JP2009065763A - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波モータは、複数の電極を持つ圧電素子1に駆動信号を印加して振動子3,4に振動を励起させ、該振動子3,4に接触するロータ13,15を相対的に移動させる。振動子3の圧電素子1が当接する面には、振動検知用の圧電膜20が直接成膜されている。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の第1の実施形態である超音波モータを説明するための軸方向に沿う断面図である。
次に、図7および図8を参照して、本発明の第2の実施形態である超音波モータについて説明する。
2 フレキシブルプリント基板
3 振動子
4 振動子
11 回転軸
13 ロータ
14 ツバ
15 ロータ
18 ツバ
Claims (7)
- 複数の電極を持つ電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加して振動体に振動を励起させ、該振動体に接触する移動体を移動させる超音波モータにおいて、
前記振動体の前記電気−機械エネルギ変換素子が当接する面に、振動検知用の圧電膜が直接成膜される、ことを特徴とする超音波モータ。 - 前記圧電膜は、エアロゾル化した圧電体の原材料の微粉末を前記振動体に噴射することにより該振動体に直接成膜される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記圧電膜は、圧電体の原材料を含む印刷液を前記振動体に塗布することにより該振動体に直接成膜される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記圧電膜は、圧電体の原材料を前記振動体に蒸着することにより該振動体に直接成膜される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記電気−機械エネルギ変換素子への駆動信号を接続するための接点と、該接点とは異なる面に配置され、前記圧電膜から出力される信号を接続するための接点と、を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記電気−機械エネルギ変換素子への駆動信号を接続するための接点と、前記圧電膜から出力される信号を接続するための接点と、が同一のフレキシブルプリント基板に配置される、ことを特徴とする請求項5に記載の超音波モータ。
- 前記フレキシブルプリント基板は、ベースシートと基板電極との間に接着剤層が設けられていない、請求項1〜6のいずれか一項に記載の超音波モータ。
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