JP2007287740A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- 下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、下記一般式(1)で表される圧電材料からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電素子を備えた、インクジェット式記録ヘッド。
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Ni2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1)
但し、0<x<1であり、0<y<1である。 - 請求項1において、
0<x≦0.20であり、0<y≦0.30である、インクジェット式記録ヘッド。 - 下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、Bi、La、Fe、NiおよびNbを構成金属として含む圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電素子を備え、
前記圧電体層のペロブスカイト型構造のAサイトにおけるLaの組成xが0<x≦0.20であり、
前記圧電体層のペロブスカイト型構造のBサイトにおけるNiおよびNbの組成yが0<y≦0.30である、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記圧電体層の膜厚は200nm〜1.5μmである、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、擬立方晶の表示で(100)に配向している、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、擬立方晶の表示で(110)に配向している、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、ロンボヘドラル構造を有する、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、モノクリニック構造を有する、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドを備える、インクジェットプリンタ。
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