JP5041121B2 - インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ - Google Patents
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Description
下記一般式(1)で表される。
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Mg2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1)
0<x≦0.20であり、0<y≦0.30であることができる。
擬立方晶の表示で(100)に配向していることができる。
擬立方晶の表示で(110)に配向していることができる。
分極方向は、擬立方晶の表示で[111]方向であることができる。
基体と、
前記基体の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、
前記圧電体層は、下記一般式(1)で表される圧電材料からなる。
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Mg2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1)
前記基体の上方であって、前記下部電極の下方に形成された弾性層を有することができる。
基体と、
前記基体の上方に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第1電極と、
前記圧電体層の上方に形成され、前記第1電極と離間している第2電極と、を含み、
前記圧電体層は、下記一般式(1)で表される圧電材料からなる。
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Mg2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1)
0<x≦0.20であり、0<y≦0.30であることができる。
前記圧電材料は、擬立方晶の表示で(100)に配向していることができる。
前記圧電材料は、擬立方晶の表示で(110)に配向していることができる。
前記圧電材料の分極方向は、擬立方晶の表示で[111]方向であることができる。
前記圧電材料は、ロンボヘドラル構造を有することができる。
前記圧電材料は、モノクリニック構造を有することができる。
(Bi,La)(Fe,(Mg2/3Nb1/3))O3 ・・・(1)
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Mg2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1’)
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Mg2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1’)
におけるxを、0.10に固定して、yを、0.05から、0.05ずつ、0.35まで変化させたもの、および、yを、0.20に固定して、xを、0.05から、0.05ずつ、0.30まで変化させたものを用いた。
Claims (9)
- 下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、下記一般式(1)で表される圧電材料からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電素子を備えた、インクジェット式記録ヘッド。
(Bi1−xLax)(Fe1−y(Mg2/3Nb1/3)y)O3 ・・・(1)
但し、0<x<1であり、0<y<1である。 - 請求項1において、
0<x≦0.20であり、0<y≦0.30である、インクジェット式記録ヘッド。 - 下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、Bi、La、Fe、MgおよびNbを構成金属として含む圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電素子を備え、
前記圧電体層のペロブスカイト型構造のAサイトにおけるLaの組成xが0<x≦0.20であり、
前記圧電体層のペロブスカイト型構造のBサイトにおけるMgおよびNbの組成yが0<y≦0.30である、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記圧電体層の膜厚は200nm〜1.5μmである、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、擬立方晶の表示で(100)に配向している、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、擬立方晶の表示で(110)に配向している、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、ロンボヘドラル構造を有する、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記圧電材料は、モノクリニック構造を有する、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドを備える、インクジェットプリンタ。
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