KR100615173B1

KR100615173B1 - 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입 방법

Info

Publication number: KR100615173B1
Application number: KR1020030008454A
Authority: KR
Inventors: 김시경
Original assignee: 삼성에스디아이 주식회사
Priority date: 2003-02-11
Filing date: 2003-02-11
Publication date: 2006-08-25
Also published as: KR20040072811A

Abstract

본 발명은 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입장치 및 방법을 개시한다. 본 발명은 다중 잉크젯 헤드를 이용하여 발광 용액을 주입함에 있어서 노즐의 위치를 정확하게 함으로써 패턴의 정도를 향상시키기 위한 것으로서, 복수의 노즐을 가지는 복수의 잉크젯 헤드로 이루어지는 다중 헤드부와; 상기 다중 헤드부의 하부에 위치하는 기판을 지지 및 이송하는 스테이지와; 상기 스테이지의 일측에 부착되어 상기 헤드부의 노즐의 위치를 촬상하는 촬상수단과; 상기 촬상수단에 의해 촬영된 노즐의 위치를 측정하고 오차를 검출하는 오차검출부과; 상기 오차검출 수단의 오차를 보상하여 상기 다중 헤드부의 노즐의 위치를 보정하는 제어부;을 구비하는 발광 용액 주입 장치와, 복수(n)의 노즐을 가지는 복수의 잉크젯 헤드로 이루어진 다중 헤드부를 상기 복수의 노즐의 피치(D)가 화소의 피치(P)와 일치하게 하기 위해 목표 회전각도(θ)로 회전시키는 단계와; 상기 다중 헤드부의 복수의 잉크젯 헤드 중 하나의 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐의 위치(X1, Y1)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와; 상기 잉크젯 헤드의 타측단에 위치한 노즐의 하부로 스테이지를 이동하기 위하여 상기 스테이지를 수평이동 간격(U)과 수직이동 간격(V)만큼 이동하는 단계와; 상기 타측단에 위치한 노즐의 위치(X2, Y2)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와; 상기 양 노즐의 위치를 이용하여 다중 헤드부의 실제 회전각도(Θ)를 구하는 단계와; 상기 목표 회전각도(θ)와 상기 실제 회전각도(Θ)와의 차이를 제어부 에 입력하여 회전각도를 보정하는 단계와; 보정된 회전각도를 유지하며, 스테이지의 상부에 위치한 기판에 발광 용액을 주입하는 단계;를 구비하는 발광 용액 주입 방법을 제공한다.

Description

다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입 방법{Method for injecting electro-luminescence solution using multiple ink-jet head}

도 1은 잉크젯 헤드에 의하여 전계발광 디스플레이 패널의 셀에 전계발광 용액이 주입되는 상태를 도시한 측단면도,

도 2는 1개의 잉크젯 헤드를 이용하여 전계발광 디스플레이 패널의 셀들에 전계발광 용액을 주입하는 통상적인 방법을 보여주는 도면,

도 3은 본 발명에 따라 동시에 구동되는 3개의 잉크젯 헤드들에 의하여 전계발광 디스플레이 패널의 셀에 전계발광 용액이 주입되는 상태를 보여주는 측단면도,

도 4a는 본 발명에 따라 동시에 구동될 3개의 잉크젯 헤드들을 나타내는 도면,

도 4b는 도 4a의 3개의 잉크젯 헤드들이 정렬한 상태를 도시한 도면,

도 5는 본 발명에 따른 발광용액 주입 방법에 있어서 회전각을 보상하기 위한 제어부의 구동 알고리즘을 도시한 흐름도,

도 6은 본 발명에 따른 발광용액 주입 방법에 있어서 헤드간의 수평 수직 간격을 보상하기 위한 제어부의 구동 알고리즘을 도시한 흐름도,

도 7은 본 발명에 따른 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입 장치를 개략적으로 도시한 도면,

<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>

H ; 잉크젯 헤드 N1,N2,N3,N4 ; 노즐

IW; 격벽 EL; 전계발광 용액

CP ; 도전성 페이스트 CE ; 셀 전극

GS ; 글라스 기판 C_R ; 적색 셀

C_G : 녹색 셀 C_B ; 청색 셀

H_R ; 적색용 잉크젯 헤드 H_G ; 녹색용 잉크젯 헤드

H_B ; 청색용 잉크젯 헤드 N_R1 ; 적색용 헤드의 제 1 노즐

N_G1; 녹색용 헤드의 제 1 노즐 N_B1 ; 청색용 헤드의 제 1 노즐

EL_R; 적색 전계발광 용액 EL_G ; 녹색 전계발광 용액

EL_B; 청색 전계발광 용액 CE_R ; 적색-셀 전극

CE_G; 녹색-셀 전극 CE_B ; 청색-셀 전극

P ; 화소 피치 D ; 노즐 피치

P/3 ; 셀 피치 θ ; 회전각도

Y ; 수직 간격 D1 ; 수평간격

D_N ; 노즐 간격 N_R1,N_R2,N_R3,N _R4;적색용 헤드의 노즐 N_G1,N_G2,N_G3,N_G4;녹색용 헤드의 노즐 N_B1,N_B2,N_B3,N_B4;청색용 헤드의 노즐

71 ; 다중헤드 72 ; 스테이지

73 ; 촬상수단 74 ; 오차측정수단

75 ; 제어부

본 발명은 발광 용액 주입 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입 방법에 관한 것이다.

전자기기의 표시장치로 사용되는 전계발광 표시 패널에 전계 발광 패터닝을 하기 위해 발광 재료를 주입하는 방법으로는 잉크젯을 이용한 방법이 있다. 잉크젯을 이용한 방법은 증착법, 노광법, 인쇄법에 비해 간편하고 정도가 높은 패터닝을 할 수 있으며, 이는 잉크젯 헤드에 마련된 노즐을 이용하여 발광 재료를 주입함으로써 유리 기판 상에 원하는 패턴을 형성하는 것으로 다수의 노즐을 가지는 단수의 헤드를 이용하는 방법과 다수의 노즐을 가지는 다수의 헤드를 이용하는 방법이 있다.

단수의 헤드를 이용하는 경우에는 적, 녹, 청의 발광층을 인쇄하기 인쇄 후의 세정을 반복하여 수행함으로써 반복하여 패터닝하는 방법과 각 색에 해당하는 설비를 연결하여 적, 녹, 청을 인쇄하는 방법이 있다.

도 1에는 잉크젯 헤드(H)에 의하여 전계발광 디스플레이 패널의 셀에 전계발 광 용액(EL)이 주입되는 상태를 나타낸다.

도면을 참조하면, 글라스 기판(GS) 위에 격벽(IW), 셀 전극(CE) 및 도전성 페이스트(CP)가 형성된 상태에서 잉크젯 헤드(H)의 노즐(N1)을 통하여 전계발광 용액(EL)이 주입된다. 격벽(IW)으로는 폴리이미드(polyimide)가 주로 사용된다. 이러한 디스플레이 패널의 모든 셀들에 전계 발광 용액(EL)이 주입되면, 그 상부에 주사 전극이 형성된다.

도 2에는 단수의 잉크젯 헤드(H)를 이용하여 전계발광 디스플레이 패널의 셀들에 전계발광 용액을 주입하는 통상적인 방법을 개략적으로 나타낸다.

도면을 참조하면, 전계발광 디스플레이 패널의 단위 화소는 적색 셀(C_R), 녹색 셀(C_G) 및 청색 셀(C_B)로 이루어진다. 단수의 잉크젯 헤드(H)에는 복수의 노즐, 예를 들면, 4개의 노즐(N1 내지 N4)이 구비된다. 이때, 노즐 피치(D)가 화소 피치(P)에 일치되어야 하지만 제조공정상 노즐 피치(D)를 화소 피치(P)에 일치되게 제작하는 것은 매우 어렵다. 즉 노즐 피치(D)가 화소 피치(P)보다 길므로, 전계발광 용액(EL)을 주입할 때에 잉크젯 헤드(H)가 회전각(θ)만큼 기울임으로써 각 노즐들(N1 내지 N4) 사이의 간격이 화소 피치(P)와 일치되게 한다.

이와 같이 화소의 피치(P)와 노즐 피치(D)를 일치시키는 과정에서 어려움이 많아 종래에는 주로 단수의 헤드(H)만을 이용함으로써 각 셀(C_R, C_G, C_B)에 전계 발광 용액을 주입하였다. 예를 들면, 패널의 모든 적색 셀(C_R)에 전계발광 용액(EL)을 주입한 후, 모든 녹색 셀(C_G)에 전계발광 용액(EL)을 주입한다. 그 후에 또 다시 모 든 청색 셀(C_B)에 전계발광 용액을 주입한다. 이러한 단수의 헤드(H)만을 이용한 용액의 주입방법에 의하면, 적색 셀(C_R), 녹색 셀(C_G) 및 청색 셀(C_B)에 대해 서로 다른 시간에 전계 발광 용액이 주입되므로 주입 시간이 길어지는 문제가 있다.

이러한 단수의 헤드(H)에 의한 전계발광 용액 주입방법에 비해 복수의 헤드(H)를 이용하여 전계발광 용액을 주입하는 방법은 주입 시간을 단축할 수 있다. 그러나 고정도의 패터닝을 위한 각 헤드간의 노즐 피치의 정밀도를 검사하고 오차를 보정하는 방법으로 실제 기판 상에 패터닝을 한 후 패터닝 결과를 통하여 헤드로부터 검출되는 픽셀 피치와 기판의 픽셀 피치의 정렬 오차를 계산하여 멀티 헤드를 재조립하거나 이에 의해 발생한 오차를 보정하였다. 이러한 보정 방식은 실제 패터닝을 수행하고 이를 검토하고 재조립을 수행하여야 하는 등의 문제가 있고 패너닝에 있어서의 오차는 헤드의 정렬에 의한 원인 이외에도 다른 요인에 의한 오차가 모두 포함되므로 실제 헤드의 정렬의 오류를 측정하지 못한다는 문제가 있다.

한국 공개 특허공보 제 특2001-26640호에는 잉크젯 복합기에 있어서 시험 인쇄를 통해 정렬 포맷을 인쇄하고 이를 스캐닝하여 최적의 정렬 변수를 택하는 방법이 개시되어 있으나, 이는 전술한 바와 같이 시험인쇄와 스캐닝 오차 등으로 인해 정확한 인쇄 오차를 검출하기 용이하지 않다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 다중 잉크젯 헤드를 이용하여 발광 용액을 주입하는 방법에 있어서, 정렬 오류를 용이하게 검출하고 이를 보정할 수 있는 발광용액 주입 방법을 제공하는 것이다.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 발광 용액 주입 장치는, 복수의 노즐을 가지는 복수의 잉크젯 헤드로 이루어지는 다중 헤드부와, 상기 다중 헤드부의 하부에 위치하는 기판을 지지 및 이송하는 스테이지와, 상기 스테이지의 일측에 부착되어 상기 헤드부의 노즐의 위치를 촬상하는 촬상수단과, 상기 촬상수단에 의해 촬영된 노즐의 위치를 측정하고 오차를 검출하는 오차검출부과, 상기 오차검출 수단의 오차를 보상하여 상기 다중 헤드부의 노즐의 위치를 보정하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 다중 헤드부는 3개의 잉크젯 헤드가 각각 적, 녹, 청의 발광 용액을 분사하는 복수의 노즐을 가지며, 서로 소정간격 이격되어 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 발광용액 주입방법은 복수(n)의 노즐을 가지는 복수의 잉크젯 헤드로 이루어진 다중 헤드부를 상기 복수의 노즐의 피치(D)가 화소의 피치(P)와 일치하게 하기 위해 목표 회전각도(θ)로 회전시키는 단계와, 상기 다중 헤드부의 복수의 잉크젯 헤드 중 하나의 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐의 위치(X1, Y1)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와, 상기 잉크젯 헤드의 타측단에 위치한 노즐의 하부로 스테이지를 이동하기 위하여 상기 스테이지를 수평이동 간격(U)과 수직이동 간격(V)만큼 이동하는 단계와, 상기 타측단에 위치한 노즐의 위치(X2, Y2)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와, 상기 양 노즐의 위치를 이용하여 다중 헤드부의 실제 회전각도(Θ)를 구하는 단계와, 상기 목표 회전각도(θ)와 상기 실제 회전각도(Θ)와의 차이를 제어부에 입력하여 회전각도를 보정하는 단계와, 보정된 회전각도를 유지하며, 스테이지의 상부에 위치한 기판에 발광 용액을 주입하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 다중 헤드부의 복수의 잉크젯 헤드 중 하나의 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐의 위치(X1, Y1)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와, 상기 잉크젯 헤드와 인접한 다른 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐의 하부로 스테이지를 이동하기 위하여 상기 스테이지를 목표 헤드간 수평간격(D1)과 목표 헤드간 수직간격(Y)만큼 이동하는 단계와, 상기 다른 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐의 위치(X3, Y3)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와, 상기 양 노즐의 위치를 이용하여 다중 헤드부의 실제 헤드간 수평 간격(d1)과 실제 헤드간 수직 간격(y)를 구하는 단계와, 상기 목표 헤드간 수평간격(D1)과 실제 헤드간 수평간격(d1)의 차와 상기 목표 헤드간 수직간격(Y)과 실제 헤드간 수직간격(y)의 차를 제어부에 입력하여 헤드간 수평 수직 간격을 보정하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 다중 헤드부를 회전시키는 단계에서, 상기 목표 회전각도(θ)는,

의 수학식에 의해 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 스테이지를 이동하는 단계에서, 수평이동 간격(U)은,

의 수학식에 의해 설정되고 상기 수직 이동 간격(V)은,

의 수학식에 의해 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 다중 헤드부의 실제 회전각도(Θ)를 구하는 단계에서, 상기 실제 회전각도(Θ)는,

의 수학식에 의해 결정되며 상기 수학식에서 f1과 f2는 촬상과정에서의 오차를 보정하는 교정계수로 하는 것이 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 3에는 본 발명에 따른 다중 잉크젯 헤드(H_R/H_G/H_B)를 가지는 발광 용액 주입장치에 의해 전계발광 디스플레이 패널의 셀에 전계발광 용액이 주입되는 상태를 나타낸다.

도면을 참조하면, 글라스 기판(GS) 위에 격벽(IW), 셀 전극(CE_R,CE_G,CE_B) 및 도전성 페이스트(CP)가 형성된 상태에서 3개의 잉크젯 헤드들(H_R/H_G/H_B)의 노즐들(N_R1,N_G1,N_B1)을 통하여 각 색상의 전계발광 용액(EL_R, EL_G, EL_B)이 동시에 주입된다. 격벽(IW)의 재료로서 폴리이미드(polyimide)가 주로 사용된다. 이와 같은 디스플레이 패널의 모든 셀들에 전계발광 용액(EL)이 주입된 후, 그 위에 주사전극이 형성된다.

도 4a는 본 발명에 따라 동시에 구동되는 3개의 잉크젯 헤드를 도시한다.

도면을 참조하면, 전계발광 디스플레이 패널의 단위 화소는 적색 셀(C_R), 녹 색 셀(C_G) 및 청색 셀(C_B)을 포함한다. 적색용 잉크젯 헤드(H_R), 녹색용 잉크젯 헤드(H_G) 및 청색용 잉크젯 헤드(H_B) 각각에는 복수의 노즐들, 예를 들면, 4개의 노즐들(N1 내지 N4)이 구비되어 있다.

도 4a에 도시된 대로, 노즐 피치(D)가 화소 피치(P)보다 긴 상태에서, 3개의 헤드들(H_R, H_G, H_B)을 사용하여 각 색상의 전계발광 용액(EL_R, EL_G, EL_B)을 동시에 주입하려면, 잉크젯 헤드들(H_R, H_G, H_B)사이의 수직 간격(Y)의 조정 노즐 피치(P)에 따른 회전각(θ)의 조정 및 잉크젯 헤드들(H_R, H_G, H_B) 사이의 수평 간격의 조정이 필요하다.

도 4b는 도 4a의 적색용 잉크젯 헤드(H_R), 녹색용 잉크젯 헤드(H_G) 및 청색용 잉크젯 헤드(H_B)가 본 발명에 따라 정렬된 상태를 도시한다.

도면을 참조하면, 참조부호 N_R1, N_R2, N_R3 및 N_R4는 적색용 헤드(HR)의 노즐을 나타내고, N_G1, N_G2, N_G3 및 N_G4는 녹색용 헤드(H_G)의 노즐을 나타낸다. 또한 N_B1, N_B2, N_B3 및 N_B4는 청색용 헤드(H_B)의 노즐을 각각 가리킨다.

도 5는 도 4b의 정열을 위한 제어기의 구동 알고리즘을 나타낸다.

상기 도면을 참조하여 본 발명에 따른 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 수평 방향을 길이 방향으로 하여 정렬(도 4a 참조)된 3개의 잉크젯 헤 드들(H_R, H_G, H_B) 사이의 수직 간격(Y)이 설정된 값, 즉 목표값에 따라 조정된다(단계 S51). 다음으로, 노즐 피치(D)와 화소 피치(P)에 따른 회전각도(θ)만큼 3개의 잉크젯 헤드들(H_R, H_G, H_B)이 회전된다(단계 S52). 이때 회전각 θ는 아래의 수학식 1에 의해 설정된다.

다음에 회전각(θ)만큼 회전된 상태에서 3개의 잉크젯 헤드들(H_R, H_G, H_B)의 노즐 간격(D_N)이 셀 피치(P/3)와 일치되도록 3개의 잉크젯 헤드들(H_R, H_G, H_B) 사이의 수평 간격(D1)이 조정된다(단계 S53). 여기서, 수평 간격 D1은 아래의 수학식 2에 의해 설정된다.

전술한 바와 같이 전술한 바와 같이 수직간격(Y), 회전각도(θ) 및 수평간격(D1)을 설정한 후에는 이러한 다중 헤드의 정열을 측정하고 오차가 있다면 그 오차를 보정하여야 한다.

4개의 노즐이 일렬로 배열된 3개의 잉크젯 헤드로 이루어진 다중 헤드부를 회전시킨 상태에서, 상기 다중 헤드부의 복수의 잉크젯 헤드 중 하나의 잉크젯 헤 드의 일측단에 위치한 노즐(N_B1)의 하부에 촬상 수단이 위치하도록 스테이지를 이동한다(단계 S54). 상기 다중 헤드부의 복수의 잉크젯 헤드 중 하나의 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐(N_B1)을 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하고 이를 화상처리하여 상기 노즐(NB1)의 위치(X1, Y1)를 구한다(단계 S55). 상기 노즐의 촬영과 이의 위치의 측정은 통상의 카메라를 포함한 비젼시스템에 의할 수 있다.

상기와 같이 하나의 노즐의 위치를 구한 후 상기 노즐(N_B1)이 마련된 상기 잉크젯 헤드의 타측단에 위치한 노즐(N_B4)의 하부로 스테이지를 이동한다(단계 S56). 이때 스테이지의 이동을 위한 수평 이동간격(U)은 다음의 수학식 3에 의한다.

또한, 스테이지의 이동을 위한 수직 이동 간격은 다음의 수학식 4에 의한다.

상기와 같은 수평이동간격(U)과 수직이동간격(V)에 의해 스테이지를 이동하면, 스테이지는 타측단의 노즐(NB4)의 하부에 위치하게 된다. 이때 이러한 타측단의 노즐(NB4)을 촬상수단에 의해 촬상하고 이의 위치(X2,Y2)를 화상처리를 통해 구한다(단계 S57). 전술한 바와 같이 두차례의 촬상에 의해 구한 노즐의 위치를 이용하여 실제로 다중 헤드부가 회전한 각도를 구할 수 있는데(단계 S58), 이는 다음의 수학식 5에 의한다.

상기 수학식 5에서 f1과 f2는 화상정보로 구한 값과 실제적인 값간의 보상 계수로서 촬상수단의 특성에 따라 정해지는 수치이다.

목표로 하는 회전각도(θ)와 상기 실제 회전각도(Θ)의 차이를 구하여 이를 제어부에 입력함으로써 회전각도를 보정할 수 있다(단계 S59).

전술한 바와 같이 보정된 회전각도를 유지하면서 발광용액 주입공정을 수행한다(단계 S60).

상기와 같은 과정에 의해 회전각도를 보정하여 발광용액 주입공정을 수행할 수 있으며, 회전각도의 보정 이외에 헤드간의 수평간격(D1)과 헤드간의 수직간격(Y)를 보정하는 단계를 더 포함시킬 수 있다. 헤드간의 수평간격(D1)과 헤드간의 수직간격(Y)를 보정하는 것은 다음의 단계에 의한다.

도 5을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선 첫 번째 노즐(NB1)의 하부에 촬상수단이 위치하도록 스테이지를 이동한다(단계 S61). 헤드간 수평간격(D1)과 헤드간 수직간격(Y)을 보정하기 위해 첫 번째 노즐(N_B1)을 촬상하고 위치(X1, Y1)를 구한다(단계 S62). 이때 전술한 회전각도를 보정하는 과정에서 구한 첫 번째 노즐(NB1)의 위치정보를 저장해서 이용할 수도 있으며, 이 경우에는 본 단계는 생략해도 무방하다.

다음으로 목표로 하는 헤드간 수평간격(D1)과 목표로 하는 헤드간 수직간격(Y)만큼 스테이지를 이동한다(단계 S63). 이동이 완료되면 촬상수단은 두 번째 노즐(N_G1)의 하부에 위치하게 된다. 이동한 위치에서 다른 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐(N_G1)을 스테이지의 일측단에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 위치(X3, Y3)를 구한다(단계 S64). 구해진 좌표를 이용하여 실제 수평간격(d1)은 다음의 수학식 6에 의한다(단계 S65).

수직간격(y)은 다음의 수학식 7에 의한다(단계 S65).

상기 수학식 6과 상기 수학식 7에서 f3와 f4는 화상정보로 구한 값과 실제값을 보정해주는 보상계수이며, 이는 장비의 특성으로부터 주어지게 된다.

상기 목표 헤드간 수평간격(D1)과 실제 헤드간 수평간격(d1)의 차와 상기 목표 헤드간 수직간격(Y)과 실제 헤드간 수직간격(y)의 차를 제어부에 입력하여 헤드간 수평 수직 간격을 보정한다(단계 S66).

전술한 바와 같이 회전각과 수평, 수직간격을 연속적으로 보정하거나, 회전각만 또는 수평 수직간격만을 보정할 수도 있다. 또한 회전각을 결정할 경우 하나의 헤드상의 두 개의 노즐을 촬상하여 전술한 대로 오차를 보상할 수 있으며, 헤드 는 어떠한 헤드의 경우에도 무방하다.

또한 수평, 수직간격을 보정하는 경우에는 3개의 헤드의 수평, 수직 간격을 보정하기 위해서 적어도 보정하는 과정을 적어도 2회 반복하는 것이 바람직하다.

도 7에는 본 발명에 따른 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입장치의 개략도를 도시하였다.

도면을 참조하면, 상기와 같이 회전각도(θ)와 수직간격(Y)과 수평간격(D1)을 보정하는데 이용되는 본 발명에 따른 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입장치(70)는 복수의 노즐을 가지는 복수의 잉크젯 헤드로 이루어지는 다중 헤드부(71)와 상기 다중 헤드부(71)의 하부에 위치하는 기판(72a)을 지지 및 이송하는 스테이지(72)와 상기 스테이지(72)의 일측에 부착되어 상기 헤드부(71)의 노즐의 위치를 촬상하는 촬상수단(73)과 상기 촬상수단(73)에 의해 촬영된 노즐의 위치를 측정하고 오차를 검출하는 오차검출부(74)과 상기 오차검출부(74)의 오차를 보상하여 상기 다중 헤드부(71)의 노즐의 위치를 보정하는 제어부(75)을 구비한다. 전술한 바와 같이 촬상수단(73)으로 촬상한 노즐은 상기 오차검출부(74)에 좌표가 확인되고 이로부터 전술한 방법에 의해 다중헤드의 실제 회전각과 수직 수평 간격의 오차를 검출하게 된다. 이러한 오차는 제어부(75)에 입력되어 에러값을 보상하는 제어신호를 다중헤드에 보냄으로써 정확한 회전각 및 수직 수평간격을 유지하게 된다. 상기 스테이지(72)는 미도시된 통상의 구동수단에 의한 이송장치에 의해 이송된다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입장치 및 방법을 이용함으로써 다중 잉크젯 헤드를 이용하여 발광 용액을 주입하는 경우에 있어서, 정렬 오류를 용이하게 검출하고 이를 정확하게 보정할 수 있다.

Claims

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복수(n)의 노즐을 가지는 복수의 잉크젯 헤드로 이루어진 다중 헤드부를 상기 복수의 노즐의 피치(D)가 화소의 피치(P)와 일치하게 하기 위해 목표 회전각도(θ)로 회전시키는 단계와;

상기 다중 헤드부의 복수의 잉크젯 헤드 중 하나의 잉크젯 헤드의 일측단에 위치한 노즐의 위치(X1, Y1)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와;

상기 잉크젯 헤드의 타측단에 위치한 노즐의 하부로 스테이지를 이동하기 위하여 상기 스테이지를 수평이동 간격(U)과 수직이동 간격(V)만큼 이동하는 단계와;

상기 타측단에 위치한 노즐의 위치(X2, Y2)를 스테이지의 일측에 부착된 촬상수단에 의해 촬상하여 구하는 단계와;

상기 양 노즐의 위치를 이용하여 다중 헤드부의 실제 회전각도(Θ)를 구하는 단계와;

상기 목표 회전각도(θ)와 상기 실제 회전각도(Θ)와의 차이를 제어부에 입력하여 회전각도를 보정하는 단계와;

보정된 회전각도를 유지하며, 스테이지의 상부에 위치한 기판에 발광 용액을 주입하는 단계;를 구비하는 발광 용액 주입 방법.