KR100890758B1 - 노즐 디스펜서의 코팅액 도포 위치의 사용자 오프셋값을자동으로 측정하는 방법 및 이를 이용하여 노즐 디스펜서와배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법 - Google Patents
노즐 디스펜서의 코팅액 도포 위치의 사용자 오프셋값을자동으로 측정하는 방법 및 이를 이용하여 노즐 디스펜서와배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (18)
- 사용자 오프셋값 측정 장치를 사용하여 노즐 디스펜서의 코팅액 도포 위치의 사용자 오프셋값을 자동으로 측정하는 방법에 있어서,a) 베어 글라스 상에 코팅액을 도포하는 단계;b) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 베어 글라스의 도포 시작 엣지의 위치(Pb)를 검출하는 단계;c) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 상기 노즐 디스펜서의 정보 및 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보를 입력하는 단계;d) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 배면 글라스의 좌우측 엣지의 외곽 격벽의 위치(Pe)를 검출하는 단계;e) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 사용자 오프셋값(D)을 연산하는 단계; 및f) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치 상에 디스플레이하는 단계를 포함하는 사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 노즐 디스펜서의 정보는 R 셀용 노즐 디스펜서, G 셀용 노즐 디스펜서 및 B 셀용 노즐 디스펜서 및 각 노즐 디스펜서의 사이즈이고, 상기 배면 글라스 모 델의 규격에 대한 정보는 상기 배면 글라스의 사이즈, 및 상기 배면 글라스의 사이즈와 R, G, B 셀에 따른 더미(dummy) 구간(Pd)을 포함하고,상기 사용자 오프셋값(D)은 D = Pb - (Pd + Pe)로 주어지는사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 사용자 오프셋값이 ㎛ 단위로 연산되는 사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 사용자 오프셋값 측정 장치의 동작이 소정 프로그램에 의해 미리 프로그램되는 사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 제 4항에 있어서,상기 소정의 프로그램이 비주얼 스튜디오 6.0(Visual studio 6.0) 프로그램인 사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 사용자 오프셋값 측정 장치를 사용하여 노즐 디스펜서의 코팅액 도포 위치의 사용자 오프셋값을 자동으로 측정하는 방법에 있어서,상기 노즐 디스펜서가 교체 또는 변경되는 경우a) 베어 글라스 상에 코팅액을 도포하는 단계;b) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 베어 글라스의 도포 시작 엣지의 위치(Pb)를 검출하는 단계;c) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보 및 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보를 입력하는 단계;d) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 배면 글라스의 좌우측 엣지의 외곽 격벽의 위치(Pe)를 검출하는 단계;e) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서에 대한 새로운 사용자 오프셋값(D)을 연산하는 단계; 및f) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 새로운 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치 상에 디스플레이하는 단계를 포함하는 사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 제 6항에 있어서,상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보는 R 셀용 노즐 디스펜서, G 셀용 노즐 디스펜서 및 B 셀용 노즐 디스펜서 및 각 노즐 디스펜서의 사이즈이고, 상기 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보는 상기 배면 글라스의 사이즈, 및 상기 배면 글라스의 사이즈와 R, G, B 셀에 따른 더미(dummy) 구간(Pd)을 포함하고,상기 새로운 사용자 오프셋값(D)은 D = Pb - (Pd + Pe)로 주어지는사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 사용자 오프셋값 측정 장치를 사용하여 노즐 디스펜서의 코팅액 도포 위치의 사용자 오프셋값을 자동으로 측정하는 방법에 있어서,상기 노즐 디스펜서 및 배면 글라스 모델이 모두 교체 또는 변경되는 경우a) 베어 글라스 상에 코팅액을 도포하는 단계;b) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 베어 글라스의 도포 시작 엣지의 위치(Pb)를 검출하는 단계;c) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보 및 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보를 입력하는 단계;d) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스의 좌우측 엣지의 외곽 격벽의 위치(Pe)를 검출하는 단계;e) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서에 대한 새로운 사용자 오프셋값(D)을 연산하는 단계; 및f) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 새로운 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치 상에 디스플레이하는 단계를 포함하는 사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 제 8항에 있어서,상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보는 R 셀용 노즐 디스펜서, G 셀용 노즐 디스펜서 및 B 셀용 노즐 디스펜서 및 각 노즐 디스펜서의 사이즈이고, 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보는 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스의 사이즈, 및 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스의 사이즈와 R, G, B 셀에 따른 더미(dummy) 구간(Pd)을 포함하고,상기 새로운 사용자 오프셋값(D)은 D = Pb - (Pd + Pe)로 주어지는사용자 오프셋값 자동 측정 방법.
- 사용자 오프셋값 측정 장치를 사용하여 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법에 있어서,a) 베어 글라스 상에 코팅액을 도포하는 단계;b) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 베어 글라스의 도포 시작 엣지의 위치(Pb)를 검출하는 단계;c) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 상기 노즐 디스펜서의 정보 및 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보를 입력하는 단계;d) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 배면 글라스의 좌우측 엣지의 외곽 격벽의 위치(Pe)를 검출하는 단계;e) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 사용자 오프셋값(D)을 연산하는 단계;f) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치 상에 디스플레이하는 단계; 및g) 상기 단계 e)에서 연산된 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 시스템 파라미터값으로 저장하고, 상기 배면 글라스 모델과 동일한 규격을 갖는 배면 글라스 모델에 대해 상기 저장된 시스템 파라미터값을 적용하는 단계를 포함하는 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 제 10항에 있어서,상기 노즐 디스펜서의 정보는 R 셀용 노즐 디스펜서, G 셀용 노즐 디스펜서 및 B 셀용 노즐 디스펜서 및 각 노즐 디스펜서의 사이즈이고, 상기 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보는 상기 배면 글라스의 사이즈, 및 상기 배면 글라스의 사이즈와 R, G, B 셀에 따른 더미(dummy) 구간(Pd)을 포함하고,상기 사용자 오프셋값(D)은 D = Pb - (Pd + Pe)로 주어지는노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 제 10항 또는 제 11항에 있어서,상기 사용자 오프셋값이 ㎛ 단위로 연산되는 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 제 10항 또는 제 11항에 있어서,상기 사용자 오프셋값 측정 장치의 동작이 소정 프로그램에 의해 미리 프로그램되는 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 제 13항에 있어서,상기 소정의 프로그램이 비주얼 스튜디오 6.0(Visual studio 6.0) 프로그램인 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 사용자 오프셋값 측정 장치를 사용하여 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법에 있어서,상기 노즐 디스펜서가 교체 또는 변경되는 경우a) 베어 글라스 상에 코팅액을 도포하는 단계;b) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 베어 글라스의 도포 시작 엣지의 위치(Pb)를 검출하는 단계;c) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보 및 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보를 입력하는 단계;d) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 배면 글라스의 좌우측 엣지의 외곽 격벽의 위치(Pe)를 검출하는 단계;e) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서에 대한 새로운 사용자 오프셋값(D)을 연산하는 단계;f) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 새로운 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치 상에 디스플레이하는 단계; 및g) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 새로운 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 새로운 시스템 파라미터값으로 저장하고, 상기 배면 글라스 모델과 동일한 규격을 갖는 배면 글라스 모델에 대해 상기 저장된 새로운 시스템 파라미터값을 적용하는 단계를 포함하는 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 제 15항에 있어서,상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보는 R 셀용 노즐 디스펜서, G 셀용 노즐 디스펜서 및 B 셀용 노즐 디스펜서 및 각 노즐 디스펜서의 사이즈이고, 상기 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보는 상기 배면 글라스의 사이즈, 및 상기 배면 글라스의 사이즈와 R, G, B 셀에 따른 더미(dummy) 구간(Pd)을 포함하고,상기 새로운 사용자 오프셋값(D)은 D = Pb - (Pd + Pe)로 주어지는노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 사용자 오프셋값 측정 장치를 사용하여 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법에 있어서,상기 노즐 디스펜서 및 배면 글라스 모델이 모두 교체 또는 변경되는 경우a) 베어 글라스 상에 코팅액을 도포하는 단계;b) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 베어 글라스의 도포 시작 엣지의 위치(Pb)를 검출하는 단계;c) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보 및 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보를 입력하는 단계;d) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스의 좌우측 엣지의 외곽 격벽의 위치(Pe)를 검출하는 단계;e) 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 의해 상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서에 대한 새로운 사용자 오프셋값(D)을 연산하는 단계;f) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 새로운 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치 상에 디스플레이하는 단계; 및g) 상기 단계 e)에서 연산된 상기 새로운 사용자 오프셋값을 상기 사용자 오프셋값 측정 장치에 사용될 새로운 시스템 파라미터값으로 저장하고, 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스 모델과 동일한 규격을 갖는 배면 글라스 모델에 대해 상기 저장된 새로운 시스템 파라미터값을 적용하는 단계를 포함하는 노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 교체 또는 변경된 노즐 디스펜서의 정보는 R 셀용 노즐 디스펜서, G 셀용 노즐 디스펜서 및 B 셀용 노즐 디스펜서 및 각 노즐 디스펜서의 사이즈이고, 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스 모델의 규격에 대한 정보는 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스의 사이즈, 및 상기 교체 또는 변경된 배면 글라스의 사이즈와 R, G, B 셀에 따른 더미(dummy) 구간(Pd)을 포함하고,상기 새로운 사용자 오프셋값(D)은 D = Pb - (Pd + Pe)로 주어지는노즐 디스펜서와 배면 글라스 간의 정렬을 자동으로 보정하는 방법.
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000260319A (ja) | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ディスプレイパネルの放電室に蛍光体インクを塗布する方法およびその装置 |
JP2003178677A (ja) | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Tatsumo Kk | プラズマディスプレイパネルの蛍光体充填装置 |
KR20030078666A (ko) * | 2002-03-28 | 2003-10-08 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 |
KR20040072811A (ko) * | 2003-02-11 | 2004-08-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입장치 및 방법 |
KR20050031572A (ko) * | 2003-09-30 | 2005-04-06 | 엘지전자 주식회사 | 평판 디스플레이 패널의 형광막 형성장치 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000260319A (ja) | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ディスプレイパネルの放電室に蛍光体インクを塗布する方法およびその装置 |
JP2003178677A (ja) | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Tatsumo Kk | プラズマディスプレイパネルの蛍光体充填装置 |
KR20030078666A (ko) * | 2002-03-28 | 2003-10-08 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 |
KR20040072811A (ko) * | 2003-02-11 | 2004-08-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 다중 잉크젯 헤드를 이용한 발광 용액 주입장치 및 방법 |
KR20050031572A (ko) * | 2003-09-30 | 2005-04-06 | 엘지전자 주식회사 | 평판 디스플레이 패널의 형광막 형성장치 |
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