KR950031516A - 페이스트도포기 - Google Patents

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쇼조 이가라시
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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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    • B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles

Abstract

본 발명의 목적은 기판상에 페이스트패턴을 묘화 형성한 다음, 이어서 상기 기판상의 묘화가 끝난 패턴의 단면형상이나 단면적을 간단히 확인할 수 있고 효율적인 품질관리를 행해질 수 있으며, 생상성 향상에 크게 기여하게 되는 페이스트도포기를 제공하는데 있다.
페이스트패턴 형성후에 광학식 거리계(3)에 의하여 기판(7) 표면의 높이를 계측하고, 그 계측데이타를 이용하여 묘화가 끝난 패턴의 도포높이 및 도포폭을 산출함으로서, 상기 패턴의 단면형상이나 단면적이 모니터(16)에 표시되도록 구성하였다.

Description

페이스트도포기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 페이스트도포기의 일실시예를 나타내는 개략 사시도.

Claims (6)

  1. 노즐의 페이스트토출구와 대향하도록 기판을 테이블상에 재치하고, 페이스트수납통에 충전된 페이스트를 상기 토출구로부터 상기 기판상으로 토출시키면서 상기 노즐과 상기 기판과의 상대위치관계를 변화시키고, 상기 기판상에 소망형상의 페이스트패턴을 묘화형성하는 페이스트도포기에 있어서, 상기 노즐의 페이스트토출구와 상기 기판의 표면과의 대향간격을 계측하는 계측수단과, 이 계측수단과 상기 기판을 상기 기판의 표면을 따라 상태적으로 이동시키는 이동수단과, 이 상대적 이동시에 상기 계측수단의 계측데이타를 이용하여 묘화가 끝난 페이스트패턴의 도포높이 및 도포폭을 산출하는 단면포착수단을 구비한 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단면포착수단이 계측개시와 계측종료의 양시점의 계측데이타를 비교연산하여 구한 상기 기판표면의 경사분을 제거함으로써 데이타보정이 가능한 보정수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 단면포착수단이 상기 보정수단에 의하여 보정된 계측데이타중 제로크로스하는 두개의 계측지점간의 거리로부터 묘화가 끝난 페이스트패턴의 도포폭을 구하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
  4. 제2항에 있어서, 상기 단면포착수단이 상기 보정수단에 의하여 보정된 계측데이타중 순차비교하여 묘화가 끝난 페이스트패턴의 도포높이를 구하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
  5. 제2항에 있어서, 상기 단면포착수단이 상기 보정수단에 의하여 수정된 계측데이타중 시계열로 나란히 묘화가 끝난 페이스트패턴의 단면형상에 근사한 윤곽을 구하고, 또 상기 윤곽을 모니터에 표시하는 윤곽표시수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 단면포착수단이 묘화가 끝난 페이스트패턴의 도포폭, 도포 높이, 및 단면적 중 적어도 어느 하나가 설정허용범위내에 있는지의 여부를 판정하는 이상판정수단과, 상기 이상판정수단에 의해 허용번위외로 판정되었을 때 이상처리를 행하는 이상처리수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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