JP2007088444A5

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Publication number: JP2007088444A5
Application number: JP2006227071A
Authority: JP
Filing date: 2006-08-23
Publication date: 2009-09-03
Anticipated expiration: 2026-08-23

Claims

単結晶または１軸配向結晶の圧電体であって、
前記圧電体が、一般式ABO₃で記述され、Aサイトの主成分がPbであり、Bサイトの主成分がMg、Zn、Sc、In、Yb、Ni、Nb、Ti、及びTaの中から選ばれる少なくとも３種類の元素を含むペロブスカイト型酸化物を有し、
前記圧電体の、２５℃、１ｋＨｚにおける比誘電率をε_RT、並びに２００℃以下、１ｋＨｚにおける比誘電率の最大値をε_MAX、及び該比誘電率の最大値を示す温度をｔ_MAXとしたとき、
１０＞（ε_MAX−ε_RT）/(t_MAX−２５)＞０.１
を満たすことを特徴とする圧電体。
前記圧電体の膜厚が１μｍ以上１０μｍ以下である請求項１に記載の圧電体。
前記圧電体のキュリー温度をTｃ_thin、前記圧電体とPb以外の金属原子数比が同じバルク状圧電体のキュリー温度をTｃ_bulk、としたとき、
Tｃ_thin＞Tｃ_bulk+５０
を満たすことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電体。
単結晶または１軸配向結晶の圧電体であって、
前記圧電体が、一般式ABO₃で記述され、Aサイトの主成分がPbであり、Bサイトの主成分がMg、Zn、Sc、In、Yb、Ni、Nb、Ti、及びTaの中から選ばれる少なくとも３種類の元素を含むペロブスカイト型酸化物を有し、
前記圧電体の膜厚が１μｍ以上１０μｍ以下であり、
前記圧電体のキュリー温度をTｃ_thin、前記圧電体とPb以外の金属原子数比が同じバルク状圧電体のキュリー温度をTｃ_bulk、としたとき、
Tｃ_thin＞Tｃ_bulk+５０
を満たすことを特徴とする圧電体。
前記圧電体の、２５℃、１ｋＨｚにおける比誘電率をε_RTとしたとき、
ε_RT＜１２００
を満たすことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(Mg_m,Nb_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.1<m<0.3, 0.3<n<0.5, 0.2<o<0.4, 0≦p<0.3を満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi, 及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Sc, In, Yb, Ni, Ta, Co, W, Fe, Sn, 及びZnのいずれかの元素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(Zn_m,Nb_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.2<m<0.4, 0.5<n<0.7, 0.05<o<0.2, 0≦p<0.3を満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi, 及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Sc, Yb, Ta, Mg, Ni, Co, W, Fe, Sn, 及びInのいずれかの元素を含むこと特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(Ni_m,Nb_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.1<m<0.3, 0.3<n<0.5, 0.3<o<0.5, 0≦p<0.3を満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi, 及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Sc, In, Yb, Mg, Ta, Co, W, Fe, Sn, 及びZnのいずれかの元素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(Sc_m,Nb_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.1<m<0.4, 0.1<n<0.4, 0.3<o<0.5, 0≦p<0.3を満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi, 及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Ta, In, Yb, Mg, Ni, Co, W, Fe, Sn, 及びZnのいずれかの元素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(Sc_m,Ta_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.1<m<0.4, 0.1<n<0.4, 0.3<o<0.5, 0≦p<0.3を全て満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi, 及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Nb, In, Yb, Mg, Ni, Co, W, Fe, Sn, 及びZnのいずれかの元素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(Yb_m,Nb_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.1<m<0.4, 0.1<n<0.4, 0.4<o<0.6, 0≦p<0.3を満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi,及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Sc, In, Ta, Mg, Ni, Co, W, Fe, Sn, 及びZnのいずれかの元素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
前記一般式ABO ₃ で記述されるペロブスカイト型酸化物が（Pb_k,α_l）_x(In_m,Nb_n,Ti_o,β_p)_yO₃で表すことができ、1≦x/y<1.5, k+l=1, 0.7≦k≦1, 0≦l≦0.3, m+n+o+p=1, 0.2<m<0.4, 0.2<n<0.4, 0.2<o<0.5, 0≦p<0.3を満たし、且つαがLa, Ca, Ba, Sr, Bi,及びSbのいずれかの元素を含み、βがPb, Sc, Yb, Ta, Mg, Ni, Co, W, Fe, Sn, 及びZnのいずれかの元素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電体。
請求項１ないし１２のいずれかに記載の圧電体と、該圧電体に接する一対の電極と、を有することを特徴とする圧電体素子。
吐出口に連通する個別液室と、該個別液室に対応して設けられた圧電体素子を有し、前記個別液室内の液体を前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドであって、前記圧電体素子として請求項１３に記載の圧電体素子を用いることを特徴とする液体吐出ヘッド。
請求項１４に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。