JP5102459B2 - 圧電アクチュエータユニット - Google Patents
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Description
IC=I〔002〕/(I〔002〕+I〔200〕) (1)
によって求められるC軸配向度ICの、電圧を印加しない初期の状態で測定した初期値が0.5〜0.7であるPZT系の圧電セラミックによって形成されていると共に、駆動回路が、前記圧電セラミック層に電圧を印加し続ける待機期間と、前記電圧の印加を一旦停止したのち再び印加する電圧パルスの印加期間とを有すると共に、前記待機期間の途中に、前記電圧の印加を一旦停止するか、もしくは一旦逆方向の電圧を印加する、前記待機期間よりも短い電圧パルスを1回または複数回、印加する駆動電圧波形を有する電圧を前記圧電セラミック層に印加することで、前記圧電セラミック層を形成する圧電セラミックの、電圧印加状態での分極量の、1回の動作中での変化率を+3〜+8%に維持しながら、前記圧電アクチュエータを厚み方向に振動させる動作をさせる回路であることを特徴とする圧電アクチュエータユニットである。
IC=I〔002〕/(I〔002〕+I〔200〕) (1)
によって求められるC軸配向度ICの、電圧を印加しない初期の状態で測定した初期値が0.5〜0.7、特に0.55〜0.65である、PZT系の圧電セラミックによって形成される。
P=Q/S (2)
によって求めた値でもって表すこととする。
2 圧力室
3 ノズル
4 連通路
5 基板
6 圧電アクチュエータ
7 圧電セラミック層
8 個別電極層
9 共通電極層
10 振動板
11 圧電変形領域
12 拘束領域
13 駆動回路
14 制御ユニット
15 活性領域
16 非活性領域
Claims (1)
- 厚み方向に分極され、前記厚み方向に電圧が印加されることで、前記厚み方向と直交する面方向に伸縮する横振動モードの圧電セラミック層を含み、前記圧電セラミック層の、面方向の伸縮によって、厚み方向に撓み変形する平板状の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータの圧電セラミック層に、所定の駆動電圧波形を有する電圧を印加して面方向に伸縮させることで、圧電アクチュエータを厚み方向に振動させる動作をさせるための駆動回路とを備えた圧電アクチュエータユニットであって、前記圧電セラミック層が、X線回折スペクトルのうち[200]面の回折ピークの強度I〔200〕と、[002]面の回折ピークの強度I〔002〕とから、式(1):
IC=I〔002〕/(I〔002〕+I〔200〕) (1)
によって求められるC軸配向度ICの、電圧を印加しない初期の状態で測定した初期値が0.5〜0.7であるPZT系の圧電セラミックによって形成されていると共に、駆動回路が、前記圧電セラミック層に電圧を印加し続ける待機期間と、前記電圧の印加を一旦停止したのち再び印加する電圧パルスの印加期間とを有すると共に、前記待機期間の途中に、前記電圧の印加を一旦停止するか、もしくは一旦逆方向の電圧を印加する、前記待機期間よりも短い電圧パルスを1回または複数回、印加する駆動電圧波形を有する電圧を前記圧電セラミック層に印加することで、前記圧電セラミック層を形成する圧電セラミックの、電圧印加状態での分極量の、1回の動作中での変化率を+3〜+8%に維持しながら、前記圧電アクチュエータを厚み方向に振動させる動作をさせる回路であることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。
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