JP2008251916A - 圧電体素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の圧電体素子は、一対の対向する主面を有する基板と、その基板の一方の主面上に配置した下部電極層と、その下部電極層上に配置した圧電体層と、その圧電体層上に配置した上部電極層とを有しており、下部電極層はニッケル酸ランタン系セラミックスからなる。
【選択図】図1
Description
すなわち、本発明の圧電体素子は、一対の対向する主面を有する基板と、前記基板の一方の主面上に配置した下部電極層と、前記下部電極層上に配置した圧電体層と、前記圧電体層上に配置した上部電極層とを有し、前記下部電極層はニッケル酸ランタン系セラミックスからなることを特徴とする。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1における圧電体素子の断面図である。圧電体素子は、Siからなる基板1と、この基板1上に形成されたニッケル酸ランタンから成る下部電極層2と、下部電極層2上に形成された圧電体層3と、圧電体層3上に形成された上部電極層4とから構成されている。
1.基板の準備
まず、Si(100)の基板を準備する。
LNO系セラミックスから成る下地電極は、スパッタリング法等の気相成長法や、CSD法、水熱合成法、酸化熱分解法等の液相成長法を用いて形成することができるが、気相成長法に比べ製造コストの低減が可能な液相成長法を用いることが好ましい。さらに好ましくはCSD法である。CSD法に特に制限はなく、LNO前駆体溶液を基板に塗布し、その塗膜の熱分解を行い、そしてLNOの結晶化を行う方法であれば本発明に用いることができる。
(LNO前駆体溶液の調製)
出発原料としては、硝酸ランタン六水和物と酢酸ニッケル四水和物を用い、溶媒としては、2−メトキシエタノールと2−アミノエタノールを用いることができる。2−メトキシエタノールはわずかに水分を含んでいるため、あらかじめモレキュラーシーブ0.3nmを用いて水分を除去することが好ましい。
LNO塗膜の焼成は、塗膜の乾燥工程と、塗膜を熱分解させる仮焼成工程と、LNOの結晶化工程とから構成することができる。
次に、前駆体溶液中の物理吸着水分の除去を目的として、塗膜の乾燥を行う。温度は100℃を超えて200℃未満であることが望ましい。これは、200℃以上では前駆体溶液中の残留有機成分の分解が開始するためであり、作製した膜中への水分の残留を防止するためである。例えば、150℃で10分間乾燥を行う。
その後、200℃以上500℃未満の温度で塗膜の熱分解を行う。500℃以上では乾燥した前駆体溶液の結晶化が大きく進行するため好ましくなく、また200℃より低いと作製した膜中へ有機成分が残留し易くなるためである。例えば、350℃で10分間の熱処理を行う。
結晶化温度は500℃以上750℃以下が好ましい。急速加熱炉(RTA:Rapid Thermal Annealing)を用いて急速加熱し、結晶化を行う。例えば、700℃で5分、昇温速度は200℃/minとすることができる。
PZT系セラミックスからなる圧電体層は、スパッタリング法等の気相成長法や、CSD法、水熱合成法、酸化熱分解法等の液相成長法を用いて作製することができるが、気相成長法に比べ製造コストの低減が可能な液相成長法を用いることが好ましい。さらに好ましくはCSD法である。CSD法に特に制限はなく、PZT前駆体溶液を基板に塗布し、熱分解を行ってPZTの結晶化を行う方法であれば本発明に用いることができる。
(PZT前駆体溶液の調製)
本調製方法には溶媒としてエタノールを用いるが、エタノール中の水分による金属アルコキシドの加水分解を防止するため、予め脱水処理を行った無水エタノールを用いる。まず、Pb前駆体溶液の出発原料として、酢酸鉛(II)三水和物(Pb(OCOCH3)2・3H2O)を用いる。これをセパラブルフラスコに採り、水和物の除去のため150℃で2時間以上乾燥させる。次に無水エタノールを加えて溶解し、78℃で4時間還流させ、Pb前駆体溶液を作製する。Ti−Zr前駆体溶液を調製する出発原料としては、チタンイソプロポキシド(Ti(OCH(CH3)2)4)とジルコンノルマルプロポキシド(Zr(OCH2CH2CH3)4)を用いる。こちらも別のセパラブルフラスコに採り、無水エタノールを加えて溶解し、78℃で4時間還流することで、Ti−Zr前駆体溶液を作製する。Ti/Zr比は、例えばモル比がTi/Zr=47/53となるように秤量する。このTi−Zr前駆体溶液をPb前駆体溶液に混合する。このとき、Pb成分を化学量論組成(Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3)に対し20mol%過剰とすることが好ましい。これは、アニール時の鉛成分の揮発による不足分を補うためである。この混合溶液を78℃で4時間還流し、安定化剤としてアセチルアセトンを金属陽イオンの総量に対して0.5mol等量加え、さらに78℃で1時間還流することでPZT前駆体溶液を調製することができる。
PZT塗膜の焼成は、塗膜の乾燥工程と、塗膜を熱分解させる仮焼成工程と、PZTの結晶化工程とから構成することができる。
乾燥は前駆体溶液中の物理吸着水分の除去を目的としたものであり、温度は100℃を超えて200℃未満であることが望ましい。これは、200℃以上では前駆体溶液中の残留有機成分の分解が開始するためであり、作製した膜中への水分の残留を防止するためである。例えば、115℃で10分間乾燥する。
その後、200℃以上500℃未満の温度で塗膜の熱分解を行う。500℃以上では乾燥した前駆体溶液の結晶化が大きく進行するため好ましくなく、また200℃より低いと作製した膜中へ有機成分が残留し易くなるためである。例えば、350℃で10分間の熱処理を行う。
結晶化温度は500℃以上750℃以下が望ましい。750℃よりも大きいと、成膜時に膜中に含まれるPbが蒸発することにより不足し、結晶性が低下し、500℃よりも低いと結晶化が不十分だからである。急速加熱炉を用いて急速加熱し、結晶化を行う。例えば、650℃で5分とし、昇温速度は200℃/minとすることができる。
次に、圧電体層3上に、例えば金から成る上部電極層4を形成する。上部電極層4の形成方法については、イオンビーム蒸着法、抵抗加熱蒸着法、スパッタ法等を用いることができる。
α(100)=I(100)/ΣI(hkl)
と定義すると、α(100)=88%程度と低い値になる。そのため、圧電特性が低い圧電体素子となり、例えばアクチュエータとして用いた場合には変位量が不十分であるとともに、印加電圧に対する変位量の変化が非線形になってしまう。ここで、ΣI(hkl)は、X線回折法において、Cu−Kα線を用いたときの2θが10〜70°でのペロブスカイト型結晶構造のPZTにおける各結晶面からの回折ピーク強度の総和である。なお、(002)面及び(200)面は(001)面および(100)面と等価な面であるため、ΣI(hkl)には含めない。
本実施の形態に係る圧電体素子は、基板の下部電極層側の主面と対向する主面に凹部を設けた以外は、実施の形態1と同様の構造を有している。
図3は、本実施の形態における圧電体素子の構造を示す模式断面図である。実施の形態1と同一の構成要素については同一符号を付与する。圧電体素子は、一対の対向する主面を有する基板5と、この基板5の一方の主面上に形成された下部電極層2と、その下部電極層2上に形成された圧電体層3と、その圧電体層3上に形成された上部電極層4と、から構成されている。基板5は(100)面に配向したSiからなる単結晶基板であり、他方の主面には少なくとも1つの凹部6を有している。
実施の形態1に係る圧電体素子の製造方法とは相違する。そこで、重複する部分についての説明は省略し、凹部の形成方法についてのみ説明する。
表1に、基板5の材料であるSi、下部電極層2の材料であるLNO、圧電体層3の材料であるPZT、そして従来の電極材料であるPtの熱膨張係数を示す。
2 下部電極層
3 圧電体層
4 上部電極層
5 基板
6 凹部
7 酸化膜
8 レジスト
Claims (14)
- 一対の対向する主面を有する基板と、前記基板の一方の主面上に配置した下部電極層と、前記下部電極層上に配置した圧電体層と、前記圧電体層上に配置した上部電極層とを有し、前記下部電極層はニッケル酸ランタン系セラミックスからなる圧電体素子。
- 前記下部電極層は、ニッケル酸ランタン系セラミックスであって擬立方晶系の(100)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなる請求項1記載の圧電体素子。
- 前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる請求項1記載の圧電体素子。
- 前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスであって菱面体晶系または正方晶系の(001)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなる請求項3記載の圧電体素子。
- 前記圧電体層を液相成長法により形成してなる請求項1記載の圧電体素子。
- 前記下部電極層は、ニッケル酸ランタン系セラミックスであって擬立方晶系の(100)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなり、前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスであって菱面体晶系または正方晶系の(001)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなる請求項1記載の圧電体素子
- 前記基板の他方の主面の少なくとも一部に少なくとも1つの凹部を設けてなる請求項1記載の圧電体素子。
- 前記凹部は、その最深部と前記基板の一方の主面との間の距離で規定される対向厚み(t)を有し、前記対向厚み(t)の前記基板の厚み(T)に対する比(t/T)が0.4以下である請求項7記載の圧電体素子。
- 少なくとも、対向する一対の主面を有する基板の一方の主面上にニッケル酸ランタン系セラミックスからなる下部電極層を形成する工程と、前記下部電極層上に圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に上部電極層を形成する工程と、を有する圧電体素子の製造方法。
- 前記下部電極層を形成する工程は、ニッケル酸ランタン系セラミックスであって擬立方晶系の(100)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなる電極層を形成する工程であり、前記圧電体層を形成する工程は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスであって菱面体晶系または正方晶系の(001)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層を形成する工程である請求項9記載の圧電体素子の製造方法。
- 前記圧電体層を液相成長法により形成する請求項9記載の圧電体素子の製造方法。
- 前記下部電極層を形成する工程は、少なくとも、ランタンおよびニッケルの有機金属化合物または無機金属化合物を含む前駆体溶液を前記基板上に塗布する塗布工程と、得られた塗膜を焼成する焼成工程とを有する請求項9記載の圧電体素子の製造方法。
- 前記焼成工程は、乾燥工程と仮焼成工程と結晶化工程とを有し、前記乾燥工程の温度は前記前駆体溶液中の有機物が熱分解を開始する温度よりも低く、前記仮焼成工程の温度は前記前駆体溶液中の有機物が熱分解を開始する温度以上で、かつ前記有機物が熱分解して前駆体の結晶化が進行する温度よりも低く、前記結晶化工程の温度は前記前駆体の結晶化が進行する温度以上で、かつ結晶化した前記前駆体が分解する温度より低い請求項12記載の圧電体素子の製造方法。
- 前記乾燥工程の温度は100℃を超えて200℃未満であり、前記仮焼成工程の温度は200℃以上500℃未満であり、前記結晶化工程の温度は500℃以上750℃以下である請求項12記載の圧電体素子の製造方法。
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