JP2012164894A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー - Google Patents

Claims (8)

1. ノズル開口に連通する圧力発生室と、
   第１電極、前記第１電極上に設けられた圧電体層および前記圧電体層上に設けられた第２電極を備えた圧電素子と、を具備し、
   前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムを含む混晶として表される複合酸化物からなり、
   前記圧電体層は、第１の圧電体層と、前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方と前記第１の圧電体層との間に設けられ前記第１の圧電体層よりも前記チタン酸バリウムの含有量が１０モル％以上多い第２の圧電体層と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第２の圧電体層は、前記第１電極と前記第１の圧電体層との間、及び、前記第２電極と前記第１の圧電体層との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載する液体噴射ヘッド。
3. 前記第２の圧電体層の厚さは、１００ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載する液体噴射ヘッド。
4. 前記第１の圧電体層は下記式（１）で表される混晶からなる複合酸化物であり、前記第２の圧電体層は下記式（２）で表される混晶からなる複合酸化物であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッド。
   （１−ｘ）［Ｂｉ（Ｆｅ_１−ａ，Ｍｎ_ａ）Ｏ_３］−ｘ［ＢａＴｉＯ_３］ （１）
   （０＜ｘ＜０．４０、０．０１＜ａ＜０．１０）
   （１−ｙ）［Ｂｉ（Ｆｅ_１−ｂ，Ｍｎ_ｂ）Ｏ_３］−ｙ［ＢａＴｉＯ_３］ （２）
   （ｘ＋０．１０≦ｙ＜１、０．０１＜ｂ＜０．１０）
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
6. 第１電極と、前記第１電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第２電極とを備え、
   前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムを含む混晶として表される複合酸化物からなり、
   前記圧電体層は、第１の圧電体層と、前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方と前記第１の圧電体層との間に設けられ前記第１の圧電体層よりもチタン酸バリウムの含有量が１０モル％以上多い第２の圧電体層と、を有することを特徴とする圧電素子。
7. 請求項６に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波デバイス。
8. 請求項６に記載の圧電素子を具備することを特徴とするＩＲセンサー。