JP2008078408A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 基板の一方面側に設けられた下電極と、前記下電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた上電極と、を有する圧電素子を備え、
前記下電極が、ＰｔとＴｉＯＸ（０．１≦ｘ≦２）との合金からなる密度弾性調整層を有し、
前記下電極を厚さ方向に二次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）により測定した際に、前記密度弾性調整層中でＰｔイオンが最も弱く検出される部分は、前記密度弾性調整層の厚さ方向中心よりも前記圧電体層側であり、
前記密度弾性調整層の前記基板側の境界で検出されるＰｔイオンの強度Ｚ１と前記密度弾性調整層中でＰｔイオンが最も弱く検出される部分でのＰｔイオンの強度Ｚ２との比Ｚ２／Ｚ１が０．０５〜０．３、
前記密度弾性調整層の前記基板側の境界で検出されるＴｉイオンの強度Ｚ３と前記密度弾性調整層中でＰｔイオンが最も弱く検出される部分でのＴｉイオンの強度Ｚ４との比Ｚ４／Ｚ３が０．６〜１．０、
前記密度弾性調整層の前記基板側の境界で検出されるＯイオンの強度Ｚ５と前記密度弾性調整層中でＰｔイオンが最も弱く検出される部分でのＯイオンの強度Ｚ６との比Ｚ６／Ｚ５が１．５〜４．０、の範囲内であることを特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記密度弾性調整層は、前記基板側よりも前記圧電体層側のヤング率が高いことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
- 前記下電極が、前記基板側から順に、ＰｔとＴｉとの合金からなるＰｔ−Ｔｉ層と、ＴｉＯＸとＰｔとの合金からなる密度弾性調整層と、ＰｔからなるＰｔ層と、ＩｒからなるＩｒ層と、を具備することを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ装置。
- 請求項１〜３の何れか一項に記載のアクチュエータ装置を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項４に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする画像記録装置。
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