JP2011211139A5 - - Google Patents
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Description
また、前記マンガン酸ビスマスは、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して０．２５ｍｏｌ％以上１ｍｏｌ％以下含まれることが好ましい。これによれば、より耐久性に優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドとなる。
また、前記ジルコン酸カルシウムは、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して１ｍｏｌ％以上４ｍｏｌ％以下含まれることが好ましい。これによれば、より耐久性に優れ、誘電率が高く且つ温度安定性に優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドとなる。
また、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｎｂ及びＴａを含むペロブスカイト型酸化物、マンガン酸ビスマス、必要に応じて含有させるジルコン酸カルシウムの割合も特に限定されず、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｎｂ及びＴａを含むペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して、マンガン酸ビスマスやジルコン酸カルシウムは微量添加でよい。例えば、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｎｂ及びＴａを含むペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して、マンガン酸ビスマスは０．２５ｍｏｌ％以上１ｍｏｌ％以下とすればよい。また、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｎｂ及びＴａを含むペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して、ジルコン酸カルシウムは１ｍｏｌ％以上４ｍｏｌ％以下とすればよい。このような組成比の圧電材料は、例えば、下記式（１）で表される。勿論、ＣａＺｒＯ３を含有しない場合は、下記式（１）において、ｎは零である。
(Kx,Nay,Li1-x-y)(Nbz,Ta1-z)O3-m[BiMnO3]-n[CaZrO3] (1)
(0.420≦x≦0.480、0.475≦y≦0.520、0.80≦z≦0.85、0.0025≦m≦0.01、0.01≦n≦0.04)
(Kx,Nay,Li1-x-y)(Nbz,Ta1-z)O3-m[BiMnO3]-n[CaZrO3] (1)
(0.420≦x≦0.480、0.475≦y≦0.520、0.80≦z≦0.85、0.0025≦m≦0.01、0.01≦n≦0.04)
Claims (7)
- 液滴を噴射するノズル開口に連通した圧力発生室と、
圧電体層および前記圧電体層に電圧を印加する電極を有する圧電素子と、を具備し、
前記圧電体層は、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物及びマンガン酸ビスマスを含む固溶体からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記マンガン酸ビスマスは、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して０．２５ｍｏｌ％以上１ｍｏｌ％以下含まれることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、ジルコン酸カルシウムをさらに含むことを特徴とする請求項１または２に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記ジルコン酸カルシウムは、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物１００ｍｏｌ％に対して１ｍｏｌ％以上４ｍｏｌ％以下含まれることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
- 圧電体層および前記圧電体層に電圧を印加する電極を有し、前記圧電体層は、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物及びマンガン酸ビスマスを含む固溶体からなることを特徴とする圧電素子。
- 前記圧電体層は、ジルコン酸カルシウムをさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の圧電素子。
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