KR20200131956A - 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 모듈레이터 캘리브레이션 유닛은 어레이 테스터의 모듈레이터와의 이격거리를 측정하는 센서부와, 상기 센서부에서 검출된 정보를 상기 모듈레이터에 연결된 갭보정 유닛에 전달하는 송신모듈을 포함한다.

Description

모듈레이터 캘리브레이션 유닛과 이를 포함하는 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법{modulator calibration unit, calibration system and calibrating method using the same}
본 발명은 모듈레이터 캘리브레이션 유닛과 이를 포함하는 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구 및 개발되어 왔다.
그 중에서 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 의하여 성능이 더욱 향상된 액정표시장치는, 현재 화질이 우수하고, 소형화, 경량화 및 저전력화 등의 장점으로 인하여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT)을 대체하면서 많이 사용되고 있다.
평판표시장치의 하나인 액정표시장치는, 휴대 가능한 핸드폰, PDA(Personal Digital Assistant) 및 PMP(Portable Multimedia Player) 등과 같은 소형 제품뿐만 아니라 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 TV 및 컴퓨터의 모니터 등의 중대형 제품에 이르기까지 다양하게 사용되고 있다.
액정표시장치는, 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
이러한 액정표시장치는, 복수의 픽셀 패턴을 형성한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하TFT라 함) 기판과 컬러 필터층을 형성한 컬러필터 기판 사이에, 전기적인 신호가 인가됨에 따라 광의 투과 여부를 결정하는 액정층을 구비한다.
이와 같은 액정표시장치는 제조공정중에 TFT 기판에 형성된 게이트라인 또는 데이터라인의 단선 또는 오픈 기타 TFT 기판 상의 회로불량 등의 결함을 테스트하는 공정을 수행하게 된다.
또한, 기판 위에 형성된 전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다. 그리고 어레이 테스트 장치는 픽스바디 유닛과 모듈레이터 유닛이 결합된 프리바디 유닛을 포함한다. 모듈레이터 유닛은 기판 전극과의 사이에 전기장을 형성시키기 위한 모듈레이터 전극과, 상기 전기장의 크기에 따라서 물성이 변하는 물성변화부를 구비한다.
한편 이와 같은 어레이 테스트는 테스트를 수행하기 전에, 기판으로부터 모듈레이터의 거리를 일정하게 유지하는 세팅을 수행했다.
종래기술에서는 이러한 세팅으로 기판에 모듈레이터를 접촉하고 기판으로부터 모듈레이터의 평탄도를 일정하게 유지하는 모듈레이터 캘리브레이션 방법을 사용했다.
그러나, 종래기술에 따른 모듈레이터 캘리브레이션 방법은 기판에 모듈레이터가 물리적으로 접촉됨으로써, 모듈레이터 또는 기판의 파손이 발생되고, 이러한 파손으로 인한 이물질이 발생하는 문제점이 발생된다.
본 발명의 목적은 기판으로부터 모듈레이터의 거리를 일정하게 유지하는 세팅시, 모듈레이터 또는 기판의 파손을 방지하고, 이러한 파손으로 인한 이물질 발생을 최소화하는 모듈레이터 캘리브레이션 유닛 및 이를 이용한 캘리브레이션 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기판으로부터 모듈레이터의 거리를 일정하게 유지하는 세팅 시, 모듈레이터와 기판의 파손을 방지하고, 이러한 파손으로 인한 이물질 발생을 최소화하는 모듈레이터 캘리브레이션 유닛을 포함한 캘리브레이션 시스템을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 모듈레이터 캘리브레이션 유닛은 어레이 테스터의 모듈레이터와의 이격거리를 측정하는 센서부와, 상기 센서부에서 검출된 정보를 상기 모듈레이터에 연결된 갭보정 유닛에 전달하는 송신모듈을 포함한다.
또한, 모듈레이터 캘리브레이션 유닛에 있어서, 상기 센서부는 복수개를 포함하고, 복수개의 상기 센서부는 상기 모듈레이터에 대향되고, 상기 모듈레이터의 배치영역에 대응되는 영역에 내재될 수 있다.
또한, 모듈레이터 캘리브레이션 유닛에 있어서, 상기 센서부는 삼각형상으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일시시예에 따른 모듈레이터의 캘리브레이션 방법은 모듈레이터를 캘리브레이션 유닛의 복수의 센서부에 대향되도록 위치시키는 모듈레이터의 캘리브레이션 유닛 대향단계와, 상기 복수의 센서부를 통해 모듈레이터와의 이격거리에 대하여 검출하는 캘리브레이션 유닛의 이격거리 센싱단계와, 상기 검출된 이격거리 정보를 통해 픽스바디 유닛과 프리바디 유닛 사이의 갭을 조정하는 모듈레이터 변위 조정단계와, 모듈레이터 변위 조정 후, 복수의 센서부를 통해 상기 모듈레이터와의 이격거리를 확인하는 이격거리 확인 단계와, 복수의 센서부에서 검출된 이격거리가 서로 동일한 경우, 상기 모듈레이터의 캘리브레이션이 완료된 것으로 확인하고 종료하는 캘리브레이션 종료단계를 포함한다.
또한, 모듈레이터의 캘리브레이션 방법에 있어서, 상기 이격거리 확인 단계에서 복수의 센서부에서 검출된 이격거리가 서로 동일하지 않은 경우, 상기 모듈레이터 변위 조정단계를 수행하고, 이격거리 확인 단계를 통해 복수의 센서부에서 모듈레이터까지의 이격거리가 서로 동일한지를 확인한다.
본 발명의 일실시예에 따른 캘리브레이션 시스템은 픽스바디 유닛과, 상기 픽스바디 유닛에 이동가능하도록 결합된 프리바디 유닛과, 상기 픽스바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛과, 상기 프리바디 유닛에 결합되는 모듈레이터와 수신모듈을 포함하는 어레이 테스터과, 상기 모듈레이터와의 이격거리를 측정하는 센서부와, 상기 센서부에서 검출된 정보를 상기 수신모듈에 전달하는 송신모듈을 포함하는 모듈레이터 캘리브레이션 유닛을 포함한다.
또한, 캘리브레이션 시스템에 있어서, 상기 센서부는 복수개를 포함하고, 복수개의 상기 센서부는 상기 모듈레이터에 대향되고, 상기 모듈레이터의 배치영역에 대응되는 영역에 내재될 수 있다.
또한, 캘리브레이션 시스템에 있어서, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 결합바디와, 상기 프리바디 유닛에 결합되는 제2 결합바디와, 상기 제1 결합바디에 일측이 결합되고 상기 제2 결합바디에 타측이 결합된 피에조 엑추에이터와, 상기 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 검출하는 센서를 포함하고, 상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 상기 갭에 관한 정보를 이용하여 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리를 조정한다.
또한, 캘리브레이션 시스템에 있어서, 상기 모듈레이터 유닛은 모듈레이터와, 상기 모듈레이터가 결합되는 바디 프레임을 포함하고, 글라스 패널에 대향되도록 상기 바디 프레임은 상기 프리바디 유닛에 장착된다.
또한, 캘리브레이션 시스템에 있어서, 상기 모듈레이터와 상기 센서는 상기 글라스 패널에 대향되어 동일한 이격거리를 갖는 동일면에 위치될 수 있다.
또한, 캘리브레이션 시스템에 있어서, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 프리바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛에 복수개가 장착될 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 의하면 모듈레이터와 기판 사이에 간격의 초기세팅시, 모듈레이터와 기판의 파손을 방지하고, 파손으로 인한 이물질 발생을 최소화하는 모듈레이트 캘리브레이션 유닛 및 이를 이용한 모듈레이터의 캘리브레이션 방법을 제공하므로써, 모듈레이터의 수명이 향상된다.
본 발명에 의하면 모듈레이터와 기판 사이에 간격의 초기세팅시, 모듈레이터와 기판의 파손을 방지하고 및 파손으로 인한 이물질 발생을 최소화하는 모듈레이트 캘리브레이션 유닛을 포함한 캘리브레이션 시스템을 제공하므로써, 정확한 캘리브레이션 공정이 구현된다.
본 발명의 기술적 사상의 실시예는, 구체적으로 언급되지 않은 다양한 효과를 제공할 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터의 캘리브레이션 유닛의 기술사상을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 캘리브레이션 유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 캘리브레이션 유닛의 캘리브레이션 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 모듈레이터 캘리브레이션 유닛을 포함하는 캘리브레이션 시스템을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 5는 도 4에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 픽스바디 유닛의 개략적인 저면도이다.
도 6은 도 4에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 분해사시도이다.
도 7은 도 4에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 구성도이다.
도 8은 도 7에 도시한 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 사용상태도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터의 캘리브레이션 유닛의 기술사상을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도시한 바와 같이, 어레이 테스터(100)는 캘리브레이션 유닛(200)에 대향되도록 위치되고, 어레이 테스터(100)에 장착된 모듈레이터(130)는 캘리브레이션 유닛(200)에 의해 위치가 보정된다.
보다 구체적으로, 어레이 테스터(100)는 픽스바디 유닛(110), 프리바디 유닛(120), 모듈레이터(130), 갭 보정 유닛(140) 및 수신모듈(150)을 포함한다.
프리바디 유닛(120)은 갭보정 유닛(140)에 의해 픽스바디 유닛(110)에 이동가능하도록 결합되고, 갭보정 유닛(140)은 픽스바디 유닛(110)과 프리바디 유닛(120) 사이의 갭(D2a, D2b, D2c)을 조정한다.
갭보정 유닛(140)은 모듈레이터(130)의 캘리브레이션을 위해 복수개가 프리바디 유닛(120)에 장착된다. 도 1은 갭보정 유닛(140)이 제1 갭보정 유닛(141), 제2 갭보정 유닛(142) 및 제3 갭보정 유닛(143)을 포함하는 일실시예를 도시한 것이다.
제1 갭보정 유닛(141), 제2 갭보정 유닛(142) 및 제3 갭보정 유닛(143)은 모듈레이터의 캘리브레이션을 위해 등간격으로 이격되도록 배치될 수 있다.
제1 갭보정 유닛(141), 제2 갭보정 유닛(142) 및 제3 갭보정 유닛(143)에 의해 제1 갭(D2a), 제2 갭(D2b) 및 제3 갭(D2c)이 각각 조정된다.
갭보정 유닛(140)은 피에조 액추에이터를 포함하는 피에조 갭보정 유닛으로 구현될 수 있다.
또한, 캘리브레이션 유닛(200)은 센서부(210)와 송신모듈(220)을 포함한다. 센서부(210)는 모듈레이터(130)와 사이의 이격거리(D1a, D1b, D1c)를 측정한다. 센서부(210)는 모듈레이터(130)의 캘리브레이션을 위해 복수개를 포함하고, 도 1은 제1 센서부(211), 제2 센서부(212) 및 제3 센서부(213)를 포함하는 일실시예를 도시한 것이다.
이는 3지점에서 동일한 이격거리로 측정될 경우, 모듈레이터는 평평한 상태로 판단할 수 있기 때문이다.
이에 따라, 제1 센서부(211), 제2 센서부(212) 및 제3 센서부(213)는 각각 모듈레이터(130)의 3지점에 대하여 이격거리(D1a, D1b, D1c)를 측정하고, 송신모듈(220)은 제1 센서부(211), 제2 센서부(212) 및 제3 센서부(213)에 의해 각각 측정된 제1 이격거리(D1a), 제2 이격거리(D1b) 및 제3 이격거리(D1c)를 어레이 테스터(100)의 수신모듈(150)에 전달한다.
즉, 어레이 테스터(100)의 제1 갭보정 유닛(131), 제2 갭보정 유닛(132) 및 제3 갭보정 유닛(133)은 측정된 거리 제1 이격거리(D1a), 제2 이격거리(D1b) 및 제3 이격거리(D1c)를 이용해서 픽스바디 유닛(110)과 프리바디 유닛(120) 사이의 제1 갭(D2a), 제2 갭(D2b) 및 제3 갭(D2c)을 조정하고, 제1 갭(D2a), 제2 갭(D2b) 및 제3 갭(D2c) 조정에 의해 모듈레이터(130)는 테스트 전 초기위치가 조정된다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 캘리브레이션 유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도시한 바와 같이, 캘리브세이션 유닛(2000)은 센서부(2100)와 송신모듈(2200)을 포함한다.
보다 구체적으로, 센서부(2100)는 모듈레이터와 사이의 이격거리를 측정하기 위한 것으로 제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(2130)를 포함한다.
또한, 제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(2130)는 모듈레이터에 대향되고, 모듈레이터의 배치영역에 대응되는 영역에 내재된다.
제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(2130)는 모듈레이터의 캘리브레이션을 위해 삼각형상으로 배치될 수 있다.
그리고 제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(2130)는 각각 모듈레이터의 3지점에 대한 이격거리를 측정하고, 송신모듈(2200)은 제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(213)에서 검출된 이격거리를 어레이 테스터에 전송한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 캘리브레이션 유닛의 캘리브레이션 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
도시한 바와 같이, 캘리브레이션 방법(S1000)은 모듈레이터의 캘리브레이션 유닛 대향단계(S1100), 캘리브레이션 유닛의 이격거리 센싱단계(S1200), 모듈레이터 변위 조정단계(S1300), 이격거리 확인 단계(S1400) 및 캘리브레이션 종료(S1500)를 포함한다.
보다 구체적으로, 모듈레이터의 캘리브레이션 유닛 대향단계(S1100)는 모듈레이터를 캘리브레이션 유닛에 대향되도록 위치시키는 단계이다. 이때, 캘리브레이션 유닛의 센서부는 모듈레이터에 대향되도록 위치되고, 복수개가 이격된 상태로 배치된다.
다음으로, 캘리브레이션 유닛의 이격거리 센싱단계(S1200)는 복수의 센서를 통해 모듈레이터와의 이격거리에 대하여 검출하는 단계이다.
모듈레이터 변위 조정단계(S1300)는 복수의 센서를 통해 각각 검출된 이격거리 정보를 통해 갭보정 유닛을 이용하여 픽스바디 유닛과 프리바디 유닛 사이의 갭을 조정한다. 즉, 프리바디 유닛에 모듈레이터가 결합됨에 따라 프리바디 유닛의 이동에 따라 모듈레이터가 이동된다.
이 때, 갭보정 유닛은 피에조 액추에이터를 포함하는 피에조 갭보정 유닛으로 구현될 수 있다.
다음으로 이격거리 확인 단계(S1400)는 복수의 센서부를 통해 모듈레이터와의 이격거리를 확인하는 단계이다. 즉, 복수의 센서부에서 모듈레이터까지의 이격거리가 동일한지를 확인하는 단계이다.
캘리브레이션 종료(S1500)는 복수의 센서부에서 검출된 이격거리가 동일한 경우 모듈레이터의 캘리브레이션이 완료된 것으로 확인하고, 모듈레이터의 캘리브레이션을 종료한다.
다만, 실시간으로 확인 결과, 복수의 센서부에서 이격거리가 동일하지 않은 경우 다시 모듈레이터 변위 조정단계(S1300)를 수행하고, 이격거리 확인 단계(S1400)를 통해 복수의 센서부에서 모듈레이터까지의 이격거리가 동일한지를 확인하고, 동일한 경우 모듈레이터의 캘리브레이션이 완료된 것으로 확인하고, 모듈레이터의 캘리브레이션을 종료한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 모듈레이터 캘리브레이션 유닛을 포함하는 캘리브레이션 시스템을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 5는 도 4에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 저면도이고, 도 6은 도 4에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 분해사시도이다.
도시한 바와 같이 캘리브레이션 시스템은 캘리브레이션 유닛(2000)과 어레이 테스터(1000)를 포함한다. 캘리브레이션 유닛(2000)은 제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(2130)를 포함한다.
또한, 제1 센서부(2110), 제2 센서부(2120) 및 제3 센서부(2130)는 모듈레이터에 대향되고, 모듈레이터의 배치영역에 대응되는 영역(도 4에 2점 쇄선 및 도 5에 p1, p2 및 p3로 도시함)에 내재된다.
또한, 어레이 테스터(1000)는 캘리브레이션 유닛(2000)을 통해 전송된 이격거리 정보를 통해 모듈레이터를 조정한다.
어레이 테스터(1000)는 픽스바디 유닛(1100), 프리바디 유닛(1200), 피에조 갭보정 유닛(1300) 및 모듈레이터 유닛(1400)을 포함한다.
보다 구체적으로, 픽스바디 유닛(1100)에는 프리바디 유닛(1200)이 피에조 갭보정 유닛(1300)에 의해 이동가능하도록 결합된다.
이를 위해, 피에조 갭보정 유닛(1300)의 일측은 픽스바디 유닛(1100)에 결합되고, 피에조 갭보정 유닛(1300)의 타측은 프리바디 유닛(1200)에 결합된다. 그리고 피에조 갭보정 유닛(1300)은 일측과 타측 사이의 변위가 조정가능하도록 이루어진다.
모듈레이터 유닛(1400)은 모듈레이터(1410)와 바디프레임(1420)을 포함한다. 모듈레이터(1410)는 바디프레임(1420)에 결합되고, 바디프레임은 모듈레이터의 외주를 커버한다. 또한, 글라스 패널에 모듈레이터(1410)가 대향되도록 바디프레임(1420)은 프리바디 유닛(1200)에 장착된다.
또한, 도 1에 대한 설명을 통해 전술한 바와 같이, 어레이 테스터(1000)는 캘리브레이션 유닛의 송신모듈을 통해 전송되는 이격거리정보를 전달받는 수신모듈을 포함한다. 수신모듈의 정보를 통하여 피에조 갭보정 유닛(1300)은 픽스바디 유닛(1100)과 프리바디 유닛(1200)의 갭을 조정한다.
또한, 안정적이고 정확한 위치조정을 위해 피에조 갭보정 유닛(1300)은 프리바디 유닛(1200)에 복수개가 장착될 수 있다. 또한, 도 5는 3개의 피에조 갭보정 유닛(1300)이 이격된 상태로 프리바디 유닛(1200)에 장착된 일실시예를 도시한 것이다.
도 7은 도 4에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 구성도이고, 도 8은 도 7에 도시한 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 사용상태도이다.
피에조 갭보정 유닛(1300)은 제1 결합바디(1310), 제2 결합바디(1320), 피에조 엑추에이터(1330) 및 센서(1340)를 포함한다.
제1 결합바디(1310)는 픽스바디 유닛(1100)에 결합(도 4에 도시됨)되고, 제2 결합바디(1320)는 프리바디 유닛(1200)에 결합된다.
제1 결합바디(1310)는 피에조 엑추에이터(1330)의 일측부에 결합되고, 제2 결합바디(1320)는 피에조 엑추에이터(1330)의 타측부에 결합된다.
이에 따라 피에조 엑추에이터(1330)의 변위에 의해 제1 결합바디(1310)와 제2 결합바디(1320)는 상대적 변위가 발생된다. 그리고 제1 결합바디(1310)와 제2 결합바디(1320)의 상대적 변위에 의해 픽스바디 유닛(1100)과 프리바디 유닛(1200)은 상대적 위치변위가 발생된다.
또한, 피에조 엑추에이터(1330)의 변위는 0~40㎛ 이고, 이에 따라 픽스바디 유닛(1100)에 대한 프리바디 유닛(1200)의 가동변위는 0~40㎛이 될 수 있다.
센서(1340)는 글라스 패널과 모듈레이터(1410) 사이의 갭을 측정하기 위한 것으로, 제2 결합바디(1320)에 장착된다.
글라스 패널에 대향된 모듈레이터(1410)와 동일하게 위치되도록, 센서(1340)는 제2 결합바디(1320)에 의해 프리바디 유닛(1200)에 장착될 수 있다.
즉, 글라스 패널에 대향되는 방향에 대하여 모듈레이터(1410)와 센서(1340)는 동일한 이격거리를 갖는 동일면으로 위치될 수 있다.
피에조 갭보정 유닛(1300)은 상기한 바와 같이 이루어지고, 센서(1340)에 의해 검출된 갭에 관한 정보를 통해 피에조 엑추에이터(1330)는 변위되고, 제1 결합바디(1310)와 제2 결합바디(1320)는 상대적 변위가 발생된다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 어레이 테스터 110: 픽스바디 유닛
120: 프리바디 유닛 130: 모듈레이터
131: 제1 갭보정 유닛 132: 제2 갭보정 유닛
133: 제3 갭보정 유닛 140: 갭보정 유닛
141: 제1 갭보정 유닛 142: 제2 갭보정 유닛
143: 제3 갭보정 유닛 150: 수신모듈
200: 캘리브레이션 유닛 210: 센서부
211: 제1 센서부 212: 제2 센서부
213: 제3 센서부 220: 송신모듈
1000: 어레이 테스터 1100: 픽스바디 유닛
1200: 프리바디 유닛 1300: 피에조 갭보정 유닛
1310: 제1 결합바디 1320: 제2 결합바디
1330: 피에조 엑추에이터 1340: 센서
1400: 모듈레이터 유닛 1410: 모듈레이터
1420: 바디프레임
2000: 캘리브세이션 유닛 2100: 센서부
2110: 제1 센서부 2120: 제2 센서부
2130: 제3 센서부 2200: 송신모듈

Claims (11)

  1. 어레이 테스터의 모듈레이터와의 이격거리를 측정하는 센서부; 및
    상기 센서부에서 검출된 정보를 상기 모듈레이터에 연결된 갭보정 유닛에 전달하는 송신모듈을 포함하는
    모듈레이터 캘리브레이션 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는 복수개를 포함하고, 복수개의 상기 센서부는 상기 모듈레이터에 대향되고, 상기 모듈레이터의 배치영역에 대응되는 영역에 내재된
    모듈레이터 캘리브레이션 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는 삼각형상으로 배치된
    모듈레이터 캘리브레이션 유닛.
  4. 모듈레이터를 캘리브레이션 유닛의 복수의 센서부에 대향되도록 위치시키는 모듈레이터의 캘리브레이션 유닛 대향단계;
    상기 복수의 센서부를 통해 모듈레이터와의 이격거리에 대하여 검출하는 캘리브레이션 유닛의 이격거리 센싱단계;
    상기 검출된 이격거리 정보를 통해 픽스바디 유닛과 프리바디 유닛 사이의 갭을 조정하는 모듈레이터 변위 조정단계;
    모듈레이터 변위 조정 후, 상기 복수의 센서부를 통해 상기 모듈레이터와의 이격거리를 확인하는 이격거리 확인 단계; 및
    복수의 상기 복수의 센서부에서 검출된 이격거리가 서로 동일한 경우, 상기 모듈레이터의 캘리브레이션이 완료된 것으로 확인하고 종료하는 캘리브레이션 종료단계를 포함하는
    모듈레이터의 캘리브레이션 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 이격거리 확인 단계에서 상기 복수의 센서부에서 검출된 이격거리가 서로 동일하지 않은 경우, 상기 모듈레이터 변위 조정단계를 수행하고, 이격거리 확인 단계를 통해 상기 복수의 센서부에서 모듈레이터까지의 이격거리가 서로 동일한지를 확인하는
    모듈레이터의 캘리브레이션 방법.
  6. 픽스바디 유닛과, 상기 픽스바디 유닛에 이동가능하도록 결합된 프리바디 유닛과, 상기 픽스바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛과, 상기 프리바디 유닛에 결합되는 모듈레이터와 수신모듈을 포함하는 어레이 테스터; 및
    상기 모듈레이터와의 이격거리를 측정하는 센서부와, 상기 센서부에서 검출된 정보를 상기 수신모듈에 전달하는 송신모듈을 포함하는 모듈레이터 캘리브레이션 유닛을 포함하는
    캘리브레이션 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 센서부는 복수개를 포함하고, 복수개의 상기 센서부는 상기 모듈레이터에 대향되고, 상기 모듈레이터의 배치영역에 대응되는 영역에 내재된
    캘리브레이션 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 피에조 갭보정 유닛은
    상기 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 결합바디와,
    상기 프리바디 유닛에 결합되는 제2 결합바디와,
    상기 제1 결합바디에 일측이 결합되고 상기 제2 결합바디에 타측이 결합된 피에조 엑추에이터와,
    상기 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 검출하는 센서를 포함하고,
    상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 상기 갭에 관한 정보를 이용하여 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리를 조정하는
    캘리브레이션 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 모듈레이터 유닛은
    모듈레이터와, 상기 모듈레이터가 결합되는 바디 프레임을 포함하고,
    글라스 패널에 대향되도록 상기 바디 프레임은 상기 프리바디 유닛에 장착된
    캘리브레이션 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 모듈레이터와 상기 센서는 상기 글라스 패널에 대향되어 동일한 이격거리를 갖는 동일면에 위치된
    캘리브레이션 시스템.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 프리바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛에 복수개가 장착된
    캘리브레이션 시스템.
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