JP2008078407A5 - - Google Patents
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Claims (7)
- 基板の一方面側に設けられた下電極と、前記下電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた上電極と、を有する圧電素子を備え、
前記下電極は、貴金属からなる電極材料を含有し、前記貴金属からなる電極材料と前記電極材料よりも密度が低くヤング率が高い密度弾性調整材料との合金からなる密度弾性調整層を有することを特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記電極材料がＰｔであり、
前記密度弾性調整材料は、ＴｉＯＸ（０．１≦ｘ≦２）、ＺｒＯＸ（０．１≦Ｘ≦２）、ＡｌＮ、ＡｌＸＯＹ（０．１≦Ｘ≦２、０．１≦Ｙ≦３）及びＴｉＮから選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。 - 前記密度弾性調整層中のＰｔは、前記密度弾性調整層の厚さ方向に成長した最大結晶粒径１００ｎｍ以下の柱状結晶であり、一部の前記柱状結晶の高さは前記密度弾性調整層の厚みと等しく、残りの前記柱状結晶の高さは前記密度弾性調整層の厚みより低く且つ前記密度弾性調整層の前記基板側に位置することを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ装置。
- 前記密度弾性調整材料がＴｉＯＸ（０．１≦ｘ≦２）であり、
前記密度弾性調整層中のＴｉＯＸの断面存在比率は、前記基板側で１〜１０％、前記圧電体層側で５０〜７０％であることを特徴とする請求項２又は３に記載のアクチュエータ装置。 - 前記電極材料がＲｕ又はＩｒであり、前記密度弾性調整材料がＴｉＮであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
- 請求項１〜５の何れか一項に記載のアクチュエータ装置を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項６に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする画像記録装置。
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