JP2009065763A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 複数の電極を持つ電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を加えて振動体に振動を生じさせ、該振動体に接触する移動体を移動させる超音波モータにおいて、
   前記振動体の前記電気−機械エネルギ変換素子が当接する面に、直接成膜された振動検知用の圧電膜を有することを特徴とする超音波モータ。
2. 前記圧電膜は、エアロゾル化した圧電体の原材料の微粉末を前記振動体に噴射することにより該振動体に直接成膜されたものである、ことを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
3. 前記圧電膜は、圧電体の原材料を含む印刷液を前記振動体に塗布することにより該振動体に直接成膜されたものである、ことを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
4. 前記圧電膜は、圧電体の原材料を前記振動体に蒸着することにより該振動体に直接成膜されたものである、ことを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
5. 前記電気−機械エネルギ変換素子への駆動信号を接続するための接点と、該接点とは異なる面に配置され、前記圧電膜から出力される信号を接続するための接点と、を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の超音波モータ。
6. 前記電気−機械エネルギ変換素子への駆動信号を接続するための接点と、前記圧電膜から出力される信号を接続するための接点と、が同一のフレキシブルプリント基板に配置される、ことを特徴とする請求項５に記載の超音波モータ。
7. 前記フレキシブルプリント基板は、ベースシートと基板電極との間に接着剤層が設けられずに構成されている、ことを特徴とする請求項６に記載の超音波モータ。