JP2012148954A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 下記一般式（１）：
   ｘＢａＴｉＯ_３−ｙＢｉＦｅＯ_３−ｚＢｉ（Ｍ_０．５Ｔｉ_０．５）Ｏ_３ （１）
   （式中、ＭはＭｇおよびＮｉから選択される少なくとも１種の元素であり、ｘは０．２５≦ｘ≦０．７５、ｙは０．１５≦ｙ≦０．７０、ｚは０．０５≦ｚ≦０．６０の範囲の数値を表わす。但し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。）
   で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなることを特徴とする圧電材料。
2. 前記一般式（１）において、ｘは０．２５≦ｘ≦０．５５、ｙは０．２０≦ｙ≦０．７０、ｚは０．０５≦ｚ≦０．２５の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の圧電材料。
3. 下記一般式（２）：
   ｘＢａＴｉＯ_３−ｙＢｉＦｅＯ_３−ｚＢｉ（Ｍ_０．５Ｔｉ_０．５）Ｏ_３ （２）
   （式中、ＭはＭｇおよびＮｉから選択される少なくとも１種の元素であり、ｘは０．１０≦ｘ＜０．２５、ｙは０．１５≦ｙ≦０．３０、ｚは０．４５≦ｚ≦０．７５の範囲の数値を表わす。但し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。）
   で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなることを特徴とする圧電材料。
4. 前記圧電材料に０．０５質量％以上３．０質量％以下のＭｎおよびＣｕから選択される少なくとも一種の元素を含有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電材料。
5. 前記圧電材料がセラミックスであり、前記セラミックスを構成する結晶粒の平均円相当径が５００ｎｍ以上５μｍ以下であり、前記結晶粒の最大円相当径が５μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電材料。
6. 前記圧電材料がセラミックスであり、前記セラミックスを構成する結晶粒が拡散相転移構造を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電材料。
7. 下記一般式（３）：
   ｌＢａＴｉＯ_３−ｍＢｉＦｅＯ_３−ｎＢｉ（Ｍ_０．５Ｔｉ_０．５）Ｏ_３ （３）
   （式中、ＭはＭｇおよびＮｉから選択される少なくとも１種の元素であり、ｌは０＜ｌ＜１、ｍは０＜ｍ＜１、ｎは０＜ｎ＜１の範囲の数値を表わす。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ＝１である。）
   で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなる圧電材料であって、前記圧電材料がセラミックスであり、前記セラミックスを構成する結晶粒が拡散相転移構造を有することを特徴とする圧電材料。
8. 第一の電極、圧電材料および第二の電極を少なくとも有する圧電素子であって、前記圧電材料が請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電材料であることを特徴とする圧電素子。
9. 請求項８に記載の圧電素子を配した振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口とを少なくとも有する液体吐出ヘッド。
10. 請求項８に記載の圧電素子を配した振動体と、前記振動体と接触する移動体とを少なくとも有する超音波モータ。
11. 請求項８に記載の圧電素子を振動板に配した振動体を有する塵埃除去装置。
12. 請求項８に記載の圧電素子を配したデバイス。