JP2007287918A5 - - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 13
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 2
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- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 claims 1
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- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Claims (12)
- 下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、膜厚が３００ｎｍから１００μｍであるニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層は、組成式（ＫａＮａ１−ａ）ｘＮｂＯ３で表され、前記組成式において、０．１＜ａ＜１であり、１≦ｘ≦１．２である、請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、前記組成式において、１≦ｘ≦１．１である、請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体の膜厚は、３００ｎｍから３．０μｍである、請求項１乃至３何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体は、擬立方晶（１００）に優先配向している、請求項１乃至４何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体は、斜方晶構造の構造を有する、請求項１乃至５何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記下部電極は、白金族の金属または導電性複合酸化物からなる、請求項１乃至６何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記下部電極は、白金族の金属と導電性複合酸化物とが積層されている、請求項１乃至６何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記下部電極は、ＮｂドープＳｒＴｉＯ ３ からなる基板の上方に形成されている、請求項１乃至８何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記下部電極と前記圧電体層との間に、ペロブスカイト型酸化物からなる配向制御層を有する、請求項１乃至９何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記配向制御層は、ランタン酸ニッケルからなる、請求項１０に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、前記圧電体層と同じ組成を有するテンプレート層上に形成されている、請求項１乃至１１何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
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