JP2011222883A5 - - Google Patents
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- 薄膜法により形成された圧電体層および前記圧電体層に電圧を印加する電極を含む圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧電体層は、チタン酸ビスマスナトリウムと、銅とを含み、
前記チタン酸ビスマスナトリウム１００モル％に対する前記銅の含有量が、０．２モル％以上８．０モル％以下であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項１において、
前記圧電体層は、前記チタン酸ビスマスナトリウム１００モル％に対する前記銅の含有量が、０．２モル％以上４．０モル％以下であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 薄膜法により形成された圧電体層および前記圧電体層に電圧を印加する電極を含む圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧電体層は、チタン酸ビスマスナトリウム及びチタン酸バリウムを含む混晶系のペロブスカイト型酸化物と、銅とを含み、
前記混晶系のペロブスカイト型酸化物１００モル％に対する前記銅の含有量が、０．２モル％以上８．０モル％以下であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項３において、
前記混晶系のペロブスカイト型酸化物は、前記チタン酸ビスマスナトリウム１００モル％未満８５モル％以上と、前記チタン酸バリウム０モル％超１５モル％以下と、を含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項３において、
前記混晶系のペロブスカイト型酸化物は、さらにチタン酸ビスマスカリウムを含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項５において、
前記混晶系のペロブスカイト型酸化物は、前記チタン酸ビスマスナトリウム１００モル
％未満６７モル％以上と、前記チタン酸ビスマスカリウム０モル％超３０モル％以下と、前記チタン酸バリウム０モル％超３モル％以下と、を含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた、液体噴射装置。
- 薄膜法により形成された圧電体層および前記圧電体層に電圧を印加する電極を含む圧電素子であって、
前記圧電体層は、チタン酸ビスマスナトリウムと、銅とを含み、
前記チタン酸ビスマスナトリウム１００モル％に対する前記銅の含有量が、０．２モル％以上８．０モル％以下であることを特徴とする圧電素子。 - 薄膜法により形成された圧電体層および前記圧電体層に電圧を印加する電極を含む圧電素子であって、
前記圧電体層は、チタン酸ビスマスナトリウム及びチタン酸バリウムを含む混晶系のペロブスカイト型酸化物と、銅と、を含み、
前記混晶系のペロブスカイト型酸化物１００モル％に対する前記銅の含有量が、０．２モル％以上８．０モル％以下であることを特徴とする圧電素子。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010092906A JP5585767B2 (ja) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電素子 |
| US13/080,010 US8651626B2 (en) | 2010-04-14 | 2011-04-05 | Piezoelectric device liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, ultrasonic device sensor, and timing device |
| CN201110092551.1A CN102233731B (zh) | 2010-04-14 | 2011-04-08 | 液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010092906A JP5585767B2 (ja) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電素子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014116526A Division JP5843081B2 (ja) | 2014-06-05 | 2014-06-05 | 圧電素子、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011222883A JP2011222883A (ja) | 2011-11-04 |
| JP2011222883A5 true JP2011222883A5 (ja) | 2013-09-19 |
| JP5585767B2 JP5585767B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=44787914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010092906A Expired - Fee Related JP5585767B2 (ja) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電素子 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8651626B2 (ja) |
| JP (1) | JP5585767B2 (ja) |
| CN (1) | CN102233731B (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150126A (ja) * | 2008-11-18 | 2010-07-08 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪セラミックス組成物、圧電／電歪セラミックスの焼結体、圧電／電歪素子、圧電／電歪セラミックス組成物の製造方法及び圧電／電歪素子の製造方法 |
| CN103273386B (zh) * | 2013-05-22 | 2016-05-18 | 广东工业大学 | 一种电泳辅助微细超声加工机床及加工方法 |
| JP5761540B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2015-08-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波センサー、圧電モーター及び発電装置 |
| JP5754660B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2015-07-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波センサー、圧電モーター及び発電装置 |
| JP2015038953A (ja) | 2013-06-28 | 2015-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波センサー、圧電モーター及び発電装置 |
| JP6398771B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-10-03 | Tdk株式会社 | 圧電組成物および圧電素子 |
| EP3240055B1 (en) | 2014-12-26 | 2021-06-23 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric material and method for producing same, piezoelectric element, and device using piezoelectric element |
| JP6146599B2 (ja) * | 2016-07-26 | 2017-06-14 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス及びセンサー |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN85100513B (zh) * | 1985-04-01 | 1987-08-19 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 钛酸铋钠钡系超声用压电陶瓷材料 |
| JP4748291B2 (ja) * | 2001-01-10 | 2011-08-17 | Ｔｄｋ株式会社 | 積層体変位素子 |
| WO2004068605A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element |
| JP2005015295A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明導電膜付きガラス板 |
| JP3994163B2 (ja) | 2003-09-26 | 2007-10-17 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | Ｎｂｔ強誘電体薄膜の製造方法 |
| CN1290796C (zh) * | 2003-11-07 | 2006-12-20 | 四川大学 | 一种钛酸铋钠基无铅压电陶瓷 |
| JP2007031219A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Toyota Motor Corp | チタン酸ビスマスナトリウム−ジルコニウムチタン酸バリウム系無鉛圧電セラミック及びその製造方法 |
| JP5127268B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2013-01-23 | キヤノン株式会社 | 圧電体、圧電体素子、圧電体素子を用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
| JP4973931B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-07-11 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電磁器組成物 |
| US7786656B2 (en) * | 2007-04-26 | 2010-08-31 | Fujifilm Corporation | Piezoelectric body, piezoelectric device, and liquid discharge apparatus |
| CN100465131C (zh) * | 2007-05-28 | 2009-03-04 | 北京科技大学 | 一种铌酸钠钾锂基无铅压电陶瓷及其制备方法 |
| WO2009119322A1 (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-01 | Tdk株式会社 | 圧電磁器及び圧電磁器組成物 |
| JP5394765B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2014-01-22 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物膜、強誘電体、圧電素子、液体吐出装置 |
| JP5345868B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物膜、強誘電体、圧電素子、液体吐出装置 |
-
2010
- 2010-04-14 JP JP2010092906A patent/JP5585767B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-04-05 US US13/080,010 patent/US8651626B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-04-08 CN CN201110092551.1A patent/CN102233731B/zh not_active Expired - Fee Related
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