JP2011205064A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー - Google Patents
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- 圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、
（１１０）面に優先配向していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記電極は（１１１）面に配向している白金膜を含み、前記圧電体層はこの白金膜上に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載する液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、自然配向した膜であることを特徴とする請求項１または２に記載する液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、ＳｉＯ２をさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、前記ペロブスカイト型化合物に対して０．５モル％以上５モル％以下のＳｉＯ２を含むことを特徴とする請求項４に記載する液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜５のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子であって、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、
（１１０）面に優先配向していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項７に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波センサー。
- 請求項７に記載の圧電素子を具備することを特徴とする赤外センサー。
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