JP2002359985A - 振動体および振動波駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】圧電素子と弾性体との密着性を高めて、高効率
の振動体を提供する。 【解決手段】圧電素子２を一対の弾性部材１で挟持し、
一対の弾性部材１の内径部に中空ボルト６をねじ込むこ
とによりこれらを一体化した振動体において、弾性部材
１を摩擦駆動部１ａと、くびれ部１ｂと、挟持部１ｃと
により構成し、挟持部１ｃの有する軸方向の肉厚が、径
方向において外周側が薄く、且つ内周側を厚くするよう
にくびれ部１ｂを形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は振動波駆動装置およ
びその振動体に係り、特に棒状振動体に設けられた電気
−機械エネルギー変換素子に電気エネルギーを供給する
ことにより、前記棒状振動体の摩擦部に円又は楕円運動
を発生させ、該摩擦部に圧接した移動体を移動させる振
動波駆動装置の振動体を構成する弾性部材の形状に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、振動波モータ等の振動波駆動装
置は、駆動振動が形成される振動体を基本的構成として
有し、前記振動体と前記振動体に加圧接触する移動体と
を前記駆動振動により相対的に移動させるようにしたも
のである。

【０００３】そして、前記振動体は、一般に、弾性体
と、電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子と
により構成され、例えば空間的に互いに９０°の位相差
を持つ駆動相を有する圧電素子を配置し、この位相差を
持つ駆動相に互いに９０°の位相差を持つ２相の交番信
号を印加することによって弾性体上に駆動振動を発生さ
せ、これに前記移動体を圧接して摩擦力により移動体を
移動させるようにしている。

【０００４】なお、振動体と移動体との接触部には適切
な摩擦力を得るための摩擦材が接着、塗布、または形成
される。

【０００５】一方、振動波駆動装置の振動体としてリン
グ状のもの、棒状のもの等があり、棒状振動体を有する
振動波駆動装置としての振動波モータがいくつか知られ
ている。例えば、図６に示すように、特開平５−２１１
７８５号公報に開示されている振動波モータは、以下の
ように構成されている。

【０００６】振動体１０１は、複数の圧電素子１０８と
電極板１０９を挟持する１０１ａ〜１０１ｃの各部位か
ら構成される第１の弾性体と第２の弾性体１０１ｄとを
ボルト１１０により締結して構成されており、また第２
の弾性体１０１ｄとボルト１１０とを電気的に絶縁する
ために、絶縁シート１１１が介装されている。

【０００７】移動体（ロータ）１０２は、円環形状のロ
ータ本環１２０から下方にバネ性を有する構造の接触部
１２１が一体的に形成され、この接触部１２１が振動体
１０１の摺動部に当接する。

【０００８】１０６は加圧バネで、バネケース１０４を
介してロータ１０２に加圧力を付与する。１０３は外周
部に歯車部が形成されたギアで、ベアリング１０７によ
り支承されると共に、バネケース１０４と係合し、ロー
タ１０２と共に回転する。１０５はボルト１１０の先端
部に軸方向にのみ移動可能に取付けられたフランジで、
ベアリング７を固定しており、ギア１０３と共に軸方向
上方へ移動すると、ギア１０３とバネケース１０４との
係合を解除することができる。

【０００９】そして、第１の弾性体には、圧電素子によ
って励振される駆動振動の振動変位を拡大するためのく
びれ部１０１ｂが形成されている。

【００１０】又、他の例として、特開平６−３２７２７
０公報に開示されているモータは図７のように構成され
ている。

【００１１】２０３は振動体の中心軸部をなす金属性の
ピン部材で、軸となるピン本体２０３ａの一端部には駆
動用等の、例えばＰＺＴで構成される電気−機械エネル
ギー変換素子としての圧電素子板２０８ａ〜２０８ｅを
挟持するためのフランジ部２０３ｂが一体的に形成さ
れ、またピン本体２０３ａにはネジ部２０３ｃ，２０３
ｄが形成されている。

【００１２】圧電素子板２０８ａ〜２０８ｅは中空円形
状に形成され、互いに同位相に配置される圧電素子２０
８ａと２０８ｂは駆動用のＡ相圧電素子をなし、同様に
配置される圧電素子２０８ｃと２０８ｄはＢ相圧電素子
をなし、圧電素子板２０８ｅはセンサ用として用いら
れ、その歪に応じた起電圧を検出信号として発生する。
Ａ相圧電素子とＢ相圧電素子とは互いに９０°の位相差
を有している。また、各圧電素子２０８ａ〜２０８ｅは
中心線を挟んで厚み方向に（＋）（−）に分極されてい
る。

【００１３】２０２はピン部材２０３のネジ部２０３ｃ
に螺合する第１の振動弾性体で、ピン部材のフランジ部
２０３ｂとの間に不図示の電極板を介装して積層配置さ
れた圧電素子２０８ａ〜２０８ｅを挟持固定する。

【００１４】２０１はピン部材２０３のネジ部２０３ｄ
に螺合する先端質量部材である第２の振動弾性体で、内
周上端部にのみ該ネジ部２０３ｄに螺合するネジ部２０
１ａが形成され、該ネジ部２０１ａの下部には円周状の
溝部２０１ｂが形成され、この溝部２０１ｂとピン部材
２０３の外周面との間に空間部分２０９ｂが形成され
る。

【００１５】第２の振動弾性体２０１と第１の振動弾性
体２０２とは、図７に示す所定位置に固定された状態に
おいて、振動弾性体の径方向にピン部材２０３が露出す
る隙間２０９ａが形成され、第２の振動弾性体２０１の
独立性が維持されている。

【００１６】第２の振動弾性体２０１は、ピン部材２０
３に対して一部分のみで支持されているため、振動体の
見掛け上の軸方向における長さを短くしても、空間部分
２０９ｂの軸方向の長さ部分だけ共振周波数に影響を与
える振動体の長さが長くなる。このため、振動体の寸法
を小さくしても、固有振動数を低くすることができるこ
とになる。

【００１７】なお、２０４は支持ピンで、ピン部材２０
３に駆動振動の節位置で圧入されている。

【００１８】ここで、Ａ相、Ｂ相圧電素子に位相の差を
有する駆動信号が不図示の駆動回路より印加されると、
振動体には空間的位相差を持った振動が生じ、かつ時間
的にも所定の位相差をもった振動が生じるので、これら
の振動が合成されることにより弾性体の表面には移動体
を移動させる駆動振動が励振される。なお、この原理に
ついては公知であるのでその詳細は省略する。そして、
第２の振動弾性体２０１とピン部材２０３の間に円筒系
の空間部分２０９ｂが存在する為、全体のスラスト方向
の長さを伸す事なく、駆動に利用するモードの共振周波
数を著しく低くする事が出来るものである。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】棒状振動波モータの様
に、電気−機械エネルギー変換素子を弾性部材の間に挟
持固定する方式の振動体を用いるものでは、電気−機械
エネルギー変換素子の変位は微小なので、該挟持部分と
の密着が確実でないと、変位が弾性部材に伝達されず、
効率の低いモータになってしまう。この現象は特に前記
変位が大きい程顕著になる。

【００２０】棒状振動波モータの小型化を図るために振
動体の全長を短くするには、前記挟持部分の肉厚を薄く
せざるをえないのだが、棒状振動体では、弾性部材の中
心付近をボルト等で引っ張り、電気−機械エネルギー変
換素子に圧接させようとしているので、前記挟持部分が
薄いと、挟持面の中心付近だけが強く電気−機械エネル
ギー変換素子に密着することになり、外周部は密着が不
確実になる。

【００２１】以上の現象は、ねじれと縦の振動を合成し
て摩擦部に円又は楕円運動を生じる振動体でも起こる
が、特に複数の曲げ振動を合成する振動体では、曲げ変
形の凸側でなおさら挟持面の外周付近での密着が不確実
になりやすい。

【００２２】そこで、振動体の全長を短くしつつも電気
−機械エネルギー変換素子と弾性体との密着性を高め
て、高効率の振動体を得ることが第１の課題である。

【００２３】ところで、この種のモータで出力の限界を
決めている要素は、モータの発熱である。なぜなら、温
度が高くなると電気−機械エネルギー変換素子が非可逆
性劣化を生じ、その後モータ性能が低下してしまうから
である。

【００２４】又、発熱はモータのその他の構成部品やモ
ータの周辺にある電気部品や樹脂性部品などへも悪影響
を及ぼす。そのためモータの温度は、ある値より常に低
くなっていなければならない。発生する熱量はモータ出
力以外の無駄になったエネルギーの大きさに依存してい
る。モータ形状に大きな差異もないので、放熱しやすさ
も同等と考えられる。よって、単位時間当り無駄になる
エネルギーが小さい程良い。つまり、効率の高いモータ
が望ましい。

【００２５】この種の振動波モータの効率を低下させて
いる原因は、主に摩擦摺動損失と振動体の内部損失であ
る。

【００２６】上記した第１の課題に対策を施して振動体
の内部損失を低減させた後はモータの全損失のうち摩擦
摺動損失の割合が大きくなる。そのため、摩擦摺動損失
を低減する手段を講じると振動波モータ全体の効率は著
しく高くなる。

【００２７】ここで、振動体の振動数（＝共振周波数）
が高くて１回当りの振動変位が小さいよりも、振動数は
低くても１回当りの振動変位を大きくした方が全体の効
率は高くなる。なぜなら、この振動変位は通常数ミクロ
ンと小さく、一方のその振動変位を摩擦力でロータに伝
達する摩擦摺動面の平面度もその変位に比べて無視出来
る程小さくはないからである。

【００２８】この平面度を著しく向上させることは実用
的な加工の上で困難なので、振動数が低くても振動変位
を大きくして平面のゆがみの悪影響が生じないようにし
た方がモータ効率上有利である。

【００２９】つまり、モータの小型化を図るために振動
体の全長を短くした場合であっても、振動変位が大きく
なるように振動体の共振周波数を低く抑えることが第２
の課題である。

【００３０】このように、本出願に係る発明の目的は、
上記した課題を解決し、振動波モータ等の振動波駆動装
置の小型化を図ることにある。具体的には棒状振動体の
全長を短くすることを目的とするものである。

【００３１】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を達成するために、前記振巾拡大部材としての弾性部材
の形状に次の様な特徴がある。

【００３２】まず、第１の課題に応えるために、弾性部
材のうち挟持部の部材の厚さにおいて、外周部より内周
部の方が軸方向における厚さにおいて厚くしており、こ
れにより、弾性部材の中心付近の肉厚が厚くなるので、
ネジ部材としてのボルトで挟持しても中心付近に加わる
応力が低減して、電気−機械エネルギー変換素子への圧
接力は、その中心部付近が特に大きくなることもない。

【００３３】すなわち、挟持部の外周部での密着が保た
れる。また、弾性部材にネジ山を設ける構造であれば、
ネジのかみ合いを長く出来るため、挟持力も大きくし
て、より確実な密着にすることが出来る。

【００３４】ところで、通常くびれ部の内径にはネジ部
を設けない。なぜなら、くびれ部の変形は大きく、そこ
にネジのかみ合い部を設けると、おネジとめネジの摩擦
により損失が大きくなるからである。そのため、従来は
振巾拡大部材としての弾性部材が短いと、前記ネジのか
み合いは長く出来なかった。

【００３５】さらに第２の課題に応えるために、弾性部
材の摩擦駆動部の部材の厚さにおいて、内周側より外周
側の方が軸方向における厚さが厚くしている。これによ
り、摩擦駆動部の部材は外周ほどその軸心方向の厚さが
厚いので、該部材の質量を大きく出来る上、慣性質量
（一定質量の場合、曲げやねじりの中心軸から離れたと
ころに質量が存在していた方が大きい）も大きいので、
振動体の共振周波数を低下させることが出来る。

【００３６】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１は第１
の実施の形態の振動体を用いた棒状振動波モータ全体の
断面図である。図２は図１の振動体を示している。

【００３７】本実施の形態の棒状振動波モータは、棒状
の振動体の両端部を夫々駆動部として２つのロータ５を
駆動するタイプのものである。

【００３８】振動体は、振動拡大部材である一対の中空
に形成された弾性体１の間に電気−機械エネルギー変換
素子である例えば積層型の圧電素子２が配置され、該圧
電素子２の一端側に電力を供給するためのフレキシブル
プリント基板１２が配置され、また反対側に振動体をケ
ースに支持させる支持部材３を配置している。

【００３９】一対の弾性体１は、振動変位を拡大するた
めのくびれ部１ｂを有しており、このくびれ部を挟んで
駆動部側を摩擦部1ａ、圧電素子側を挟持部１ｃとす
る。

【００４０】そして、両方の弾性体１の内径部に中空ボ
ルト６をねじ込み、圧電素子２,支持部材３,フレキシブ
ルプリント基板１２を図のように挟み込んで両側から一
対の弾性体１で挟持固定し、振動体を構成している。な
お、摩擦部１ａから挟持部１ｃまでは一体的に形成され
ているので、挟持部１ｃの内径に中空ボルトが配置され
れば足り、摩擦部１ａにまで中空ボルトが係る必要はな
い。

【００４１】中空ボルト６の内径部には軸受け６ａが圧
入されており、貫通する出力軸１０に対して棒状振動体
の位置決めをしている。棒状振動体の駆動部をなす両端
面にはリング状の摩擦部材４がエポキシ接着材にて外径
部に接合されている。

【００４２】摩擦部材４の材料には、炭化チタンや窒化
チタンが含有されているアルミナセラミックを用いてい
るが、これに代えて熱処理によりマルテンサイト相を祈
出させ、硬化させたステンレス鋼を用いても良い。又、
該摩擦部材４と弾性体１との固定はエポキシ接着材の代
わりにろう付けをすると、耐熱性が向上する。

【００４３】しかし、熱膨張率の差が大きすぎると、高
温又は低温時に、前記接合部がはく離するおそれがあ
る。

【００４４】そこで、前記摩擦材料にアルミナ系セラミ
ックを用いた時は、マルテンサイト系ステンレス鋼やフ
ェライト系ステンレス鋼を振巾拡大部材である弾性体１
の材料として使えば、前記セラミックとの熱膨張係数差
が小さくて望ましい。

【００４５】又、前記リング状摩擦部材４の材料として
マルテンサイト系ステンレス鋼や祈出硬化型ステンレス
鋼を用いる場合、摩擦部１ａ、くびれ部１ｂ及び挟持部
１ｃを含めて振動拡大部材全体を前記ステンレス鋼で作
製することが望ましい。この場合、前記した接合部が不
要なため信頼性向上とコスト低減が計れる。さらにネジ
部の強度向上でネジ長の短い振巾拡大部材が可能にな
る。

【００４６】上記した構成の振動体において、前記圧電
素子２に加えた交流電圧により、該振動体は曲げ振動が
励振され両端部に首ふり運動を生じる。該首振り運動に
より、両端部の摩擦部材の表面には円又は楕円運動を発
生する。

【００４７】一方、ロータ５にはプレス加工により作製
されたステンレス鋼製段付きパイプ状摩擦部材５ａが、
接着材、ろう付けあるいは溶接により接合されている。

【００４８】段付きパイプ状摩擦部材５ａの端面は内径
部に配置した加圧バネ１１により、前記セラミック製摩
擦部材４の表面に圧接されている。前記ロータ５の回転
力は、ロータ５と係合してロータ５と一体に回転する回
り止め部材７を介して出力軸１０に伝えられる。

【００４９】前記加圧バネ１１による反力は軸方向両側
に配置した２つのＥ型止めリング８で受けている。該Ｅ
型止めリング８と出力軸１０及び回り止め部材７は接着
材にて接合されているため、ロータ５の回転力は確実に
出力軸１０に伝達される。出力軸１０はケースの軸方向
両端部にそれぞれ設けた軸受け９に支持されている。

【００５０】前記ケースは、ケース部１３，１４に分離
されていて、振動全体を支持する支持部材３をはさみ込
んで固定している。

【００５１】本実施の形態において、振巾拡大部材であ
る弾性体１は、機能上３つの部分にわけられる。すなわ
ち、上述のように、摩擦部１ａ、くびれ部１ｂ及び挟持
部１ｃである。くびれ部１ｂは上述したように摩擦部1
ａの振動変位を拡大する効果があり、くびれ部１ｂの形
状、直径を調整することで、所望の振動変位が得られ
る。

【００５２】本実施の形態において、弾性体１の内径の
ネジ部はくびれ部の内径部分には設けていない。これ
は、くびれ部１ｂが弾性体１のうちで変形が最も大きい
所なので、ネジ山がくびれ部１ｂの内径にかかると、お
ネジとめネジの接合面で摩擦熱を生じ、電気一機械エネ
ルギー変換効率の低い振動体になってしまうからであ
る。

【００５３】又、くびれ部１ｂの形状を空間部が略三角
形の断面形状に形成しているため、切削加工でくびれ部
１ｂを形成するのも容易である。くびれ部１ｂによって
出来る前記空間部が余り狭いと切削バイトの破損が発生
しやすいので、本実施の形態では狭持部１ｃは三角錐の
形状としている。勿論、三角錐の斜面部は指数関数をは
じめ多次元曲線の形状をしたものに代えてもよい。

【００５４】この狭持部１ｃを軸方向の厚さで考える
と、外周部が薄く、内径部に向かうに従って軸方向にお
ける厚さが滑らかに厚くなっている。つまり、挟持部１
ｃの端面外径端における軸方向の厚さが最も薄く、内径
端部の軸方向の厚さが厚くなっている。内径部が厚いた
め、中空ボルト６により狭持しても、狭持部１ｃの内径
側が弾性変形又は塑性変形で圧電素子側に引き込まれる
ことも少なく、圧電素子２への圧接力が内径側で大きく
なることもない。

【００５５】すなわち、弾性体１がその挟持部１ｃにお
ける外周側での密着力が不確実になって、圧電素子２の
微小変位が振巾拡大部材としての弾性体１の全体に伝達
されにくくなることもない。

【００５６】更に、狭持部１ｃの内径側の軸方向におけ
る厚みが厚いので、前述した様にくびれ部１ｂの内径に
ネジ山を設けないという条件でも、ネジ長さを長くとれ
る。よって、狭持力そのものを大きく出来るため、圧電
素子２と振巾拡大部材としての弾性体１の密着が確実に
なる。

【００５７】（第２の実施の形態）図３は第２の実施の
形態を示す。

【００５８】第１の実施の形態と比較すると、振巾拡大
部材としての弾性体１の摩擦部１ａの外形を大きくして
いる。摩擦部１ａを大きくしたことで、発生トルクが大
きくなる。高価な圧電素子２は小径なので、振動体全体
の製造コストを低く抑えることができる。

【００５９】又、振動体の全長を長くせずに、共振周波
数は下げられるので、前述した様に摩擦摺動損失を低減
出来、モータの効率が向上する。

【００６０】（第３の実施の形態）図４は第３の実施の
形態を示す。

【００６１】本実施の形態が第２の実施の形態と異なる
点は、摩擦部１ａの形状である。図でわかる様に、狭持
部１ｃの軸心方向の厚さにおいて、外周部分が薄く、内
周側で厚くなっているので、摩擦部１ａにおいては反対
に、その軸心方向の厚さにおいて、外周部が厚く、内周
側が薄い形状に出来る。

【００６２】又、くびれ部１ｂも切削可能な形状のまま
とすることが出来る。以上の様に、摩擦部１ａの外周部
で質量が集中しているので、振動体の共振周波数は容易
に下げられる。また、挟持部１ｃの内径部の端部側に逃
げ部（ネジ山の存在しない部分）１５を設けることで、
狭持部１ｃの内径側が特に強く圧接するのをさけてい
る。

【００６３】（第４の実施の形態）図５は第４の実施の
形態を示す。

【００６４】本実施の形態において、狭持部１ｃと摩擦
部１ａは別部材になっており、摩擦部１ａの内径にネジ
山を設けて、狭持部１ｃを圧電素子２と同時に狭持固定
している。前記狭持部１ｃと摩擦部１ａを別部材にする
ことで、くびれ部１ｂによって出来る空間部１ｄは切削
不可能な程狭い空間に出来る。

【００６５】摩擦部１ａの振動変位は通常数ミクロン程
度なので、振動体が振動することによっても、前記空間
部がせばめられて、前記摩擦部と狭持部が互いに接触す
る危険はほとんどない。振動体の全長を短くするために
は、前記空間部は製作可能であれば狭い程望ましい。

【００６６】なお、上記した各実施の形態は、いずれも
振動体の軸方向両側に駆動振動を形成するようにしてい
るが、従来例のように振動体の片側のみに駆動振動を形
成するタイプのものであっても良い。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
気−機械エネルギー変換素子を１又は複数の弾性部材の
間にはさみ、ボルト等のネジ部材により狭持固定し、外
部より交流電圧である高周波電力を入力することで、摩
擦部に円又は楕円運動を発生する振動体の弾性部材のう
ち挟持部の部材の厚さにおいて、外周部より内周部の方
が軸方向における厚さにおいて厚くしたので、弾性部材
の中心付近の肉厚が厚くなり、ネジ部材としてのボルト
で挟持しても中心付近に加わる応力が低減して、電気−
機械エネルギー変換素子への圧接力は、その中心部付近
が特に大きくなることもない。

【００６８】すなわち、挟持部の外周部での密着が保た
れる。また、弾性部材にネジ山を設ける構造であれば、
ネジのかみ合いを長く出来るため、挟持力も大きくし
て、より確実な密着にすることが出来る。

【００６９】また、くびれ部の内径にはネジ部を設けな
い。なぜなら、くびれ部の変形は大きく、そこにネジの
かみ合い部を設けると、おネジとめネジの摩擦により損
失が大きくなるからである。そのため、従来は振巾拡大
部材としての弾性部材が短いと、前記ネジのかみ合いは
長く出来なかった。

【００７０】さらに、弾性部材の摩擦駆動部の部材の厚
さにおいて、内周側より外周側の方が軸方向における厚
さが厚くしているので、摩擦駆動部の部材は外周ほどそ
の軸心方向の厚さが厚くなり、該部材の質量を大きく出
来る上、慣性質量（一定質量の場合、曲げやねじりの中
心軸から離れたところに質量が存在していた方が大き
い）も大きいので、振動体の共振周波数を低下させるこ
とが出来る。

【００７１】したがって、前記振巾拡大部材としての弾
性部材の形状を前述した様にすることで、全長の短い振
動体が可能になる。その結果、同じ出力で小型の振動波
モータ等の振動波駆動装置を提供することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す振動波モータ
の断面図

【図２】図１の振動体の断面図

【図３】本発明の第２の実施の形態を示す振動体の断面
図

【図４】本発明の第３の実施の形態を示す振動体の断面
図

【図５】本発明の第４の実施の形態を示す振動体の断面
図

【図６】従来の棒状振動波モータの断面図

【図７】従来の他の棒状振動波モータの断面図

【符号の説明】

１…弾性体（振巾拡大部材） １ａ…摩擦部 １ｂ…くびれ部 １ｃ・・・狭持部 ２・・・圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子） ３・・・支持部材 ４・・・リング状摩擦部材 ５・・・ロータ ５ａ・・・パイプ状摩擦部材 ６・・・中空ボルト ６ａ・・・軸受け ７・・・回り止め ８・・・Ｅ型止めリング ９・・・ケース側軸受 １０・・・出力軸 １１・・・加圧バネ １２・・・フレキシブルプリント基板 １３、１４・・・ケース １５・・・逃げ部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H680 AA06 BB04 BB15 CC02 CC05 DD02 DD23 DD36 DD53 DD55 DD65 DD66 DD73 DD87 DD88 GG02

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 貫通孔を有する電気−機械エネルギー変
   換素子と、一端を前記電気−機械エネルギー変換素子を
   挟持するための挟持部とし、他端を摩擦駆動部とし、前
   記挟持部と前記摩擦駆動部の間にくびれ部を形成し、貫
   通孔を有する弾性体と、前記電気−機械エネルギー変換
   素子と前記弾性体との貫通孔を貫通して前記電気−機械
   エネルギー変換素子と前記弾性体とを挟持固定する固定
   手段と、を有し、前記電気−機械エネルギー変換素子へ
   交流電圧が印加されることにより前記弾性体の摩擦駆動
   部に振動を形成する振動体において、 前記貫通孔の貫通方向における前記挟持部の厚みが、前
   記固定部材を中心として外周側が薄く、内周側が厚いこ
   とを特徴とする振動体。
2. 【請求項２】 前記くびれ部は前記固定部材を中心とし
   て弾性体の外周部に形成されていることを特徴とする請
   求項１に記載の振動体。
3. 【請求項３】 前記固定部材は前記挟持部の内径に位置
   し、前記摩擦駆動部の内径には位置していないことを特
   徴とする請求項１または２に記載の振動体。
4. 【請求項４】 前記くびれ部は前記摩擦駆動部側で深
   く、前記挟持部側で浅いことを特徴とする請求項１から
   ３の何れかに記載の振動体。
5. 【請求項５】 前記くびれ部は前記摩擦駆動部側から前
   記挟持部側にかけて連続的に浅くなることを特徴とする
   請求項４に記載の振動体。
6. 【請求項６】 前記挟持部の貫通方向における前記挟持
   部の厚みは、前記くびれ部により、前記固定部材を中心
   として外周側が薄く、内周側を厚く形成されることを特
   徴とする請求項１から５の何れかに記載の振動体。
7. 【請求項７】 前記弾性体は前記電気−機械エネルギー
   変換素子を挟んで両側に配置されていることを特徴とす
   る請求項１から６の何れかに記載の振動体。
8. 【請求項８】 前記固定手段は、前記一対の弾性部材の
   内径部にネジ結合されるネジ部材であることを特徴とす
   る請求項７に記載の振動体。
9. 【請求項９】 前記ネジ部材は、前記弾性部材の挟持部
   の領域でネジ結合されていることを特徴とする請求項８
   に記載の振動体。
10. 【請求項１０】 前記挟持部と摩擦駆動部とは別部材で
    構成され、前記挟持部と前記摩擦駆動部との間に前記く
    びれ部を形成したことを特徴とする請求項１から９の何
    れかに記載の振動体。
11. 【請求項１１】 前記貫通孔の貫通方向における前記摩
    擦駆動部の厚みが、前記固定部材を中心として外周側が
    厚く、内周側が薄いことを特徴とする請求項１から９の
    何れかに記載の振動体。
12. 【請求項１２】 前記貫通孔の貫通方向における前記摩
    擦駆動部の厚みは、前記くびれ部により、前記固定部材
    を中心として外周側が厚く、内周側を薄く形成されるこ
    とを特徴とする請求項１１に記載の振動体。
13. 【請求項１３】 請求項１から１２の何れかに記載の振
    動体と、前記振動体の摩擦駆動部に加圧接触する移動体
    とを有し、前記振動体に励起される駆動振動により、前
    記振動体と前記移動体とを相対的に移動させることを特
    徴とする振動波駆動装置。