよび第２の弾性体２００ｂによって挟持・固定された構造を有する。また、ディスク状弾性体２００ｅのフランジ状の突出部に駆動面が設けられており、この駆動面上の、第１の弾性体２００ａの外周部に、ロータ（図示せず）が配置される。

この振動子を組み立てる場合、その構造上、圧電素子２００ｃを挟持するディスク状弾性体２００ｅの上面と第２の弾性体２００ｂの下面との間に予圧を付与しておき、第１の弾性体２００ａに形成された雌ねじ部と第２の弾性体２００ｂに形成された雄ねじ部とを締め付けることが一般に行われる。
特開２００２−３５４８４９号公報 特開２００２−２９１２６３号公報

しかしながら、上記小型化された棒状型振動波モータでは、モータの小型化、ローコスト化に伴い、各部品のサイズが小さくなり、構成する部品点数も少ないので、それに伴い、各部品の寸法精度等が振動特性に大きな影響を与えていた。

また、小型化、ローコスト化を実現するための構造として、変位拡大部（駆動に供する振動モードにより発生する歪みが大きい位置）には、第１の弾性体２００ａおよびディスク状弾性体２００ｅの境界部２００ｆに位置する各挟持面が配置されているが、このため、各挟持面の密着度を左右する挟持面外形の加工精度および面粗度が振動特性に大きく関与するようになり、共振周波数ｆｒのばらつきが大きくなり、２つの振動の固有振動数の差であるΔｆｒの増加を招くという新たな問題が生じていた。

また、圧電素子に交流電界を印加し、振動を励起させると、挟持面を有する２つの弾性体（部材）のうち、一方の部材の挟持面外周のエッジ部分が変形し、共振周波数ｆｒが変化するという問題や、振動子の各部品の連結部分の緩みにより共振周波数ｆｒが変化するという問題も生じた。このように、振動子の小型化に伴い、共振周波数ｆｒを安定化させる必要があった。

実際、図５の従来の振動子では、挟持面の加工精度、挟持面外周のエッジ部分の変形、および各部品間の連結部分の緩みによる振動特性の低下が特に大きく見られなかったが、図７の小型化された構造の振動子では、その影響が顕著に現れた。これは、挟持面と変位拡大部との位置関係に依存していると判断される。変位拡大部（駆動に供する振動モードにより発生する歪みが大きい位置）に、挟持面が配置されている場合、前述した問題が顕著に発生するからである。

そこで、本発明は、第１および第２の弾性体の挟持面の密着度を良くすることができ、これによって振動子の共振周波数のばらつきを小さくするとともに、挟持面外周のエッジ部分の変形を抑えて共振周波数を安定化させることができる振動子および振動波モータを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の振動子は、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子であって、前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、該挟持面の外径より大きな外径を有する緩衝材が設けられたことを特徴とする。

また、本発明の振動子は、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子であって、前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、充填剤が塗布されたことを特徴とする。

また、本発明の振動子は、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子であって、前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、前記境界部に位置し、前記第２の弾性体に対向する前記第１の弾性体の挟持面には、ばね性が付与されたことを特徴とする。

また、本発明の振動波モータは、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子と、前記棒状弾性体に押圧され、摩擦駆動により回転する移動体とを有する振動波モータであって、前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、該挟持面の外径より大きな外径を有する緩衝材が設けられたことを特徴とする。

また、本発明の振動波モータは、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子と、前記棒状弾性体に押圧され、摩擦駆動により回転する移動体とを有する振動波モータであって、前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、充填剤が塗布されたことを特徴とする。

また、本発明の振動波モータは、電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子と、前記棒状弾性体に押圧され、摩擦駆動により回転する移動体とを有する振動波モータであって、前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、前記境界部に位置し、前記第２の弾性体に対向する前記第１の弾性体の挟持面には、ばね性が付与されたことを特徴とする。

本発明によれば、振動子の共振周波数のばらつきを小さくするとともに、挟持面外周のエッジ部分の変形を抑えて共振周波数を安定化させることができる。また、挟持面の凹凸の影響を緩和し、振動特性の低下を抑えることができる。また、振動子を構成する第１の弾性体と第２の弾性体との剛性差が大きい場合であっても、緩衝材によって、第１の弾性体の挟持面外周のエッジ部の変形を低減できる。

本発明の振動子および振動波モータの実施の形態について図面を参照しながら説明する。以下の各実施形態で示される振動子は、振動波モータとしての超音波モータに組み込まれるものである。

［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態における振動子が組み込まれた超音波モータの構造を示す断面図である。この超音波モータは、シャフト１の中心軸に対して直交する２つの曲げ振動を励振する振動子１０と、この振動子１０に押圧され、その摩擦駆動によりシャフト１の中心軸の周りに回転するロータ１５と、このロータ１５に嵌合され、ロータ１５の回転とともに回転するギア１２と、シャフト１のスラスト方向におけるギア１２の位置を規制する取り付け用フランジ１３と、シャフト１の一端部に形成された雄ねじ部と螺合し、締め付けることでロータ１５を振動子１０側に押圧するナット１９とから構成される。

また、ロータ１５は、振動子１０側に付勢するコイルばね１１と、コイルばね１１を収容し、ギア１２に対してラジアル方向に相対移動しないように、ギア１２に嵌合されたばねケース１８と、接着等によってばねケース１８の外周に結合され、ディスク状弾性体４に接触する接触用ばね２０とから構成される。また、フランジ１３には、シャフト１が貫通する凸部１３ａが形成されており、この凸部１３ａは、ギア１２の中心に形成された凹部１２ａに滑り軸受けで結合されているので、ギア１２はフランジ１３に対し、シャフト１の軸を中心に回転自在である。

図２は図１の超音波モータの振動子部分の構造を示す断面図である。振動子１０は、シャフト１と、このシャフト１が圧入される貫通孔を有する第１の弾性体２と、この第１弾性体２に押圧され、シャフト１が貫通される孔を有するディスク状弾性体４と、このディスク状弾性体４に当接し、シャフト１が貫通される孔を有する圧電素子５と、シャフト１の他端部に形成された雄ねじ部と螺合し、締め付けることで圧電素子５をディスク状弾性体４側に押圧する雌ねじ部が形成された第２の弾性体７とから主に構成される。また、第２の弾性体７と圧電素子５との境界部には、２つのグループに分けられた電極群を有する圧電素子５に給電を行うためのフレキシブル基板２１が設けられている。

また、第１の弾性体２とディスク状弾性体４との境界部に位置する各挟持面は、変位拡大部（駆動に供する振動モードにより発生する歪みが大きい位置）に配置されている。この境界部には、銅系材質からなる厚み３０μｍ程度の薄い金属板３が設けられている。図３は第１の弾性体２とディスク状弾性体４との間に金属板３が挟持された境界部近傍の構造を示す図である。薄い金属板３は、第１の弾性体２およびディスク状弾性体４の各加工面（挟持面）の隙間に入り込むことにより、挟持面の加工粗さを補正する役割を担っている。

また、この挟持面では、駆動に供する振動モードにより発生する歪みとともに発生する応力も大きいので、第１の弾性体２とディスク状弾性体４との剛性差が大きい場合、一方の部材が変形してしまうおそれがあるが、この薄い金属板３が緩衝材となり、第１の弾性体２の挟持面外周のエッジ部の変形を防止する役割を担っている。ここで、第１の弾性体２の材質としては、銅系材質あるいは鉄系材質が使用され、ディスク状弾性体４の材質としては、鉄系材質あるいはセラミック材質が使用される。尚、薄い金属板３の厚みは、３０μｍ程度に限定されるものではなく、第１の弾性体、ディスク状弾性体の材質、加工精度等の違いにより、適当な値に設定される。

上記構造を有する振動子が組み込まれた超音波モータでは、電源（図示せず）から圧電素子５の２つのグループからなる電極群（図示せず）に、π／２の位相差を有する交流電界が印加されると、振動子１０には、シャフト１の軸に対して互いに直交した方向に２つの曲げ振動が励振される。この曲げ振動の合成により、ロータ１５が接触用ばね２０を介して接触するディスク状弾性体４の上端面（表面）には、円または楕円運動が発生し、耐摩耗性を有するディスク状弾性体４に押圧されたロータ１５は、その摩擦駆動により回転運動を行うことになる。

このように、第１の実施形態の振動子によれば、薄い金属板３が第１の弾性体２およびディスク状弾性体４の各加工面（挟持面）の隙間に入り込むことにより、挟持面の加工粗さを補正するので、第１の弾性体２とディスク状弾性体４の各挟持面の密着度が向上し、挟持面外形の加工精度および面粗度によらなくなり、共振周波数ｆｒのばらつきを小さくすることができる。また、この各挟持面が位置する境界部では、駆動に供する振動モードにより発生する歪みとともに発生する応力も大きいので、第１の弾性体２とディスク状弾性体４との剛性差が大きい場合であっても、この薄い金属板３が緩衝板となり、変位拡大部に配置されている第１の弾性体の挟持面外周のエッジ部の変形を低減できる。これにより、共振周波数の安定化を図ることができる。また、挟持面の凹凸の影響を緩和し、振動特性の低下を抑えることができる。

尚、上記実施形態では、シャフト１と第１の弾性体２は圧入構造で一体化されているが、圧入構造に限らず、ねじ構造、テーパ構造、一体加工構造、キー構造などで一体化されてもよい。同様に、シャフト１と第２の弾性体７はねじ構造で一体化されているが、ねじ構造に限らず、圧入構造、テーパ構造、一体加工構造、キー構造などで一体化されてもよい。

［第２の実施形態］
第２の実施形態の振動子の構造は、第１の弾性体２とディスク状弾性体４との境界部近傍の構造を除けば、前記第１の実施形態と同じである。すなわち、第２の実施形態では、第１の弾性体２とディスク状弾性体４の各挟持面が位置する境界部には、薄い金属板３の代わりに、接着剤等の充填剤が塗布されている。この充填剤は、第１の弾性体２およびディスク状弾性体４のそれぞれ加工面（挟持面）の隙間に入り込むことにより、挟持面の加工粗さを補正する。

また、この境界部では、駆動に供する振動モードにより発生する歪みとともに発生する応力も大きいので、第１の弾性体２とディスク状弾性体４との剛性差が大きい場合であっても、一方の部材が変形してしまうことなく、充填剤によって第１の弾性体２の挟持面外周のエッジ部の変形が抑えられる。

本実施形態では、充填剤として、一般に使用されているエポキシ系、シアノアクリレート系などの接着剤を使用するが、振動子の振動特性を向上させるためには、振動の減衰が小さい材質、つまり硬化後の硬度が高い材質のものが適している。また、振動子を使う環境が高温である場合、あるいはこの振動子の発熱が大きい場合、温度特性の優れた接着剤を使用することが好ましいことは勿論である。

このように、第２の実施形態の振動子によれば、前記第１の実施形態と同様、第１の弾性体２およびディスク状弾性体４の密着度を向上させることができ、これによって共振周波数のばらつきを小さくし、共振周波数を安定化させることができる。すなわち、充填剤は、前述したように、第１の弾性体および第２の弾性体のそれぞれ加工面の隙間に入り込むことにより、挟持面の加工粗さを補正する。また、第１の弾性体と第２の弾性体との剛性差が大きい場合であっても、一方の部材が変形してしまうことなく、充填剤によって第１の弾性体の外周エッジ部の変形を抑えることができる。

［第３の実施形態］
第３の実施形態の振動子の構造は、第１の弾性体の挟持面の構造を除けば、前記第１の実施形態と同じである。前記第１の実施形態では、第１の弾性体２の挟持面は、シャフト１の太さに合わせて形成された孔を有する、一様に平坦な円環状の面となっているが、第３の実施形態では、第１の弾性体の挟持面における径（ラジアル）方向の幅を狭くし、その接触面を外周側の特定部分に限定させた形状とすることにより、第１の弾性体の挟持面にばね性を付与している。

図４は第３の実施形態における第１の弾性体の構造を示す図である。同図（Ａ）では、第１の弾性体１０２の挟持面に凹部を形成して段部１０２ａを設けることで、シャフト用の孔１０２ｂに比べて大きな径の穴１０２ｃが形成されている。したがって、外周側の挟持面１０２ｄ（接触面）は、径方向に狭い幅を有するものとなっている。同図（Ｂ）では、第１の弾性体２０２の挟持面側の外径部２０２ａは、中央部２０２ｂに比べて太く形成されている。したがって、同図（Ａ）と同様、第１の弾性体２０２の面に凹部を形成して段部２０２ｃを設けることで、シャフト用の孔２０２ｄに比べて大きな径の穴２０２ｅが形成されている。この結果、挟持面２０２ｆは、さらに径方向に広がった、狭い幅を有するものとなる。同図（Ｃ）では、同図（Ｂ）と同様、第１の弾性体３０２の挟持面側の外径部３０２ａは、中央部３０２ｂに比べて太く形成されている。また、第２の弾性体３０２の境界部側の面３０２ｃは、シャフト用の孔３０２ｄから外径に至るまでテーパ状に形成されている。これにより、第１の弾性体の挟持面にばね性が付与される。

このように、第３の実施形態の振動子によれば、第１の弾性体の挟持面にばね性を付与することで、ディスク状弾性体４との密着度が良くなり、前記第１の実施形態と同様、共振周波数のばらつきを小さくし、共振周波数を安定化させることができる。すなわち、小型化された棒状型の振動子は、従来の振動子に比べ、全長が１／２以下となっているので、ねじ等の緩みによる振動子の微小な全長の変化でも、周波数が大きく変化してしまうことになるが、第３の実施形態では、第１の弾性体の挟持面にばね性が付与されているので、振動子の微小な長さの変化に対し、その影響が最小限に収まるようになる。また、金属板や充填剤を不要とすることができる。

以上が本発明の実施形態の説明であるが、本発明は、これら実施形態の構成に限られるものではなく、特許請求の範囲で示した機能、または実施形態の構成が持つ機能が達成できる構成であればどのようなものであっても適用可能である。

第１の実施形態における振動子が組み込まれた超音波モータの構造を示す断面図である。 図１の超音波モータの振動子部分の構造を示す断面図である。 第１の弾性体２とディスク状弾性体４との間に金属板３が挟持された境界部近傍の構造を示す図である。 第３の実施形態における第１の弾性体の構造を示す図である。 カメラレンズ駆動用として用いられる従来の棒状型振動波モータの構造を示す断面図である。 図５の棒状型振動波モータにおける振動子部分の構造および振動子の径方向の変位を示す図である。 小型化された棒状型振動波モータの振動子部分の構造および振動子の径方向の変位を示す図である。

符号の説明

１ シャフト
２、１０２、２０２、３０２ 第１の弾性体
３ 金属板
４ ディスク状弾性体
５ 圧電素子
７ 第２の弾性体
１０ 振動子
１５ ロータ

Claims (12)

1. 電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子であって、
   前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、
   前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、該挟持面の外径より大きな外径を有する緩衝材が設けられたことを特徴とする振動子。
2. 前記境界部は、前記励振した棒状弾性体の曲げ振動により発生する歪みが他の部位に比べて大きい位置である変位拡大部にあることを特徴とする請求項１記載の振動子。
3. 前記緩衝材は、振動の減衰が小さい材質からなることを特徴とする請求項１記載の振動子。
4. 前記緩衝材は、銅系の材質からなる薄い金属板であることを特徴とする請求項３記載の振動子。
5. 電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子であって、
   前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、
   前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、充填剤が塗布されたことを特徴とする振動子。
6. 電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子であって、
   前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、
   前記境界部に位置し、前記第２の弾性体に対向する前記第１の弾性体の挟持面には、ばね性が付与されたことを特徴とする振動子。
7. 前記第１の弾性体の挟持面は、該第１の弾性体の外周に沿って幅の狭い円環状に形成されたことを特徴とする請求項６記載の振動子。
8. 前記第１の弾性体の前記挟持面側端部は、前記第１の弾性体の中央部より大きな外径を有することを特徴とする請求項７記載の振動子。
9. 前記第１の弾性体の挟持面は、テーパ状に形成されたことを特徴とする請求項６記載の振動子。
10. 電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子と、前記棒状弾性体に押圧され、摩擦駆動により回転する移動体とを有する振動波モータであって、
    前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、
    前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、該挟持面の外径より大きな外径を有する緩衝材が設けられたことを特徴とする振動波モータ。
11. 電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子と、前記棒状弾性体に押圧され、摩擦駆動により回転する移動体とを有する振動波モータであって、
    前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、
    前記境界部に位置する前記第１および第２の弾性体の挟持面の間には、充填剤が塗布されたことを特徴とする振動波モータ。
12. 電気機械エネルギ変換素子を軸方向に挟持する棒状弾性体を有し、前記棒状弾性体を励振させ、該棒状弾性体の表面に円または楕円運動を起こさせる振動子と、前記棒状弾性体に押圧され、摩擦駆動により回転する移動体とを有する振動波モータであって、
    前記棒状弾性体を構成する、第１の弾性体と、該第１の弾性体と当接し、表面に前記円または楕円運動が生じる第２の弾性体とによって境界部が形成され、
    前記境界部に位置し、前記第２の弾性体に対向する前記第１の弾性体の挟持面には、ばね性が付与されたことを特徴とする振動波モータ。

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