KR100649962B1

KR100649962B1 - 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛

Info

Publication number: KR100649962B1
Application number: KR1020060058751A
Authority: KR
Inventors: 김희근
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2006-06-28
Filing date: 2006-06-28
Publication date: 2006-11-29
Also published as: TWI314878B; CN101067700A; JP2008006439A; TW200808456A; CN100470337C

Abstract

본 발명은 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛을 개시한다. 본 발명에 따르면, 기판과 노즐 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 기판상에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 노즐이 장착된 도포 헤드; 도포 헤드를 Z축 방향으로 승강시켜 노즐의 상하 위치를 변화시키는 Z축 구동기구; 노즐의 상하 위치를 측정하는 위치 센서; Z축 구동기구의 상하 움직임이 없는 위치에 고정되며, 기판의 위치 변화에 따른 기판까지의 거리를 측정하는 거리 센서; 및 위치 센서와 거리 센서로부터 측정된 값들을 제공받아서 Z축 구동기구를 제어하는 것으로, 페이스트 도포가 시작되기 전에 노즐과 기판 사이의 갭을 설정된 값으로 교정하는 갭 교정부와, 페이스트 도포가 진행되는 동안 노즐과 기판 사이의 갭을 설정된 값으로 보정하는 갭 보정부가 구비된 Z축 제어부;를 구비한다.

Description

페이스트 디스펜서의 헤드 유닛{Head unit of paste dispenser}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 대한 사시도.

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 헤드 유닛의 동작 상태를 설명하기 위한 정면도.

〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉

10..기판 110..도포 헤드

111..노즐 112..페이스트 수납통

120..Z축 구동기구 130..위치 센서

140..거리 센서 150..Z축 제어부

151..갭 교정부 152..갭 보정부

본 발명은 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 구성이 단순화되며 신속한 동작이 가능한 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 관한 것이다.

페이스트 디스펜서는 각종 평판 디스플레이의 제조에 있어서 기판의 접착 또는 실링을 위하여 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 장치로서, 기판이 탑재되는 스테이지와, 스테이지에 탑재된 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 헤드 유닛과, 헤드 유닛을 지지하는 헤드 지지대를 포함하여 구성된다.

이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 헤드 유닛에 장착된 노즐을 Z축으로 상하 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서, 노즐 및/또는 기판을 X축과 Y축 방향으로 수평 이동시킴으로써, 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포한다.

그런데, 종래에 따르면, 노즐을 Z축으로 상하 이동시키기 위해 헤드 유닛에 설치된 Z축 구동기구는, 노즐에 페이스트를 공급하는 페이스트 수납통뿐 아니라, 기판과 노즐 사이의 갭을 측정하는 거리 센서 모두를 상하로 이동시키게 구성되는 것이 일반적이다. 따라서, Z축 구동기구의 구동 부하가 커짐에 따라 노즐과 기판 사이의 갭을 신속하게 제어함에 불리할 수 있으며, 큰 동력이 요구됨으로 인해 헤드 유닛의 무게가 무거워질 수 있다. 또한, 거리 센서에 연결되는 배선의 움직임으로 인해 파티클이 발생할 우려도 있다.

이는 대한민국공개특허 제2003-0001338호에 개시된 바와 같이, 기판과 노즐 사이의 갭을 일정하게 유지하기 위해, 조동 액추에이터와 미동 액추에이터가 마련되는 경우, 특히 문제가 될 수 있다. 즉, 개시된 발명에 따르면, 노즐의 상하 위치를 변화시키기 위해, 저속이고 큰 거리 범위로 노즐의 상하 위치를 변화시키는 조동 액추에이터뿐만 아니라, 고속이고 미소 거리 범위로 노즐의 상하 위치를 변화시키는 미동 액추에이터를 구비하므로, 하나의 액추에이터를 구비하는 것에 비해 헤드 유닛의 무게가 무거워진다.

또한, 미동 액추에이터는 노즐, 페이스트 수납통, 및 거리 센서 모두를 상하로 이동시키도록 구성되므로, 구동 부하가 커지게 되어 노즐과 기판 사이의 갭을 신속하게 제어함에 불리할 수 있다. 게다가, 이러한 미동 액추에이터를 조동 액추에이터가 상하로 이동시키게 구성되므로, 미동 액추에이터뿐 아니라 조동 액추에이터의 구동 부하가 커지게 되며, 이로 인해 이들의 무게가 무거워지게 된다. 그 결과, 헤드 유닛의 무게가 증가하게 되므로, 기판에 소정의 페이스트 패턴을 형성하기 위해, 헤드 유닛이 X축 및 Y축으로 수평 이동하여 노즐을 이동시키는 경우, 신속하고 안정되게 동작하는데 불리함이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, Z축 구동기구에 의해 승강하는 구성요소를 최소화함으로써, 노즐과 기판 사이의 갭을 신속하게 제어할 수 있는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛을 제공함에 일 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 Z축 구동기구를 하나로 구비하여 헤드 유닛을 경량화함으로써, 신속하고 안정되게 동작할 수 있는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛을 제공함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유 닛은, 기판과 노즐 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 상기 기판상에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 상기 노즐이 장착된 도포 헤드; 상기 도포 헤드를 Z축 방향으로 승강시켜 상기 노즐의 상하 위치를 변화시키는 Z축 구동기구; 상기 노즐의 상하 위치를 측정하는 위치 센서; 상기 Z축 구동기구의 상하 움직임이 없는 위치에 고정되며, 상기 기판의 위치 변화에 따른 상기 기판까지의 거리를 측정하는 거리 센서; 및 상기 위치 센서와 거리 센서로부터 측정된 값들을 제공받아서 상기 Z축 구동기구를 제어하는 것으로, 페이스트 도포가 시작되기 전에 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 설정된 값으로 교정하는 갭 교정부와, 페이스트 도포가 진행되는 동안 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 설정된 값으로 보정하는 갭 보정부가 구비된 Z축 제어부;를 구비한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛을 상세히 설명하기로 한다. 여기서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛은, 기판과 노즐 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 기판상에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 채용되는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 대한 사시도이다.

도 1을 참조하면, 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛(100)은, 도포 헤드(110), Z축 구동기구(120), 위치 센서(130), 거리 센서(140), 및 Z축 제어부(150)를 포함하여 구성된다.

도포 헤드(110)에는 노즐(111)과, 상기 노즐(111)에 연결되며 페이스트가 저장된 페이스트 수납통(112)이 장착된다. 여기서, 노즐(111)은 기판(10, 도 2 참조)상에 페이스트를 토출하기 위한 것이다. 그리고, 페이스트 수납통(112)은 상기 노즐(111)로 페이스트를 공급하기 위한 것으로, 도포 헤드(110)에 마련된 지지 블록(113)에 장착되어 지지가 될 수 있다. 한편, 도시하지는 않았지만, 페이스트 수납통(112)에는 노즐(111)로부터 페이스트가 토출될 수 있도록 토출 압력을 가하는 한편, 토출 압력을 일정하게 유지할 수 있도록 정압 시스템이 설치될 수 있다.

Z축 구동기구(120)는 전술한 도포 헤드(110)를 Z축 방향으로 승강시킴으로써, 궁극적으로는 노즐(111)의 상하 위치를 변화시키기 위한 것이다. 본 실시예에서, Z축 구동기구(120)는 헤드 유닛(100)의 경량화를 위해 하나로 구비되며, 후술하겠지만 위치 센서(130)와 거리 센서(140)로부터 측정된 값을 제공받는 Z축 제어부(150)에 의해, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭(gap)을 교정함과 아울러 보정할 수 있게 제어된다.

상기 Z축 구동기구(120)는 Z축 모터(121), 예컨대 회전 모터 또는 리니어 모터의 구동력에 의해 Z축으로 승강 가능하게 된 Z축 가동부를 도포 헤드(110)에 고정 결합시킴으로써, 도포 헤드(110)를 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다.

일 예로, Z축 구동기구(120)에 회전 모터가 채용되는 경우, 회전 모터의 회전력을 전달받아 회전할 수 있게 회전 모터의 회전축에 결합되는 한편 Z축으로 설치된 볼 스크류가 마련되며, 이러한 볼 스크류에 Z축 가동부가 나사 결합되는 한편 Z축 가동부의 이동을 안내하게 LM(Linear Motion) 가이드가 마련됨으로써, 회전 모 터의 구동으로 볼 스크류를 회전시키게 되면 Z축 가동부를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.

한편, 전술한 Z축 구동기구(120)뿐 아니라, 헤드 유닛(100)에는 노즐(111)을 Y축 및 X축으로 수평 이동시킬 수 있게 Y축 구동기구(160)와 X축 구동기구(170)가 더 마련될 수 있다. 여기서, Y축 구동기구(160)는 Z축 구동기구(120)에 설치됨으로써 Z축 구동기구(120)에 연결된 도포 헤드(110), 즉 노즐(111)을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 한다. 그리고, X축 구동기구(170)는 페이스트 디스펜서에 통상 마련되는 헤드 지지대(20)와 전술한 Y축 구동기구(160) 사이에 설치되어, 헤드 유닛(100) 전체를 X축 방향으로 이동시킬 수 있게 함으로써, 노즐(111)의 위치를 X축 방향으로 조정할 수 있게 한다. 이러한 Y축 구동기구(160) 및 X축 구동기구(170)는 통상적인 액추에이터, 예컨대 리니어 모터 등이 포함하여 구성될 수 있다.

위치 센서(130)는 노즐(111)의 상하 위치를 측정하기 위한 것으로, 측정한 값을 후술할 Z축 제어부(150)로 제공한다. 이러한 위치 센서(130)는 노즐(111)의 상하 위치를 측정할 수 있는 것이면 어느 것이나 가능하나, 노즐(111)의 정밀한 위치 제어를 위해 리니어 엔코더(linear encoder)로 이루어진 것이 바람직하다. 여기서, 리니어 엔코더는 Z축 구동기구(120)에 설치되어 Z축 가동부의 이동량과 방향을 감지하여 이를 Z축 제어부(150)로 제공함으로써, 궁극적으로 노즐(111)의 상하 위치를 측정할 수 있게 한다. 한편, Z축 구동기구(120)의 Z축 가동부, 즉 노즐(111)을 원점에 위치시키기 위한 원점 센서가 더 마련될 수도 있다.

거리 센서(140)는 Z축 구동기구(120), 상세하게는 Z축 구동기구(120)의 상하 움직임이 없는 위치에 고정됨으로써, 기판(10)의 위치 변화에 따른 기판(10)까지의 거리를 측정한다. 즉, 거리 센서(140)는 노즐(111)이 기판(10)에 대해 상대 이동하여 기판(10)상에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하는 동안, 기판(10)까지의 거리를 실시간으로 측정함으로써, 기판(10)의 굴곡 등에 따른 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭 변화를 간접적으로 측정하여 후술할 Z축 제어부(150)로 제공한다.

전술한 바와 같이 본 실시예에서는, 거리 센서(140)가 Z축 구동기구(120)에 의해 승강하지 않고 소정 높이에 고정되는데, 이에 따라 종래에 노즐과 함께 거리 센서가 승강하게 된 것에 비해, Z축 구동기구(120)에 의해 승강하는 구성요소가 줄어들 수 있다. 따라서, Z축 구동기구(120)의 구동부하가 감소할 수 있는바, Z축 구동기구(120)의 경량화를 이룰 수 있을 뿐 아니라, 기판(10)상에 페이스트 도포가 진행되는 동안 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 보다 신속하게 제어하는데 유리할 수 있다. 또한, 도시하지는 않았지만 거리 센서(140)에는 배선이 연결되는데, 노즐(111)이 승강하더라도 거리 센서(140)와 마찬가지로 배선의 상하 움직임이 없게 되므로 배선의 움직임에 따른 파티클 생성이 방지될 수 있다.

한편, 거리 센서(140)는 페이스트 도포가 진행되는 동안에 측정되는 값이 측정 범위를 벗어나지 않도록, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 교정하기 전에 초기 설정되는 것이 바람직하다. 예컨대, 거리 센서(140)는 측정 범위의 중간값으로 초기 설정될 수 있다.

Z축 제어부(150)는 전술한 위치 센서(130)와 거리 센서(140)로부터 측정된 값들을 제공받으며, 제공받은 값들에 의거하여 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 교정하고 보정할 수 있도록 Z축 구동기구(120)를 제어한다. 이러한 Z축 제어부(150)는 갭 교정부(151)와 갭 보정부(152)를 구비한다.

갭 교정부(151)는 페이스트 도포가 시작되기 전에 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 설정된 값으로 교정한다. 상술하면, 갭 교정부(151)는 노즐(111)을 기판(10)에 접촉시키고 분리시키는 과정에서 위치 센서(130)에 의해 측정된 값들로부터 노즐(111)이 기판(10)에 접촉되는 접촉 위치를 검출한 후, 검출된 접촉 위치로부터 노즐(111)과 기판(10) 사이의 설정된 갭 만큼 노즐(111)을 이동시켜 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 교정하게 구성된다.

여기서, 접촉 위치라 함은, 노즐(111)을 기판(10)에 접촉시키고 상승시키는 과정에서 위치 센서(130)로부터 측정된 값이 전환되는 노즐(111)의 위치를 의미한다. 즉, 기판(10)으로부터 소정 거리만큼 떨어져 있는 노즐(111)을 하강시키게 되면 위치 센서(130)로부터의 값이 변하다가, 노즐(111)이 기판(10)에 접촉되면 위치 센서(130)로부터의 값이 변하지 않게 된다. 그리고, 이러한 상태에서 노즐(111)을 상승시키게 되면 위치 센서(130)로부터의 값이 다시 변하게 된다.

이처럼 노즐(111)을 기판(10)에 접촉시키고 상승시키는 과정에서 노즐(111)을 하강시키는 동안 위치 센서(130)로부터의 값이 변하다가 변하지 않는 시점에서의 노즐(111)의 위치나, 노즐(111)을 상승시키는 동안 위치 센서(130)로부터의 값이 변하지 않다가 변하는 시점에서의 노즐(111)의 위치가 노즐(111)이 기판(10)이 접촉되는 접촉 위치가 된다. 이러한 접촉 위치를 검출하는 과정은 정확한 검출을 위해 수회 반복하여 이루어질 수 있다.

전술한 과정을 거쳐 검출된 접촉 위치는 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭 설정시 갭이 기준 위치에 해당하게 되므로, 이러한 기준 위치로부터 노즐(111)과 기판(10) 사이의 설정된 갭 만큼 노즐(111)을 상승시키게 되면 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭이 정확한 값으로 교정될 수 있는 것이다.

갭 보정부(152)는 페이스트 도포가 진행되는 동안 기판(10)의 굴곡 등에 따른 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭이 변하는 경우, 갭을 설정된 값으로 보정함으로써, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 일정하게 유지하여 페이스트 패턴이 균일한 폭과 높이로 형성될 수 있게 한다.

상술하면, 갭 보정부(152)는 전술한 갭 교정부(151)에 의해 갭이 교정된 후 페이스트 도포가 시작될 시점에서 거리 센서(140)로부터 측정된 값과 페이스트 도포가 진행되는 동안 거리 센서(140)로부터 실시간으로 측정되는 값을 비교하여 그 차이만큼 노즐(111)을 이동시킴으로써, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 설정된 값으로 보정할 수 있게 구성된다. 여기서, 갭 보정부(152)에 의한 노즐(111)의 이동은 위치 센서(130)로부터 제공받은 값에 의거하여 제어된다.

상기와 같이 구성된 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛(100)에 의해 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 교정하고 보정하는 과정을 도 1과 함께, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 여기서, 도 2는 노즐이 원점에 위치한 상태이며, 도 3은 노즐이 설정된 갭 만큼 이동한 상태를 나타낸 것이다.

먼저, 페이스트 도포가 시작되기 전에 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 교정하는 과정을 설명하면, 갭 교정부(151)에서는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(10) 으로부터 소정 거리만큼 떨어져 원점에 위치한 노즐(111)을 하강시켜 기판(10)에 접촉시킨 후 상승시키며, 이러한 과정을 통해 노즐(111)이 기판(10)에 접촉되는 접촉 위치를 검출한다.

접촉 위치의 검출은, 노즐(111)을 기판(10)에 접촉시키고 상승시키는 과정에서 위치 센서(130)로부터 측정된 값이 전환될 때의 노즐(111)의 위치를 검출함으로써 이루어질 수 있다. 이때, 접촉 위치는 노즐(111)을 하강시키는 동안에 위치 센서(130)로부터의 값이 변하다가 변하지 않는 시점에서의 노즐(111)의 위치나, 노즐(111)을 상승시키는 동안에 위치 센서(130)로부터의 값이 변하지 않다가 변하는 시점에서의 노즐(111)의 위치에 해당할 수 있다. 이러한 접촉 위치를 검출하는 과정은 정확한 검출을 위해 수회 반복하여 이루어질 수 있다.

이렇게 접촉 위치를 검출한 후, 갭 교정부(151)에서는 위치 센서(130)의 값을 참조하면서, 접촉 위치로부터 도 3에 도시된 바와 같이 노즐(111)과 기판(10) 사이의 설정된 갭 만큼 노즐(111)을 상승시켜 위치시킨다. 그러면, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 정확한 값으로 교정할 수 있게 되는 것이다.

전술한 바와 같은 과정을 거쳐 도 3에 도시된 바와 같이 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭이 교정된 상태에서, 페이스트 도포가 시작되면, 갭 보정부(152)에서는 페이스트 도포가 진행되는 동안 기판(10)의 굴곡 등에 따른 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭이 변하는 경우, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 설정된 값으로 보정한다.

이때, 갭 보정부(152)는 갭 교정부(151)에 의해 갭이 교정된 후 페이스트 도 포가 시작될 시점에서 거리 센서(140)로부터 측정된 값을 입력받아서 저장한다. 그 다음, 갭 보정부(152)는 노즐(111)과 기판(10) 사이의 상대 위치가 변하면서 기판(10)상에 소정 패턴으로 페이스트 도포가 진행되는 동안 거리 센서(140)로부터 측정되는 값을 입력받은 후, 그 값을 페이스트 도포가 시작될 시점에서 거리 센서(140)로부터 측정된 값과 비교하여 그 차이만큼 위치 센서(130)를 참조하면서 노즐(111)을 승강시킴으로써, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 보정한다.

상술하자면, 페이스트 도포가 시작될 시점에서 거리 센서(140)로부터 측정된 값을 A라 하고, 페이스트 도포가 진행되는 동안 거리 센서(140)로부터 실시간으로 측정되는 값을 B라 할 때, 갭 보정부(152)에서는 다음과 같이 갭을 보정하게 된다.

먼저, B 값이 A 값보다 크게 되면 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭이 설정된 값보다 커진 경우이므로, 갭 보정부(152)에서는 갭을 감소시키기 위해 위치 센서(130)를 참조하면서 B와 A의 차이만큼 노즐(111)을 하강시켜 위치시킨다. 이와 반대로, B 값이 A 값보다 작게 되면 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭이 설정된 값보다 작아진 경우이므로, 갭 보정부(152)에서는 갭을 증가시키기 위해 위치 센서(130)를 참조하면서 B와 A의 차이만큼 노즐(111)을 상승시켜 위치시킨다. 그러면, 노즐(111)과 기판(10) 사이의 갭을 설정된 값으로 보정할 수 있게 되는 것이다.

상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 거리 센서가 Z축 구동기구의 상하 움직임이 없는 위치에 고정됨으로써, 종래에 노즐과 함께 거리 센서가 승강하게 된 것 에 비해, Z축 구동기구에 의해 승강하는 구성요소가 줄어들 수 있게 되므로, Z축 구동기구의 구동부하가 감소할 수 있다.

따라서, Z축 구동기구의 경량화를 이룰 수 있으며, 이로 인해 기판상에 페이스트 도포가 진행되는 동안 노즐과 기판 사이의 갭을 보다 신속하게 제어할 수 있다. 뿐만 아니라, 노즐이 승강하더라도 거리 센서에 연결된 배선의 상하 움직임이 없게 되므로 배선의 움직임에 따른 파티클 생성이 방지될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 하나의 Z축 구동기구에 의해 노즐을 Z축으로 승강시켜 노즐과 기판 사이의 갭을 제어하므로, 헤드 유닛을 경량화시킬 수 있다. 이에 따라, 헤드 유닛이 기판상에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 수평 이동할 때 더욱 신속하고 안정되게 동작할 수 있는 효과가 있게 된다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims

기판과 노즐 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 상기 기판상에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어서,

상기 노즐이 장착된 도포 헤드;

상기 도포 헤드를 Z축 방향으로 승강시켜 상기 노즐의 상하 위치를 변화시키는 Z축 구동기구;

상기 노즐의 상하 위치를 측정하는 위치 센서;

상기 Z축 구동기구의 상하 움직임이 없는 위치에 고정되며, 상기 기판의 위치 변화에 따른 상기 기판까지의 거리를 측정하는 거리 센서; 및

상기 위치 센서와 거리 센서로부터 측정된 값들을 제공받아서 상기 Z축 구동기구를 제어하는 것으로, 페이스트 도포가 시작되기 전에 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 설정된 값으로 교정하는 갭 교정부와, 페이스트 도포가 진행되는 동안 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 설정된 값으로 보정하는 갭 보정부가 구비된 Z축 제어부;

를 구비하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 갭 교정부는, 상기 노즐을 상기 기판에 접촉시키고 분리시키는 과정에서 상기 위치 센서에 의해 측정된 값들로부터 상기 노즐이 기판에 접촉되는 접촉 위치를 검출한 후, 검출된 접촉 위치로부터 상기 노즐과 기판 사이의 설정된 갭 만 큼 상기 노즐을 이동시켜 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 교정하게 된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
제 2항에 있어서,

상기 갭 교정부는 상기 노즐이 기판에 접촉되는 접촉 위치를 검출하는 과정을 수회 반복하게 된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 갭 보정부는, 페이스트 도포가 시작될 시점에서 상기 거리 센서로부터 측정된 값과 페이스트 도포가 진행되는 동안 상기 거리 센서로부터 측정되는 값을 비교하여 그 차이만큼 상기 노즐을 이동시켜 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 보정하게 된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
제 4항에 있어서,

상기 거리 센서는, 상기 노즐과 기판 사이의 갭을 교정하기 전에 측정 범위의 중간값으로 초기 설정된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 위치 센서는 상기 Z축 구동기구에 마련된 리니어 엔코더(linear encoder)인 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
제 1항에 있어서,

상기 도포 헤드에는 상기 노즐로 페이스트를 공급하는 페이스트 수납통이 장착된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.