JP2006272035A5 - - Google Patents
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Claims (2)
- 複数のノズルを直線状に配置したインクジェットヘッドより膜材料を含む液滴を基板上の複数箇所に局所的に付与することにより、基板上の複数箇所に膜を形成する方法であって、
前記基板上の、複数箇所の位置情報を検出する工程と、
前記検出工程で検出した位置情報に基づいて、液滴を付与すべき、複数の位置を算出する工程と、
前記基板の法線を軸にして、前記インクジェットヘッドを前記算出した複数の液滴付与位置に応じて回転させ、前記基板上に該液滴を付与する工程と、
を有することを特徴とする膜の形成方法。 - 一対の素子電極と該素子電極間に跨り電子放出部を有する導電性膜とを有する電子放出素子を複数個基板上に配置し、該電子放出素子をマトリクス配線してなる電子源基板の製造方法であって、
上記導電性膜を請求項１に記載の膜の形成方法により形成することを特徴とする電子源基板の製造方法。
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