JP2007287744A5 - インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ - Google Patents

Claims (9)

1. 下部電極と、
   前記下部電極の上方に形成され、下記一般式（１）で表される圧電材料からなる圧電体層と、
   前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電素子を備えた、インクジェット式記録ヘッド。
   （Ｂｉ_１−ｘＬａ_ｘ）（Ｆｅ_１−ｙ（Ｍｇ_２／３Ｎｂ_１／３）_ｙ）Ｏ_３ ・・・（１）
   但し、０＜ｘ＜１であり、０＜ｙ＜１である。
2. 請求項１において、
   ０＜ｘ≦０．２０であり、０＜ｙ≦０．３０である、インクジェット式記録ヘッド。
3. 下部電極と、
   前記下部電極の上方に形成され、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、ＭｇおよびＮｂを構成金属として含む圧電体層と、
   前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する圧電素子を備え、
   前記圧電体層のペロブスカイト型構造のＡサイトにおけるＬａの組成ｘが０＜ｘ≦０．２０であり、
   前記圧電体層のペロブスカイト型構造のＢサイトにおけるＭｇおよびＮｂの組成ｙが０＜ｙ≦０．３０である、インクジェット式記録ヘッド。
4. 請求項１乃至３のいずれかにおいて、
   前記圧電体層の膜厚は２００ｎｍ〜１．５μｍである、インクジェット式記録ヘッド。
5. 請求項１乃至４のいずれかにおいて、
   前記圧電材料は、擬立方晶の表示で（１００）に配向している、インクジェット式記録ヘッド。
6. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、
   前記圧電材料は、擬立方晶の表示で（１１０）に配向している、インクジェット式記録ヘッド。
7. 請求項１乃至６のいずれかにおいて、
   前記圧電材料は、ロンボヘドラル構造を有する、インクジェット式記録ヘッド。
8. 請求項１乃至７のいずれかにおいて、
   前記圧電材料は、モノクリニック構造を有する、インクジェット式記録ヘッド。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッドを備える、インクジェットプリンタ。